JPH0714097B2 - レ−ザ出力制御装置 - Google Patents
レ−ザ出力制御装置Info
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- JPH0714097B2 JPH0714097B2 JP60243511A JP24351185A JPH0714097B2 JP H0714097 B2 JPH0714097 B2 JP H0714097B2 JP 60243511 A JP60243511 A JP 60243511A JP 24351185 A JP24351185 A JP 24351185A JP H0714097 B2 JPH0714097 B2 JP H0714097B2
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- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/102—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/104—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation in gas lasers
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、レーザ加工中にNCテープなどを介して出力設
定器より逐次指令されるレーザ出力指令に対しその指令
値と実際のレーザ出力値を合致させるように改良したレ
ーザ出力制御装置に関する。
定器より逐次指令されるレーザ出力指令に対しその指令
値と実際のレーザ出力値を合致させるように改良したレ
ーザ出力制御装置に関する。
従来の技術 レーザ光を利用した切断加工においては被加工物の材質
や加工速度に適合したレーザ出力を設定する必要があ
る。すなわち、加工速度は、一種類のワークにおいても
厚さやあるいは必要とされる加工精度によりいろいろ変
更される。このように加工中に加工速度が変化する場
合、その速度に応じてレーザ出力も変化させて切断品質
の劣下を防止する必要がある。
や加工速度に適合したレーザ出力を設定する必要があ
る。すなわち、加工速度は、一種類のワークにおいても
厚さやあるいは必要とされる加工精度によりいろいろ変
更される。このように加工中に加工速度が変化する場
合、その速度に応じてレーザ出力も変化させて切断品質
の劣下を防止する必要がある。
第６図は、このような目的のため行われてきた従来のレ
ーザ出力制御装置のブロック図である。ハーフミラーA,
Bは陽極Ｃ、陰極Ｄを介してたがいに対向して配置され
レーザ共振部を形成している。レーザ光は上記ハーフミ
ラーＡによりその一部が検出器Ｅへ導かれ検出器Ｅの非
直線性を補正する変換器Ｆへ導かれ表示器Ｇにレーザ出
力を表示している。一方、上記ハーフミラーＢからは、
加工用のレーザビームが取り出されミラーＨによりワー
クＷ或はダンパーＩへレーザ光を導き、ダンパーＩでは
非加工時のレーザエネルギーを吸収している。電流制御
回路Ｊはレーザー共振部へその入力に加えられた電圧に
比例した放電電流が与えられるように電源Ｋを制御して
おり、この放電電流の大小によりレーザパワーを制御し
ている。
ーザ出力制御装置のブロック図である。ハーフミラーA,
Bは陽極Ｃ、陰極Ｄを介してたがいに対向して配置され
レーザ共振部を形成している。レーザ光は上記ハーフミ
ラーＡによりその一部が検出器Ｅへ導かれ検出器Ｅの非
直線性を補正する変換器Ｆへ導かれ表示器Ｇにレーザ出
力を表示している。一方、上記ハーフミラーＢからは、
加工用のレーザビームが取り出されミラーＨによりワー
クＷ或はダンパーＩへレーザ光を導き、ダンパーＩでは
非加工時のレーザエネルギーを吸収している。電流制御
回路Ｊはレーザー共振部へその入力に加えられた電圧に
比例した放電電流が与えられるように電源Ｋを制御して
おり、この放電電流の大小によりレーザパワーを制御し
ている。
一方、レーザ発振器の出力は季節や設置環境或は経年変
化等により出力特性が一定してはいないが、だいたい放
電電流とレーザ出力は第７図（ａ）のような特性を持っ
ており、上記電流制御回路Ｊの入力端子に加える電圧と
レーザ出力の特性も第７図（ｂ）のようになる。そのた
め、レーザ加工中にレーザ発振器の指令出力を希望通り
の値で変化させる場合、上記電流制御回路Ｊに複数個の
レーザ出力設定用ボリウムＬを設け、予め各ボリウムＬ
を実際のレーザ出力が希望するレーザ出力となるように
それぞれ設定しておき、加工時はNC装置Ｍによりプログ
ラムされたそれぞれの指令レーザ出力に応じて上記ボリ
ウムＬを切り換えて加工を行っていた。
化等により出力特性が一定してはいないが、だいたい放
電電流とレーザ出力は第７図（ａ）のような特性を持っ
ており、上記電流制御回路Ｊの入力端子に加える電圧と
レーザ出力の特性も第７図（ｂ）のようになる。そのた
め、レーザ加工中にレーザ発振器の指令出力を希望通り
の値で変化させる場合、上記電流制御回路Ｊに複数個の
レーザ出力設定用ボリウムＬを設け、予め各ボリウムＬ
を実際のレーザ出力が希望するレーザ出力となるように
それぞれ設定しておき、加工時はNC装置Ｍによりプログ
ラムされたそれぞれの指令レーザ出力に応じて上記ボリ
ウムＬを切り換えて加工を行っていた。
しかしながら、この方法では加工中に使用される指令レ
ーザ出力の種類が多い場合、多数の設定ボリウムＬが必
要となるうえ、加工前にそれらのボリウムＬを１つ１つ
希望の出力に調整する必要がありその調整に多大の労力
および時間を要していた。また、一旦設定しても上記理
由やレーザ発振器内のガス温度変化により放電電流とレ
ーザ出力の特性が変化するため、そのたびに全てのボリ
ウムＬを調整する必要がある等の欠点を有していた。
ーザ出力の種類が多い場合、多数の設定ボリウムＬが必
要となるうえ、加工前にそれらのボリウムＬを１つ１つ
希望の出力に調整する必要がありその調整に多大の労力
および時間を要していた。また、一旦設定しても上記理
由やレーザ発振器内のガス温度変化により放電電流とレ
ーザ出力の特性が変化するため、そのたびに全てのボリ
ウムＬを調整する必要がある等の欠点を有していた。
発明の目的およびその解決手段 本発明は、このような欠点を除去するためになされたも
ので、予め設定された各種指令電圧値に対する実際のレ
ーザ出力値が自動的にサンプリングされ、かつこのサン
プリングに基づいて各種指令出力に対しそれぞれ必要な
指令電圧が自動的に決定されるため、レーザの出力設定
に時間と労力を要せず作業者の負担が大幅に軽減され、
速やかに運転開始でき、出力設定手段で指令した通りの
実パワーが得られ、しかも、レーザ加工速度等の変化に
応じて無制限の種類のレーザ出力を指令することがで
き、よって加工効率および加工の再現性を高めることが
できるレーザ出力制御装置を提供することを目的として
いる。
ので、予め設定された各種指令電圧値に対する実際のレ
ーザ出力値が自動的にサンプリングされ、かつこのサン
プリングに基づいて各種指令出力に対しそれぞれ必要な
指令電圧が自動的に決定されるため、レーザの出力設定
に時間と労力を要せず作業者の負担が大幅に軽減され、
速やかに運転開始でき、出力設定手段で指令した通りの
実パワーが得られ、しかも、レーザ加工速度等の変化に
応じて無制限の種類のレーザ出力を指令することがで
き、よって加工効率および加工の再現性を高めることが
できるレーザ出力制御装置を提供することを目的として
いる。
そこで、本発明は、レーザ発振器への電流を制御する電
流制御手段に予め測定された複数種の指令電圧を与えこ
の各指令電圧値に対する実際のレーザ出力値をそれぞれ
記憶してサンプリングし、加工時にはNC装置などからの
指示に基づいて出力設定手段により指定された指令出力
値に対し上記サンプリングされた記憶値に基づいて必要
な指令電圧値を決定し、この指令電圧を上記電流制御手
段に与えることにより、レーザ発振器への電流を制御す
るようにしたものである。
流制御手段に予め測定された複数種の指令電圧を与えこ
の各指令電圧値に対する実際のレーザ出力値をそれぞれ
記憶してサンプリングし、加工時にはNC装置などからの
指示に基づいて出力設定手段により指定された指令出力
値に対し上記サンプリングされた記憶値に基づいて必要
な指令電圧値を決定し、この指令電圧を上記電流制御手
段に与えることにより、レーザ発振器への電流を制御す
るようにしたものである。
発明の構成 以下、本発明の構成を第１図ないし第５図に基づいて具
体的に説明する。
体的に説明する。
第１図において、１は陽極２と陰極３との間に放電部４
を形成しこの放電部４よりレーザを出力するレーザ発振
器で、このレーザ発振器１は上記放電部４を介して互い
に対向して配設された一対のハーフミラー5,6を有して
いる。７は上記一方のハーフミラー５を透過したレーザ
ビームによりレーザ出力を検出する検出器、８は上記検
出器７から取り出された信号に比例した値を出力する変
換器で、上記検出器７と上記変換器８とで出力検出手段
９が構成されている。10は上記変換器８の出力をディジ
タル信号に変換するA/Dコンバータである。11は上記レ
ーザ発振器１の陽極２と陰極３との間に電圧を供給する
電源、12は上記レーザ発振器１への電流を制御する電流
制御回路で、この電流制御回路12と上記電源11とで電流
制御手段13が構成されている。14は上記電流制御回路12
に電流値を与えるD/Aコンバータである。15はNC装置な
どからの指示に基づいて上記レーザ発振器１への指令出
力値を指定する出力設定手段、16はサンプリングモード
および運転モードを切換える切換器である。また、17
は、上記A/Dコンバータ10、設定手段15、切換器16の各
入力回路および上記D/Aコンバータ14への出力回路を有
するCPUで、このCPU17は上記サンプリングモードを行う
サンプリング手段18と上記運転モードを行う出力制御手
段19の両機能を備えている。20は上記他方のハーフミラ
ー６から取出された加工用のレーザビームを加工時には
ワークＷ上へ、非加工時にはダンパー21へ導くミラーで
ある。
を形成しこの放電部４よりレーザを出力するレーザ発振
器で、このレーザ発振器１は上記放電部４を介して互い
に対向して配設された一対のハーフミラー5,6を有して
いる。７は上記一方のハーフミラー５を透過したレーザ
ビームによりレーザ出力を検出する検出器、８は上記検
出器７から取り出された信号に比例した値を出力する変
換器で、上記検出器７と上記変換器８とで出力検出手段
９が構成されている。10は上記変換器８の出力をディジ
タル信号に変換するA/Dコンバータである。11は上記レ
ーザ発振器１の陽極２と陰極３との間に電圧を供給する
電源、12は上記レーザ発振器１への電流を制御する電流
制御回路で、この電流制御回路12と上記電源11とで電流
制御手段13が構成されている。14は上記電流制御回路12
に電流値を与えるD/Aコンバータである。15はNC装置な
どからの指示に基づいて上記レーザ発振器１への指令出
力値を指定する出力設定手段、16はサンプリングモード
および運転モードを切換える切換器である。また、17
は、上記A/Dコンバータ10、設定手段15、切換器16の各
入力回路および上記D/Aコンバータ14への出力回路を有
するCPUで、このCPU17は上記サンプリングモードを行う
サンプリング手段18と上記運転モードを行う出力制御手
段19の両機能を備えている。20は上記他方のハーフミラ
ー６から取出された加工用のレーザビームを加工時には
ワークＷ上へ、非加工時にはダンパー21へ導くミラーで
ある。
そして、上記レーザ発振器１より取り出されたレーザ光
は上記ハーフミラー５よりその一部が上記検出器７に導
かれ上記変換器８を介してレーザ出力に比例した出力に
変換され上記A/Dコンバータ10によりディジタル信号と
して上記CPU17に取り込まれる。また、このCPU17は上記
D/Aコンバータ14を介して上記電流制御回路12に対して
レーザ出力をコントロールする信号を出力し、さらに上
記切換器16からのサンプリングモード、運転モードを受
付ける入力および上記設定手段15からのレーザ出力指令
値を受付ける入力をもっている。
は上記ハーフミラー５よりその一部が上記検出器７に導
かれ上記変換器８を介してレーザ出力に比例した出力に
変換され上記A/Dコンバータ10によりディジタル信号と
して上記CPU17に取り込まれる。また、このCPU17は上記
D/Aコンバータ14を介して上記電流制御回路12に対して
レーザ出力をコントロールする信号を出力し、さらに上
記切換器16からのサンプリングモード、運転モードを受
付ける入力および上記設定手段15からのレーザ出力指令
値を受付ける入力をもっている。
発明の作用 次に、本発明の動作を第４図および第５図のフローに従
って説明する。
って説明する。
まず、切換器16のセレクタをサンプリングモードとす
る。これによりサンプリング手段18が働き、CPU17はD/A
コンバータ14を介して電流制御回路12に対し第２図で示
すような予め設定された階段状の指令電圧Vjを出力す
る。この階段の段数Ｎは指令出力値の必要な分解能によ
り決定され、また段から段までの時間Δｔはサンプリン
グに必要な例えば検出器７の応答時間より決定される。
さらに、この階段波の最高電圧Vmax（＝VN）はレーザ発
振管の許容電流の最大値より決定される。
る。これによりサンプリング手段18が働き、CPU17はD/A
コンバータ14を介して電流制御回路12に対し第２図で示
すような予め設定された階段状の指令電圧Vjを出力す
る。この階段の段数Ｎは指令出力値の必要な分解能によ
り決定され、また段から段までの時間Δｔはサンプリン
グに必要な例えば検出器７の応答時間より決定される。
さらに、この階段波の最高電圧Vmax（＝VN）はレーザ発
振管の許容電流の最大値より決定される。
第４図のフローに示すように、CPU17はまず上記階段波
の最初の電圧V1を出力したのちそのときの検出器７から
のレーザ出力値P1を読み込み、メモリに記憶する。引き
続きΔｔ後に、次の指令電圧V2を出力し検出器７からの
レーザ出力値P2を読み込み、メモリに記憶する。同様の
処理をＮ回繰返すことによりCPU17のメモリ内には第３
図で示すような予め設定されたおのおのの電圧V1〜VNに
対するレーザ出力P1〜PNのサンプリングしたデータテー
ブル22が作成される。
の最初の電圧V1を出力したのちそのときの検出器７から
のレーザ出力値P1を読み込み、メモリに記憶する。引き
続きΔｔ後に、次の指令電圧V2を出力し検出器７からの
レーザ出力値P2を読み込み、メモリに記憶する。同様の
処理をＮ回繰返すことによりCPU17のメモリ内には第３
図で示すような予め設定されたおのおのの電圧V1〜VNに
対するレーザ出力P1〜PNのサンプリングしたデータテー
ブル22が作成される。
次に、レーザ加工を実行する場合には切換器16のセレク
タを運転モードに切換える。これにより出力制御手段19
が働き、第５図のフローに示すようにCPU17はNCテープ
等を介して出力設定手段15により指令されたレーザ出力
値Pcomを読み込み、サンプリングモードで作成されたデ
ータテーブル22上の記憶値に基づき必要な指令電圧Vcom
が決定される。つまり、指令出力値Pcomが記憶されてい
る出力値Pjと等しい値であれば、この出力値Pjに対する
指令電圧VjがそのままD/Aコンバータ14へ出力される。
しかし、指令出力値Pcomが記憶値にない場合、指令出力
値Pcomが存在する２点間（PjとPj-1）の範囲を選択し、
この２点（PjとPj-1）のデータからその範囲内で比例配
分し、指令出力値Pcomに対する必要な指令電圧値Vcomが
算出される。すなわち、次の式によって求められる。
タを運転モードに切換える。これにより出力制御手段19
が働き、第５図のフローに示すようにCPU17はNCテープ
等を介して出力設定手段15により指令されたレーザ出力
値Pcomを読み込み、サンプリングモードで作成されたデ
ータテーブル22上の記憶値に基づき必要な指令電圧Vcom
が決定される。つまり、指令出力値Pcomが記憶されてい
る出力値Pjと等しい値であれば、この出力値Pjに対する
指令電圧VjがそのままD/Aコンバータ14へ出力される。
しかし、指令出力値Pcomが記憶値にない場合、指令出力
値Pcomが存在する２点間（PjとPj-1）の範囲を選択し、
この２点（PjとPj-1）のデータからその範囲内で比例配
分し、指令出力値Pcomに対する必要な指令電圧値Vcomが
算出される。すなわち、次の式によって求められる。
そして、この算出されたデータVcomがD/Aコンバータ14
へ出力される。
へ出力される。
このようにして、加工中においても被加工物の材質や加
工速度の変化に応じて指令出力値Pcomを無数に設定する
ことが可能で、各指令毎にCPU17は上記の運転モードを
繰返して指令電圧Vcomを算出し、レーザ発振器１へ与え
る電流を制御して、おのおの指令した出力値Pcomと一致
した実パワーを得ることができる。
工速度の変化に応じて指令出力値Pcomを無数に設定する
ことが可能で、各指令毎にCPU17は上記の運転モードを
繰返して指令電圧Vcomを算出し、レーザ発振器１へ与え
る電流を制御して、おのおの指令した出力値Pcomと一致
した実パワーを得ることができる。
発明の効果 本発明によれば、サンプリング手段によって、電流制御
手段に予め設定された複数種の指令電圧が階段状に与え
られ各指令電圧値に対する実際のレーザ出力値がそれぞ
れ読み込まれて指令電圧値とレーザ出力値のデータテー
ブルが自動的に作成されるため、サンプリングが非常に
容易であり、設置環境の如何に拘らずいつでも短時間に
多くのデータを自動的にサンプリングできる。
手段に予め設定された複数種の指令電圧が階段状に与え
られ各指令電圧値に対する実際のレーザ出力値がそれぞ
れ読み込まれて指令電圧値とレーザ出力値のデータテー
ブルが自動的に作成されるため、サンプリングが非常に
容易であり、設置環境の如何に拘らずいつでも短時間に
多くのデータを自動的にサンプリングできる。
そしてレーザ加工時には、出力制御手段によって、任意
に指令された指令出力値に対しサンプリングされた上記
データテーブル上で、同一のデータの有無に拘らずデー
タテーブルに基づいて適切な指令電圧値が自動的に算出
されるため、常に良好な加工が行える。
に指令された指令出力値に対しサンプリングされた上記
データテーブル上で、同一のデータの有無に拘らずデー
タテーブルに基づいて適切な指令電圧値が自動的に算出
されるため、常に良好な加工が行える。
すなわち、加工する場所や日時に関係なく、出力設定手
段で任意に指令した通りの実パワーが得られ、しかもサ
ンプリング後、指令できる出力値の種類に制限がなく、
被加工物の材質やレーザ加工速度等の変化に応じて無制
限の種類のレーザ出力を指令することができ、よって加
工効率および加工の再現性が高められる。
段で任意に指令した通りの実パワーが得られ、しかもサ
ンプリング後、指令できる出力値の種類に制限がなく、
被加工物の材質やレーザ加工速度等の変化に応じて無制
限の種類のレーザ出力を指令することができ、よって加
工効率および加工の再現性が高められる。
第１図は本発明の装置を示すブロック図、第２図は指令
電圧波形を示す図、第３図はデータテーブルを示す図、
第４図はサンプリングモードのフロー図、第５図は運転
モードのフロー図、第６図は従来の装置を示すブロック
図、第７図（ａ）（ｂ）はレーザ出力特性を示す図であ
る。 １…レーザ発振器、９…出力検出手段、13…電流制御手
段、15…出力設定手段、17…CPU、18…サンプリング手
段、19…出力制御手段、22…データテーブル
電圧波形を示す図、第３図はデータテーブルを示す図、
第４図はサンプリングモードのフロー図、第５図は運転
モードのフロー図、第６図は従来の装置を示すブロック
図、第７図（ａ）（ｂ）はレーザ出力特性を示す図であ
る。 １…レーザ発振器、９…出力検出手段、13…電流制御手
段、15…出力設定手段、17…CPU、18…サンプリング手
段、19…出力制御手段、22…データテーブル
Claims (1)
- 【請求項１】レーザ発振器と、このレーザ発振器のレー
ザ出力を検出する出力検出手段と、上記レーザ発振器へ
の電流を制御する電流制御手段と、この電流制御手段に
予め設定された複数種の指令電圧を階段状に与え各指令
電圧値に対するレーザ出力値を上記出力検出手段からそ
れぞれ読み込んで記憶することにより指令電圧値とレー
ザ出力値のデータテーブルを作成するサンプリング手段
と、上記レーザ発振器への指令出力値を指令する出力設
定手段と、この出力設定手段によって指令された指令出
力値が上記データテーブル上のレーザ出力値と等しい値
であるならばこのレーザ出力値に対する指令電圧値をそ
のまま指令出力値に対する必要な指令電圧値に決定し、
上記指令出力値がデータテーブル上のレーザ出力値にな
いならばこの指令出力値が存在するデータテーブル上の
２つのレーザ出力値の間の範囲を選択しこの２つのレー
ザ出力値に対応する２つの指令電圧の間の範囲内で比例
配分することにより指令出力値に対する必要な指令電圧
値を決定し、この決定された指令電圧を上記電流制御手
段に与える出力制御手段とを具備したことを特徴とする
レーザ出力制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60243511A JPH0714097B2 (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | レ−ザ出力制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60243511A JPH0714097B2 (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | レ−ザ出力制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62104088A JPS62104088A (ja) | 1987-05-14 |
| JPH0714097B2 true JPH0714097B2 (ja) | 1995-02-15 |
Family
ID=17104989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60243511A Expired - Fee Related JPH0714097B2 (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | レ−ザ出力制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0714097B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63273580A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-10 | Fanuc Ltd | Ｃｎｃレ−ザ加工機のパワ−制御方式 |
| JPH0696198B2 (ja) * | 1987-04-30 | 1994-11-30 | ファナック株式会社 | レ−ザ用数値制御装置 |
| JPH0626270B2 (ja) * | 1987-10-26 | 1994-04-06 | 三菱電機株式会社 | レーザ発振器 |
| JPH02100386A (ja) * | 1988-10-07 | 1990-04-12 | Fanuc Ltd | ガスレーザ装置の出力制御方式 |
| JP2781823B2 (ja) * | 1991-12-27 | 1998-07-30 | ミヤチテクノス株式会社 | レーザ装置 |
| JP2917642B2 (ja) * | 1992-01-24 | 1999-07-12 | 三菱電機株式会社 | レーザ出力制御装置 |
| JP3315556B2 (ja) * | 1994-04-27 | 2002-08-19 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置 |
| JPH09150282A (ja) * | 1995-11-27 | 1997-06-10 | Fanuc Ltd | レーザ加工方式 |
| EP2355270A3 (en) * | 2001-10-16 | 2012-05-09 | Kataoka Corporation | Pulse oscillating type solid laser unit and laser process unit |
| JP4181386B2 (ja) * | 2002-01-16 | 2008-11-12 | リコーマイクロエレクトロニクス株式会社 | ビーム加工装置 |
| JP2008028317A (ja) * | 2006-07-25 | 2008-02-07 | Fanuc Ltd | レーザ装置 |
| JP4955425B2 (ja) * | 2007-03-08 | 2012-06-20 | オリンパス株式会社 | レーザ加工装置 |
| JP2010212549A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-24 | Panasonic Corp | レーザ発振装置およびレーザ加工機 |
| CN116995522A (zh) * | 2022-04-25 | 2023-11-03 | 北京科益虹源光电技术有限公司 | 激光器的能量的控制方法及计算设备 |
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1985
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