JPH07145357A - 加熱剥離シート及び剥離方法 - Google Patents

加熱剥離シート及び剥離方法

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JPH07145357A
JPH07145357A JP5319064A JP31906493A JPH07145357A JP H07145357 A JPH07145357 A JP H07145357A JP 5319064 A JP5319064 A JP 5319064A JP 31906493 A JP31906493 A JP 31906493A JP H07145357 A JPH07145357 A JP H07145357A
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pressure
adherend
sensitive adhesive
adhesive layer
foaming agent
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JP5319064A
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Michio Umeda
道夫 梅田
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Nitto Denko Corp
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Nitto Denko Corp
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10P72/00Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/70Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping
    • H10P72/74Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
    • H10P72/744Details of chemical or physical process used for separating the auxiliary support from a device or a wafer

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  • Adhesive Tapes (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 冷却固化による再接着等の問題を生じずに任
意な時に接着状態を糊残りなく容易に解けて、分離後に
被着体を洗浄処理する必要がない接着手段を得ること。 【構成】 高周波で誘導加熱される基材(1)の片面又
は両面に、加熱により発泡及び/又は膨張する発泡剤を
含有する感圧接着層(2)を有する加熱剥離シート、及
び高周波で誘導加熱される被着体に接着した発泡剤含有
の感圧接着層を、前記被着体の誘導加熱下に発泡及び/
又は膨張処理したのち被着体と分離する剥離方法。 【効果】 誘導加熱による短時間処理で発泡処理できて
加熱後の任意な時に被着体の損傷なく分離作業を遂行で
きる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、誘導加熱方式で任意な
時に感圧接着層の接着力を低下ないし喪失させて接着状
態を解くことができる加熱剥離シート及び剥離方法に関
する。
【0002】
【従来の技術】資源等の再利用や、研磨、切断等の加工
時に仮着固定した被加工物の加工後における容易分離の
達成による工程の省人化ないし自動化などの観点より、
接着状態を容易に解くことができる接着手段が求められ
ている。
【0003】従来、かかる目的に適用しうる接着手段と
しては、熱可塑性樹脂に磁性体の粉末を含有させてなる
ホットメルト接着剤が知られていた。(特開平4−93
381号公報)。この接着剤は、含有の磁性粉に基づく
誘導加熱でメルト化させ、それによる接着力の低下で被
着体等の接着状態を容易に解きうるようにしたものであ
る。
【0004】しかしながら、前記のホットメルト接着剤
による接着状態の分離は、かかる接着剤の溶融軟化によ
る凝集状態の破壊であるため、そのホットメルト接着剤
の残骸が被着体に付着した状態で残り(糊残り)、それ
を洗浄するなどして除去する必要がある問題点があり、
またホットメルト接着剤が冷却固化して再接着しないよ
う加熱処理の直後に接着状態を解く必要がある問題点も
あった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、冷却固化に
よる再接着等の問題を生じずに任意な時に接着状態を糊
残りなく容易に解くことができ、従って分離後に被着体
を洗浄処理する必要がない接着手段の開発を課題とす
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、高周波で誘導
加熱される基材の片面又は両面に、加熱により発泡及び
/又は膨張する発泡剤を含有する感圧接着層を有するこ
とを特徴とする加熱剥離シート、及び高周波で誘導加熱
される被着体に接着した発泡剤含有の感圧接着層を、前
記被着体の誘導加熱下に発泡及び/又は膨張処理したの
ち被着体と分離することを特徴とする剥離方法を提供す
るものである。
【0007】
【作用】感圧接着層に発泡剤を含有させて基材又は被着
体の高周波による誘導加熱を介しその感圧接着層を加熱
することにより、含有の発泡剤が発泡及び/又は膨張し
て感圧接着層の接着力が低下ないし喪失し、これにより
被着体と感圧接着層を容易に分離することができる。ま
たその場合に感圧接着層の接着力が復元することがな
く、冷却はむしろ接着力の低下に有利に作用するので時
間的拘束なく任意な時に分離作業を遂行することができ
る。さらに感圧接着層の発泡及び/又は膨張処理による
接着力の低下等は、接着面積の減少に基づくもので感圧
接着層は一体性を維持しているので分離の際に糊残りも
生じにくく、被着体の洗浄等を省略することができる。
【0008】
【実施例】本発明の加熱剥離シートは、高周波で誘導加
熱される基材の片面又は両面に、加熱により発泡及び/
又は膨張する発泡剤を含有する感圧接着層を有するもの
である。その例を図1、図2に示した。1が基材、2,
3が感圧接着層である。
【0009】高周波で誘導加熱される基材としては、例
えば鉄、ニッケル、銅、アルミニウム、チタン、亜鉛、
錫の如き単体を主成分とするもの、SUS340等のス
テンレス鋼やパーマロイの如き合金、フェライトの如き
金属酸化物、鉄・コバルトの如きアモルファス合金など
の種々の導電体や磁性体からなるものを用いることがで
きる。
【0010】基材は、通例1〜500μm厚、就中3〜
100μm厚のシート状物からなるが、その場合に導電
体や磁性体を具備する形態は任意である。ちなみにその
形態としては、箔からなる単層形態、ベース層に箔や蒸
着膜等からなる導電体層や磁性体層を有するラミネート
形態、ベース層に導電粉や磁性粉を分散させた含有形
態、ベース層に導電粉や磁性粉を分散含有する層を塗布
した重畳形態、前記の導電粉等を繊維状物で置換したも
のなどが例示できる。磁性体又は導電体は、2種以上を
用いてもよく、それらを併用してもよい。また基材は、
ネット状や多孔質状、不織布状等の感圧接着層の芯材や
支持材等として適宜な形態で用いることができる。
【0011】なお前記のベース層としては、例えば紙や
布、不織布の如き繊維加工物、プラスチックないしゴム
状の弾性を示すポリマーのフィルムないし発泡フィル
ム、あるいはそれらのプラスチックラミネート体、プラ
スチック同士の積層体などの感圧接着層等の支持母体と
なりうる適宜な薄葉体を用いうる。
【0012】感圧接着層を形成するための感圧接着剤と
しては、ゴム系感圧接着剤、アクリル系感圧接着剤、ス
チレン・共役ジエンブロック共重合体系感圧接着剤、シ
リコーン系感圧接着剤などの適宜なものを用いることが
でき、紫外線硬化型のものなども用いうる(特開昭56
−61468号公報、特開昭61−174857号公
報、特開昭63−17981号公報)。
【0013】また、融点が約200℃以下等の熱溶融性
樹脂を含有してクリープ性を改善したものや、常温では
接着力が小さくて加熱により充分な接着力が発現するよ
うにした熱時感圧接着剤なども用いうる(特公昭56−
13040号公報、特公平2−50146号公報、特開
昭56−13040号公報)。なお感圧接着剤は、必要
に応じて架橋剤、粘着性付与剤、可塑剤、充填剤、老化
防止剤などの適宜な添加剤を配合したものであってもよ
い。
【0014】より具体的には例えば、天然ゴムや各種の
合成ゴムをベースポリマーとするゴム系感圧接着剤、メ
チル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、2−エチル
ヘキシル基、イソオクチル基、イソノニル基、イソデシ
ル基、ドデシル基、ラウリル基、トリデシル基、ペンタ
デシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基、オクタデ
シル基、ノナデシル基、エイコシル基の如き通例、炭素
数が20以下のアルキル基を有するアクリル酸やメタク
リル酸の如きアクリル酸系のアルキルエステル、ヒドロ
キシエチル基、ヒドロキシプロピル基、グリシジル基の
如き官能基含有基を有するアクリル酸やメタクリル酸等
のエステル、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、
N−メチロールアクリルアミド、アクリロニトリル、メ
タクリロニトリル、酢酸ビニル、スチレン、イソプレ
ン、ブタジエン、イソブチレン、ビニルエーテルなどを
成分とするアクリル系ポリマーをベースポリマーとする
アクリル系感圧接着剤などがあげられる
【0015】感圧接着剤は、被着体に対する接着強度等
の使用目的に応じて適宜に選択使用され、加熱により発
泡及び/又は膨張する感圧接着層は、その感圧接着剤に
発泡剤を配合することで形成することができる。
【0016】発泡剤としては、上記の目的を達成できる
種々のものを用いることができる。従って例えば、熱時
感圧接着剤を用いた場合には、その接着剤の接着処理温
度よりも高温で発泡及び/又は膨張する発泡剤が用いら
れる。用いうる発泡剤の例としては、炭酸アンモニウ
ム、炭酸水素アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、亜硝
酸アンモニウム、水素化ホウ素ナトリウム、アジド類な
どの分解型の無機系発泡剤があげられる。
【0017】またアゾ系化合物などの有機系発泡剤も用
いうる。その例としては、トリクロロモノフルオロメタ
ンやジクロロモノフルオロメタンの如きフッ化アルカ
ン、アゾビスイソブチロニトリルやアゾジカルボンアミ
ド、バリウムアゾジカルボキシレートの如きアゾ系化合
物、パラトルエンスルホニルヒドラジドやジフェニルス
ルホン−3,3'−ジスルホニルヒドラジド、4,4'−
オキシビス(ベンゼンスルホニルヒドラジド)、アリル
ビス(スルホニルヒドラジド)の如きヒドラジン系化合
物、ρ−トルイレンスルホニルセミカルバジドや4,
4'−オキシビス(ベンゼンスルホニルセミカルバジ
ド)の如きセミカルバジド系化合物、5−モルホリル−
1,2,3,4−チアトリアゾールの如きトリアゾール
系化合物、N,N'−ジニトロソペンタメチレンテトラ
ミンやN,N'−ジメチル−N,N'−ジニトロソテレフ
タルアミドの如きN−ニトロソ系化合物、その他の低沸
点化合物などがあげられる。
【0018】さらに本発明においては発泡剤として、例
えばイソブタン、プロパン、ペンタンの如く容易にガス
化して熱膨張性を示す適宜な物質をコアセルベーション
法や界面重合法等で殻形成物質内に内包させた熱膨張性
微粒子も用いることができる。用いる熱膨張性微粒子の
平均粒径は、1〜50μmが一般的である。
【0019】なお熱膨脹性微粒子を形成する殻形成物質
としては、例えば塩化ビニリデン−アクリロニトリル共
重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラー
ル、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリ
ル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスルホンなどが一般的で
あるが、本発明においては熱溶融性物質や熱膨張で破壊
する物質などからなっていればよい。
【0020】感圧接着層における発泡剤の含有割合は、
目的とする接着強度の低下程度等に応じて適宜に決定さ
れるが、一般には10重量%以上、就中15〜95重量
%、特に20〜80重量%とされる。感圧接着層の発泡
倍率は、被着体の表面形状や材質等により適宜に決定さ
れるが、一般には1.5〜100倍程度の発泡倍率とな
るように設計することが好ましい。
【0021】発泡剤含有の感圧接着層の形成は、基材へ
の塗工方式やセパレータ上に形成したものの基材への移
着方式などの従来の粘着テープの形成方式に準じた方式
で行うことができる。感圧接着層はベタ状に設けること
もできるし、例えばグラビア印刷方式やスクリーン印刷
方式等でパターン塗工して点状や線状等の部分的に設け
ることもできる。感圧接着層の厚さは、被着体の表面形
状や材質等により適宜に決定されるが、一般には1〜5
00μm、就中5〜100μmとされる。
【0022】本発明においては図2に例示した如く、感
圧接着層を発泡剤を含有して熱膨張しうる層31と発泡
剤を含有しない層32の重畳層として形成することもで
きる。重畳形態の感圧接着層3は、被着体に接着させる
発泡剤を含有しない層の接着強度を容易に制御できる利
点を有している。
【0023】重畳形態の感圧接着層における発泡剤含有
層は、上記した発泡剤含有の感圧接着層に準じて形成し
てもよいし、発泡剤と結合剤の混合層として形成しても
よい。その結合剤としては、発泡剤の発泡及び/又は膨
張を許容するゴム系や樹脂系等の一般に知られるポリマ
ー類、好ましくは発泡剤の発泡及び/又は膨張を可及的
に拘束しないものが用いられる。
【0024】前記の発泡剤と結合剤との混合層は、被着
体に接着した感圧接着層を任意な時に被着体より剥離す
る際に、その加熱発泡処理で感圧接着層の表面に体積変
化を与えて被着体との接着面積を減少させ、被着体より
簡単に剥離できるようにする。かかる混合層は、感圧接
着剤に代えて結合剤を用いることにより形成でき、その
厚さや発泡剤の含有割合等については、上記した発泡剤
含有の感圧接着層に準じることができる。
【0025】重畳形態の感圧接着層における発泡剤を含
有しない層は、発泡剤を配合しない感圧接着剤を用いて
上記した発泡剤含有の感圧接着層に準じて形成すること
ができる。発泡剤を含有しない層の厚さは、被着体と発
泡剤含有層との距離を可及的に近くして剥離性を向上さ
せる点より薄いほど好ましく、形成作業性や被着体への
接着性等を考慮すると約0.1〜50μm、就中0.5
〜5μmが好ましい。
【0026】本発明の加熱剥離シートは、接着時には被
着体に強固に接着でき、接着状態を解きたいときには図
3に例示の如く、基材1の高周波による誘導加熱を介し
感圧接着層の中の発泡剤を発泡及び/又は膨張させる加
熱発泡処理21で被着体4より容易に剥離ないし分離で
きるものである。かかる加熱剥離シートは、耐熱性等に
乏しい被着体にも用いうる利点などがある。
【0027】一方、本発明の剥離方法は、被着体が導電
体や磁性体などの高周波で誘導加熱できるものである場
合、上記の加熱剥離シートにおける感圧接着層に準じた
発泡剤含有の感圧接着層を介して被着体等の所定の接着
状態を形成し、その後、被着体の高周波による誘導加熱
下に感圧接着層中の発泡剤を発泡及び/又は膨張させる
加熱発泡処理で被着体より容易に剥離ないし分離できる
ものである。従ってこの場合、発泡剤含有の感圧接着層
は、塗布タイプの接着剤として適用することもできる
し、プラスチックフィルム等の適宜な薄葉体からなる支
持基材に付設された接着シートとして適用することもで
き、その際に両面接着シートなどとしても適用すること
ができる。
【0028】本発明の加熱剥離シート又は剥離方法の好
ましい用途ないし使用方法は、被着体を所定期間接着し
たのち接着目的達成後、その接着状態を解くことが要求
される、あるいは望まれる用途である。ちなみにその例
としては、2体以上の物品、例えばポリマーからなる物
品と金属、繊維又は紙等からなる物品とのリサイクルを
目的とした接着複合物の形成、各種の電気装置又は電子
装置やディスプレイ装置等の組立工程における部品の搬
送用や仮止め用等のキャリヤテープや仮止め材又は固定
材、金属板やプラスチック板、ガラス板等の汚染損傷防
止を目的とした表面保護材やマスキング材、半導体ウエ
ハを研磨、切断する際等の仮止め材又は固定材などの用
途があげられる。
【0029】実施例1 アクリル酸エチル50部(重量部、以下同じ)とアクリ
ル酸ブチル50部とアクリル酸2−ヒドロキシエチル1
部の共重合体(重量平均分子量約60万)からなるベー
スポリマー100部、ポリウレタン系架橋剤5部、及び
熱膨張性微粒子(平均粒径15μm、比重1.01)3
0部を添加混合したトルエン溶液をセパレータ上に塗布
し乾燥させて厚さ50μmの感圧接着層を形成し、その
20mm角の感圧接着層を用いて2枚のアルミニウム板
(厚さ1mm、幅25mm、長さ100mm)を接着して剪断
試験片を形成し、その接着部分を誘導加熱装置(出力6
00W、周波数45KHz)にて5秒間誘導加熱して加
熱発泡処理させた。前記において誘導加熱の前後におけ
る試験片の剪断接着力を調べた(引張速度50mm/
分)。結果を表1に示した。
【0030】実施例2 実施例1で得たセパレータ上の感圧接着層を厚さ50μ
mのアルミニウム箔の両面に移着してラミネートし、加
熱剥離シートを得た。次にその20mm角の加熱剥離シー
トを用いて2枚のABS(厚さ3mm、幅25mm、長さ1
00mm)を接着して剪断試験片を形成し、その接着部分
を実施例1に準じて加熱発泡処理させ、試験片の剪断接
着力を調べた。結果を表1に示した。
【0031】
【表1】
【0032】実施例1,2に準じて剪断試験片を形成し
て加熱発泡処理させたのち、アルミニウム板又はABS
板の1枚を剥離して分離したのち、他の各1枚より加熱
処理後の感圧接着層を剥離し、得られたアルミニウム板
又はABS板の各2枚を目視観察したところいずれの場
合にも糊残り(感圧接着層片)は認められなかった。
【0033】
【発明の効果】本発明によれば、誘導加熱による短時間
処理で発泡処理できて感圧接着層を介した接着状態を被
着体の損傷なく容易に解くことができて、その分離作業
を加熱後の任意な時に遂行でき、しかも分離の際に糊残
りも防止できて被着体の洗浄等を省略することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例の断面図。
【図2】他の実施例の断面図。
【図3】加熱発泡処理状態の説明図。
【符号説明】
1:基材 2,3:感圧接着層 21:加熱発泡処理状態 31:発泡剤を含有する層 32:発泡剤を含有しない層 4:被着体

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 高周波で誘導加熱される基材の片面又は
    両面に、加熱により発泡及び/又は膨張する発泡剤を含
    有する感圧接着層を有することを特徴とする加熱剥離シ
    ート。
  2. 【請求項2】 基材が導電体層若しくは磁性体層を有
    し、又は/及び導電粉若しくは磁性粉を含有するもので
    ある請求項1に記載の加熱剥離シート。
  3. 【請求項3】 高周波で誘導加熱される被着体に接着し
    た発泡剤含有の感圧接着層を、前記被着体の誘導加熱下
    に発泡及び/又は膨張処理したのち被着体と分離するこ
    とを特徴とする剥離方法。
JP5319064A 1993-11-24 1993-11-24 加熱剥離シート及び剥離方法 Pending JPH07145357A (ja)

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