JPH071537B2 - 磁気記録ディスク、基板及びその製造方法 - Google Patents
磁気記録ディスク、基板及びその製造方法Info
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- JPH071537B2 JPH071537B2 JP4235148A JP23514892A JPH071537B2 JP H071537 B2 JPH071537 B2 JP H071537B2 JP 4235148 A JP4235148 A JP 4235148A JP 23514892 A JP23514892 A JP 23514892A JP H071537 B2 JPH071537 B2 JP H071537B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は薄膜合金製磁気記録ディ
スクに関し、特に改良されたディスク基板およびその基
板の製造方法に関する。
スクに関し、特に改良されたディスク基板およびその基
板の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】多くの回転式のリジッドタイプのディス
ク・ファイルにおいて、読み出し／書き込み用の変換器
やヘッドの各々はキャリヤ（またはスライダ）に支持さ
れ、そのキャリヤはディスクが所定の運転速度で回転す
る時にディスクの表面上のエアクッション即ちエアベア
リングに載っている。このスライダは、比較的脆弱なサ
スペンションによってリニア型あるいはロータリ回転型
の音声コイル・アクチュエータに接続されている。一般
的に積層のディスクと各アクチュエータが複数のスライ
ダを支持するようにした複数のアクチュエータとがあ
る。このアクチュエータはスライダをディスク間で放射
状に動かすことによって各ヘッドがそれぞれのディスク
の記録範囲にアクセス可能となる。
ク・ファイルにおいて、読み出し／書き込み用の変換器
やヘッドの各々はキャリヤ（またはスライダ）に支持さ
れ、そのキャリヤはディスクが所定の運転速度で回転す
る時にディスクの表面上のエアクッション即ちエアベア
リングに載っている。このスライダは、比較的脆弱なサ
スペンションによってリニア型あるいはロータリ回転型
の音声コイル・アクチュエータに接続されている。一般
的に積層のディスクと各アクチュエータが複数のスライ
ダを支持するようにした複数のアクチュエータとがあ
る。このアクチュエータはスライダをディスク間で放射
状に動かすことによって各ヘッドがそれぞれのディスク
の記録範囲にアクセス可能となる。
【０００３】これら従来のディスク・ファイルでは、デ
ィスクが回転していない時サスペンションからの弱い力
によってスライダはディスク面に対して附勢される。し
たがってスライダは、ディスク・ファイルがオンに入れ
られてからスライダをエアベアリング上に載せるに充分
な速度にディスクが到達するまで、ディスク面に接した
状態となる。このスライダは、ディスク・ファイルがオ
フにされ、ディスクの回転速度がエアベアリングを作る
必要がある程度以下に下がる時、このディスク面に再度
接する状態とされる。こうした接触始動／停止（ＣＳ
Ｓ）ディスク・ファイルでは、ディスクの始動および停
止の際にディスクとヘッドの損傷を防ぐために、一般的
には潤滑剤をディスク表面に使用する。
ィスクが回転していない時サスペンションからの弱い力
によってスライダはディスク面に対して附勢される。し
たがってスライダは、ディスク・ファイルがオンに入れ
られてからスライダをエアベアリング上に載せるに充分
な速度にディスクが到達するまで、ディスク面に接した
状態となる。このスライダは、ディスク・ファイルがオ
フにされ、ディスクの回転速度がエアベアリングを作る
必要がある程度以下に下がる時、このディスク面に再度
接する状態とされる。こうした接触始動／停止（ＣＳ
Ｓ）ディスク・ファイルでは、ディスクの始動および停
止の際にディスクとヘッドの損傷を防ぐために、一般的
には潤滑剤をディスク表面に使用する。
【０００４】こうしたディスク・ファイルの重要な問題
は、スライダが短時間ディスク表面に接触して停止した
後、スライダが移行運動を妨げたりディスク表面に対し
粘りついてしまう傾向があるという点である。この粘り
つきは、潤滑剤とディスク、スライダ間に生じる静止摩
擦や粘着性剪断力や表面張力という種々の要因によって
生じる。たとえ非常に滑らかで潤滑剤を使用しない表面
のディスクを有するディスク・ファイルであったとして
も、滑らかなディスクとスライダの表面の界面で強い分
子間引力があるので粘りつきは発生する。ディスク・フ
ァイルにおける粘りつきは、ディスクが回転を開始する
際にディスク表面からスライダが急激に離脱し、その結
果ヘッドやディスクが損傷を受けることになる。さら
に、スライダがディスク表面上を飛ぶことができるよう
にアクチュエータとスライダ間のサスペンションが比較
的脆弱なので、ディスクの急激な回転はサスペンション
にも損傷を与えることになる。
は、スライダが短時間ディスク表面に接触して停止した
後、スライダが移行運動を妨げたりディスク表面に対し
粘りついてしまう傾向があるという点である。この粘り
つきは、潤滑剤とディスク、スライダ間に生じる静止摩
擦や粘着性剪断力や表面張力という種々の要因によって
生じる。たとえ非常に滑らかで潤滑剤を使用しない表面
のディスクを有するディスク・ファイルであったとして
も、滑らかなディスクとスライダの表面の界面で強い分
子間引力があるので粘りつきは発生する。ディスク・フ
ァイルにおける粘りつきは、ディスクが回転を開始する
際にディスク表面からスライダが急激に離脱し、その結
果ヘッドやディスクが損傷を受けることになる。さら
に、スライダがディスク表面上を飛ぶことができるよう
にアクチュエータとスライダ間のサスペンションが比較
的脆弱なので、ディスクの急激な回転はサスペンション
にも損傷を与えることになる。
【０００５】こうしたディスク・ファイルに使用される
薄膜合金製磁気記録ディスクは、通常アルミニュウム−
マグネシュウム（AlMg）合金のディスク本体にニッケル
−リン（NiP）の表面コーティングを施した基板と、基
板上に磁気層としてスパッタ形成したコバルトベースの
合金、およびその磁気層上に形成する保護膜としてスパ
ッタ形成したアモルファス炭素あるいはアモルファス水
素化炭素フィルム等から構成される。こうしたディスク
は、また基板と磁気層の間にクロム（Cr）層のようなス
パッタ形成した下層を有する。NiP コーティングは、水
溶性溶液から非電着性金属析出によってAlMgディスク本
体上に形成される。このNiP コーティングはAlMg 表面
上の欠陥を覆い、またディスク・ファイルの運転中にス
ライダによってディスクに加えられる損傷を最小にする
ために硬さを付与する。
薄膜合金製磁気記録ディスクは、通常アルミニュウム−
マグネシュウム（AlMg）合金のディスク本体にニッケル
−リン（NiP）の表面コーティングを施した基板と、基
板上に磁気層としてスパッタ形成したコバルトベースの
合金、およびその磁気層上に形成する保護膜としてスパ
ッタ形成したアモルファス炭素あるいはアモルファス水
素化炭素フィルム等から構成される。こうしたディスク
は、また基板と磁気層の間にクロム（Cr）層のようなス
パッタ形成した下層を有する。NiP コーティングは、水
溶性溶液から非電着性金属析出によってAlMgディスク本
体上に形成される。このNiP コーティングはAlMg 表面
上の欠陥を覆い、またディスク・ファイルの運転中にス
ライダによってディスクに加えられる損傷を最小にする
ために硬さを付与する。
【０００６】ディスク基板上にコバルト合金またはCr層
をスパッタ形成をする前に、NiP コーティングを研磨し
てNiP コーティングの表面形状がそのまま反映する次に
設けるフィルムが可能な限り滑らかとなるようにする。
このディスクがＣＳＳディスク・ファイルで使用するタ
イプである時、機械的な表面加工をエアベアリング・ス
ライダがディスク上に載る位置であるNiP表面コーティ
ング上に、あるいは少なくともNiP表面コーティングの
一部の上に施すことができる。この機械的な表面加工
は、粘りつき効果を最小にするように求められるもので
ある。
をスパッタ形成をする前に、NiP コーティングを研磨し
てNiP コーティングの表面形状がそのまま反映する次に
設けるフィルムが可能な限り滑らかとなるようにする。
このディスクがＣＳＳディスク・ファイルで使用するタ
イプである時、機械的な表面加工をエアベアリング・ス
ライダがディスク上に載る位置であるNiP表面コーティ
ング上に、あるいは少なくともNiP表面コーティングの
一部の上に施すことができる。この機械的な表面加工
は、粘りつき効果を最小にするように求められるもので
ある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術の問題
を克服し、磁気記録ディスク構造を形成するフィルムへ
のスパッタ形成の従来方法と親和性があり、機械的な表
面加工を必要とせず、NiP コーティングによって付与さ
れる特性を上回る優れた特性を有するディスク基板を提
供することを本発明の目的とする。
を克服し、磁気記録ディスク構造を形成するフィルムへ
のスパッタ形成の従来方法と親和性があり、機械的な表
面加工を必要とせず、NiP コーティングによって付与さ
れる特性を上回る優れた特性を有するディスク基板を提
供することを本発明の目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るため本発明では、ニッケル、クロム、および酸素（Ni
-Cr-O）を含有するスパッタ形成フィルムの表面コーテ
ィングを有するディスク本体から構成する基板を有する
薄膜合金製磁気記録ディスクを提供する。また、本発明
による上記薄膜合金製磁気記録ディスクの製造方法は、
ディスク本体を提供する工程と、ニッケル、クロム、お
よび酸素（Ni-Cr-O）を含有するフィルムをディスク本
体にスパッタ形成する工程と、Ni-Cr-Oフィルム上にコ
バルト合金磁気フィルムをスパッタ形成する工程と、コ
バルト合金磁気フィルム上に保護被覆をスパッタ形成す
る工程から構成することを特徴とする。
るため本発明では、ニッケル、クロム、および酸素（Ni
-Cr-O）を含有するスパッタ形成フィルムの表面コーテ
ィングを有するディスク本体から構成する基板を有する
薄膜合金製磁気記録ディスクを提供する。また、本発明
による上記薄膜合金製磁気記録ディスクの製造方法は、
ディスク本体を提供する工程と、ニッケル、クロム、お
よび酸素（Ni-Cr-O）を含有するフィルムをディスク本
体にスパッタ形成する工程と、Ni-Cr-Oフィルム上にコ
バルト合金磁気フィルムをスパッタ形成する工程と、コ
バルト合金磁気フィルム上に保護被覆をスパッタ形成す
る工程から構成することを特徴とする。
【０００９】
【実施例】本発明の望ましい実施例によれば、Ni-Cr-O
フィルムは二酸化クロム（Cr2O3）および均一に分散さ
せたニッケル−クロム合金（Ni80Cr20）の粒子含有のタ
ーゲットからスパッタ形成させる。このNi-Cr-Oフィル
ムのスパッタ形成は、ディスクの製造で続いて行なわれ
るコバルト合金フィルムや炭素フィルム等のスパッタ形
成と親和性がある。
フィルムは二酸化クロム（Cr2O3）および均一に分散さ
せたニッケル−クロム合金（Ni80Cr20）の粒子含有のタ
ーゲットからスパッタ形成させる。このNi-Cr-Oフィル
ムのスパッタ形成は、ディスクの製造で続いて行なわれ
るコバルト合金フィルムや炭素フィルム等のスパッタ形
成と親和性がある。
【００１０】図１は本発明により製造される磁気記録デ
ィスクの断面を示すものであり、AlMgディスク本体と、
そのAlMgディスク本体上にNi-Cr-O スパッタ形成したコ
ーティングと、CoPtCr合金磁気フィルムと、そのCoPtCr
合金磁気フィルム上に形成したスパッタ形成アモルファ
ス水素化炭素保護皮膜から構成される。図１に示したも
のと同様なディスクはディスク本体の上にいろいろな厚
さのNi-Cr-O フィルムを形成したものであった。これら
のディスクは、約１０％の相対湿度（ＲＨ）の環境下で
Al2O3/TiCセラミック製のエアベアリング・スライダを
有するディスク・ファイル内でＣＳＳ試験を行なった。
ィスクの断面を示すものであり、AlMgディスク本体と、
そのAlMgディスク本体上にNi-Cr-O スパッタ形成したコ
ーティングと、CoPtCr合金磁気フィルムと、そのCoPtCr
合金磁気フィルム上に形成したスパッタ形成アモルファ
ス水素化炭素保護皮膜から構成される。図１に示したも
のと同様なディスクはディスク本体の上にいろいろな厚
さのNi-Cr-O フィルムを形成したものであった。これら
のディスクは、約１０％の相対湿度（ＲＨ）の環境下で
Al2O3/TiCセラミック製のエアベアリング・スライダを
有するディスク・ファイル内でＣＳＳ試験を行なった。
【００１１】一例では、高度に研磨したAlMgディスク本
体を、Cr2O3を約８０原子％とCr2O3に均一に分散させた
Ni80Cr20粒子を約２０原子％含有するスパッタ・ターゲ
ットの存在下でＲＦダイオード・スパッタリング・シス
テム内に設置した。スパッタリング・チャンバ内のベー
ス圧は１０-7Ｔｏｒｒに維持し、スパッタ出力は４００
ワットで、スパッタリング・ガスは２０ｍＴｏｒｒのア
ルゴンであった。こうした条件下で、AlMgディスク本体
上に約１００オングストローム／分の割合で４．２ミク
ロン厚のNi-Cr-O フィルムを形成した。得られたNi-Cr-
O フィルムは低歪み（５ｘ１０8ダイン／ｃｍ2）、高硬
度（１０−１５ＧＰＡ），高電気抵抗（１０ｘ１０10マ
イクロオーム−ｃｍ）を有していた。得られたNi-Cr-O
フィル ムはニッケル−クロムおよび種々のクロムの酸
化物を含有するアモルファス・フィルムと考えられ、こ
のフィルムはNiCrOxフィルム（ｘは約４０乃至５０原子
％）と表すこともできる。
体を、Cr2O3を約８０原子％とCr2O3に均一に分散させた
Ni80Cr20粒子を約２０原子％含有するスパッタ・ターゲ
ットの存在下でＲＦダイオード・スパッタリング・シス
テム内に設置した。スパッタリング・チャンバ内のベー
ス圧は１０-7Ｔｏｒｒに維持し、スパッタ出力は４００
ワットで、スパッタリング・ガスは２０ｍＴｏｒｒのア
ルゴンであった。こうした条件下で、AlMgディスク本体
上に約１００オングストローム／分の割合で４．２ミク
ロン厚のNi-Cr-O フィルムを形成した。得られたNi-Cr-
O フィルムは低歪み（５ｘ１０8ダイン／ｃｍ2）、高硬
度（１０−１５ＧＰＡ），高電気抵抗（１０ｘ１０10マ
イクロオーム−ｃｍ）を有していた。得られたNi-Cr-O
フィル ムはニッケル−クロムおよび種々のクロムの酸
化物を含有するアモルファス・フィルムと考えられ、こ
のフィルムはNiCrOxフィルム（ｘは約４０乃至５０原子
％）と表すこともできる。
【００１２】他に表面処理をせずに、コバルト合金CoPt
Crの磁気フィルムをNi-Cr-O コーティングの上に３００
オングストロームの厚さにスパッタ形成した。その後、
アモルファス水素化炭素の保護皮膜をAr-H2 雰囲気でCo
PtCr合金の磁気フィルム上に２００オングストロームの
厚さにスパッタ形成した。こうして製造したディスクを
次に洗浄し、約２０オングストロームの過フッ化アルキ
ルポリエーテル潤滑剤で潤滑を施した。ＣＳＳ試験は約
１０％ＲＨの雰囲気下でサスペンションに約１５ｇの負
荷を維持したAl2O3/TiCセラミック・スライダによって
実施された。ＣＳＳ試験は２２、０００サイクルで終了
し、２２、０００サイクルの試験を通じて平均粘着力が
１０ｇ未満であった。
Crの磁気フィルムをNi-Cr-O コーティングの上に３００
オングストロームの厚さにスパッタ形成した。その後、
アモルファス水素化炭素の保護皮膜をAr-H2 雰囲気でCo
PtCr合金の磁気フィルム上に２００オングストロームの
厚さにスパッタ形成した。こうして製造したディスクを
次に洗浄し、約２０オングストロームの過フッ化アルキ
ルポリエーテル潤滑剤で潤滑を施した。ＣＳＳ試験は約
１０％ＲＨの雰囲気下でサスペンションに約１５ｇの負
荷を維持したAl2O3/TiCセラミック・スライダによって
実施された。ＣＳＳ試験は２２、０００サイクルで終了
し、２２、０００サイクルの試験を通じて平均粘着力が
１０ｇ未満であった。
【００１３】比較によれば、AlMg基板上に非電着性NiP
析出で設けた表面コーティングを有するディスクは一般
的に二、三回のＣＳＳサイクルでは高い粘りつきを示
し、粘りつきのために不適となる。
析出で設けた表面コーティングを有するディスクは一般
的に二、三回のＣＳＳサイクルでは高い粘りつきを示
し、粘りつきのために不適となる。
【００１４】Ni-Cr-O フィルムは磁気記録ディスクの製
造用に望ましいいくつかの特性を有する。それは極めて
硬く、極めて低い歪みを持っており、これがディスク本
体に対する優れた接着性を生み出すことになる。また、
腐食抵抗についても絶縁材料と同様な機能を示す。さら
に、比較的高い析出形成率を有し、その形成プロセスは
薄膜合金製磁気記録ディスクの製造において、後続の層
のスパッタ形成との親和性がある。スパッタ形成の際に
それが円柱状に形成するので、機械的表面加工を不要と
する「粗さ」が本来的に備わっている。この円柱状のフ
ィルム形成と本来の表面粗さについては図２に示してあ
り、これは、上に自然の酸化珪素フィルムを有する単結
晶シリコン（Ｓｉ）ディスク本体にスパッタ形成した１
０００オングストローム厚のNi-Cr-Oフィルム透過電子
顕微鏡（ＴＥＭ）像である。次に設けるコバルト合金磁
気フィルムと炭素保護皮膜は、Ni-Cr-O フィルムの表面
形状と同じになり、ディスクをＣＳＳディスク・ファイ
ルで使用する時の粘りつきを減少させる表面状態を作
る。
造用に望ましいいくつかの特性を有する。それは極めて
硬く、極めて低い歪みを持っており、これがディスク本
体に対する優れた接着性を生み出すことになる。また、
腐食抵抗についても絶縁材料と同様な機能を示す。さら
に、比較的高い析出形成率を有し、その形成プロセスは
薄膜合金製磁気記録ディスクの製造において、後続の層
のスパッタ形成との親和性がある。スパッタ形成の際に
それが円柱状に形成するので、機械的表面加工を不要と
する「粗さ」が本来的に備わっている。この円柱状のフ
ィルム形成と本来の表面粗さについては図２に示してあ
り、これは、上に自然の酸化珪素フィルムを有する単結
晶シリコン（Ｓｉ）ディスク本体にスパッタ形成した１
０００オングストローム厚のNi-Cr-Oフィルム透過電子
顕微鏡（ＴＥＭ）像である。次に設けるコバルト合金磁
気フィルムと炭素保護皮膜は、Ni-Cr-O フィルムの表面
形状と同じになり、ディスクをＣＳＳディスク・ファイ
ルで使用する時の粘りつきを減少させる表面状態を作
る。
【００１５】上記例でNi-Cr-O フィルムをAlMgおよびSi
ディスク本体上に形成したが、本発明はガラスなどのよ
うに他のタイプの基板との親和性もある。
ディスク本体上に形成したが、本発明はガラスなどのよ
うに他のタイプの基板との親和性もある。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による薄膜
合金製磁気記録ディスクはNiP 表面コーティングの非電
着性析出用の互いに親和性のない分離したプロセス工程
等を不要とする。さらに、スパッタ形成の際にNi-Cr-O
フィルムは円柱状に形成するので、機械的表面加工を不
要とする所望の粗さを基板上に備えることが可能とな
る。
合金製磁気記録ディスクはNiP 表面コーティングの非電
着性析出用の互いに親和性のない分離したプロセス工程
等を不要とする。さらに、スパッタ形成の際にNi-Cr-O
フィルムは円柱状に形成するので、機械的表面加工を不
要とする所望の粗さを基板上に備えることが可能とな
る。
【図１】本発明による磁気記録ディスクの断面を示す概
略図である。
略図である。
【図２】珪素ディスク本体上のNi-Cr-O薄膜の透過電子
顕微鏡（ＴＥＭ）写真である。
顕微鏡（ＴＥＭ）写真である。
なし
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 フン−チャン・ワード・ハン アメリカ合衆国95120 カリフォルニア州 サン・ノゼ、クワイル・クリフ・ウエイ 7004番地 (72)発明者 チェンジェ・ワン アメリカ合衆国 カリフォルニア州サン・ ノゼ、サン・アンセルモ・ウエイ 6713番 地 (72)発明者 アンソニー・ウェイ・ウー アメリカ合衆国95120 カリフォルニア州 サン・ノゼ、ブリアー・ランチ・レーン 663番地
Claims (9)
- 【請求項１】ディスク本体と、該ディスク本体上に形成
したニッケル、クロム、および酸素（Ni-Cr-O）から成
るフィルムと、該Ni-Cr-Oフィルム上に形成した磁気フ
ィルムから構成することを特徴とする磁気記録ディス
ク。 - 【請求項２】ディスク本体と、該ディスク本体上に形成
したニッケル、クロム 、および酸素（Ni-Cr-O）から成
るフィルムから構成することを特徴とする磁気記録ディ
スクに使用する基板。 - 【請求項３】該ディスク本体はアルミニュウム合金製で
あることを特徴とする請求項２に記載の基板。 - 【請求項４】該ディスク本体はガラス製であることを特
徴とする請求項２に記載の基板。 - 【請求項５】該ディスク本体は珪素製であることを特徴
とする請求項２に記載の基板。 - 【請求項６】該フィルムはニッケル、クロム、および酸
素から成る実質的なアモルファス・フィルムであること
を特徴とする請求項２に記載の基板。 - 【請求項７】ディスク本体を提供する工程と、ニッケ
ル、クロム、および酸素（Ni-Cr-O）を含有するフィル
ムを該ディスク本体上にスパッタ形成する工程と、該Ni
-Cr-Oフィルム上にコバルト合金磁気フィルムをスパッ
タ形成する工程と、該コバルト合金磁気フィルム上に保
護被覆をスパッタ形成する工程から構成することを特徴
とする合金製磁気記録ディスクの製造方法。 - 【請求項８】ディスク本体を提供する工程と、ニッケ
ル、クロム、および酸素（Ni-Cr-O）を含有するフィル
ムを該ディスク本体上にスパッタ形成する工程から構成
することを特徴とする、合金製磁気記録ディスクの製造
において使用する基板の製造方法。 - 【請求項９】該基板は該ディスク本体あるいは該フィル
ムの表面加工工程なしで製造することを特徴とする請求
項８に記載の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US76458291A | 1991-09-24 | 1991-09-24 | |
| US764582 | 1991-09-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05205243A JPH05205243A (ja) | 1993-08-13 |
| JPH071537B2 true JPH071537B2 (ja) | 1995-01-11 |
Family
ID=25071141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4235148A Expired - Fee Related JPH071537B2 (ja) | 1991-09-24 | 1992-08-12 | 磁気記録ディスク、基板及びその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5436047A (ja) |
| EP (1) | EP0534624B1 (ja) |
| JP (1) | JPH071537B2 (ja) |
| DE (1) | DE69210928T2 (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2834392B2 (ja) * | 1993-06-23 | 1998-12-09 | ストアメディア インコーポレーテッド | 金属薄膜型磁気記録媒体とその製造方法 |
| US5871621A (en) * | 1994-09-27 | 1999-02-16 | Komag, Incorporated | Method of fabricating a textured magnetic storage disk |
| US6042939A (en) * | 1995-03-08 | 2000-03-28 | Takahashi; Migaku | Magnetic recording medium and method of manufacturing the same |
| US5824387A (en) * | 1996-02-05 | 1998-10-20 | Seagate Technology, Inc. | Magnetic disc with carbon protective layer having regions differing in hardness |
| US5789090A (en) * | 1996-02-05 | 1998-08-04 | Stormedia, Inc. | Metallic thin-film magnetic recording media |
| JP3669457B2 (ja) | 1996-03-19 | 2005-07-06 | 富士通株式会社 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
| JP2856165B2 (ja) * | 1996-08-12 | 1999-02-10 | 日本電気株式会社 | 磁気抵抗効果素子及びその製造方法 |
| US6165583A (en) * | 1997-09-08 | 2000-12-26 | Seagate Technology, Inc. | Surface modification of magnetic recording substrates to control subsequent laser texturing |
| JP2001236643A (ja) * | 2000-02-23 | 2001-08-31 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気記録媒体製造用スパッタリングターゲット、それを用いた磁気記録媒体の製造方法および磁気記録媒体 |
| US6689476B2 (en) * | 2001-06-27 | 2004-02-10 | Guardian Industries Corp. | Hydrophobic coating including oxide of Ni and/or Cr |
| US6753130B1 (en) * | 2001-09-18 | 2004-06-22 | Seagate Technology Llc | Resist removal from patterned recording media |
| US7189583B2 (en) | 2003-07-02 | 2007-03-13 | Micron Technology, Inc. | Method for production of MRAM elements |
| DE102006001253B4 (de) * | 2005-12-30 | 2013-02-07 | Advanced Micro Devices, Inc. | Verfahren zur Herstellung einer Metallschicht über einem strukturierten Dielektrikum mittels einer nasschemischen Abscheidung mit einer stromlosen und einer leistungsgesteuerten Phase |
| CN113088904B (zh) * | 2021-03-01 | 2022-02-11 | 西安交通大学 | 一种具有纳米多级结构的金属Cr涂层及其制备方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3110613A (en) * | 1960-09-19 | 1963-11-12 | Charles P Bean | Magnetic material |
| US3864093A (en) * | 1972-11-17 | 1975-02-04 | Union Carbide Corp | High-temperature, wear-resistant coating |
| JPS5961105A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| US4472248A (en) * | 1982-12-20 | 1984-09-18 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method of making thin-film magnetic recording medium having perpendicular anisotropy |
| JPS59119538A (ja) * | 1982-12-25 | 1984-07-10 | Tdk Corp | 磁気記録媒体 |
| JPS61199236A (ja) * | 1985-03-01 | 1986-09-03 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気記録媒体 |
| JPS61202326A (ja) * | 1985-03-05 | 1986-09-08 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気デイスク |
| JPS62129934A (ja) * | 1985-12-02 | 1987-06-12 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気記録媒体 |
| US4828905A (en) * | 1986-06-12 | 1989-05-09 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Magnetic recording medium |
| DE3888984T2 (de) * | 1987-01-07 | 1994-08-04 | Hitachi Maxell | Magnetischer Aufzeichnungsträger. |
| US4940511A (en) * | 1988-03-28 | 1990-07-10 | International Business Machines Corporation | Method for making a magnetoresistive read transducer |
| JPH02216609A (ja) * | 1989-02-16 | 1990-08-29 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気記録媒体とその製造方法 |
-
1992
- 1992-08-12 JP JP4235148A patent/JPH071537B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1992-09-03 EP EP92308018A patent/EP0534624B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-09-03 DE DE69210928T patent/DE69210928T2/de not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-10-15 US US08/138,934 patent/US5436047A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0534624A1 (en) | 1993-03-31 |
| DE69210928T2 (de) | 1996-12-12 |
| DE69210928D1 (de) | 1996-06-27 |
| JPH05205243A (ja) | 1993-08-13 |
| US5436047A (en) | 1995-07-25 |
| EP0534624B1 (en) | 1996-05-22 |
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