JPH0716657B2 - 半導体基板収納箱洗浄装置 - Google Patents
半導体基板収納箱洗浄装置Info
- Publication number
- JPH0716657B2 JPH0716657B2 JP5804687A JP5804687A JPH0716657B2 JP H0716657 B2 JPH0716657 B2 JP H0716657B2 JP 5804687 A JP5804687 A JP 5804687A JP 5804687 A JP5804687 A JP 5804687A JP H0716657 B2 JPH0716657 B2 JP H0716657B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- storage box
- substrate storage
- cleaning device
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体集積回路製造工程において半導体基板を
収納する半導体基板収納箱（以下、単にキャリアと称す
る）を自動的に洗浄する洗浄装置に関する。
収納する半導体基板収納箱（以下、単にキャリアと称す
る）を自動的に洗浄する洗浄装置に関する。
従来のこの種の洗浄装置は、第２図に示す様に、コンベ
ア５の移動により、セットされたキャリア１の内外面の
洗浄及び乾燥を洗浄乾燥処理部６で行っていた。
ア５の移動により、セットされたキャリア１の内外面の
洗浄及び乾燥を洗浄乾燥処理部６で行っていた。
このため、キャリア１の底面は、コンベア５上に置かれ
ている関係上、全く洗浄されないという欠点があった。
ている関係上、全く洗浄されないという欠点があった。
本発明の目的は、前記欠点が解決され、キャリアの底面
まで、良好に洗浄されるようにした半導体基板収納箱洗
浄装置を提供することにある。
まで、良好に洗浄されるようにした半導体基板収納箱洗
浄装置を提供することにある。
本発明の半導体基板収納箱洗浄装置は、キャリアの胴体
部を保有して、洗浄ブラシの付いた底板上をすべらせな
がら、搬送する搬送部を有することを特徴とする。
部を保有して、洗浄ブラシの付いた底板上をすべらせな
がら、搬送する搬送部を有することを特徴とする。
次に本発明について図面を参照して詳細に説明する。
第１図は本発明の一実施例の半導体基板収納箱洗浄装置
を示す模式図である。同図に示すように、移動チェーン
２により胴体部を保持されたキャリア１を各工程へ搬送
する時に、洗浄用ブラシ３を取付けた底板４の上をすべ
らせ、洗浄乾燥処理部６より落下する洗浄液により、キ
ャリア１の底面を洗浄する。
を示す模式図である。同図に示すように、移動チェーン
２により胴体部を保持されたキャリア１を各工程へ搬送
する時に、洗浄用ブラシ３を取付けた底板４の上をすべ
らせ、洗浄乾燥処理部６より落下する洗浄液により、キ
ャリア１の底面を洗浄する。
以上説明したように、本発明によれば、キャリア搬送時
にキャリア底面を底板でブラシ洗浄出来るため、キャリ
アの汚染による製品の不良を防ぐ事ができるという効果
が得られる。
にキャリア底面を底板でブラシ洗浄出来るため、キャリ
アの汚染による製品の不良を防ぐ事ができるという効果
が得られる。
第１図は本発明の一実施例のキャリア洗浄装置を示す模
式図、第２図は従来のキャリア洗浄装置を示す模式図で
ある。 尚図において、１……キャリア（半導体基板収納箱）、
２……移動チェーン、３……洗浄用ブラシ、４……底
板、５……コンベア。
式図、第２図は従来のキャリア洗浄装置を示す模式図で
ある。 尚図において、１……キャリア（半導体基板収納箱）、
２……移動チェーン、３……洗浄用ブラシ、４……底
板、５……コンベア。
Claims (1)
- 【請求項１】半導体基板収納箱を自動的に洗浄する半導
体基板収納箱洗浄装置において、前記半導体基板収納箱
の胴体部を保持して、洗浄ブラシの付いた底板上をすべ
らせながら、搬送する搬送部を持つ事を特徴とする半導
体基板収納箱洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5804687A JPH0716657B2 (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 半導体基板収納箱洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5804687A JPH0716657B2 (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 半導体基板収納箱洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63224781A JPS63224781A (ja) | 1988-09-19 |
| JPH0716657B2 true JPH0716657B2 (ja) | 1995-03-01 |
Family
ID=13072989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5804687A Expired - Lifetime JPH0716657B2 (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 半導体基板収納箱洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0716657B2 (ja) |
-
1987
- 1987-03-13 JP JP5804687A patent/JPH0716657B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63224781A (ja) | 1988-09-19 |
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