JPH03117834U - - Google Patents

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JPH03117834U
JPH03117834U JP2760390U JP2760390U JPH03117834U JP H03117834 U JPH03117834 U JP H03117834U JP 2760390 U JP2760390 U JP 2760390U JP 2760390 U JP2760390 U JP 2760390U JP H03117834 U JPH03117834 U JP H03117834U
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【図面の簡単な説明】
第１図は、この考案の一実施例を示し、ウエハ
移送装置を備えたウエハの表面処理装置の全体の
概略構成を平面図的に表した図、第２図及び第３
図はそれぞれ、この考案の別の構成例を示す同様
の図である。 １０……表面処理部、１……処理前ウエハの移
し替え機構部、１４……処理前ウエハ搬入・搬送
専用カセツト搬出機構部、１６……処理済みウエ
ハの移し替え機構部、１８……洗浄済み搬送専用
カセツト搬入・処理済みウエハ搬出機構部、２０
……処理専用カセツト返送コンベア装置、２２，
２４……処理専用カセツト移載装置、２６……搬
送専用カセツト洗浄装置、５８……搬送専用カセ
ツト搬送コンベア装置、６０，６２……搬送専用
カセツト移載装置、７０……処理専用カセツト搬
送装置、Ｃ１……搬送専用カセツト、Ｃ２……処
理専用カセツト。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 搬送専用カセツトに収容されてウエハの表面
    処理装置に搬入されてきた複数枚のウエハを処理
    専用カセツトに一旦移し替え、それらのウエハを
    処理専用カセツトに収容した状態で表面処理装置
    内を移送し、表面処理を終えた複数枚のウエハを
    処理専用カセツトから再び前記搬送専用カセツト
    に移し替えて表面処理装置から搬出する、ウエハ
    の表面処理装置のウエハ移送装置において、表面
    処理装置の一端側に、表面処理装置に搬入されて
    きた複数枚のウエハを搬送専用カセツトから処理
    専用カセツトへ移し替える処理前ウエハの移し替
    え機構部を、その他端側に、表面処理装置により
    表面処理が施された複数枚のウエハを処理専用カ
    セツトから搬送専用カセツトへ移し替える処理済
    みウエハの移し替え機構部をそれぞれ配設し、前
    記処理前ウエハ移し替え機構部から表面処理装置
    を経て前記処理済みウエハ移し替え機構部へ複数
    枚のウエハを収容した処理専用カセツトを搬送す
    る処理専用カセツト搬送手段を設けるとともに、
    前記処理済みウエハ移し替え機構部から前記処理
    前ウエハ移し替え機構部へ空の処理専用カセツト
    を搬送する処理専用カセツト返送手段を設け、さ
    らに、前記処理前ウエハ移し替え機構部から表面
    処理装置に併設された搬送専用カセツト洗浄装置
    へ空の搬送専用カセツトを搬送する第１の搬送専
    用カセツト搬送手段、並びに、前記搬送専用カセ
    ツト洗浄装置から前記処理済みウエハ移し替え機
    構部へ空の洗浄済み搬送専用カセツトを搬送する
    第２の搬送専用カセツト搬送手段を設け、前記処
    理済みウエハ移し替え機構部において表面処理済
    みウエハを前記洗浄済み搬送専用カセツトに移し
    替えるようにしたことを特徴とする、ウエハの表
    面処理装置のウエハ移送装置。 ２ 処理前ウエハ移し替え機構部から処理済みウ
    エハ移し替え機構部へ直接に空の搬送専用カセツ
    トを搬送する別の搬送専用カセツト搬送手段を設
    けた請求項１記載の、ウエハの表面処理装置のウ
    エハ移送装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN109378290A (zh) * 2018-11-29 2019-02-22 无锡市江松科技有限公司 硅片热处理装置及硅片盒流转方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN109378290A (zh) * 2018-11-29 2019-02-22 无锡市江松科技有限公司 硅片热处理装置及硅片盒流转方法
CN109378290B (zh) * 2018-11-29 2024-02-20 无锡江松科技股份有限公司 硅片热处理装置及硅片盒流转方法

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