JPS61222914A - 熱分解炭素製品の製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は各攬ルツボ、ボート、治具等に使用する熱分解
炭素製品の製造法に関する。

（従来の技術） 従来から熱分解炭素製品は所望の形状の黒鉛基材に熱分
解炭素を堆積させ、黒鉛基材と熱分解炭素との熱膨張差
を利用して熱分解炭素を黒鉛基材から剥離させて、製造
する方法が知られている。

（発明が解決しようとする問題点） しかし黒鉛基材には気孔があり、熱分解炭素が黒鉛基材
に根を張り、剥離しない部分が生じ、しばしば熱分解炭
素にキレンが生じる欠点があった。

本発明はこのような欠点を解消し、容易に剥離してキレ
ンの生じない熱分解炭素製品の製造法を提供することを
目的とするものである。

（問題点を解決するための手段） 本発明者らは基材と熱分解炭素の剥離について研究を重
ねた結果、黒鉛基材の上に直接熱分解炭素を堆積させる
のではなく、あらかじめ薄い熱分解炭素膜を被覆してお
き、この−とに熱分解炭素を堆積させることにより容易
に剥離してキレンの生じない熱分解炭素製品が得られる
ことを見い出した。

本発明は熱分解炭素を被覆した黒鉛基材に熱分解炭素を
堆積させ１次いで堆積した熱分解炭素を黒鉛基材から分
離する熱分解炭素製品の製造法に関する。

本発明において用いられる黒鉛基材は熱分解炭素の熱膨
張係数より大きいことが好ましい。黒鉛基材の熱膨張係
数ｋＡ、熱分解炭素の堆積方向と直角な方向の熱膨張係
数をＢとすれば、Ａ／Ｂは１〜１０が好ましく、３〜４
が更に好ましい。

本発明において用いられる熱分解炭素の被覆法および堆
積方法は公知の方法による。この方法にはたとえばメタ
ン、ベンゼン等の炭化水素やジクロロエチレンや四塩化
炭素等のハロゲン化炭化水素を原料とし、黒鉛基材温度
６００〜２４００℃で被覆または堆積する方法をあげる
ことができる。

また初めに被覆する膜の厚さは黒鉛基材の全体を覆って
いる程度でよく、１０〜２０μｍが好ましい。熱分解炭
素製品の厚さは特に制限はないが。

本発明は０．５　ｔｍ前後のキレンの入りやすい厚さの
製品に対して特に有効である。

（実施例） 外径３０ｍｍ高さ３０鵬、熱膨張係数が５　Ｘ　ｌ　Ｏ
−’／’Ｃ（４００°Ｃ）の人造黒鉛（日立化成工業製
ＰＤ−３００）の基材１０個をＣＶＤ炉で１８００℃に
加熱後プロパンガスを供給し外表面に２０μｍの熱分解
炭素膜全形成し、冷却後炉外へ取出した。

次にこの熱分解炭素を被覆した黒鉛基材１０個及び比較
例として熱分解炭素を被覆しない同様の黒鉛基材１０個
ｅｃＶＤ炉に入れ２２００℃に加熱しプロパンガスを供
給して熱分解炭素を外表面に０、５　ａｎの厚さに堆積
した。２０μｍの熱分解炭素を被覆した黒鉛基材を用い
た場合は冷却時に１０個ともきれいに剥離し内径３０閣
、高さ３０ｍｍ。

肉厚０．５　ｗｎのルツボが得られたが、熱分解炭素を
被覆しない黒鉛基材を用いた比較例の場合には５個が側
面に１〜２箇所円状のキレンを生じ、満足なルツボＦｉ
５個しか得られなかった。

（発明の効果） 本発明によれば熱分解炭素が黒鉛基材と容易に剥離しや
すく、従来法の欠陥であるキレンの発生が除かれるので
、工業的な熱分解炭素製品の製造法として好適である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、熱分解炭素を被覆した黒鉛基材に熱分解炭素を堆積
   させ、次いで堆積した熱分解炭素を黒鉛基材から分離す
   ることを特徴とする熱分解炭素製品の製造法。