JPH0718664B2 - 炉内の清浄化方法 - Google Patents
炉内の清浄化方法Info
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- JPH0718664B2 JPH0718664B2 JP1454490A JP1454490A JPH0718664B2 JP H0718664 B2 JPH0718664 B2 JP H0718664B2 JP 1454490 A JP1454490 A JP 1454490A JP 1454490 A JP1454490 A JP 1454490A JP H0718664 B2 JPH0718664 B2 JP H0718664B2
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Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は単独炉、トンネル炉等の焼成炉の内部で回路形
成基板等の焼成を行うに先立ち、炉内の雰囲気を清浄化
するために行われる炉内の清浄化方法に関するものであ
る。
成基板等の焼成を行うに先立ち、炉内の雰囲気を清浄化
するために行われる炉内の清浄化方法に関するものであ
る。
（従来の技術） 回路形成基板等を焼成する際には、炉内の雰囲気中に存
在する金属微粉末のようなわずかな異物が製品の表面に
付着しても不良品となるおそれがある。このために焼成
炉を異物発生のおそれのないマッフル炉としたり、ベル
トを異物発生のおそれのないセラミックス製のものとす
る等の工夫がなされているが、十分な成果をあげていな
い。
在する金属微粉末のようなわずかな異物が製品の表面に
付着しても不良品となるおそれがある。このために焼成
炉を異物発生のおそれのないマッフル炉としたり、ベル
トを異物発生のおそれのないセラミックス製のものとす
る等の工夫がなされているが、十分な成果をあげていな
い。
そこで本発明者等は先に、セラミック基板上にガラスを
コーティングした浄化プレートを予め炉内に流して炉内
の異物を吸着させる炉内の清浄化方法に開発し、特願昭
63−233343号（特開平２−82089号公報）として提案し
た。しかしこの種の浄化プレートとしては、焼成条件に
変動を与えないためにもその炉で実際に焼成する製品と
同一サイズのセラミック基板を用いることが好ましく、
各焼成炉及び各焼成品ごとに様々な浄化プレートを準備
する必要があり、その手数は極めて煩雑であった。
コーティングした浄化プレートを予め炉内に流して炉内
の異物を吸着させる炉内の清浄化方法に開発し、特願昭
63−233343号（特開平２−82089号公報）として提案し
た。しかしこの種の浄化プレートとしては、焼成条件に
変動を与えないためにもその炉で実際に焼成する製品と
同一サイズのセラミック基板を用いることが好ましく、
各焼成炉及び各焼成品ごとに様々な浄化プレートを準備
する必要があり、その手数は極めて煩雑であった。
（発明が解決しようとする課題） 本発明は上記したような従来の問題点を解決して、焼成
炉の種類や焼成品の種類が変化した場合にも容易にこれ
に対応して炉内の清浄化を行うことができる炉内の清浄
化方法を提供するために完成されたものである。
炉の種類や焼成品の種類が変化した場合にも容易にこれ
に対応して炉内の清浄化を行うことができる炉内の清浄
化方法を提供するために完成されたものである。
（課題を解決するための手段） 上記の課題は、ガラスの微粉末と樹脂バインダとを混練
したシートを基板の表面に接着し、炉内で焼成して軟化
したシートの表面に炉内の異物を付着させて除去するこ
とを特徴とする炉内の清浄化方法によって達成すること
ができる。
したシートを基板の表面に接着し、炉内で焼成して軟化
したシートの表面に炉内の異物を付着させて除去するこ
とを特徴とする炉内の清浄化方法によって達成すること
ができる。
上記のように、本発明においては従来のガラスをコーテ
ィングした浄化プレートの代わりに、ガラスの微粉末と
樹脂バインダとを混練したシートを基板の表面に点状ま
たは網目状に接着したものが用いられる。このガラスの
種類は特に限定されるものではないが、焼成温度よりも
例えば100〜200℃程度低い温度で軟化して炉内の雰囲気
中の異物を付着させることができるものである必要があ
る。樹脂バインダは全体をシート化するためのもので、
ポリビニルアルコール、カルボキシメチルセルロース、
メチルセルロースのような水溶性樹脂や、ポリビニルブ
チラール、スチレン系樹脂エマルジョン、アクリル系樹
脂エマルジョン、ブタジエン系樹脂エマルジョンのよう
な有機溶剤易溶性樹脂が使用される。このほかにジエチ
レングリコールのような可塑剤を少量添加してもよい。
ィングした浄化プレートの代わりに、ガラスの微粉末と
樹脂バインダとを混練したシートを基板の表面に点状ま
たは網目状に接着したものが用いられる。このガラスの
種類は特に限定されるものではないが、焼成温度よりも
例えば100〜200℃程度低い温度で軟化して炉内の雰囲気
中の異物を付着させることができるものである必要があ
る。樹脂バインダは全体をシート化するためのもので、
ポリビニルアルコール、カルボキシメチルセルロース、
メチルセルロースのような水溶性樹脂や、ポリビニルブ
チラール、スチレン系樹脂エマルジョン、アクリル系樹
脂エマルジョン、ブタジエン系樹脂エマルジョンのよう
な有機溶剤易溶性樹脂が使用される。このほかにジエチ
レングリコールのような可塑剤を少量添加してもよい。
シート中におけるガラスの微粉末の混合比は20〜90重量
％が適当である。これはガラスの混合比が20％未満では
十分な異物付着効果が得られず、逆に90％を越えると相
対的に樹脂バインダが不足してシート化が困難となるた
めである。またシート全体の厚さは50〜400μｍ程度が
好ましい。
％が適当である。これはガラスの混合比が20％未満では
十分な異物付着効果が得られず、逆に90％を越えると相
対的に樹脂バインダが不足してシート化が困難となるた
めである。またシート全体の厚さは50〜400μｍ程度が
好ましい。
本発明においては上記のようなシートをその焼成炉にお
いて実際に焼成しようとする基板の寸法に合わせて切断
し、その表面に接着するのであるが、このための接着剤
としてはシート中の樹脂バインダが水溶性のものである
場合には有機溶剤易溶性の接着剤を用い、シート中の樹
脂バインダが有機溶剤易溶性のものである場合には水溶
性の接着剤を用いるものとする。これは接着剤によって
シートが溶かされることを防止するためである。また本
発明においては、シートの全面を基板に接着するのでは
なく数個所を点状または網目状に接着することが好まし
い。これはシートと基板との隙間を設けることにより焼
成時に接着剤が熱分解して発生するガスをシートの下面
から逃がすためであり、全面接着した場合にはガスがシ
ートの内部において発泡して均一な溶融ガラス層を形成
しないおそれがある。また全く接着しなければシートは
ごく薄いものであるために基板上から移動してしまうこ
ととなる。
いて実際に焼成しようとする基板の寸法に合わせて切断
し、その表面に接着するのであるが、このための接着剤
としてはシート中の樹脂バインダが水溶性のものである
場合には有機溶剤易溶性の接着剤を用い、シート中の樹
脂バインダが有機溶剤易溶性のものである場合には水溶
性の接着剤を用いるものとする。これは接着剤によって
シートが溶かされることを防止するためである。また本
発明においては、シートの全面を基板に接着するのでは
なく数個所を点状または網目状に接着することが好まし
い。これはシートと基板との隙間を設けることにより焼
成時に接着剤が熱分解して発生するガスをシートの下面
から逃がすためであり、全面接着した場合にはガスがシ
ートの内部において発泡して均一な溶融ガラス層を形成
しないおそれがある。また全く接着しなければシートは
ごく薄いものであるために基板上から移動してしまうこ
ととなる。
このようにシートを基板の表面に点状または網目状に接
着したものを焼成に先立ち炉内に入れて焼成を行うと、
シート中のガラスの微粉末が溶融して基板の表面に溶融
ガラス層が形成され、炉内の雰囲気中の異物がこれに付
着して除去される。本発明においては焼成すべき基板に
合わせてシートを切断すればよいので、シートさえ準備
しておけばどのようなサイズの基板を焼成する場合にも
容易に適用できる利点がある。
着したものを焼成に先立ち炉内に入れて焼成を行うと、
シート中のガラスの微粉末が溶融して基板の表面に溶融
ガラス層が形成され、炉内の雰囲気中の異物がこれに付
着して除去される。本発明においては焼成すべき基板に
合わせてシートを切断すればよいので、シートさえ準備
しておけばどのようなサイズの基板を焼成する場合にも
容易に適用できる利点がある。
次に本発明の実施例を示す。
（実施例） SiO2B 50％、Al2O3 6％、CaO 9％、BaO 20％、K2O 3
％、B2O3 5％、MgO 5％、ZnO 1％、SrO 1％の組成を持
ち、40〜400℃における熱膨張係数が6.7×10-6/℃であ
るガラスを製造し、これを300メッシュアンダーの微粉
末とした。このガラスの微粉末65部と、水溶性樹脂バイ
ンダーであるポリビニルアルコール34部とを可塑剤であ
るジエチレングリコール１部とともに混練し、厚さ120
μｍ、坪量190g/m2のシートとした。このシートを75mm
×270mmのサイズに切断し、75mm×270mm×0.8mmｔのア
ルミナ基板10枚の表面に４点で接着した。使用した接着
剤はポリビニルアルコールを溶かすおそれのないアクリ
ル系接着剤であり、これにより表面にシートが固定され
た10枚のアルミナ基板が得られた。
％、B2O3 5％、MgO 5％、ZnO 1％、SrO 1％の組成を持
ち、40〜400℃における熱膨張係数が6.7×10-6/℃であ
るガラスを製造し、これを300メッシュアンダーの微粉
末とした。このガラスの微粉末65部と、水溶性樹脂バイ
ンダーであるポリビニルアルコール34部とを可塑剤であ
るジエチレングリコール１部とともに混練し、厚さ120
μｍ、坪量190g/m2のシートとした。このシートを75mm
×270mmのサイズに切断し、75mm×270mm×0.8mmｔのア
ルミナ基板10枚の表面に４点で接着した。使用した接着
剤はポリビニルアルコールを溶かすおそれのないアクリ
ル系接着剤であり、これにより表面にシートが固定され
た10枚のアルミナ基板が得られた。
これらのアルミナ板を焼成温度を900℃×30分に設定し
たトンネル炉の内部に流したところ、シートはアルミナ
基板上で溶融して厚さが約70μｍの溶融ガラス層とな
り、炉から出た後にその表面を観察したところ10枚の基
板の全部に異物が付着していた。異物の大きさは20〜10
0μｍであり、１枚の基板当り平均２個、最大では６個
の異物が付着していた。
たトンネル炉の内部に流したところ、シートはアルミナ
基板上で溶融して厚さが約70μｍの溶融ガラス層とな
り、炉から出た後にその表面を観察したところ10枚の基
板の全部に異物が付着していた。異物の大きさは20〜10
0μｍであり、１枚の基板当り平均２個、最大では６個
の異物が付着していた。
またこれらのアルミナ基板に続けて通常の回路形成基板
を流して焼成を行ったところ、異物付着による不良率が
従来は約30％であったのに対して、約６％と1/5にまで
不良率を減少させることができた。このように本発明に
よればその焼成炉において焼成される製品をそのまま利
用して異物を付着させることができるので、焼成炉の種
類や焼成品の種類にかかわらず、容易に炉内の清浄化を
行うことができる。
を流して焼成を行ったところ、異物付着による不良率が
従来は約30％であったのに対して、約６％と1/5にまで
不良率を減少させることができた。このように本発明に
よればその焼成炉において焼成される製品をそのまま利
用して異物を付着させることができるので、焼成炉の種
類や焼成品の種類にかかわらず、容易に炉内の清浄化を
行うことができる。
なお、実施例ではシートを接着した基板をその他の基板
の先頭に置いて炉内に流したが、必ずしもこのような方
法に限定されるものではなく、焼成炉の形式や製品に応
じて種々の応用が可能である。
の先頭に置いて炉内に流したが、必ずしもこのような方
法に限定されるものではなく、焼成炉の形式や製品に応
じて種々の応用が可能である。
（発明の効果） 本発明は以上に説明したように、焼成しようとする製品
を利用してその表面にシートを接着するだけで容易に炉
内の雰囲気中の異物を除去することができるものであ
り、確実な清浄化ができること、焼成炉の種類や焼成品
の種類に応じてその場でシートの接着を行えばよく、従
来のように多種類の浄化プレートを作成する必要のない
こと等の利点がある。
を利用してその表面にシートを接着するだけで容易に炉
内の雰囲気中の異物を除去することができるものであ
り、確実な清浄化ができること、焼成炉の種類や焼成品
の種類に応じてその場でシートの接着を行えばよく、従
来のように多種類の浄化プレートを作成する必要のない
こと等の利点がある。
よって本発明は従来の問題点を一掃した炉内の清浄化方
法として、産業の発展に寄与するところは極めて大であ
る。
法として、産業の発展に寄与するところは極めて大であ
る。
Claims (1)
- 【請求項１】ガラスの微粉末と樹脂バインダとを混練し
たシートを基板の表面に接着し、炉内で焼成して軟化し
たシートの表面に炉内の異物を付着させて除去すること
を特徴とする炉内の清浄化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1454490A JPH0718664B2 (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | 炉内の清浄化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1454490A JPH0718664B2 (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | 炉内の清浄化方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03217792A JPH03217792A (ja) | 1991-09-25 |
| JPH0718664B2 true JPH0718664B2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=11864099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1454490A Expired - Lifetime JPH0718664B2 (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | 炉内の清浄化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0718664B2 (ja) |
-
1990
- 1990-01-23 JP JP1454490A patent/JPH0718664B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03217792A (ja) | 1991-09-25 |
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