JPH0719374B2 - 垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH0719374B2 JPH0719374B2 JP1339705A JP33970589A JPH0719374B2 JP H0719374 B2 JPH0719374 B2 JP H0719374B2 JP 1339705 A JP1339705 A JP 1339705A JP 33970589 A JP33970589 A JP 33970589A JP H0719374 B2 JPH0719374 B2 JP H0719374B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- disk substrate
- layer
- magnetic
- disk medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims description 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 29
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 229910000684 Cobalt-chrome Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000010952 cobalt-chrome Substances 0.000 description 1
- 239000002355 dual-layer Substances 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/842—Coating a support with a liquid magnetic dispersion
- G11B5/845—Coating a support with a liquid magnetic dispersion in a magnetic field
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/8404—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers manufacturing base layers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、垂直磁化層と軟磁性層からなる垂直磁気記
録ディスク媒体において、良好な特性をもつ軟磁性層を
得るための方法に関するものである。
録ディスク媒体において、良好な特性をもつ軟磁性層を
得るための方法に関するものである。
従来の技術 垂直磁気記録方式の磁気ディスク媒体には、CoCr合金な
どの垂直磁化層と、アルマイト処理あるいは、NiPメッ
キを施したアルミニューム基板との間に、パーマロイな
どの軟磁性層を設けたいわゆる二層膜媒体がある。この
二層膜媒体の記録再生特性は軟磁性層の磁気特性に強く
依存することが知られている。
どの垂直磁化層と、アルマイト処理あるいは、NiPメッ
キを施したアルミニューム基板との間に、パーマロイな
どの軟磁性層を設けたいわゆる二層膜媒体がある。この
二層膜媒体の記録再生特性は軟磁性層の磁気特性に強く
依存することが知られている。
一般に、軟磁性層の磁化困難軸方向における透磁率は、
磁化容易軸方向における透磁率よりも高いので、良好な
記録再生特性を得るためには軟磁性層の磁化困難軸を磁
気ディスクのトラック方向（円周方向）に揃える必要が
ある。この為に従来、スパッタリングなどによって軟磁
性層を形成する際に、第１図に示す様に、磁石12及び13
によりディスク基板11の中心から放射状に発生する磁界
14を印加し、この磁界により軟磁性層の磁化容易軸を半
径方向に揃え、磁化困難軸をトラック方向に揃えるとい
う方法が提案されている（特開昭62−129940号公報を参
照）。
磁化容易軸方向における透磁率よりも高いので、良好な
記録再生特性を得るためには軟磁性層の磁化困難軸を磁
気ディスクのトラック方向（円周方向）に揃える必要が
ある。この為に従来、スパッタリングなどによって軟磁
性層を形成する際に、第１図に示す様に、磁石12及び13
によりディスク基板11の中心から放射状に発生する磁界
14を印加し、この磁界により軟磁性層の磁化容易軸を半
径方向に揃え、磁化困難軸をトラック方向に揃えるとい
う方法が提案されている（特開昭62−129940号公報を参
照）。
発明が解決しようとする課題 しかし、この様な磁石を使う方法をインラインスパッタ
リング装置による磁気ディスク媒体の生産に適用する場
合、磁石の部分の厚さを小さくせねばならない。そのた
めにディスク基板の面上において、通常必要とされる十
分な強度の半径方向の磁界（約十エルステッド）を得る
ことは難しい。
リング装置による磁気ディスク媒体の生産に適用する場
合、磁石の部分の厚さを小さくせねばならない。そのた
めにディスク基板の面上において、通常必要とされる十
分な強度の半径方向の磁界（約十エルステッド）を得る
ことは難しい。
また、ディスク基板外周部のリング状磁石13はパレット
（基板ホルダー）に固定しておいてよいが、ディスク基
板の両面に同時に軟磁性層を形成するためには中心部の
磁石12を基板自体にとりつけなくてはならない。しか
し、これは工程数の増加および磁石の着脱時におけるダ
ストの発生などの点から望ましくない。
（基板ホルダー）に固定しておいてよいが、ディスク基
板の両面に同時に軟磁性層を形成するためには中心部の
磁石12を基板自体にとりつけなくてはならない。しか
し、これは工程数の増加および磁石の着脱時におけるダ
ストの発生などの点から望ましくない。
さらに、軟軸性層の形成に引き続く垂直磁化層の形成時
に、磁石からの放射状のディスク基板面内方向の磁界が
垂直磁化層の垂直磁気異方性を悪化させてしまうという
問題点があった。
に、磁石からの放射状のディスク基板面内方向の磁界が
垂直磁化層の垂直磁気異方性を悪化させてしまうという
問題点があった。
本発明の目的は、上記の欠点を解決し、二層膜からなる
垂直磁気記録ディスク媒体の製造において、軟磁性層の
形成時にディスク基板の中心から放射状の十分な強度の
磁界を与え、ディスク基板自体に着脱しなくてはならな
い磁石あるいはコイルの様な部品を使う事なく、インラ
インスパッタリング装置にも適用可能な様にディスク基
板の両面に同時に半径方向が磁化容易軸である軟磁性層
を形成できる方法を提供する事である。このディスク基
板の中心から放射状の磁界は、軟磁性層の形成に引き続
く垂直磁化層の形成時においては容易に取り除く事が出
来なければならない。
垂直磁気記録ディスク媒体の製造において、軟磁性層の
形成時にディスク基板の中心から放射状の十分な強度の
磁界を与え、ディスク基板自体に着脱しなくてはならな
い磁石あるいはコイルの様な部品を使う事なく、インラ
インスパッタリング装置にも適用可能な様にディスク基
板の両面に同時に半径方向が磁化容易軸である軟磁性層
を形成できる方法を提供する事である。このディスク基
板の中心から放射状の磁界は、軟磁性層の形成に引き続
く垂直磁化層の形成時においては容易に取り除く事が出
来なければならない。
問題を解決するための手段 上記の目的を達成する為、本発明においては、第２図に
示す様に、アルミニウムなどの電気伝導性のあるディス
ク基板11の面に対して垂直方向に、一様な強度の交流磁
界、あるいはディスク基板の中心に対して同心円状に強
度が変化する垂直交流磁界21を印加し、電磁誘導によっ
てディスク基板内に同心円状の渦電流22を発生させる。
この渦電流によりディスク基板上には中心から放射状の
磁界23が発生し、この磁界により軟磁性層の磁化容易軸
は半径方向に揃い、磁化困難軸はトラック方向に揃う。
印加する交流磁界21はコイルにより発生させる事がで
き、垂直磁化層の形成時には容易に取り除く事ができ
る。
示す様に、アルミニウムなどの電気伝導性のあるディス
ク基板11の面に対して垂直方向に、一様な強度の交流磁
界、あるいはディスク基板の中心に対して同心円状に強
度が変化する垂直交流磁界21を印加し、電磁誘導によっ
てディスク基板内に同心円状の渦電流22を発生させる。
この渦電流によりディスク基板上には中心から放射状の
磁界23が発生し、この磁界により軟磁性層の磁化容易軸
は半径方向に揃い、磁化困難軸はトラック方向に揃う。
印加する交流磁界21はコイルにより発生させる事がで
き、垂直磁化層の形成時には容易に取り除く事ができ
る。
作 用 この渦電流によるディスク基板上の放射状磁界の強度
は、印加する交流磁界の振幅と振動数との積に比例す
る。したがって外部から印加する交流磁界がスパッタリ
ングのプラズマ状態に悪影響を及ぼす場合には、交流磁
界の強度（振幅）を下げ振動数を上げる事で、渦電流に
よる放射状磁界の強度を保ったままプラズマに対する悪
影響をなくす事が出来る。また、デイスク基板に対して
垂直である印加交流磁界の軟磁性層に対する影響も同じ
方法で低下させる事ができる。
は、印加する交流磁界の振幅と振動数との積に比例す
る。したがって外部から印加する交流磁界がスパッタリ
ングのプラズマ状態に悪影響を及ぼす場合には、交流磁
界の強度（振幅）を下げ振動数を上げる事で、渦電流に
よる放射状磁界の強度を保ったままプラズマに対する悪
影響をなくす事が出来る。また、デイスク基板に対して
垂直である印加交流磁界の軟磁性層に対する影響も同じ
方法で低下させる事ができる。
尚、ディスク基板がガラス、セラミックスなどの絶縁体
の場合には、軟磁性層の形成に先立ち、アルミニウムあ
るいはチタニウムなどの金属の層を適当な厚さだけ基板
上に形成して、この層内に渦電流を発生させる事により
本発明を適用できる。
の場合には、軟磁性層の形成に先立ち、アルミニウムあ
るいはチタニウムなどの金属の層を適当な厚さだけ基板
上に形成して、この層内に渦電流を発生させる事により
本発明を適用できる。
実施例 以下本発明の実施例を図を用いて説明する。
第３図は本発明をインラインスパッタリング装置に適用
した例である。複数のディスク基板11をパレット31に装
着する。交流電源34を抵抗35を介して交流磁界発生用の
コイル33に接続する。このコイル33の内側に、ディスク
基板11を装着したパレット31が通過しながらスパッタリ
ングが行なわれるように軟磁性材料のターゲット32を設
ける。
した例である。複数のディスク基板11をパレット31に装
着する。交流電源34を抵抗35を介して交流磁界発生用の
コイル33に接続する。このコイル33の内側に、ディスク
基板11を装着したパレット31が通過しながらスパッタリ
ングが行なわれるように軟磁性材料のターゲット32を設
ける。
このような構成のもとで、交流電源34を付勢すると、電
流が抵抗35及びコイル33を流れて、交流磁界21が発生す
る。この交流磁界21によりディスク基板11内に渦電流が
生じ、これにより放射状のディスク基板面内磁界が発生
する。一例として、NiPメッキを施した直径5.25インチ
のアルミニウム基板（厚さ1.9ミリ）に垂直に、50ヘル
ツ、65エルステッドの交流磁界を印加したところ、ディ
スクの最外周において十分な強度の約10エルステッドの
放射状磁界が発生した。
流が抵抗35及びコイル33を流れて、交流磁界21が発生す
る。この交流磁界21によりディスク基板11内に渦電流が
生じ、これにより放射状のディスク基板面内磁界が発生
する。一例として、NiPメッキを施した直径5.25インチ
のアルミニウム基板（厚さ1.9ミリ）に垂直に、50ヘル
ツ、65エルステッドの交流磁界を印加したところ、ディ
スクの最外周において十分な強度の約10エルステッドの
放射状磁界が発生した。
また、コイル33はスパッタリング装置の真空槽の外部に
設けても良い。尚、同心円状の渦電流を生じさせるため
には、ディスク基板11をパレット31と電気的に絶縁する
必要がある。
設けても良い。尚、同心円状の渦電流を生じさせるため
には、ディスク基板11をパレット31と電気的に絶縁する
必要がある。
第４図はディスク基板に加える交流磁界の別の発生方法
を示す。パレット31上に装着されたディスク基板11のす
ぐ外側にコイル41を設け抵抗35を介してこのコイル41を
交流電源34に接続することにより、ディスク基板11に垂
直な交流磁界を発生させる。尚、この場合隣り合うコイ
ルの巻き線の方向を逆にする事により、隣り合うコイル
からの磁界を利用する事ができ、また、ターゲットの表
面付近における、パレット上の複数個のコイル全体から
の磁界の強さを低下させる事ができる。
を示す。パレット31上に装着されたディスク基板11のす
ぐ外側にコイル41を設け抵抗35を介してこのコイル41を
交流電源34に接続することにより、ディスク基板11に垂
直な交流磁界を発生させる。尚、この場合隣り合うコイ
ルの巻き線の方向を逆にする事により、隣り合うコイル
からの磁界を利用する事ができ、また、ターゲットの表
面付近における、パレット上の複数個のコイル全体から
の磁界の強さを低下させる事ができる。
発明の効果 本発明によれば、垂直磁気記録ディスク媒体の製造にお
いて、ディスク基板の半径方向に磁化容易軸を持つ軟軸
層を得る事ができる。
いて、ディスク基板の半径方向に磁化容易軸を持つ軟軸
層を得る事ができる。
また、本発明はインラインスパッタリング装置における
ディスク媒体の両面同時製膜に適した方法であり、垂直
磁化層の形成時に悪影響を及ぼす事がない。
ディスク媒体の両面同時製膜に適した方法であり、垂直
磁化層の形成時に悪影響を及ぼす事がない。
更に、ディスク基板に磁石などの部品を取り付けなくて
すむ極めて実用性のある方法である。
すむ極めて実用性のある方法である。
第１図は従来技術による方法を説明する図、第２図は本
発明による垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法を示す
図、第３図、第４図は本発明の実施例を示す図である。 11……ディスク基板、12……中心部磁石、 13……外周部リング状磁石、 14……直流磁界、21……印加交流磁界、 22……同心円状渦電流、 23……渦電流による放射状磁界、 31……パレット（基板ホルダー）、 32……ターゲット、 33……交流磁界発生用コイル、 34……交流電源、35……抵抗、 41……交流磁界発生用コイル。
発明による垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法を示す
図、第３図、第４図は本発明の実施例を示す図である。 11……ディスク基板、12……中心部磁石、 13……外周部リング状磁石、 14……直流磁界、21……印加交流磁界、 22……同心円状渦電流、 23……渦電流による放射状磁界、 31……パレット（基板ホルダー）、 32……ターゲット、 33……交流磁界発生用コイル、 34……交流電源、35……抵抗、 41……交流磁界発生用コイル。
Claims (1)
- 【請求項１】電気伝導性のあるディスク基板の面に対し
垂直に交流磁界を印加してディスク基板内に同心円状の
渦電流を生じさせた状態で軟磁性層を形成し、この後軟
磁性層上に垂直磁化層を形成することを特徴とする垂直
磁気記録ディスク媒体の製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1339705A JPH0719374B2 (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法 |
| US07/629,191 US5147679A (en) | 1989-12-27 | 1990-12-26 | Method for providing uniaxial anisotropy in magnetic recording disks |
| US07/797,504 US5226966A (en) | 1989-12-27 | 1992-03-02 | Apparatus for providing uniaxial anisotropy in a magnetic recording disk |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1339705A JPH0719374B2 (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03201220A JPH03201220A (ja) | 1991-09-03 |
| JPH0719374B2 true JPH0719374B2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=18330027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1339705A Expired - Lifetime JPH0719374B2 (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5147679A (ja) |
| JP (1) | JPH0719374B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2041508C (en) * | 1990-12-26 | 1996-06-11 | Michael L. Mallary | Method and apparatus for providing uniaxial anisothopy in magnetic recording disk |
-
1989
- 1989-12-27 JP JP1339705A patent/JPH0719374B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-12-26 US US07/629,191 patent/US5147679A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03201220A (ja) | 1991-09-03 |
| US5147679A (en) | 1992-09-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| USRE38594E1 (en) | Magnetic sensing apparatus having a central core with wire therethrough | |
| JPH0680850B2 (ja) | 磁気抵抗変換器 | |
| US5226966A (en) | Apparatus for providing uniaxial anisotropy in a magnetic recording disk | |
| JPH0719374B2 (ja) | 垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法 | |
| JPS6052919A (ja) | 垂直磁気記録体及びその製造方法 | |
| JPS58171709A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JP4917200B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| US20070231603A1 (en) | Permanent magnetic circuit, axisymmetric magnetic field generating method, and manufacturing method for perpendicular magnetic recording medium | |
| JPH02214023A (ja) | 垂直磁気ディスクの製造方法 | |
| EP0492762B1 (en) | Method & apparatus for providing uniaxial anisotropy in magnetic recording disks | |
| JP4444797B2 (ja) | スパッタ処理による成膜工程に用いる径方向磁場発生用磁気回路 | |
| JPH10255205A (ja) | 光磁気記録用磁気ヘッド、および光磁気記録装置 | |
| CN117331002A (zh) | 磁传感器、磁传感器的制造方法及感应元件集合体 | |
| JPH06176315A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPS62212918A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH10130835A (ja) | 基板に被膜形成を行うための装置 | |
| JP2878738B2 (ja) | 記録再生兼用薄膜磁気ヘッド | |
| JP2996100B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH03201219A (ja) | 垂直磁気記録ディスク媒体の製造方法 | |
| JPH0214418A (ja) | 磁気ヘッドおよびその製造方法並びにこれを用いた磁気記録装置 | |
| JPH02223020A (ja) | 垂直磁気ディスクの製造方法 | |
| JPH05266474A (ja) | 成膜方法および装置、薄膜磁気記録媒体およびその製造方法および装置ならびに磁気記憶装置 | |
| JP2001209933A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS634425A (ja) | 磁界印加装置 | |
| JPH0317829A (ja) | 垂直磁気ディスクの製造方法 |