JPH0722933A - アナログ・スイッチ - Google Patents
アナログ・スイッチInfo
- Publication number
- JPH0722933A JPH0722933A JP15018193A JP15018193A JPH0722933A JP H0722933 A JPH0722933 A JP H0722933A JP 15018193 A JP15018193 A JP 15018193A JP 15018193 A JP15018193 A JP 15018193A JP H0722933 A JPH0722933 A JP H0722933A
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- JP
- Japan
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- gate
- source
- fet
- switch element
- switch
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 FETを用いたアナログ・スイッチの切替え
速度を簡単な構成により上げることを目的にする。 【構成】 FETで構成されアナログの信号ラインに接
続されるスイッチ素子、このスイッチ素子のゲート・ソ
ース間に接続された抵抗、前記スイッチ素子のゲート・
ソースにそのソース・ドレインが接続されたFET、こ
のFETのゲート・ソース間に接続された抵抗、及び前
記FETのゲートと負電源との間に接続されたトランジ
スタで構成したもの。
速度を簡単な構成により上げることを目的にする。 【構成】 FETで構成されアナログの信号ラインに接
続されるスイッチ素子、このスイッチ素子のゲート・ソ
ース間に接続された抵抗、前記スイッチ素子のゲート・
ソースにそのソース・ドレインが接続されたFET、こ
のFETのゲート・ソース間に接続された抵抗、及び前
記FETのゲートと負電源との間に接続されたトランジ
スタで構成したもの。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電界効果形トランジス
タをスイッチ素子として用いて構成したアナログ・スイ
ッチに関するものである。
タをスイッチ素子として用いて構成したアナログ・スイ
ッチに関するものである。
【0002】
【従来の技術】電界効果形トランジスタ(以下、FET
という)をスイッチ素子として用いたアナログ・スイッ
チは種々の回路が知られている。その代表的な回路を図
10に示す。図10において、Tr1はFETで構成した
アナログ・スイッチ素子、VINはスイッチ素子Tr1のソ
ースに加えられるアナログ入力、VOUTはTr1によりス
イッチングされたアナログ出力で、Tr1のドレインより
取り出される。Tr2はスイッチ素子Tr1を駆動するトラ
ンジスタで、そのコレクタはTr1のゲートに、エミッタ
は負電源Vdd -に接続されている。
という)をスイッチ素子として用いたアナログ・スイッ
チは種々の回路が知られている。その代表的な回路を図
10に示す。図10において、Tr1はFETで構成した
アナログ・スイッチ素子、VINはスイッチ素子Tr1のソ
ースに加えられるアナログ入力、VOUTはTr1によりス
イッチングされたアナログ出力で、Tr1のドレインより
取り出される。Tr2はスイッチ素子Tr1を駆動するトラ
ンジスタで、そのコレクタはTr1のゲートに、エミッタ
は負電源Vdd -に接続されている。
【0003】この様な構成のアナログ・スイッチにおい
ては、トランジスタTr2がオンになるとスイッチ素子T
r1のゲートは負電源Vdd -に引かれ、Tr1のゲート・ソ
ース間の電圧VGSがVGS=Vdd -−VIN<Vp(Tr1のピ
ンチ・オフ電圧)の関係となった時、スイッチ素子Tr1
はオフとなる。
ては、トランジスタTr2がオンになるとスイッチ素子T
r1のゲートは負電源Vdd -に引かれ、Tr1のゲート・ソ
ース間の電圧VGSがVGS=Vdd -−VIN<Vp(Tr1のピ
ンチ・オフ電圧)の関係となった時、スイッチ素子Tr1
はオフとなる。
【0004】駆動用トランジスタTr2がオフになると、
Tr1のゲート電圧vGは抵抗Rを通してVINとなり、ゲ
ート・ソース間の電圧VGSは零となってTr1はオンとな
る。この時、ゲート電圧vGはTr1の入力容量CgsとR
との時定数でVINへと向かう為、オフになる時に比較し
てオンになるのに時間を要する。このオンになる時間が
スイッチング速度を決定する為、図10の回路では高速
のスイッチング動作を行なうことが出来ないという問題
がある。図11に図10に示す回路のスイッチング動作
波形を示す。
Tr1のゲート電圧vGは抵抗Rを通してVINとなり、ゲ
ート・ソース間の電圧VGSは零となってTr1はオンとな
る。この時、ゲート電圧vGはTr1の入力容量CgsとR
との時定数でVINへと向かう為、オフになる時に比較し
てオンになるのに時間を要する。このオンになる時間が
スイッチング速度を決定する為、図10の回路では高速
のスイッチング動作を行なうことが出来ないという問題
がある。図11に図10に示す回路のスイッチング動作
波形を示す。
【0005】この様なFETスイッチのスイッチング速
度を速くする為に、これまでに種々の方法が試みられて
いる。しかし、バイアス電源が必要,或いはデスクリー
トで組むには部品点数が多い等、何れの方式も何らかの
欠点があり、必ずしも満足したものが得られていないの
が現状である。
度を速くする為に、これまでに種々の方法が試みられて
いる。しかし、バイアス電源が必要,或いはデスクリー
トで組むには部品点数が多い等、何れの方式も何らかの
欠点があり、必ずしも満足したものが得られていないの
が現状である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記のような
点に鑑みてなされたもので、FETを用いたアナログ・
スイッチの切替え速度を簡単な構成により上げることを
目的としたものである。
点に鑑みてなされたもので、FETを用いたアナログ・
スイッチの切替え速度を簡単な構成により上げることを
目的としたものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、FETで構成
されアナログの信号ラインに接続されるスイッチ素子、
このスイッチ素子のゲート・ソース間に接続された抵
抗、前記スイッチ素子のゲート・ソースにそのソース・
ドレインが接続されたFET、このFETのゲート・ソ
ース間に接続された抵抗、及び前記FETのゲートと負
電源との間に接続されたトランジスタで構成したもので
ある。
されアナログの信号ラインに接続されるスイッチ素子、
このスイッチ素子のゲート・ソース間に接続された抵
抗、前記スイッチ素子のゲート・ソースにそのソース・
ドレインが接続されたFET、このFETのゲート・ソ
ース間に接続された抵抗、及び前記FETのゲートと負
電源との間に接続されたトランジスタで構成したもので
ある。
【0008】
【作用】このような本発明では、FETスイッチ素子の
ゲート・ソースにそのソース・ドレインが接続された駆
動用FETの作用により、高速のスイッチング動作が行
われる。
ゲート・ソースにそのソース・ドレインが接続された駆
動用FETの作用により、高速のスイッチング動作が行
われる。
【0009】
【実施例】以下図面を用いて本発明を説明する。図1は
本発明に係わるアナログ・スイッチの一実施例を示した
回路構成図である。尚、図1において、図10と同一素
子は図10と同一符号を付し、それらの素子の再説明は
省略する。図1において、Tr3は駆動用のFETで、そ
のソース・ドレインは、スイッチ素子Tr1のゲート・ソ
ースに接続され、又Tr3のゲートはトランジスタTr2の
コレクタに接続されている。R1,R2はそれぞれ抵抗
で、R1はTr1のゲート・ソース間に接続され、R2はT
r3のゲート・ソース間に接続されている。このような構
成の本発明に係わるスイッチの動作を説明すると次の如
くなる。
本発明に係わるアナログ・スイッチの一実施例を示した
回路構成図である。尚、図1において、図10と同一素
子は図10と同一符号を付し、それらの素子の再説明は
省略する。図1において、Tr3は駆動用のFETで、そ
のソース・ドレインは、スイッチ素子Tr1のゲート・ソ
ースに接続され、又Tr3のゲートはトランジスタTr2の
コレクタに接続されている。R1,R2はそれぞれ抵抗
で、R1はTr1のゲート・ソース間に接続され、R2はT
r3のゲート・ソース間に接続されている。このような構
成の本発明に係わるスイッチの動作を説明すると次の如
くなる。
【0010】スイッチ素子Tr1がオフになるとき。 トランジスタTr2のベースに“H”レベルの電圧Vsを
加え、このトランジスタTr2をオンにする。Tr2がオン
になると、駆動用のFET・Tr3のゲート電圧vG3は負
電源Vdd -に引かれる。その為、抵抗R2を介して得られ
るトランジスタTr3のゲート・ソース間の電圧vGs3は
負方向に増大し、その電圧がTr3のピンチ・オフ電圧V
P3以下になると、Tr3はオフとなる。Tr3がオフになる
と、抵抗R1を介して得られるスイッチ素子Tr1のゲー
ト・ソース間の電圧vGs1は負方向に増大し、vGs1の値
がTr1のピンチ・オフ電圧VP1以下になると、Tr1はオ
フとなる。なお、この場合、 vGs1={R1/(R1+R2)}(Vdd -−VIN)<VP1
で、かつ vGs3={R2/(R1+R2)}(Vdd -−VIN)<VP3 となるように、抵抗R1とR2の値を選ぶ必要がある。こ
のように、FETスイッチTr1がオフになったときの本
発明に係わるアナログ・スイッチの回路状態を図2に示
す。
加え、このトランジスタTr2をオンにする。Tr2がオン
になると、駆動用のFET・Tr3のゲート電圧vG3は負
電源Vdd -に引かれる。その為、抵抗R2を介して得られ
るトランジスタTr3のゲート・ソース間の電圧vGs3は
負方向に増大し、その電圧がTr3のピンチ・オフ電圧V
P3以下になると、Tr3はオフとなる。Tr3がオフになる
と、抵抗R1を介して得られるスイッチ素子Tr1のゲー
ト・ソース間の電圧vGs1は負方向に増大し、vGs1の値
がTr1のピンチ・オフ電圧VP1以下になると、Tr1はオ
フとなる。なお、この場合、 vGs1={R1/(R1+R2)}(Vdd -−VIN)<VP1
で、かつ vGs3={R2/(R1+R2)}(Vdd -−VIN)<VP3 となるように、抵抗R1とR2の値を選ぶ必要がある。こ
のように、FETスイッチTr1がオフになったときの本
発明に係わるアナログ・スイッチの回路状態を図2に示
す。
【0011】スイッチ素子Tr1がオンになるとき。 トランジスタTr2のベースに”L”レベルの電圧Vsを
加え、このトランジスタTr2をオフにする。Tr2がオフ
になると図3に示す如く、Tr3のゲート電圧v G3,及び
スイッチ素子Tr1のゲート電圧vG1は共にアナログ入力
電圧VINの電位に向かうようになる。この場合、Tr3の
ゲート・ソース間の容量Cgs2に蓄えられていた電荷は
抵抗R2を介してR2・Cgs2の時定数で放電し、vG3≧
VP3になるとTr3がオンになる。Tr3がオンになると、
それまでスイッチ素子Tr1のゲート・ソース間の容量C
gS1に蓄えられ、抵抗R1を介してR1・CgS1の時定数で
放電していた電荷はTr3のドレイン・ソース間を介して
rON3・CgS1(rON3はTr 3のオン抵抗)の時定数で放
電する。この場合、Tr3のオン抵抗rON3の値は極めて
小さいので時定数rON3・CgS1は小さく、その結果C
gS1の電荷は急速に放電される。その放電により、Tr1
のゲート電圧vG1がvG1≧VP1となるとTr1がオンにな
る。このように、スイッチ素子Tr1がオンになっときの
本発明に係わる駆動回路を図4に示す。なお、Tr1とT
r3がオフの時に、VGS3のゲート・ソース間の電圧vGs3
がTr1のゲート・ソース間の電圧vGs1より浅くバイア
スされるように抵抗R1,R2の値を選定することによ
り、より高速でTr1をオンにすることができる。
加え、このトランジスタTr2をオフにする。Tr2がオフ
になると図3に示す如く、Tr3のゲート電圧v G3,及び
スイッチ素子Tr1のゲート電圧vG1は共にアナログ入力
電圧VINの電位に向かうようになる。この場合、Tr3の
ゲート・ソース間の容量Cgs2に蓄えられていた電荷は
抵抗R2を介してR2・Cgs2の時定数で放電し、vG3≧
VP3になるとTr3がオンになる。Tr3がオンになると、
それまでスイッチ素子Tr1のゲート・ソース間の容量C
gS1に蓄えられ、抵抗R1を介してR1・CgS1の時定数で
放電していた電荷はTr3のドレイン・ソース間を介して
rON3・CgS1(rON3はTr 3のオン抵抗)の時定数で放
電する。この場合、Tr3のオン抵抗rON3の値は極めて
小さいので時定数rON3・CgS1は小さく、その結果C
gS1の電荷は急速に放電される。その放電により、Tr1
のゲート電圧vG1がvG1≧VP1となるとTr1がオンにな
る。このように、スイッチ素子Tr1がオンになっときの
本発明に係わる駆動回路を図4に示す。なお、Tr1とT
r3がオフの時に、VGS3のゲート・ソース間の電圧vGs3
がTr1のゲート・ソース間の電圧vGs1より浅くバイア
スされるように抵抗R1,R2の値を選定することによ
り、より高速でTr1をオンにすることができる。
【0012】スイッチ素子Tr1のゲート・ソース間電圧
vGs1及び駆動用FET・Tr3のゲート・ソース間電圧
vGs3の時間による変化、及びTr1のオン/オフ状態を
図5に示す。図5において、(イ)はvGs3の変化を、
(ロ)はvGs1の変化を示すものである。(イ),
(ロ)図において、toFFはTr3のゲート電圧VG3が負
電源Vdd -に引かれ、vGs3がピンチ・オフ電圧VP3に達
するまでに要する時間と、Tr3がオフになってからスイ
ッチ素子Tr1のゲート電圧vG1がVdd -に引かれてvGs1
がピンチ・オフ電圧VP1に達する迄に要する時間の和で
あるが、この時間は極めて短い。(ロ)図のtON1は図
3の動作に対応するもので、R1・CgS1の時定数での放
電期間を示す。同じく、(ロ)図のtON2は図4の動作
に対応するもので、rON3・CgS1の時定数での放電期間
を示す。図4で説明した如く、Tr3のオン抵抗rO N3の
値は極く小さいので、これによる放電時定数は小さく、
tON2は極めて短い。これにより、本発明に係わるスイ
ッチは極めて高速でスイッチング動作を行うものとな
る。因みに、(ロ)図との比較の為に、駆動用FET・
Tr3が無い(従来例として挙げた図10)場合のスイッ
チ素子Tr1のゲート・ソース間電圧vGs 1の変化を図5
の(ハ)に示す。Tr3を設け、tON2を短くした本発明
においては図8の従来例よりはるかに高速のスイッチン
グ動作を行う事がこの図より理解できる。
vGs1及び駆動用FET・Tr3のゲート・ソース間電圧
vGs3の時間による変化、及びTr1のオン/オフ状態を
図5に示す。図5において、(イ)はvGs3の変化を、
(ロ)はvGs1の変化を示すものである。(イ),
(ロ)図において、toFFはTr3のゲート電圧VG3が負
電源Vdd -に引かれ、vGs3がピンチ・オフ電圧VP3に達
するまでに要する時間と、Tr3がオフになってからスイ
ッチ素子Tr1のゲート電圧vG1がVdd -に引かれてvGs1
がピンチ・オフ電圧VP1に達する迄に要する時間の和で
あるが、この時間は極めて短い。(ロ)図のtON1は図
3の動作に対応するもので、R1・CgS1の時定数での放
電期間を示す。同じく、(ロ)図のtON2は図4の動作
に対応するもので、rON3・CgS1の時定数での放電期間
を示す。図4で説明した如く、Tr3のオン抵抗rO N3の
値は極く小さいので、これによる放電時定数は小さく、
tON2は極めて短い。これにより、本発明に係わるスイ
ッチは極めて高速でスイッチング動作を行うものとな
る。因みに、(ロ)図との比較の為に、駆動用FET・
Tr3が無い(従来例として挙げた図10)場合のスイッ
チ素子Tr1のゲート・ソース間電圧vGs 1の変化を図5
の(ハ)に示す。Tr3を設け、tON2を短くした本発明
においては図8の従来例よりはるかに高速のスイッチン
グ動作を行う事がこの図より理解できる。
【0013】このような高速スイッチング動作を行う本
発明に係わるアナログ・スイッチは使用場所は特に限定
するものでは無いが、実施の一例として本発明をオート
・ゼロ回路に適用した場合を図6に示す。図6におい
て、AS1,AS2が本発明に係わるアナログ・スイッ
チで、AS1はアナログの信号ラインLに直列に接続さ
れ、このラインをオン/オフする為に用いられる。AS
2はラインLとコモンCOM間に接続され、AS1によ
ってラインLがオフになっているとき、このAS2を介
してラインLをコモンCOMに落とし、AS1オンのと
き、ラインLとコモンCOM間をオフにする作用を行
う。OAは非反転増幅器で、ラインLに接続され、この
増幅器よりオン/オフされたアナログ出力VOUTが取り
出される。このようなオン/オフ動作を行うオート・ゼ
ロ回路に本発明に係わるスイッチAS1,AS2を用い
た場合、両スイッチが共にオン,或いは共にオフになっ
ている期間が短い程、演算の待時間の短縮等でメリット
は大きい。スイッチAS1,AS2を構成する両スイッ
チ素子Tr1のゲート・ソース間電圧vGs1の変化を図7
に示す。図8に示した従来のスイッチでは点線のような
波形になるが、本発明では実線で示す如くなる。なお、
図6において、各トランジスタTr2はそれぞれオープン
・コレクタのコンパレータCOMP1,COMP2の内部の出力ト
ランジスタを用いていている。この場合、各トランジス
タTr2のベース電圧Vsとして、オープン・コレクタの
コンパレータに用いられるVCOMP及びVrefがV-,V+
となって用いられている。両スイッチAS1,AS2の
各駆動用FET・Tr3のドレインに直列に接続した抵抗
Rdはこれが無いと図5に示すtON1が共に短すぎ、出力
VOUTにパルス定の“ひげ”が生じるので、ダンピング
の為に用いたものである。
発明に係わるアナログ・スイッチは使用場所は特に限定
するものでは無いが、実施の一例として本発明をオート
・ゼロ回路に適用した場合を図6に示す。図6におい
て、AS1,AS2が本発明に係わるアナログ・スイッ
チで、AS1はアナログの信号ラインLに直列に接続さ
れ、このラインをオン/オフする為に用いられる。AS
2はラインLとコモンCOM間に接続され、AS1によ
ってラインLがオフになっているとき、このAS2を介
してラインLをコモンCOMに落とし、AS1オンのと
き、ラインLとコモンCOM間をオフにする作用を行
う。OAは非反転増幅器で、ラインLに接続され、この
増幅器よりオン/オフされたアナログ出力VOUTが取り
出される。このようなオン/オフ動作を行うオート・ゼ
ロ回路に本発明に係わるスイッチAS1,AS2を用い
た場合、両スイッチが共にオン,或いは共にオフになっ
ている期間が短い程、演算の待時間の短縮等でメリット
は大きい。スイッチAS1,AS2を構成する両スイッ
チ素子Tr1のゲート・ソース間電圧vGs1の変化を図7
に示す。図8に示した従来のスイッチでは点線のような
波形になるが、本発明では実線で示す如くなる。なお、
図6において、各トランジスタTr2はそれぞれオープン
・コレクタのコンパレータCOMP1,COMP2の内部の出力ト
ランジスタを用いていている。この場合、各トランジス
タTr2のベース電圧Vsとして、オープン・コレクタの
コンパレータに用いられるVCOMP及びVrefがV-,V+
となって用いられている。両スイッチAS1,AS2の
各駆動用FET・Tr3のドレインに直列に接続した抵抗
Rdはこれが無いと図5に示すtON1が共に短すぎ、出力
VOUTにパルス定の“ひげ”が生じるので、ダンピング
の為に用いたものである。
【0014】本発明に係わるスイッチをオートゼロ回路
に適用した場合の他の実施例を図8に示す。図8と図6
との相違は図6では増幅器OAとして非反転増幅器を用
いたが、図8では増幅器OAとして反転増幅器を用いた
点である。その為、アナログ・スイッチAS2に電界効
果形トランジスタTr1bを設け、このTr1bを入力抵抗R
inとアナログ・スイッチAS1のTr1との間に追加接続
されている。Tr1bは、スイッチAS1がオフのときに
入力抵抗RinのTr1側端子がVinの電圧となり、Tr1を
破壊することがないように、Tr1aと共にオン状態とな
ってコモンに短絡させる為のものである。この回路は、
スイッチAS1がオンの時には等価的に図9のような回
路となる。ここで、Cgs1はAS1のスイッチ素子Tr 1
の入力容量を示すものである。このCgs1によって、増
幅器の周波数特性が影響を受けるが、それを抑える為に
も抵抗素子Rdが必要となる。この抵抗素子Rdは又図
6の例のように“ひげ”を取る為にも必要なものであ
る。
に適用した場合の他の実施例を図8に示す。図8と図6
との相違は図6では増幅器OAとして非反転増幅器を用
いたが、図8では増幅器OAとして反転増幅器を用いた
点である。その為、アナログ・スイッチAS2に電界効
果形トランジスタTr1bを設け、このTr1bを入力抵抗R
inとアナログ・スイッチAS1のTr1との間に追加接続
されている。Tr1bは、スイッチAS1がオフのときに
入力抵抗RinのTr1側端子がVinの電圧となり、Tr1を
破壊することがないように、Tr1aと共にオン状態とな
ってコモンに短絡させる為のものである。この回路は、
スイッチAS1がオンの時には等価的に図9のような回
路となる。ここで、Cgs1はAS1のスイッチ素子Tr 1
の入力容量を示すものである。このCgs1によって、増
幅器の周波数特性が影響を受けるが、それを抑える為に
も抵抗素子Rdが必要となる。この抵抗素子Rdは又図
6の例のように“ひげ”を取る為にも必要なものであ
る。
【0015】
【発明の効果】本発明によれば、従来のアナログ・スイ
ッチに駆動用FET・Tr3を設けるという簡単な構成の
追加で、極めて高速でスイッチング動作を行うアナログ
・スイッチを得ることができる。
ッチに駆動用FET・Tr3を設けるという簡単な構成の
追加で、極めて高速でスイッチング動作を行うアナログ
・スイッチを得ることができる。
【図1】本発明の一実施例に係わるスイッチの回路構成
図である。
図である。
【図2】図1の動作を説明する為の回路図である。
【図3】図1の動作を説明する為の回路図である。
【図4】図1の動作を説明する為の回路図である。
【図5】図1の動作を説明する為の波形図である。
【図6】図1のスイッチの適用例である。
【図7】図6の動作を説明する為の波形図である。
【図8】図1のスイッチの他の適用例である。
【図9】図8の等価回路図である。
【図10】従来のスイッチの一例の回路構成図である。
【図11】図10の動作を説明する為の波形図である。
Tr1 スイッチ素子 Tr2,トランジスタ Tr3 FET R1,R2 抵抗
Claims (1)
- 【請求項1】FETで構成されアナログの信号ラインに
接続されるスイッチ素子、このスイッチ素子のゲート・
ソース間に接続された抵抗、前記スイッチ素子のゲート
・ソースにそのソース・ドレインが接続されたFET、
このFETのゲート・ソース間に接続された抵抗、及び
前記FETのゲートと負電源との間に接続されたトラン
ジスタよりなるアナログ・スイッチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15018193A JPH0722933A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | アナログ・スイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15018193A JPH0722933A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | アナログ・スイッチ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0722933A true JPH0722933A (ja) | 1995-01-24 |
Family
ID=15491282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15018193A Pending JPH0722933A (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | アナログ・スイッチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0722933A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009050844A1 (ja) * | 2007-10-19 | 2009-04-23 | Advantest Corporation | スイッチ装置および制御装置 |
-
1993
- 1993-06-22 JP JP15018193A patent/JPH0722933A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009050844A1 (ja) * | 2007-10-19 | 2009-04-23 | Advantest Corporation | スイッチ装置および制御装置 |
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