JPH0724727A - 被研磨ピースセット治具およびセット方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被研磨ピースのキャリアへのセット作業を効
率よく行える被研磨ピースセット治具およびセット方法
を提供すること。 【構成】 セット治具10の本体11の収容面21に、研磨用
キャリア93の保持孔95に対応したパターンで収容孔を形
成して予め被研磨ピースを保持しておき、カプラ42に接
続したチューブ43から減圧して各収容孔22内の各ピース
を吸着した状態で凸部24およびピン25と中央開口98およ
び係合孔99とで係合位置決めし、キャリア93に重ね合わ
せて被研磨ピースを保持孔95に一括して移し込む。 【効果】 被研磨ピースのキャリアへのセット作業が簡
単かつ確実となり、かつ当該作業を研磨装置外で行える
ため装置の稼働効率を向上できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被研磨ピースセット治
具およびセット方法に関し、水晶発振子の発振用水晶ピ
ースの研磨加工あるいは超小型磁気ヘッドのギャップ部
分の研磨加工などに利用できる。

【０００２】

【背景技術】従来より、コンピュータシステムやその他
のエレクトロニクス機器等においては、タイミング信号
やクロック信号発生用に水晶発振子が多用されている。
水晶発振子は、薄板状の水晶ピースに電圧を印加するこ
とで、その形状や厚みに応じた固有振動数の振動を発生
させるものであり、所期の振動数を得るためには水晶ピ
ースの形状や厚みが正確であることが必要となる。通
常、水晶ピースは所定形状（例えば直径６〜８mm程度で
厚み0.1mm 程度の円形薄板状）の小片に加工された上、
表面研磨によりその厚さが所定寸法（0.05〜0.2mm 程
度) となるように調整される。表面研磨としては、仕上
げ精度および作業効率を考慮して、遊星ギア式のキャリ
アを用いた研磨装置による多数ピースの両面ラッピング
研磨加工が一般的である。

【０００３】図６および図７において、研磨装置90の外
側歯車91および内側歯車92の間には五枚の保持治具 (キ
ャリア) 93が配置され、各キャリア93は薄い円形歯車状
であり、その厚みは水晶ピース94の加工目標厚みより薄
く設定される。キャリア93の外周の歯車形状は、外側歯
車91および内側歯車92に噛合されている。このため、外
側歯車91と内側歯車92とが相対回転すると、キャリア93
は図６中実線矢印のように自転しながら図６中点線矢印
のように公転し、いわゆる遊星ギア式の動作を行うこと
になる。

【０００４】キャリア93の中間には表裏を貫通する保持
孔95が多数形成され、各々には水晶ピース94が一枚づつ
保持されている。これらのキャリア93および水晶ピース
94は下側研磨面96と上側研磨面97との間に挟まれてい
る。この状態で前述した遊星ギア式の動作を行わせる
と、キャリア93に収容された水晶ピース94は下側研磨面
96および上側研磨面97との摩擦摺動によりその両面を研
磨される。この研磨厚みは、下側研磨面96と上側研磨面
97との間の間隔を調整することにより設定される。

【０００５】一方、磁気テープ記録装置の磁気ヘッド
や、フロッピディスク装置あるいは固定ディスク装置の
磁気ヘッドにおいては、ギャップ部分に微小かつ均一な
間隔を高精度に形成する必要があり、ギャップ部分で半
割り状態とされたヘッドピースを平坦な研磨面上に並
べ、ギャップにあたる面を平面研磨している。特に、近
年の高密度化された磁気ヘッドは小片化しており、この
ような超小型ヘッドピースの研磨にも前述のようなキャ
リアを用いた研磨装置による研磨加工が行われている。
なお、磁気ヘッドピースは、保持位置精度を高めるため
に、キャリアに対して熱ワックスで接着されることも多
い。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したよ
うな遊星ギア式の研磨装置90においては、キャリア93の
多数の保持孔95にそれぞれ水晶ピース94を一枚づつセッ
トする必要がある。これらのセット作業は煩雑で時間が
かかり、研磨加工にあたっての効率向上を妨げる原因に
なっていた。

【０００７】すなわち、水晶ピース94は、極めて軽量で
あることから二枚が重なった状態になり易い。また、水
晶ピース94は脆く、簡単に欠けたり割れてしまうため、
その取扱いには充分な配慮が必要となる。このため、従
来の水晶ピース94のキャリア93へのセット作業は、専ら
人手により注意深く行っており、作業効率の向上が難し
いという問題がある。また、このような人手によるセッ
ト作業では、作業員の熟練が必要であり、その確保が難
しいという問題がある。一方、機械による自動ハンドリ
ングも検討されているが、前述した重なりの問題や割れ
の問題に対応するためには機構や制御の複雑化、処理時
間の長大化が避けられず、機械化のメリットが得られな
いという問題がある。

【０００８】更に、人手もしくは機械の何れによる場合
でも、キャリア93に水晶ピース94をセットした状態では
移動が難しいため、キャリア93への水晶ピース94のセッ
ト作業は研磨装置90の下側研磨面96上で行われることに
なる。このため、水晶ピース94のセット作業の間は研磨
装置90の停止が必要となり、このような段取りに長時間
が費やされることで、研磨装置90の稼働率が低下すると
いう問題もある。

【０００９】以上のような問題は水晶ピースに限らず、
超小型磁気ヘッドピースにおいても同様である。そし
て、何れにおいても各被研磨ピースの取扱いの困難性か
ら、従来ながらのセット作業の改善が図られないままに
なっているのが実情である。本発明の目的は、被研磨ピ
ースのキャリアへのセット作業を効率よく行える被研磨
ピースセット治具およびセット方法を提供することにあ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、研磨用キャリ
アに対応したパターンで被研磨ピースを保持するセット
治具を用い、被研磨ピースセット作業を研磨装置外で行
うことにより当該装置の稼働効率を向上するとともに、
セット治具においては被研磨ピースを減圧吸着した状態
でキャリアに重ねることで被研磨ピースの確実な受渡し
を可能とするものである。具体的には、本発明のセット
治具は、本体の一面に形成された平坦な収容面と、前記
収容面に前記キャリアの保持孔に対応した配置で形成さ
れた多数の収容孔と、前記収容面に前記キャリアを沿わ
せて各収容孔が各保持孔に一致した状態で前記キャリア
と係合可能な位置決め手段と、前記本体の前記収容面以
外の表面に形成されて外部の配管に接続可能な接続口
と、前記各収容孔の底面から前記接続口まで連通された
連通路とを備えたことを特徴とする。

【００１１】また、前記位置決め手段は、前記収容面の
中央部に平面円形に形成されて前記キャリアの中央開口
に嵌入可能な凸部と、前記収容面の周辺部に少なくとも
一個形成されて前記キャリアの周辺部の位置決め孔に嵌
入可能なピンとを含むことを特徴とする。更に、前記本
体の収容面を覆うガイド部材を有し、このガイド部材は
前記位置決め手段と係合する係合部分と、前記各収容孔
に連通する多数のガイド孔とを有し、前記各ガイド孔は
収容面側開口が前記各収容孔の開口に一致され、かつ反
対側開口側に向かって連続的に拡大されていることを特
徴とする。

【００１２】一方、本発明のセット方法は、前述したセ
ット治具を用いて被研磨ピースのセットを行うものであ
り、予め被研磨ピースセット治具の収容面を上向きの状
態で各収容孔にそれぞれ被研磨ピースを収容しておき、
前記接続口に接続した配管から減圧して各収容孔内の被
研磨ピースを吸着し、吸着状態のまま収容面を下向きに
して前記キャリアの上面に接触させ、前記位置決め手段
を前記キャリアに係合させて各収容孔と各保持孔との位
置を合わせ、前記減圧を解除して各収容孔内の被研磨ピ
ースをキャリアの各保持孔内に落下させることを特徴と
する。また、予め複数の被研磨ピースセット治具にそれ
ぞれ被研磨ピースを収容し、これらのセット治具を収容
面が上向きになるように保管しておき、必要に応じて各
治具の接続口に減圧用配管を接続して減圧吸着を行うこ
とを特徴とする。

【００１３】

【作 用】このような本発明においては、予め研磨装置
外のセット治具に被研磨ピースをセットするため、研磨
装置上でのセット作業による稼働率の低下を回避するこ
とが可能となる。また、研磨装置外でのセットであるか
ら、そのセット作業時間が研磨作業に影響を及ぼす程度
が軽減され、比較的低速だが割れや重なりを考慮した高
性能な自動化機械も採用することが可能となる。この
際、ガイド部材を利用することで、セット治具への被研
磨ピースの収容を確実かつ容易に行うことができるよう
になる。

【００１４】一方、セット治具からキャリアへの被研磨
ピースの受渡しにあたっては、減圧吸着を行うことでセ
ット治具を下向きにした際の被研磨ピースの散逸を未然
に防止することができる。そして、減圧の解除に伴って
収容孔から落下させることでキャリアの保持孔にセット
することができる。この際、セット治具の収容孔はキャ
リアの保持孔に対応したパターンとされ、かつ位置決め
手段によりセット治具とキャリアの位置関係が一意に決
まるようにしたため、セット治具から落下した各被研磨
ピースは確実にキャリアの保持孔内に送り込まれること
になり、これにより簡単な操作により確実な結果が得ら
れることになる。従って、本発明においては、セット治
具の利用による研磨装置外でのセット作業に加え、セッ
ト治具からキャリアへの被研磨ピースの受渡しが簡単か
つ確実に行われることになり、以上により前記目的が達
成される。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１ないし図３には、本発明に基づいて構成さ
れた被研磨ピースセット治具10が示されている。このセ
ット治具10は、前述した既存の水晶ピース94を多数一括
して研磨用キャリア93に保持させるためのものである
(図７および図８を参照) 。このために、セット治具10
は、水晶ピース94を一括収容する本体11と、この本体11
に水晶ピース94を収容するためのガイド部材12と、水晶
ピース94を収容した本体11を支持するためのホルダ部材
13とを備えている。

【００１６】本体11は、偏平な円柱状もしくは円盤状の
ベース20と、このベース20の背面側を覆うカバー30と、
このカバー30の中央に接続されたＬ型に屈曲したパイプ
40とを備えている。

【００１７】ベース20は、表面側に平坦な収容面21を有
し、この収容面21には多数の収容孔22が配列されてい
る。収容孔22は、図３に示すように、同心円状に三重に
配列され、かつ各々は周方向に均等に配列されている。
この収容孔22の配置パターンは、キャリア93の保持孔95
の配置パターンに正確に対応したものとなっている。

【００１８】収容孔22は、それぞれ円筒状の凹部として
形成され、その直径および深さは前述の水晶ピース94の
外形よりやや大きくされ、容易にその収容および脱出が
可能である。収容孔22には、それぞれ底面中央から背面
側に貫通する貫通孔23が形成されている。

【００１９】収容面21の中央には円盤状の部材が嵌め込
まれ、この部材により収容面21より突出した位置決め用
の凸部24が形成されている。収容面22の周辺部には収容
面21より僅かに突起した段差が形成され、その周方向の
一か所には位置決め用のピン25が植設されている。凸部
24は外形がキャリア93の中央開口98の内径より僅かに大
きくされて嵌合可能であり、ピン25はキャリア93の周辺
部に形成された単一の係合孔99に挿入嵌合可能とされて
いる (図６参照) 。

【００２０】これらの凸部24およびピン25により位置決
め手段が構成され、凸部24およびピン25が共にキャリア
93に係合することで、キャリア93と収容面21とは所定の
相対位置関係で重ね合わせられる。そして、この重ね合
わせ状態においては、前述した各収容孔21が全てキャリ
ア93の対応する保持孔95に正確に対向連通されるように
なっている (図６参照) 。

【００２１】カバー30は、周辺に側壁部31を有する有底
筒状の部材であり、複数のねじ32によりベース20の背面
に所定間隔をおいて固定され、かつ側壁部31の先端縁を
ベース20の背面の周辺段差に気密状態で係合接続されて
おり、これらによりベース20の背面側に気密室33を形成
するものである。気密室32は、ベース20に形成された貫
通孔23により全ての収容孔22に連通されているととも
に、カバー30の中央に形成された貫通孔34によりパイプ
40内に連通されている。

【００２２】パイプ40は、内部にカバー30の貫通孔34に
連通されたＬ字型に屈曲した管路41を有し、ベース20の
径方向に伸びる先端部には外部の真空装置に接続された
チューブ43 (図６参照) を気密接続可能な接続口として
のカプラ42が取付けられている。カプラ42はパイプ40内
および貫通孔34を通して気密室32に連通され、さらに貫
通孔23を通して全ての収容孔22に連通されており、この
カプラ42にチューブ43を接続して減圧することにより、
収容孔22からの吸引が行われ、各々で水晶ピース94の吸
着が行えるようになっている。

【００２３】ガイド部材12は、収容面21に密接可能な円
盤状の部材であり、収容孔22に対応したガイド孔52と、
凸部24に対応した凹部54と、ピン25に対応した係合孔55
とを備えている。凹部54および係合孔55は、凸部24およ
びピン25と係合することにより、ガイド部材12を収容面
21の所定位置に位置決めするものである。

【００２４】ガイド孔52は、ガイド部材12が収容面21に
対して所定位置にある状態で対応する収容孔22に連通さ
れる。ガイド孔52の収容面21側の開口寸法および形状は
収容孔22の開口に一致されているが、反対側の開口に向
かって拡径されており、当該反対側開口から送り込まれ
た水晶ピース94が収容孔22内へ簡単かつ確実に案内され
るように構成されている。

【００２５】ホルダ部材13は、周辺に側壁部61を有する
有底筒状の部材の底面に板状の基材を取付けたものであ
り、側壁部61の一部には切欠き部62が設けられている。
そして、この切欠き部62にパイプ40を収めた状態で側壁
部61の上縁でカバー周縁の段差部に係合することで本体
11をその収容部21が上向きの状態で安定支持可能であ
る。なお、本体11にはベース20の背面側辺縁に四つのピ
ン26が植設され、側壁部61の上面には各ピン26に対応し
た係合孔63が形成されており、各々を係合させることに
より、本体11はホルダ部材13に対して常に所定の姿勢で
支持されるようになっている。

【００２６】以上のようなセット治具10は、先ずホルダ
部材13に本体11を支持させ、上向きの収容面21にガイド
部材12を装着したうえ、各ガイド孔52に水晶ピース94を
投入して各収容孔22内に収容する。このような水晶ピー
ス94の収容にあたっては、次のような投入装置70が利用
される。

【００２７】図４において、投入装置70は、基台71上面
のテーブル72上に、振動式等の既存のパーツフィーダ73
と、前述したホルダ部材13と、各々を結ぶように架け渡
されたレールに沿って移動可能かつ昇降可能な移動機構
74とを備え、この移動機構74には減圧吸引により水晶ピ
ース94を一枚づつ吸着可能かつこの吸着を解除可能な吸
着機構75が支持されている。投入装置70には既存のパー
ソナルコンピュータ等を利用した制御装置76が接続さ
れ、この制御装置76により投入装置70は次のような動作
を行う。なお、ホルダ部材13には本体11およびガイド部
材12を装着しておく。

【００２８】先ず、吸着機構75を移動機構74によりパー
ツフィーダ73の出口端の上方に移動させたうえ、これを
下降させ、当該出口端に送られた水晶ピース94の一枚を
吸着させる。次に、吸着機構75をホルダ部材13に本体11
を介して支持されたガイド部材12の所定のガイド孔52の
上方に移動させ、これを降下させた上、ガイド孔52の開
口位置で水晶ピース94の吸着を解除する。

【００２９】解放された水晶ピース94はガイド孔52内に
落下し、ガイド孔52内を案内されて本体11の収容孔22内
に収容される。同様な動作を繰り返すことにより、各収
容孔22にそれぞれ一枚づつの水晶ピース94を順次投入し
てゆく。全ての収容孔11に水晶ピース94が収容された
ら、動作が停止されるので、ホルダ部材13から本体11を
取り出し、ガイド部材12を外すことで、各収容孔22に水
晶ピース94が収容された本体11を取り出す。

【００３０】このようにして水晶ピース94が収容された
本体11は、キャリア93へのセットまでの間、次のような
保管装置80に保管しておく。図５において、保管装置80
は、開閉可能なドア81を有する箱体82を備え、この箱体
82の内部には複数の棚板83が支持されている。各棚板83
には、前縁から切込み84が形成され、本体11は切込み84
にパイプ40部分を挿入した状態でカバー部分30を棚板83
に安定支持されるようになっている。なお、ドア81はマ
グネットキャッチ等で閉状態を維持可能とすることが望
ましい。また、棚板83に本体11背面側のピン26を嵌合可
能な係合孔等を設けて支持姿勢の一定化を図るようにし
てもよい。

【００３１】前述のように投入装置70で水晶ピース94を
投入され、保管装置80で保管されていた本体11は、次の
ような手順でキャリア93への水晶ピース94のセットに用
いられる。先ず、投入装置70もしくは保管装置80におい
て本体11が収容面21を上向きにして載置された状態で、
ホルダ部材13または棚板83下方に露出するパイプ40先端
のカプラ42にチューブ43を接続し、このチューブ43から
減圧吸引し、各収容孔22内の水晶ピース94を吸着した状
態に保持する。

【００３２】次に、本体11を持ち上げ、収容面21を下向
きにして研磨装置90 (図７参照) 上のキャリア93の上面
に向き合わせる。この状態では、各水晶ピース94は本体
11に吸着されており、下向きにしても収容孔22から脱落
することはない。そして、本体11をキャリア93に近づ
け、収容面21をキャリア93上面に重ねるとともに、水平
方向にずらしながら探る等により凸部24をキャリア93の
中央開口98に嵌合させ、かつピン25をキャリア93の係合
孔99に嵌合させ、収容面21をキャリア93上面に正確に位
置決めする。

【００３３】この位置決めにより、本体11の各収容孔22
はキャリア93の保持孔95に正確に一致されるので、この
状態でカプラ42からチューブ43を外して減圧吸引を解除
すると、各収容孔22内の水晶ピース94の吸着が解除さ
れ、落下した水晶ピース94が各保持孔95内に保持され
る。なお、この際には本体11を手で軽く叩いて保持孔22
内に残留する水晶ピース94がないように注意することが
望ましい。必要に応じ、チューブ43の取外し時の反動圧
力を利用して水晶ピース94が収容孔22から押し出される
ような設定としてもよい。

【００３４】これらにより、本体11に収容されていた全
ての水晶ピース94がキャリア93に送り込まれ、全ての保
持孔95への水晶ピース94のセット作業が一挙に行えるこ
とになる。従って、以上のような本実施例によれば、水
晶ピース94のキャリア93へのセット作業を、予め外部で
水晶ピース94を収容しておいた本体11を研磨装置90に持
込み、キャリア93に重ねて投下するという簡単な作業に
より極めて短時間で行うことができる。

【００３５】このため、従来のように研磨装置90を長時
間停止させる必要がなくなり、研磨装置90の稼働効率を
高めることができる。また、人手により水晶ピース94を
摘んでキャリア93にセットするといった煩雑な作業が不
要となり、作業効率を向上できるとともに、作業員の熟
練性も緩和することができる。さらに、不慣れな人手に
よる取扱いを解消できるため、水晶ピース94の割れや欠
け等の損傷も回避することができ、製品の品質も向上で
きることになる。

【００３６】そして、本実施例のセット治具10の本体11
は、キャリア93の保持孔95に対応した収容孔22にそれぞ
れ水晶ピース94を収容しておくため、キャリア93に重ね
た状態で各保持孔95に一括して移し込むことができ、作
業を一層簡単かつ迅速化することができる。特に、本体
11の保持面21には凸部24およびピン25による位置決め手
段を設け、これらがキャリア93に嵌合することで相互の
収容孔22と保持孔95とを対応させることが確実かつ容易
に行える。これらの位置決め手段は、中央の凸部24によ
り基本的な中心位置を合わせ、さらにピン25による周方
向の向きを決定するようになっているため、位置合わせ
操作が容易かつ確実に行える。

【００３７】また、各収容孔22には連通孔23、気密室33
ないしパイプ40を通して減圧吸引が行えるようになって
いるため、各収容孔22に収容された水晶ピース94を吸着
しておけば本体11をキャリア93に重ねる際に保持面21を
下向きにしても水晶ピース94が不用意に脱落することが
ない。この減圧吸引は、チューブ43をパイプ40のカプラ
42に接続および取外しすることで断続するようにしたた
め、別途開閉弁等を設ける必要がなく、機構を簡略化す
ることができる。

【００３８】一方、本体11に装着可能なガイド部材12を
設けたため、収容孔22に水晶ピース94を収容する際の操
作を容易かつ確実にすることができる。特に、ガイド部
材12は、凹部54および係合孔55が本体11の凸部24および
ピン25と係合することでガイド孔52と収容孔22が正確に
位置合わせされるとともに、ガイド孔52をテーパ状とし
たため、投入した水晶ピース94を収容孔22内へ簡単かつ
確実に送り込むことができる。

【００３９】さらに、本実施例では、投入装置70により
本体11への水晶ピース94の収容を自動的に行うとしたた
め、作業性を一層向上することができる。特に、投入装
置70によって、人手で水晶ピース94を摘む等の作業を完
全に解消することができ、人為的な作業ミス等を軽減で
きるとともに、取扱い時の水晶ピース94の損傷防止を確
実にできる。

【００４０】また、本体11を安定支持可能なホルダ部材
13を設け、このホルダ部材13は係合孔63により本体11の
ピン26に係合することで本体11を所定の姿勢で保持する
ようになっているため、投入装置70その他の自動化装置
を用いる場合のように収容孔22の正確な位置出しが必要
な場合でも確実に対応することができる。このホルダ部
材13は、切欠き62から本体11のパイプ40が露出するよう
になっているため、ホルダ部材13に支持した状態のまま
カプラ42にチューブ43を接続することも容易に行える。

【００４１】さらに、本実施例では、保管装置80により
水晶ピース94が収容された本体11を複数保管しておける
ようにしたため、研磨装置90でキャリア93へのセット作
業が必要な都度、水晶ピース94が収容された本体11を供
給することができる。これにより、本体11への水晶ピー
ス94へのセットを、キャリア93へのセット作業および研
磨装置90での研磨作業とは完全に別の工程とすることが
でき、各々での作業配分等を自由に設定することがで
き、一層の作業効率向上を図ることができる。

【００４２】また、保管装置80においては、ドア81の付
いた箱体82とすることで防塵性や水晶ピース94の飛散等
を防止できるとともに、切込み84によりパイプ40が露出
されるため、保管装置80内に収容したままでもカプラ42
へのチューブ43の接続を容易に行うことができる。

【００４３】なお、本発明は前記実施例に限らず、以下
に示すような変形等も本発明に含まれるものである。本
体11やガイド部材12、ホルダ部材13の各部材質および細
部形状は前記実施例の態様に限定されるものではない。
これらの材質としては、合成樹脂材料あるいは軽合金等
を利用すればよく、例えば形状精度および耐摩擦性が高
く軽量なポリアセタール樹脂等が好ましい。

【００４４】本体11において、収容面21の形状および収
容孔22の配置パターンは、使用するキャリア93に対応さ
せればよく、実施にあたって適宜選択すべきものであ
る。また、収容孔22の形状は取扱う水晶ピース94の形状
寸法に応じて選択すべきものである。さらに、水晶ピー
ス94以外の被研磨ピースに適用する場合には、その形状
や寸法に応じて収容孔22の形状寸法を決定することが望
ましい。

【００４５】本体11において、各収容孔22で減圧吸着を
行うための構造は、前記実施例のようにベース20の背面
のカバー30により気密室33を形成し、この気密室33にパ
イプ40を接続する構造に限らない。例えば、ベース20の
成形時に内部に各収容孔22に連通しかつ相互に連通した
管路を一体に形成してもよく、パイプ40を省略して気密
室33の側面等に直接カプラ42を接続してもよく、これら
の構造は実施にあたって適宜選択すればよい。

【００４６】本体11において、キャリア93に対する位置
決め手段は、前記実施例のような凸部24およびピン25に
限らない。例えば、凸部24を非対称形状としてピン25を
省略してもよく、二本のピン25を直径方向両端位置に配
置して凸部24を省略してもよく、要するにキャリア93に
対して位置決めが行える構造であればよい。

【００４７】ガイド部材12において、本体11に対する位
置決め手段は、凹部54および係合孔55に限らず、本体11
に採用したキャリア93に対する位置決め手段に応じて適
宜変更すればよい。また、キャリア93に対する位置決め
手段を流用するのではなく、本体11との間に別の位置決
め手段を構成してもよい。但し、前記実施例のように流
用すれば、構造を簡略できる。

【００４８】ガイド部材12において、ガイド孔52の形状
や寸法は、少なくとも本体11側の開口は収容孔22と一致
するか僅かに小さいことが望ましい。しかし、反対側の
開口の形状や寸法は、少なくとも本体11側より拡がって
いればよく、実施にあたって任意に設定すればよい。さ
らに、投入装置70による水晶ピース94の投入位置精度が
高い場合など、ガイド部材12は適宜省略してもよい。但
し、位置精度が高くない場合あるいは手操作での投入を
行う際にはガイド部材12の利用が望ましい。

【００４９】ホルダ部材13において、本体11を支持する
構造としては、前記実施例のような筒状の側壁部61に限
らず、周方向に配置された柱状部分等でもよい。また、
本体11との位置決めは、係合孔63でピン26に係合する構
造に限らず、側壁部に設けた凸部と本体11に設けた凹部
とを嵌合させるようにしてもよい。さらに、ホルダ部材
13は、投入装置70のような水晶ピース94投入にあたって
正確な位置決めが必要でない場合には適宜省略してもよ
い。

【００５０】投入装置70において、パーツフィーダ73や
移動機構74、吸着機構75等の各部は、前述した動作を実
現できるものであれば適宜既存の機構を利用すればよ
い。例えば、吸着機構75を移動させる手段としては、既
存の多様な三次元ロボットアーム等が利用できる。

【００５１】保管装置80において、ドア81や箱体82の材
質、形状、寸法は任意であり、棚板83の段数等も適宜選
択すればよい。例えば、ドア81は透明にすれば閉じた状
態でも内部の様子が視認でき、棚板83は切欠き84により
パイプ40部分を挿通するものに限らず、ホルダ部材13を
載置して本体11を支持するようにしてもよい。

【００５２】

【発明の効果】以上に述べたように、本発明によれば、
予め被研磨ピースを収容したセット治具をキャリアに重
ねることにより、被研磨ピースのキャリアへの保持を一
括して行うことができるようになり、作業の確実化およ
び容易化が図れ、作業効率を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す分解斜視図。

【図２】前記実施例の本体を示す断面図。

【図３】前記実施例の収容面を示す平面図。

【図４】前記実施例で用いる投入装置を示す斜視図。

【図５】前記実施例で用いる保管装置を示す斜視図。

【図６】前記実施例における操作状態を示す斜視図。

【図７】既存の研磨装置を模式的に示す斜視図。

【図８】前記既存の研磨装置の研磨状態を示す断面図。

【符号の説明】

10 被研磨ピースのセット治具 11 本体 12 ガイド部材 13 ホルダ部材 21 収容面 22 収容孔 23 貫通孔 24 位置決め手段である凸部 25 位置決め手段であるピン 33 気密室 42 接続口であるカプラ 43 減圧吸引のためのチューブ 90 研磨装置 93 キャリア 94 被研磨ピースである水晶ピース 95 保持孔 98 中央開口 99 係合孔

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 研磨用キャリアに配列された多数の保持
   孔にそれぞれ被研磨ピースをセットするための被研磨ピ
   ースセット治具であって、本体の一面に形成された平坦
   な収容面と、前記収容面に前記キャリアの保持孔に対応
   した配置で形成された多数の収容孔と、前記収容面に前
   記キャリアを沿わせて各収容孔が各保持孔に一致した状
   態で前記キャリアと係合可能な位置決め手段と、前記本
   体の前記収容面以外の表面に形成されて外部の配管に接
   続可能な接続口と、前記各収容孔の底面から前記接続口
   まで連通された連通路とを備えたことを特徴とする被研
   磨ピースセット治具。
2. 【請求項２】 請求項１に記載した被研磨ピースセット
   治具において、前記位置決め手段は、前記収容面の中央
   部に平面円形に形成されて前記キャリアの中央開口に嵌
   入可能な凸部と、前記収容面の周辺部に少なくとも一個
   形成されて前記キャリアの周辺部の位置決め孔に嵌入可
   能なピンとを含むことを特徴とする被研磨ピースセット
   治具。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載した被研
   磨ピースセット治具において、前記本体の収容面を覆う
   ガイド部材を有し、このガイド部材は前記位置決め手段
   と係合する係合部分と、前記各収容孔に連通する多数の
   ガイド孔とを有し、前記各ガイド孔は収容面側開口が前
   記各収容孔の開口に一致され、かつ反対側開口側に向か
   って連続的に拡大されていることを特徴とする被研磨ピ
   ースセット治具。
4. 【請求項４】 請求項１から請求項３までの何れかに記
   載した被研磨ピースセット治具を用いて研磨用キャリア
   に被研磨ピースをセットするための被研磨ピースセット
   方法であって、予め被研磨ピースセット治具の収容面を
   上向きの状態で各収容孔にそれぞれ被研磨ピースを収容
   しておき、前記接続口に接続した配管から減圧して各収
   容孔内の被研磨ピースを吸着し、吸着状態のまま収容面
   を下向きにして前記キャリアの上面に接触させ、前記位
   置決め手段を前記キャリアに係合させて各収容孔と各保
   持孔との位置を合わせ、前記減圧を解除して各収容孔内
   の被研磨ピースをキャリアの各保持孔内に落下させるこ
   とを特徴とする被研磨ピースセット方法。
5. 【請求項５】 請求項４に記載した被研磨ピースセット
   方法において、予め複数の被研磨ピースセット治具にそ
   れぞれ被研磨ピースを収容し、これらのセット治具を収
   容面が上向きになるように保管しておき、必要に応じて
   各治具の接続口に減圧用配管を接続して減圧吸着を行う
   ことを特徴とする被研磨ピースセット方法。