JPH0726812B2 - 最小パターン幅検査装置 - Google Patents
最小パターン幅検査装置Info
- Publication number
- JPH0726812B2 JPH0726812B2 JP1238490A JP23849089A JPH0726812B2 JP H0726812 B2 JPH0726812 B2 JP H0726812B2 JP 1238490 A JP1238490 A JP 1238490A JP 23849089 A JP23849089 A JP 23849089A JP H0726812 B2 JPH0726812 B2 JP H0726812B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- circular mask
- pattern width
- circuit
- scanning
- Prior art date
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- Image Analysis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は最小パターン幅検査装置に関する。
従来の技術としては、例えば、「中島，稲垣，“レーザ
ー光によるプリント配線板用マスク自動検査システム",
精機学会自動組立専門委員会，研究例会,No.82−１講演
前刷,7〜11頁,1982年」に示されるように、限定された
方向の最小パターン幅検査装置がある。
ー光によるプリント配線板用マスク自動検査システム",
精機学会自動組立専門委員会，研究例会,No.82−１講演
前刷,7〜11頁,1982年」に示されるように、限定された
方向の最小パターン幅検査装置がある。
従来の最小パターン幅検査装置について図面を参照して
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第３図は従来の一例を示すブロック図である。第３図に
示す最小パターン幅検査装置は、検査対象パターンに対
して、0,45,95,135度の各方向のパターンエッジを検出
し、この検出されたパターンエッジ間の距離を求めてパ
ターン幅不良を検出する。
示す最小パターン幅検査装置は、検査対象パターンに対
して、0,45,95,135度の各方向のパターンエッジを検出
し、この検出されたパターンエッジ間の距離を求めてパ
ターン幅不良を検出する。
上述した従来の最小パターン幅検査装置は、あらかじめ
指定した方向のみのパラーン幅検査が可能であるが、こ
のためには、高精度のテーブルを使用して検査対象パタ
ーンの傾きを補正しなければならないという欠点があっ
た。
指定した方向のみのパラーン幅検査が可能であるが、こ
のためには、高精度のテーブルを使用して検査対象パタ
ーンの傾きを補正しなければならないという欠点があっ
た。
本発明の最小パターン幅検査装置は、 （Ａ）測定対象パターンを光電変換スキャナで走査して
読み出した入力画像を２値化画像に変換する２値化回
路、 （Ｂ）前記２値化回路より出力される２値化画像に、あ
らかじめ設定した直径の円形マスクをラスタースキャン
に同期して走査し、この走査した円形マスクの中心部が
パターン上にあるかどうかを判定する円形マスク走査回
路、 （Ｃ）前記円形マスク走査回路で検出した位置で、前記
円形マスクの向い合う２点がともにパターン上にあり、
かつ、これに直交する２点がパターン上にない場合に最
小パターン幅不良として検出するパターン幅検査回路、 とを含んで構成される。
読み出した入力画像を２値化画像に変換する２値化回
路、 （Ｂ）前記２値化回路より出力される２値化画像に、あ
らかじめ設定した直径の円形マスクをラスタースキャン
に同期して走査し、この走査した円形マスクの中心部が
パターン上にあるかどうかを判定する円形マスク走査回
路、 （Ｃ）前記円形マスク走査回路で検出した位置で、前記
円形マスクの向い合う２点がともにパターン上にあり、
かつ、これに直交する２点がパターン上にない場合に最
小パターン幅不良として検出するパターン幅検査回路、 とを含んで構成される。
次に、本発明について図面を参照して詳細に説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
第１図に示す最小パターン幅検査装置は、 （Ａ）測定対象パターンを光電変換スキャナ１で走査し
て読み出した入力画像２を２値化画像４に変換する２値
化回路３、 （Ｂ）２値化回路３より出力される２値化画像４に、あ
らかじめ設定した直径の円形マスクをラスタースキャン
に同期して走査し、この走査した円形マスク中心部がパ
ターン上にある場合に検査位置検出信号６を出力する円
形マスク走査回路５、 （Ｃ）円形マスク走査回路５で検出した位置で、前記円
形マスクの向い合う２点がともにパターン上にあり、か
つ、これに直交する２点がパターン上にない場合に最小
パターン幅不良として検出信号８を出力するパターン幅
検査回路７、 とを含んで構成される。
て読み出した入力画像２を２値化画像４に変換する２値
化回路３、 （Ｂ）２値化回路３より出力される２値化画像４に、あ
らかじめ設定した直径の円形マスクをラスタースキャン
に同期して走査し、この走査した円形マスク中心部がパ
ターン上にある場合に検査位置検出信号６を出力する円
形マスク走査回路５、 （Ｃ）円形マスク走査回路５で検出した位置で、前記円
形マスクの向い合う２点がともにパターン上にあり、か
つ、これに直交する２点がパターン上にない場合に最小
パターン幅不良として検出信号８を出力するパターン幅
検査回路７、 とを含んで構成される。
第２図は第１図に示すパターン幅検査回路の動作を説明
するための模式図である。
するための模式図である。
検査位置A12でパターン11に対して、あらかじめ設定し
た直径の円形マスク13を走査すると、円形マスク13の向
い合う２点a,bがともにパターン11上にあり、かつ、こ
れに直交する２点d,eもパターン11上にあるので、パタ
ーン幅不良として検出しない。
た直径の円形マスク13を走査すると、円形マスク13の向
い合う２点a,bがともにパターン11上にあり、かつ、こ
れに直交する２点d,eもパターン11上にあるので、パタ
ーン幅不良として検出しない。
しかしながら、検査位置B14ではパターン11に対して円
形マスク15を走査すると、円形マスク15の向い合う２点
g,hがともにパターン11上にあり、かつ、これに直交す
る２点j,kはパターン11上にないので、パターン幅不良
として検出する。
形マスク15を走査すると、円形マスク15の向い合う２点
g,hがともにパターン11上にあり、かつ、これに直交す
る２点j,kはパターン11上にないので、パターン幅不良
として検出する。
本発明の最小パターン幅検査装置は、限定された方向に
対するパターン幅を算出する代りに、あらかじめ設定し
た直径の円形マスクを走査してパターン幅検査を行なっ
ているので、検査対象パターンの傾きを補正することな
く検査ができるという効果がある。
対するパターン幅を算出する代りに、あらかじめ設定し
た直径の円形マスクを走査してパターン幅検査を行なっ
ているので、検査対象パターンの傾きを補正することな
く検査ができるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
第１図に示すパターン幅検査回路の動作を説明するため
の模式図、第３図は従来の一例を示すブロック図であ
る。 １……光電変換スキャナ、２……入力画像信号、３……
２値化回路、４……２値化画像、５……円形マスク走査
回路、６……位置検出信号、７……パターン幅検査回
路、８……欠陥信号、11……パターン、12……検査位置
Ａ、13……円形マスク、14……検査位置Ｂ、15……円形
マスク。
第１図に示すパターン幅検査回路の動作を説明するため
の模式図、第３図は従来の一例を示すブロック図であ
る。 １……光電変換スキャナ、２……入力画像信号、３……
２値化回路、４……２値化画像、５……円形マスク走査
回路、６……位置検出信号、７……パターン幅検査回
路、８……欠陥信号、11……パターン、12……検査位置
Ａ、13……円形マスク、14……検査位置Ｂ、15……円形
マスク。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 13/08 Ｃ 8315−4Ｅ
Claims (1)
- 【請求項１】（Ａ）測定対象パターンを光電変換スキャ
ナで走査して読み出した入力画像を２値化画像に変換す
る２値化回路、 （Ｂ）前記２値化回路より出力される２値化画像に、あ
らかじめ設定した直径の円形マスクをラスタースキャン
に同期して走査し、この走査した円形マスクの中心部が
パターン上にあるかどうかを判定する円形マスク走査回
路、 （Ｃ）前記円形マスク走査回路で検出した位置で、前記
円形マスクの向い合う２点がともにパターン上にあり、
かつ、これに直交する２点がパターン上にない場合に最
小パターン幅不良として検出するパターン幅検査回路、 とを含むことを特徴とする最小パターン幅検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1238490A JPH0726812B2 (ja) | 1989-09-14 | 1989-09-14 | 最小パターン幅検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1238490A JPH0726812B2 (ja) | 1989-09-14 | 1989-09-14 | 最小パターン幅検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03100402A JPH03100402A (ja) | 1991-04-25 |
| JPH0726812B2 true JPH0726812B2 (ja) | 1995-03-29 |
Family
ID=17031022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1238490A Expired - Lifetime JPH0726812B2 (ja) | 1989-09-14 | 1989-09-14 | 最小パターン幅検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0726812B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62102104A (ja) * | 1985-10-29 | 1987-05-12 | Fujitsu Ltd | 印刷パタ−ンの欠陥検出方法 |
-
1989
- 1989-09-14 JP JP1238490A patent/JPH0726812B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03100402A (ja) | 1991-04-25 |
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Legal Events
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