JPH0727508A - 光学式センサ - Google Patents
光学式センサInfo
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- JPH0727508A JPH0727508A JP17566793A JP17566793A JPH0727508A JP H0727508 A JPH0727508 A JP H0727508A JP 17566793 A JP17566793 A JP 17566793A JP 17566793 A JP17566793 A JP 17566793A JP H0727508 A JPH0727508 A JP H0727508A
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- JP
- Japan
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- turned
- interlock
- laser beam
- interlock switch
- power
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】安全性を高める。
【構成】センサ部Aとコントローラ部Bとが分離され、
コネクタ接続によりセンサ部Aとコントローラ部Bとの
間をケーブルLで接続する。インタロック回路10をコ
ントローラ部Bに設ける。インタロック回路10は、電
源が投入され、且つインタロックスイッチSWがオンさ
れる以外の場合は、レーザビームの放射を停止させる。
また、電源が投入され、且つインタロックスイッチSW
がオンされたとき、一定時間遅延してレーザ光源を駆動
する。センサ部Aとコントローラ部Bとの接続時に、イ
ンタロックスイッチSWとインタロック回路10とが接
続される。センサ部Aとコントローラ部Bとを接続した
とき、インタロックスイッチをオンしたと同様に、一定
時間遅延した後にレーザビームを放射するようにインタ
ロック回路10が働く。
コネクタ接続によりセンサ部Aとコントローラ部Bとの
間をケーブルLで接続する。インタロック回路10をコ
ントローラ部Bに設ける。インタロック回路10は、電
源が投入され、且つインタロックスイッチSWがオンさ
れる以外の場合は、レーザビームの放射を停止させる。
また、電源が投入され、且つインタロックスイッチSW
がオンされたとき、一定時間遅延してレーザ光源を駆動
する。センサ部Aとコントローラ部Bとの接続時に、イ
ンタロックスイッチSWとインタロック回路10とが接
続される。センサ部Aとコントローラ部Bとを接続した
とき、インタロックスイッチをオンしたと同様に、一定
時間遅延した後にレーザビームを放射するようにインタ
ロック回路10が働く。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光源から発する
光を用いる光学式センサに関するものである。
光を用いる光学式センサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】光学式センサとしては、光源から発する
光を投光レンズで収束して光ビームとして投光する投光
部と、被測定物体による光ビームの反射光を受光レンズ
を通して位置検出素子の受光面上に結像させる受光部
と、この受光部の位置検出信号に基づいて演算処理を行
い、いわゆる三角測量方式で被測定物体までの距離ある
いはその測定物体の変位量の検出、または物体の有無の
判別を行うものがある。
光を投光レンズで収束して光ビームとして投光する投光
部と、被測定物体による光ビームの反射光を受光レンズ
を通して位置検出素子の受光面上に結像させる受光部
と、この受光部の位置検出信号に基づいて演算処理を行
い、いわゆる三角測量方式で被測定物体までの距離ある
いはその測定物体の変位量の検出、または物体の有無の
判別を行うものがある。
【0003】この種の光学式センサの投光部に、発光ダ
イオードやレーザ光源を用いるのが一般的である。さら
に、最近ではレーザを用いるケースが増加している。そ
の理由は、レーザは発光ダイオードに比べて、指向性に
優れているため、広範囲で投光ビームを細く絞ることが
でき、またレンズとの結合効率が良いため、投光パワー
を効率良く上げることができるなどの利点があるからで
ある。
イオードやレーザ光源を用いるのが一般的である。さら
に、最近ではレーザを用いるケースが増加している。そ
の理由は、レーザは発光ダイオードに比べて、指向性に
優れているため、広範囲で投光ビームを細く絞ることが
でき、またレンズとの結合効率が良いため、投光パワー
を効率良く上げることができるなどの利点があるからで
ある。
【0004】しかしその反面、レーザ光は発光ダイオー
ドの光に比べて危険性を持っており、波長やパワーによ
っては、直視すると眼に障害を受ける可能性がある。こ
のため、レーザ光は波長やパワーによりクラス分けさ
れ、そのクラスに対して設定された安全対策に準拠する
必要がある。上記安全対策の一つとして、電源が投入さ
れ、且つインタロックスイッチがオンされる以外の場合
は、レーザビームの放射を停止させると共に、電源が投
入され、且つインタロックスイッチがオンされたとき、
一定時間遅延してレーザ光源を駆動するインタロック回
路と、電源が投入され且つインタロックスイッチがオン
されたとき点灯してレーザビームを放射することを表示
する放射表示灯とをコントローラ部に設ける方法があ
る。
ドの光に比べて危険性を持っており、波長やパワーによ
っては、直視すると眼に障害を受ける可能性がある。こ
のため、レーザ光は波長やパワーによりクラス分けさ
れ、そのクラスに対して設定された安全対策に準拠する
必要がある。上記安全対策の一つとして、電源が投入さ
れ、且つインタロックスイッチがオンされる以外の場合
は、レーザビームの放射を停止させると共に、電源が投
入され、且つインタロックスイッチがオンされたとき、
一定時間遅延してレーザ光源を駆動するインタロック回
路と、電源が投入され且つインタロックスイッチがオン
されたとき点灯してレーザビームを放射することを表示
する放射表示灯とをコントローラ部に設ける方法があ
る。
【0005】この場合には、電源投入あるいはインタロ
ックスイッチの操作だけではレーザビームが放射されな
いようにして、2重操作をユーザに強いることで、レー
ザビームを放射することを意識させて安全性を図り、ま
た電源が投入され且つインタロックスイッチがオンされ
たときに、放射表示灯を点灯させて、レーザビームを放
射することを警告し、さらに一定時間遅延してレーザ光
源を駆動してレーザビームを放射することで、レーザビ
ームの放射するまでに危険を回避する時間を与えるよう
にしてある。
ックスイッチの操作だけではレーザビームが放射されな
いようにして、2重操作をユーザに強いることで、レー
ザビームを放射することを意識させて安全性を図り、ま
た電源が投入され且つインタロックスイッチがオンされ
たときに、放射表示灯を点灯させて、レーザビームを放
射することを警告し、さらに一定時間遅延してレーザ光
源を駆動してレーザビームを放射することで、レーザビ
ームの放射するまでに危険を回避する時間を与えるよう
にしてある。
【0006】上記インタロック回路の具体回路を図3に
示す。このインタロック回路10では、インタロックス
イッチSWがオンされたことを検出するスイッチ操作検
出回路1と、検出回路1の出力を反転するインバータゲ
ートI1 と、電源が供給されていることを検出する電源
供給検出回路2と、上記インバータゲートI1 の出力と
電源供給検出回路2の出力とのアンドをとるアンドゲー
トAND1 と、アンドゲートAND1 の出力がハイレベ
ルとなったときから一定時間を計時するタイマ回路3
と、タイマ回路3の出力を反転するインバータゲートI
2 と、このインバータゲートI2 の出力とアンドゲート
AND2 の出力とのアンドをとるアンドゲートAND2
とで構成してある。
示す。このインタロック回路10では、インタロックス
イッチSWがオンされたことを検出するスイッチ操作検
出回路1と、検出回路1の出力を反転するインバータゲ
ートI1 と、電源が供給されていることを検出する電源
供給検出回路2と、上記インバータゲートI1 の出力と
電源供給検出回路2の出力とのアンドをとるアンドゲー
トAND1 と、アンドゲートAND1 の出力がハイレベ
ルとなったときから一定時間を計時するタイマ回路3
と、タイマ回路3の出力を反転するインバータゲートI
2 と、このインバータゲートI2 の出力とアンドゲート
AND2 の出力とのアンドをとるアンドゲートAND2
とで構成してある。
【0007】図3においては、インタロックスイッチS
Wとしてスイッチを用いた場合について説明したが、純
然たるスイッチ以外に端子間を短絡ピンなどで短絡する
ものなどである場合もある。スイッチ操作検出回路1
は、フォトカプラPC1 を用いて構成してあり、インタ
ロックスイッチSWをオンしたとき、フォトカプラPC
1 の発光ダイオードが発光して、フォトトランジスタが
オンする構造になっており、そのとき出力がローレベル
となる。電源供給検出回路2は、コンパレータCP1 を
用いて構成してあり、電源が投入されたときに、ダイオ
ードD1 の順方向電圧で規定される基準電圧以上に、コ
ンデンサC1 の両端電圧が上昇したとき、その出力がハ
イレベルとなる。タイマ回路3は、汎用のタイマIC3
aを用いて構成してあり、抵抗R1 とコンデンサC2 と
の時定数で決まる時間、その出力がハイレベルとなるよ
うに単安定動作する。
Wとしてスイッチを用いた場合について説明したが、純
然たるスイッチ以外に端子間を短絡ピンなどで短絡する
ものなどである場合もある。スイッチ操作検出回路1
は、フォトカプラPC1 を用いて構成してあり、インタ
ロックスイッチSWをオンしたとき、フォトカプラPC
1 の発光ダイオードが発光して、フォトトランジスタが
オンする構造になっており、そのとき出力がローレベル
となる。電源供給検出回路2は、コンパレータCP1 を
用いて構成してあり、電源が投入されたときに、ダイオ
ードD1 の順方向電圧で規定される基準電圧以上に、コ
ンデンサC1 の両端電圧が上昇したとき、その出力がハ
イレベルとなる。タイマ回路3は、汎用のタイマIC3
aを用いて構成してあり、抵抗R1 とコンデンサC2 と
の時定数で決まる時間、その出力がハイレベルとなるよ
うに単安定動作する。
【0008】例えば、電源スイッチ(図示せず)が投入
された状態において、インタロックスイッチSWが投入
された場合について説明する。図4(a)に示すように
電源スイッチが投入されると、コンパレータCP1 の出
力がハイレベルとなる。そして、図4(b)の右側(オ
フからオンした状態)に示すように、インタロックスイ
ッチSWがオンされると、スイッチ操作検出回路1の出
力がローレベルとなり、その出力はインバータゲートI
1 で反転される。この場合には、インバータゲートI1
の出力が接続されたラインがハイレベルとなるので、そ
のラインに接続された発光ダイオードからなる放射表示
灯LED1 が図4(c)に示すように点灯する。これに
より、レーザビームを放射する操作を行ったことを表示
する。なお、この場合には放射表示灯LED1 を用いた
が、音などで警告を発するブザーなどを用いる場合もあ
る。
された状態において、インタロックスイッチSWが投入
された場合について説明する。図4(a)に示すように
電源スイッチが投入されると、コンパレータCP1 の出
力がハイレベルとなる。そして、図4(b)の右側(オ
フからオンした状態)に示すように、インタロックスイ
ッチSWがオンされると、スイッチ操作検出回路1の出
力がローレベルとなり、その出力はインバータゲートI
1 で反転される。この場合には、インバータゲートI1
の出力が接続されたラインがハイレベルとなるので、そ
のラインに接続された発光ダイオードからなる放射表示
灯LED1 が図4(c)に示すように点灯する。これに
より、レーザビームを放射する操作を行ったことを表示
する。なお、この場合には放射表示灯LED1 を用いた
が、音などで警告を発するブザーなどを用いる場合もあ
る。
【0009】上述のように電源供給検出回路2の出力が
ハイレベルであり、インバータゲートI1 の出力がハイ
レベルであるときには、アンドゲートAND1 の出力が
ハイレベルとなるので、このアンドゲートAND1 の出
力でタイマIC3aにトリガがかかり、タイマIC3a
が計時動作を開始する。この計時期間(図4に示すT)
には、出力はハイレベルに保たれる。上記タイマ回路3
の出力がハイレベルであるときには、その出力がインバ
ータゲートI2 で反転され、アンドゲートAND1 の一
方の入力がローレベルとなるので、このアンドゲートA
ND2 の出力はローレベルとなる。このアンドゲートA
ND2 の出力がレーザ光源を駆動する制御信号であり、
制御信号がローレベルである期間には、レーザ光源は駆
動されない。つまり、電源が投入され、且つインタロッ
クスイッチSWがオンされた場合にも、直ぐにレーザビ
ームを放射せずに、例えば危険のあるところにいる人に
避難する時間を与える。
ハイレベルであり、インバータゲートI1 の出力がハイ
レベルであるときには、アンドゲートAND1 の出力が
ハイレベルとなるので、このアンドゲートAND1 の出
力でタイマIC3aにトリガがかかり、タイマIC3a
が計時動作を開始する。この計時期間(図4に示すT)
には、出力はハイレベルに保たれる。上記タイマ回路3
の出力がハイレベルであるときには、その出力がインバ
ータゲートI2 で反転され、アンドゲートAND1 の一
方の入力がローレベルとなるので、このアンドゲートA
ND2 の出力はローレベルとなる。このアンドゲートA
ND2 の出力がレーザ光源を駆動する制御信号であり、
制御信号がローレベルである期間には、レーザ光源は駆
動されない。つまり、電源が投入され、且つインタロッ
クスイッチSWがオンされた場合にも、直ぐにレーザビ
ームを放射せずに、例えば危険のあるところにいる人に
避難する時間を与える。
【0010】上記タイマ回路3の計時動作が終了する
と、その出力がローレベルとなり、インバータゲートI
2 の出力がハイレベルとなるので、アンドゲートAND
2 の出力もハイレベルとなり、レーザ光源が駆動され、
図4(d)に示すようにレーザビームが放射される。な
お、上述の場合には、電源スイッチの投入状態で、イン
タロックスイッチSWの投入を行った場合について説明
したが、インタロックスイッチSWの投入状態で、電源
スイッチを投入したときにも、図4の左側に示すよう
に、上述した説明と同様に動作する。
と、その出力がローレベルとなり、インバータゲートI
2 の出力がハイレベルとなるので、アンドゲートAND
2 の出力もハイレベルとなり、レーザ光源が駆動され、
図4(d)に示すようにレーザビームが放射される。な
お、上述の場合には、電源スイッチの投入状態で、イン
タロックスイッチSWの投入を行った場合について説明
したが、インタロックスイッチSWの投入状態で、電源
スイッチを投入したときにも、図4の左側に示すよう
に、上述した説明と同様に動作する。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種の光
学式センサでは、投光部と受光部とからなるセンサ部A
と、上述したインタロック回路10と、受光部の出力か
ら被測定物体までの距離を求めるなどの演算処理を行う
演算処理部とからなるコントローラ部Bとに分割されて
いるものがある。この種の光学式センサでは、センサ部
Aとコントローラ部Bとを接続するケーブルLが数mあ
るいはそれ以上である場合があり、ケーブルLは取付性
を考慮してコネクタCを用いて接続する構造としてあ
る。
学式センサでは、投光部と受光部とからなるセンサ部A
と、上述したインタロック回路10と、受光部の出力か
ら被測定物体までの距離を求めるなどの演算処理を行う
演算処理部とからなるコントローラ部Bとに分割されて
いるものがある。この種の光学式センサでは、センサ部
Aとコントローラ部Bとを接続するケーブルLが数mあ
るいはそれ以上である場合があり、ケーブルLは取付性
を考慮してコネクタCを用いて接続する構造としてあ
る。
【0012】このようにセンサ部Aとコントローラ部B
とが分離され、上記インタロック回路10がコントロー
ラ部B側に内蔵されている場合、電源が投入され、且つ
インタロックスイッチSWを操作した状態で、センサ部
Aとコントローラ部Bとの接続忘れに気付いて、センサ
部Aとコントローラ部Bとの接続を行うことが考えられ
る。また、その他にも、電源が投入され、且つインタロ
ックスイッチSWを操作した状態で、センサ部Aとコン
トローラ部Bとの接続,切離を行う恐れもある。
とが分離され、上記インタロック回路10がコントロー
ラ部B側に内蔵されている場合、電源が投入され、且つ
インタロックスイッチSWを操作した状態で、センサ部
Aとコントローラ部Bとの接続忘れに気付いて、センサ
部Aとコントローラ部Bとの接続を行うことが考えられ
る。また、その他にも、電源が投入され、且つインタロ
ックスイッチSWを操作した状態で、センサ部Aとコン
トローラ部Bとの接続,切離を行う恐れもある。
【0013】このような場合、上記安全対策機能、つま
りはレーザ放射を遅延する機能が働かず、センサ部Aと
コントローラ部Bとを接続したと同時に、レーザビーム
が放射される。このため、安全性の面で問題があった。
本発明は上述の点に鑑みて為されたものであり、その目
的とするところは、安全性をさらに高めることができる
光学式センサを提供することにある。
りはレーザ放射を遅延する機能が働かず、センサ部Aと
コントローラ部Bとを接続したと同時に、レーザビーム
が放射される。このため、安全性の面で問題があった。
本発明は上述の点に鑑みて為されたものであり、その目
的とするところは、安全性をさらに高めることができる
光学式センサを提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明では、上
記目的を達成するために、レーザビームを投受光する投
受光部を備えるセンサ部と、このセンサ部とコネクタ方
式で信号線にて接続され、センサ部の受光出力に基づい
て演算処理を行うコントローラ部とからなり、電源が投
入され、且つインタロックスイッチがオンされる以外の
場合は、レーザビームの放射を停止させると共に、電源
が投入され、且つインタロックスイッチがオンされたと
き、一定時間遅延してレーザ光源を駆動するインタロッ
ク回路をコントローラ部に設け、センサ部とコントロー
ラ部とが信号線で接続されたとき、インタロックスイッ
チとインタロック回路とが接続されるようにしてある。
記目的を達成するために、レーザビームを投受光する投
受光部を備えるセンサ部と、このセンサ部とコネクタ方
式で信号線にて接続され、センサ部の受光出力に基づい
て演算処理を行うコントローラ部とからなり、電源が投
入され、且つインタロックスイッチがオンされる以外の
場合は、レーザビームの放射を停止させると共に、電源
が投入され、且つインタロックスイッチがオンされたと
き、一定時間遅延してレーザ光源を駆動するインタロッ
ク回路をコントローラ部に設け、センサ部とコントロー
ラ部とが信号線で接続されたとき、インタロックスイッ
チとインタロック回路とが接続されるようにしてある。
【0015】なお、請求項2に示すように、上記電源が
投入され、且つインタロックスイッチがオンされたとき
に、レーザビームを放射することを報知する放射報知器
を備えることが望ましい。
投入され、且つインタロックスイッチがオンされたとき
に、レーザビームを放射することを報知する放射報知器
を備えることが望ましい。
【0016】
【作用】請求項1の発明は上述のように、センサ部とコ
ントローラ部とが信号線で接続されたとき、インタロッ
クスイッチとインタロック回路とが接続されるようにす
ることにより、センサ部とコントローラ部とが非接続の
状態では、インタロックスイッチが効かないようにし、
センサ部とコントローラ部とを接続したとき、インタロ
ックスイッチをオンしたと同様にインタロック回路が働
くようにする。即ち、センサ部とコントローラ部とを接
続したときにも、一定時間遅延した後にレーザビームを
放射するようにし、危険のあるところにいる人に避難す
る時間を与え、安全性を確保する。
ントローラ部とが信号線で接続されたとき、インタロッ
クスイッチとインタロック回路とが接続されるようにす
ることにより、センサ部とコントローラ部とが非接続の
状態では、インタロックスイッチが効かないようにし、
センサ部とコントローラ部とを接続したとき、インタロ
ックスイッチをオンしたと同様にインタロック回路が働
くようにする。即ち、センサ部とコントローラ部とを接
続したときにも、一定時間遅延した後にレーザビームを
放射するようにし、危険のあるところにいる人に避難す
る時間を与え、安全性を確保する。
【0017】なお、請求項2に示すように、上記電源が
投入され、且つインタロックスイッチがオンされたとき
に、レーザビームを放射することを報知する放射報知器
を設けておけば、センサ部とコントローラ部とを接続し
たときにも、レーザビームを放射することを報知して警
告を与えることができ、さらに安全性が高まる。
投入され、且つインタロックスイッチがオンされたとき
に、レーザビームを放射することを報知する放射報知器
を設けておけば、センサ部とコントローラ部とを接続し
たときにも、レーザビームを放射することを報知して警
告を与えることができ、さらに安全性が高まる。
【0018】
【実施例】図1に本発明を一実施例を示す。本実施例
も、詳細な説明が省略するが、レーザ光源から発するレ
ーザ光を投光レンズで収束してレーザビームとして投光
する投光部と、被測定物体によるレーザビームの反射光
を受光レンズを通して位置検出素子の受光面上に結像さ
せる受光部と、この受光部の位置検出信号に基づいて演
算処理を行い、いわゆる三角測量方式で被測定物体まで
の距離あるいはその測定物体の変位量の検出、または物
体の有無の判別を行うものである。
も、詳細な説明が省略するが、レーザ光源から発するレ
ーザ光を投光レンズで収束してレーザビームとして投光
する投光部と、被測定物体によるレーザビームの反射光
を受光レンズを通して位置検出素子の受光面上に結像さ
せる受光部と、この受光部の位置検出信号に基づいて演
算処理を行い、いわゆる三角測量方式で被測定物体まで
の距離あるいはその測定物体の変位量の検出、または物
体の有無の判別を行うものである。
【0019】図1は本実施例の要部の回路構成を示し、
本実施例では、センサ部Aとコントローラ部Bとがケー
ブルLで接続されたとき、インタロックスイッチSWと
インタロック回路10とが接続される点に特徴がある。
具体的には、ケーブルLを介してセンサ部Aを経由させ
る形で、スイッチ操作検出回路1とインタロックスイッ
チSWとの間を電路を形成し、ケーブルLを接続するた
めに、コネクタCを装着したときに、スイッチ操作検出
回路1とインタロックスイッチSWとの間が接続される
ようにしてある。ところで、図1の場合には、ケーブル
Lを介してセンサ部Aを経由させているが、必ずしも上
述のようにする必要はなく、コネクタC部分のみでスイ
ッチ操作検出回路1とインタロックスイッチSWとの間
を接続するようにしてもよい。なお、その他の構成は、
図3で説明した従来のものと全く同じ構成であるので、
同一の構成には同一の符号を付し、説明は省略する。
本実施例では、センサ部Aとコントローラ部Bとがケー
ブルLで接続されたとき、インタロックスイッチSWと
インタロック回路10とが接続される点に特徴がある。
具体的には、ケーブルLを介してセンサ部Aを経由させ
る形で、スイッチ操作検出回路1とインタロックスイッ
チSWとの間を電路を形成し、ケーブルLを接続するた
めに、コネクタCを装着したときに、スイッチ操作検出
回路1とインタロックスイッチSWとの間が接続される
ようにしてある。ところで、図1の場合には、ケーブル
Lを介してセンサ部Aを経由させているが、必ずしも上
述のようにする必要はなく、コネクタC部分のみでスイ
ッチ操作検出回路1とインタロックスイッチSWとの間
を接続するようにしてもよい。なお、その他の構成は、
図3で説明した従来のものと全く同じ構成であるので、
同一の構成には同一の符号を付し、説明は省略する。
【0020】本実施例では、図2(c)に示すようにセ
ンサ部Aとコントローラ部Bとが非接続の状態、つまり
はコネクタCを装着せずに、ケーブルLを外してある場
合には、インタロックスイッチSWがスイッチ操作検出
回路1から切り離され、インタロックスイッチSWが効
かない。そして、ケーブルLをコネクタ接続してセンサ
部Aとコントローラ部Bとを接続すると、インタロック
スイッチSWをオンしたと同様にインタロック回路1が
働く。このため、図2(e)に示すように、ケーブルL
でセンサ部Aとコントローラ部Bとを接続したときに
も、一定時間遅延した後に図2(e)に示すようにレー
ザビームが放射される。このため、危険のあるところに
いる人に避難する時間を与え、安全性を確保することが
できる。
ンサ部Aとコントローラ部Bとが非接続の状態、つまり
はコネクタCを装着せずに、ケーブルLを外してある場
合には、インタロックスイッチSWがスイッチ操作検出
回路1から切り離され、インタロックスイッチSWが効
かない。そして、ケーブルLをコネクタ接続してセンサ
部Aとコントローラ部Bとを接続すると、インタロック
スイッチSWをオンしたと同様にインタロック回路1が
働く。このため、図2(e)に示すように、ケーブルL
でセンサ部Aとコントローラ部Bとを接続したときに
も、一定時間遅延した後に図2(e)に示すようにレー
ザビームが放射される。このため、危険のあるところに
いる人に避難する時間を与え、安全性を確保することが
できる。
【0021】また、ケーブルLをコネクタCで接続して
センサ部Aとコントローラ部Bとを接続したとき、同図
(d)に示すように同時にレーザビームを放射すること
を示す放射表示灯LED1 が点灯するので、危険のある
ところにいる人などにレーザビームを放射することを知
らせることができる。なお、上記放射表示灯LED1は
センサ部A側にも設けてあることは言うまでもない。ま
た、放射表示灯LED 1 以外にブザーなどを用いてもよ
い。
センサ部Aとコントローラ部Bとを接続したとき、同図
(d)に示すように同時にレーザビームを放射すること
を示す放射表示灯LED1 が点灯するので、危険のある
ところにいる人などにレーザビームを放射することを知
らせることができる。なお、上記放射表示灯LED1は
センサ部A側にも設けてあることは言うまでもない。ま
た、放射表示灯LED 1 以外にブザーなどを用いてもよ
い。
【0022】
【発明の効果】請求項1の発明は上述のように、レーザ
ビームを投受光する投受光部を備えるセンサ部と、この
センサ部とコネクタ方式で信号線にて接続され、センサ
部の受光出力に基づいて演算処理を行うコントローラ部
とからなり、電源が投入され、且つインタロックスイッ
チがオンされる以外の場合は、レーザビームの放射を停
止させると共に、電源が投入され、且つインタロックス
イッチがオンされたとき、一定時間遅延してレーザ光源
を駆動するインタロック回路をコントローラ部に設け、
センサ部とコントローラ部とが信号線で接続されたと
き、インタロックスイッチとインタロック回路とが接続
されるようにしてあるので、センサ部とコントローラ部
とが非接続の状態、つまりは信号線が外されている場合
には、インタロックスイッチが効かず、センサ部とコン
トローラ部とを接続したとき、一定時間遅延した後にレ
ーザビームを放射することができ、このため危険のある
ところにいる人に避難する時間を与えることができ、安
全性を確保することができる。
ビームを投受光する投受光部を備えるセンサ部と、この
センサ部とコネクタ方式で信号線にて接続され、センサ
部の受光出力に基づいて演算処理を行うコントローラ部
とからなり、電源が投入され、且つインタロックスイッ
チがオンされる以外の場合は、レーザビームの放射を停
止させると共に、電源が投入され、且つインタロックス
イッチがオンされたとき、一定時間遅延してレーザ光源
を駆動するインタロック回路をコントローラ部に設け、
センサ部とコントローラ部とが信号線で接続されたと
き、インタロックスイッチとインタロック回路とが接続
されるようにしてあるので、センサ部とコントローラ部
とが非接続の状態、つまりは信号線が外されている場合
には、インタロックスイッチが効かず、センサ部とコン
トローラ部とを接続したとき、一定時間遅延した後にレ
ーザビームを放射することができ、このため危険のある
ところにいる人に避難する時間を与えることができ、安
全性を確保することができる。
【0023】なお、請求項2に示すように、上記電源が
投入され、且つインタロックスイッチがオンされたとき
に、レーザビームを放射することを報知する放射報知器
を設けておけば、センサ部とコントローラ部とを接続し
たときにも、レーザビームを放射することを報知して警
告を与えることができ、さらに安全性が高まる。
投入され、且つインタロックスイッチがオンされたとき
に、レーザビームを放射することを報知する放射報知器
を設けておけば、センサ部とコントローラ部とを接続し
たときにも、レーザビームを放射することを報知して警
告を与えることができ、さらに安全性が高まる。
【図1】本発明の一実施例の要部の回路図である。
【図2】同上の動作説明図である。
【図3】従来例の要部の回路図である。
【図4】同上の動作説明図である。
A センサ部 B コントローラ部 C コネクタ L ケーブル SW インタロックスイッチ LED1 放射表示灯 10 インタロック回路
Claims (2)
- 【請求項1】 レーザビームを投受光する投受光部を備
えるセンサ部と、このセンサ部とコネクタ方式で信号線
にて接続され、センサ部の受光出力に基づいて演算処理
を行うコントローラ部とからなり、電源が投入され、且
つインタロックスイッチがオンされる以外の場合は、レ
ーザビームの放射を停止させると共に、電源が投入さ
れ、且つインタロックスイッチがオンされたとき、一定
時間遅延してレーザ光源を駆動するインタロック回路を
コントローラ部に設け、センサ部とコントローラ部とが
信号線で接続されたとき、インタロックスイッチとイン
タロック回路とが接続されることを特徴とする光学式セ
ンサ。 - 【請求項2】 上記電源が投入され、且つインタロック
スイッチがオンされたときに、レーザビームを放射する
ことを報知する放射報知器を備えて成ることを特徴とす
る請求項1記載の光学式センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17566793A JPH0727508A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 光学式センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17566793A JPH0727508A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 光学式センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0727508A true JPH0727508A (ja) | 1995-01-27 |
Family
ID=16000124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17566793A Withdrawn JPH0727508A (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 光学式センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0727508A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022025943A1 (en) * | 2020-07-27 | 2022-02-03 | Applied Materials, Inc. | Digital lithography laser interlock for human safety |
-
1993
- 1993-07-15 JP JP17566793A patent/JPH0727508A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022025943A1 (en) * | 2020-07-27 | 2022-02-03 | Applied Materials, Inc. | Digital lithography laser interlock for human safety |
| TWI901723B (zh) * | 2020-07-27 | 2025-10-21 | 美商應用材料股份有限公司 | 用於人身安全的數位微影系統及雷射互鎖 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001003 |