JPH0727520A - プリント基板上の物体の高さ検査方法及び高さ検査装置 - Google Patents
プリント基板上の物体の高さ検査方法及び高さ検査装置Info
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- JPH0727520A JPH0727520A JP5174139A JP17413993A JPH0727520A JP H0727520 A JPH0727520 A JP H0727520A JP 5174139 A JP5174139 A JP 5174139A JP 17413993 A JP17413993 A JP 17413993A JP H0727520 A JPH0727520 A JP H0727520A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、主にプリント基板に印刷されるク
リーム半田等の高さを検査する方法に関し、例えばプリ
ント基板にスクリーン印刷されたクリーム半田の高さを
精度良く測定し、計測時間を短縮できる高さ検査方法の
提供を目的とする。 【構成】 プリント基板３上の検査対象の物体１０に連
続的に色変化した光７，８を照射し、前記物体１０の高
さＨに応じた色別の割合で反射した反射光７ａ，８ａを
光センサーで受光し、前記反射光の色別の割合を検出し
て前記検査対象の物体１０の高さＨを求めて所定の基準
値と比較することである。
リーム半田等の高さを検査する方法に関し、例えばプリ
ント基板にスクリーン印刷されたクリーム半田の高さを
精度良く測定し、計測時間を短縮できる高さ検査方法の
提供を目的とする。 【構成】 プリント基板３上の検査対象の物体１０に連
続的に色変化した光７，８を照射し、前記物体１０の高
さＨに応じた色別の割合で反射した反射光７ａ，８ａを
光センサーで受光し、前記反射光の色別の割合を検出し
て前記検査対象の物体１０の高さＨを求めて所定の基準
値と比較することである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、主にプリント基板に印
刷されるクリーム半田、プリント基板上のチップ部品等
の部品の有無と高さ（厚み）、ハンダ付け後のハンダ高
さを検査する方法及びその検査装置に関する。
刷されるクリーム半田、プリント基板上のチップ部品等
の部品の有無と高さ（厚み）、ハンダ付け後のハンダ高
さを検査する方法及びその検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、プリント基板にチップ部品（表面
実装部品、ＳＭＤ）を表面実装するには、プリント基板
面に予めクリーム半田をスクリーン印刷により貼着し、
所定の場所の前記クリーム半田上にチップ部品をマウン
トして、プリント基板の全体若しくは局部的に加熱して
前記チップ部品を半田付けし表面実装していた。
実装部品、ＳＭＤ）を表面実装するには、プリント基板
面に予めクリーム半田をスクリーン印刷により貼着し、
所定の場所の前記クリーム半田上にチップ部品をマウン
トして、プリント基板の全体若しくは局部的に加熱して
前記チップ部品を半田付けし表面実装していた。
【０００３】このようなチップ部品の表面実装において
は、プリント基板上にスクリーン印刷されるクリーム半
田によって、その部分の半田付けに使用する半田の量を
高精度にコントロールすることができるものである。
は、プリント基板上にスクリーン印刷されるクリーム半
田によって、その部分の半田付けに使用する半田の量を
高精度にコントロールすることができるものである。
【０００４】よって、プリント基板にスクリーン印刷さ
れたクリーム半田の厚さを検査して、チップ部品を装着
後の半田ブリッジやソルダ・ボール若しくはツームスト
ーン又はマンハッタン現象（チップ部品が斜めになった
もの、垂直になったもの等の現象）が発生しないように
プリント基板の製品管理を行っている。
れたクリーム半田の厚さを検査して、チップ部品を装着
後の半田ブリッジやソルダ・ボール若しくはツームスト
ーン又はマンハッタン現象（チップ部品が斜めになった
もの、垂直になったもの等の現象）が発生しないように
プリント基板の製品管理を行っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
プリント基板にスクリーン印刷されたクリーム半田の厚
み（高さとも言う）を正確に、且つ、早く検査するため
の検査装置が要望されたいたにもかかわらず、従来知ら
れた検査装置では、計測時間が長くプリント基板の製造
ラインに組み入れることが出来ず、また、精度的にも劣
っていると言う問題点があった。
プリント基板にスクリーン印刷されたクリーム半田の厚
み（高さとも言う）を正確に、且つ、早く検査するため
の検査装置が要望されたいたにもかかわらず、従来知ら
れた検査装置では、計測時間が長くプリント基板の製造
ラインに組み入れることが出来ず、また、精度的にも劣
っていると言う問題点があった。
【０００６】本発明は、上記の課題に鑑みてなされたも
ので、プリント基板にスクリーン印刷されたクリーム半
田の高さを精度良く測定し、計測時間を短縮できる高さ
検査装置を提供することを目的とする。
ので、プリント基板にスクリーン印刷されたクリーム半
田の高さを精度良く測定し、計測時間を短縮できる高さ
検査装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の上記課題を解決
し上記目的を達成するための要旨は、プリント基板上の
検査対象の物体に連続的に色変化した光を照射し、前記
物体の高さに応じた色別の割合で反射した反射光を光セ
ンサーで受光し、前記反射光の色別の割合を検出して前
記検査対象の物体の高さを求めて所定の基準値と比較す
ることである。
し上記目的を達成するための要旨は、プリント基板上の
検査対象の物体に連続的に色変化した光を照射し、前記
物体の高さに応じた色別の割合で反射した反射光を光セ
ンサーで受光し、前記反射光の色別の割合を検出して前
記検査対象の物体の高さを求めて所定の基準値と比較す
ることである。
【０００８】本発明に係る高さ検査装置は、プリント基
板上の物体にスリットを介して光を照射する照射手段
と、前記物体で反射した反射光を光センサーで受光する
受光手段と、前記光センサーで受けた光の色別の割合を
出力をする演算手段と、前記演算手段からの出力を入力
して前記プリント基板上の物体の高さを算出する高さ算
出手段と、を少なくとも有したこととしたものであり、
前記照射手段は、連続的に色変化した光をプリント基板
上の所定の範囲に照射するものである。
板上の物体にスリットを介して光を照射する照射手段
と、前記物体で反射した反射光を光センサーで受光する
受光手段と、前記光センサーで受けた光の色別の割合を
出力をする演算手段と、前記演算手段からの出力を入力
して前記プリント基板上の物体の高さを算出する高さ算
出手段と、を少なくとも有したこととしたものであり、
前記照射手段は、連続的に色変化した光をプリント基板
上の所定の範囲に照射するものである。
【０００９】
【作用】本発明に係るプリント基板上の物体の高さ検査
方法と高さ検査装置によれば、光センサーで受光した反
射光における色別の割合を演算手段で算出し、その結果
により所定の基準高さを乗算して前記物体の高さが求め
られる。
方法と高さ検査装置によれば、光センサーで受光した反
射光における色別の割合を演算手段で算出し、その結果
により所定の基準高さを乗算して前記物体の高さが求め
られる。
【００１０】このように検査対象物に連続的にある色か
ら別の色に変化する光を当てることによって、その反射
光が前記物体の高さに応じて色別の割合が変わることに
着目し、前記反射光を光センサーで受光した後に演算手
段で前記色別の割合を求めるようにしたのである。
ら別の色に変化する光を当てることによって、その反射
光が前記物体の高さに応じて色別の割合が変わることに
着目し、前記反射光を光センサーで受光した後に演算手
段で前記色別の割合を求めるようにしたのである。
【００１１】そして、照射手段及び受光手段、または、
プリント基板を互いに相対的に移動させることで、プリ
ント基板上の全範囲または一部の検査対象の物体の高さ
を求め、得られた物体の高さのデータと所定の検査基準
データとを比較して、検査したプリント基板の良否を判
定するものである。
プリント基板を互いに相対的に移動させることで、プリ
ント基板上の全範囲または一部の検査対象の物体の高さ
を求め、得られた物体の高さのデータと所定の検査基準
データとを比較して、検査したプリント基板の良否を判
定するものである。
【００１２】
【実施例】次に、本発明に係る実施例について図面を参
照して詳細に説明する。図１乃至図３は、本発明に係る
高さ検査装置の主要部の概略構成を示す斜視図である。
図において、符号１は照射手段、２は受光手段、３はプ
リント基板を示している。
照して詳細に説明する。図１乃至図３は、本発明に係る
高さ検査装置の主要部の概略構成を示す斜視図である。
図において、符号１は照射手段、２は受光手段、３はプ
リント基板を示している。
【００１３】前記照射手段１は、光源１ａを備えてスリ
ット１ｂを介してスリット光１ｃをプリント基板３に照
射するものである。そして、前記スリット光１ｃがプリ
ント基板３に当たる位置に、前記受光手段２における撮
像カメラの光軸６が一致するようになされ、プリント基
板３からの反射光がカメラレンズ４を介してカラーライ
ンセンサー５に入光する。
ット１ｂを介してスリット光１ｃをプリント基板３に照
射するものである。そして、前記スリット光１ｃがプリ
ント基板３に当たる位置に、前記受光手段２における撮
像カメラの光軸６が一致するようになされ、プリント基
板３からの反射光がカメラレンズ４を介してカラーライ
ンセンサー５に入光する。
【００１４】前記カラーラインセンサー５によってプリ
ント基板３の画像が取り込まれ、その画像における反射
光の特性（光の強さや色別の割合）を解析することで、
プリント基板３の上に物体が存在するか否かの判定、若
しくは物体の高さの測定が可能となる。
ント基板３の画像が取り込まれ、その画像における反射
光の特性（光の強さや色別の割合）を解析することで、
プリント基板３の上に物体が存在するか否かの判定、若
しくは物体の高さの測定が可能となる。
【００１５】そこで、図３に示すように、光源１ａに赤
（Ｒ）と青（Ｂ）の２種の光源を備えて、所定の角度θ
で交差するようにする。前記赤と青のスリット光７，８
がプリント基板３上に照射されたときに、前記スリット
光７がプリント基板３上で反射したスリット光７ａと前
記スリット光８の交点を符号９で示すと、プリント基板
３の表面から前記交点９までの高さが所定の高さＨとな
る。
（Ｒ）と青（Ｂ）の２種の光源を備えて、所定の角度θ
で交差するようにする。前記赤と青のスリット光７，８
がプリント基板３上に照射されたときに、前記スリット
光７がプリント基板３上で反射したスリット光７ａと前
記スリット光８の交点を符号９で示すと、プリント基板
３の表面から前記交点９までの高さが所定の高さＨとな
る。
【００１６】従って、前記スリット光７の反射光である
スリット光７ａの光軸と前述の撮像カメラの光軸６を一
致させることで、カラーラインセンサー５に赤（Ｒ）の
スリット光７ａが入光する。
スリット光７ａの光軸と前述の撮像カメラの光軸６を一
致させることで、カラーラインセンサー５に赤（Ｒ）の
スリット光７ａが入光する。
【００１７】前記赤（Ｒ）のスリット光７ａがカラーラ
インセンサー５に入光するということは、スリット光７
がプリント基板３の上で反射してそのまま前記カラーラ
インセンサー５に入光したのであるから、プリント基板
３の上に物体が存在しないということになる。
インセンサー５に入光するということは、スリット光７
がプリント基板３の上で反射してそのまま前記カラーラ
インセンサー５に入光したのであるから、プリント基板
３の上に物体が存在しないということになる。
【００１８】そこで、例えば、高さＨの物体１０が前記
プリント基板３の上に存在すると、前記カラーラインセ
ンサー５に入光するのは、前記物体１０の表面で反射し
た青のスリット光８ａとなる。よって、前記カラーライ
ンセンサー５に入光する光が、赤（Ｒ）から青（Ｂ）に
代わるとプリント基板３上に物体１０が存在し、かつ、
その高さがＨであるということが判るのである。
プリント基板３の上に存在すると、前記カラーラインセ
ンサー５に入光するのは、前記物体１０の表面で反射し
た青のスリット光８ａとなる。よって、前記カラーライ
ンセンサー５に入光する光が、赤（Ｒ）から青（Ｂ）に
代わるとプリント基板３上に物体１０が存在し、かつ、
その高さがＨであるということが判るのである。
【００１９】次に、照射手段１からプリント基板３を照
射する光を、前記の赤（Ｒ）と青（Ｂ）の２種のスリッ
ト光７，８としたのを、赤（Ｒ）〜青（Ｂ）に連続的に
変化した光にする。
射する光を、前記の赤（Ｒ）と青（Ｂ）の２種のスリッ
ト光７，８としたのを、赤（Ｒ）〜青（Ｂ）に連続的に
変化した光にする。
【００２０】このための照射手段１の構成は、図４に示
すように、光源１ａからのスリット光をプリズム１１に
通すことで、プリント基板３上に赤（Ｒ）〜青（Ｂ）に
連続的に変化した光を照射する。また、図５に示すよう
に、光源１ａの光を赤（Ｒ）〜青（Ｂ）に連続的に着色
したフィルム１２とレンズ１３を通過させるようにした
構成の照射手段１とすることもできる。
すように、光源１ａからのスリット光をプリズム１１に
通すことで、プリント基板３上に赤（Ｒ）〜青（Ｂ）に
連続的に変化した光を照射する。また、図５に示すよう
に、光源１ａの光を赤（Ｒ）〜青（Ｂ）に連続的に着色
したフィルム１２とレンズ１３を通過させるようにした
構成の照射手段１とすることもできる。
【００２１】従って、図６に示すように、高さｈの物体
（例えば、スクリーン印刷されたクリーム半田やチップ
部品）１４がプリント基板３の上に存在すると、前記照
射手段１によって照射された赤（Ｒ）〜青（Ｂ）に連続
的に変化する光が前記物体１４の表面で反射して、受光
手段２のカラーラインセンサー５に入光する。
（例えば、スクリーン印刷されたクリーム半田やチップ
部品）１４がプリント基板３の上に存在すると、前記照
射手段１によって照射された赤（Ｒ）〜青（Ｂ）に連続
的に変化する光が前記物体１４の表面で反射して、受光
手段２のカラーラインセンサー５に入光する。
【００２２】前記カラーラインセンサー５で映像を取り
込み、図７に示すような各色別のアンプを介して赤
（Ｒ）と青（Ｂ）の出力（電圧値等）を得て、次段の演
算手段１５において前記各色別の出力をＡ／Ｄ変換し
て、色別の割合を計算する。
込み、図７に示すような各色別のアンプを介して赤
（Ｒ）と青（Ｂ）の出力（電圧値等）を得て、次段の演
算手段１５において前記各色別の出力をＡ／Ｄ変換し
て、色別の割合を計算する。
【００２３】前記色別の割合を計算する式としては、Ｘ
＝（Ｂ−Ｒ）／（Ｒ＋Ｂ） …ここでＢまたはＲは、各
々色が１００％で１として０％で０として色別の出力を
数値化したものである、とする。
＝（Ｂ−Ｒ）／（Ｒ＋Ｂ） …ここでＢまたはＲは、各
々色が１００％で１として０％で０として色別の出力を
数値化したものである、とする。
【００２４】上記式による計算の一例を示すと、物体１
４の高さがｈ＝０とすると、赤（Ｒ）が１００％そして
青（Ｂ）が０％でカラーラインセンサー５に入光するの
でＲ＝１，Ｂ＝０となり、Ｘ＝−１となる。以下、同様
にしてｈ＝Ｈ／２のときには、Ｒ＝Ｂ＝０．５となり、
Ｘ＝０となる。ｈ＝Ｈ／４のときには、Ｒ＝０．７５，
Ｂ＝０．２５となり、Ｘ＝−０．５となる。ｈ＝Ｈのと
きには、Ｒ＝０，Ｂ＝１となり、Ｘ＝＋１となる。
４の高さがｈ＝０とすると、赤（Ｒ）が１００％そして
青（Ｂ）が０％でカラーラインセンサー５に入光するの
でＲ＝１，Ｂ＝０となり、Ｘ＝−１となる。以下、同様
にしてｈ＝Ｈ／２のときには、Ｒ＝Ｂ＝０．５となり、
Ｘ＝０となる。ｈ＝Ｈ／４のときには、Ｒ＝０．７５，
Ｂ＝０．２５となり、Ｘ＝−０．５となる。ｈ＝Ｈのと
きには、Ｒ＝０，Ｂ＝１となり、Ｘ＝＋１となる。
【００２５】以上のＸ−ｈの関係をグラフにして表わす
と、図８に示した表のようになる。よって、上記の演算
手段１５でＸの値（−１≦Ｘ≦＋１）を求めることで、
この結果を次段のマイクロコンピュータ及びプログラム
ソフト等からなる高さ算出手段（図示せず）にデータと
して出力し、図８の表の相関関係を基にして前記Ｘの値
から高さ算出手段において前記物体１４の高さｈが求め
られる。
と、図８に示した表のようになる。よって、上記の演算
手段１５でＸの値（−１≦Ｘ≦＋１）を求めることで、
この結果を次段のマイクロコンピュータ及びプログラム
ソフト等からなる高さ算出手段（図示せず）にデータと
して出力し、図８の表の相関関係を基にして前記Ｘの値
から高さ算出手段において前記物体１４の高さｈが求め
られる。
【００２６】なお、前記Ｘ＝（Ｂ−Ｒ）／（Ｒ＋Ｂ）と
したのは、プリント基板３上のクリーム半田等の物体１
４の表面における光の反射率の影響を受けないようにす
るためである。即ち、物体１４の反射率が式Ｘの分母と
分子で相殺されるので、物体１４の高さが同じであれ
ば、一定の値が得られるものである。
したのは、プリント基板３上のクリーム半田等の物体１
４の表面における光の反射率の影響を受けないようにす
るためである。即ち、物体１４の反射率が式Ｘの分母と
分子で相殺されるので、物体１４の高さが同じであれ
ば、一定の値が得られるものである。
【００２７】その一例を示すと、物体１４の高さがｈ＝
Ｈ／２とした場合に、反射率が１００％のときはＲ＝
０．５，Ｂ＝０．５であるが、反射率が５０％のときに
はＲ＝０．２５，Ｂ＝０．２５となる。
Ｈ／２とした場合に、反射率が１００％のときはＲ＝
０．５，Ｂ＝０．５であるが、反射率が５０％のときに
はＲ＝０．２５，Ｂ＝０．２５となる。
【００２８】そして、演算手段１５でＸの値を求める
と、反射率１００％の場合でＸ＝（0.5-0.5）／（0.5+
0.5）＝０となり、反射率５０％の場合でＸ＝（0.25-0.
25）／（0.25+0.25）＝０となって、反射率に関わりな
くＸの値は一致する。また、同様に物体１４の高さｈ＝
Ｈ／４の場合でも、反射率１００％の場合でＸ＝（0.25
-0.75）／（0.75+0.25）＝−０．５となり、反射率５０
％の場合でＸ＝（0.125-0.375）／（0.375+0.125）＝−
０．５であり、反射率に関わりなくＸの値は一致する。
と、反射率１００％の場合でＸ＝（0.5-0.5）／（0.5+
0.5）＝０となり、反射率５０％の場合でＸ＝（0.25-0.
25）／（0.25+0.25）＝０となって、反射率に関わりな
くＸの値は一致する。また、同様に物体１４の高さｈ＝
Ｈ／４の場合でも、反射率１００％の場合でＸ＝（0.25
-0.75）／（0.75+0.25）＝−０．５となり、反射率５０
％の場合でＸ＝（0.125-0.375）／（0.375+0.125）＝−
０．５であり、反射率に関わりなくＸの値は一致する。
【００２９】このように、カラーラインセンサー５でプ
リント基板３の上の画像を取入れて、デジタル若しくは
アナログで演算する演算手段１５及び高さ算出手段で物
体１４の高さｈが求められ、この高さｈと基準高さとを
比較して良否を判定する。
リント基板３の上の画像を取入れて、デジタル若しくは
アナログで演算する演算手段１５及び高さ算出手段で物
体１４の高さｈが求められ、この高さｈと基準高さとを
比較して良否を判定する。
【００３０】そして、プリント基板３の全範囲若しくは
一部の範囲を、前記照射手段１と受光手段２を一体的に
移動させるか又はプリント基板３を移動させることによ
って走査して、検査対象のプリント基板３の良否を判定
して表示手段（プリンターやディスプレイ等）に表示す
るものである。
一部の範囲を、前記照射手段１と受光手段２を一体的に
移動させるか又はプリント基板３を移動させることによ
って走査して、検査対象のプリント基板３の良否を判定
して表示手段（プリンターやディスプレイ等）に表示す
るものである。
【００３１】また、場合によっては不良と判定されたプ
リント基板３を製造ラインから自動的に取り出すように
するものである。
リント基板３を製造ラインから自動的に取り出すように
するものである。
【００３２】なお、上記の実施例で照射手段１からプリ
ント基板３上に照射される、連続的に他の色の光へと変
化している光を、赤（Ｒ）と青（Ｂ）としたが勿論これ
に限らず、緑（Ｇ）と赤（Ｒ），緑（Ｇ）と青（Ｂ），
若しくはこれらの組合せに係る連続的に変化した光によ
っても同じ作用・効果を得ることができるものである。
ント基板３上に照射される、連続的に他の色の光へと変
化している光を、赤（Ｒ）と青（Ｂ）としたが勿論これ
に限らず、緑（Ｇ）と赤（Ｒ），緑（Ｇ）と青（Ｂ），
若しくはこれらの組合せに係る連続的に変化した光によ
っても同じ作用・効果を得ることができるものである。
【００３３】なお、図９に示すように、プリント基板３
には上下のソリが生じることが多いので、プリント基板
３の表面からの差を求めるようにして物体１４の高さｈ
を決定すれば精度的に不都合がなく、プリント基板のソ
リを矯正する治具も特に必要ない。本発明の高さ検査装
置及び高さ検査方法により、プリント基板３上に存する
クリーム半田等の物体の高さが迅速に計測され、かつ、
プリント基板３の良否判定が短時間でなされるようにな
った。
には上下のソリが生じることが多いので、プリント基板
３の表面からの差を求めるようにして物体１４の高さｈ
を決定すれば精度的に不都合がなく、プリント基板のソ
リを矯正する治具も特に必要ない。本発明の高さ検査装
置及び高さ検査方法により、プリント基板３上に存する
クリーム半田等の物体の高さが迅速に計測され、かつ、
プリント基板３の良否判定が短時間でなされるようにな
った。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るプリ
ント基板上の物体の高さ検査方法は、プリント基板上の
検査対象の物体に連続的に色変化した光を照射し、前記
物体の高さに応じた色別の割合で反射した反射光を光セ
ンサーで受光し、前記反射光の色別の割合を検出して前
記検査対象の物体の高さを求めて所定の基準値と比較す
る方法なので、カラーラインセンサーで画像入力して一
括して物体の高さを求めることとなってプリント基板の
検査時間が大幅に短縮され、プリント基板の製造ライン
の流れが円滑となり当該製造ラインの作業効率が向上し
コスト単価の低減となると云う優れた効果を奏する。
ント基板上の物体の高さ検査方法は、プリント基板上の
検査対象の物体に連続的に色変化した光を照射し、前記
物体の高さに応じた色別の割合で反射した反射光を光セ
ンサーで受光し、前記反射光の色別の割合を検出して前
記検査対象の物体の高さを求めて所定の基準値と比較す
る方法なので、カラーラインセンサーで画像入力して一
括して物体の高さを求めることとなってプリント基板の
検査時間が大幅に短縮され、プリント基板の製造ライン
の流れが円滑となり当該製造ラインの作業効率が向上し
コスト単価の低減となると云う優れた効果を奏する。
【００３５】また、高さ検査装置として、プリント基板
上の物体にスリットを介して光を照射する照射手段と、
前記物体で反射した反射光を光センサーで受光する受光
手段と、前記光センサーで受けた光の色別の割合を出力
をする演算手段と、前記演算手段からの出力を入力して
前記プリント基板上の物体の高さを算出する高さ算出手
段と、を少なくとも有したこととし、前記照射手段は、
連続的に色変化した光をプリント基板上の所定の範囲に
照射するものとしたので、プリント基板上の物体の高さ
の計測と基準値との比較が迅速になされ、プリント基板
の検査時間を大幅に短縮できると云う優れた効果を奏す
る。
上の物体にスリットを介して光を照射する照射手段と、
前記物体で反射した反射光を光センサーで受光する受光
手段と、前記光センサーで受けた光の色別の割合を出力
をする演算手段と、前記演算手段からの出力を入力して
前記プリント基板上の物体の高さを算出する高さ算出手
段と、を少なくとも有したこととし、前記照射手段は、
連続的に色変化した光をプリント基板上の所定の範囲に
照射するものとしたので、プリント基板上の物体の高さ
の計測と基準値との比較が迅速になされ、プリント基板
の検査時間を大幅に短縮できると云う優れた効果を奏す
る。
【図１】本発明に係る高さ検査装置の要部の概略斜視図
である。
である。
【図２】同概略の側面図である。
【図３】同照射手段において２種の光をプリント基板に
照射する状態の側面図である。
照射する状態の側面図である。
【図４】連続的に色変化する光をプリズムを介してプリ
ント基板に照射する構成を概略的に示した側面図であ
る。
ント基板に照射する構成を概略的に示した側面図であ
る。
【図５】連続的に色変化する光を色付のフィルムを介し
てプリント基板に照射する構成を概略的に示した側面図
である。
てプリント基板に照射する構成を概略的に示した側面図
である。
【図６】プリント基板にある高さｈの物体があって連続
的に色変化した光を反射している様子を示す側面図であ
る。
的に色変化した光を反射している様子を示す側面図であ
る。
【図７】本発明に係る要部の一部である受光手段と演算
手段のブロック図である。
手段のブロック図である。
【図８】反射光の色別の割合を示すＸと物体の高さｈと
の相関関係を表わす表である。
の相関関係を表わす表である。
【図９】プリント基板のソリの状態を示す側面図であ
る。
る。
１ 照射手段、 ２ 受光手段、 ３ プリント基板、 ５ カラーラインセンサー、 ６ 撮像カメラの光軸、 ７，８ スリット光、 ９ 交点、 １０ 高さＨの物体、 １１ プリズム、 １２ フィルム、 １４ 高さｈの物体、 １５ 演算手段。
Claims (3)
- 【請求項１】 プリント基板上の検査対象の物体に連続
的に色変化した光を照射し、前記物体の高さに応じた色
別の割合で反射した反射光を光センサーで受光し、前記
反射光の色別の割合を検出して前記検査対象の物体の高
さを求めて所定の基準値と比較することを特徴とするプ
リント基板上の物体の高さ検査方法。 - 【請求項２】 プリント基板上の物体にスリットを介し
て光を照射する照射手段と、前記物体で反射した反射光
を光センサーで受光する受光手段と、前記光センサーで
受けた光の色別の割合を出力をする演算手段と、前記演
算手段からの出力を入力して前記プリント基板上の物体
の高さを算出する高さ算出手段と、を少なくとも有した
ことを特徴とするプリント基板上の物体の高さ検査装
置。 - 【請求項３】 照射手段は、連続的に色変化した光をプ
リント基板上の所定の範囲に照射するものであることを
特徴とする請求項２に記載のプリント基板上の物体の高
さ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17413993A JP3400493B2 (ja) | 1993-07-14 | 1993-07-14 | プリント基板上の物体の高さ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17413993A JP3400493B2 (ja) | 1993-07-14 | 1993-07-14 | プリント基板上の物体の高さ検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0727520A true JPH0727520A (ja) | 1995-01-27 |
| JP3400493B2 JP3400493B2 (ja) | 2003-04-28 |
Family
ID=15973351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17413993A Expired - Lifetime JP3400493B2 (ja) | 1993-07-14 | 1993-07-14 | プリント基板上の物体の高さ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3400493B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100681990B1 (ko) * | 1998-07-21 | 2007-02-15 | 소니 가부시끼 가이샤 | 액정 표시 패널의 검사 방법 및 검사 장치 |
| JP2007101399A (ja) * | 2005-10-05 | 2007-04-19 | Nikon Corp | 高さ測定装置および方法 |
| KR20220137616A (ko) | 2020-02-13 | 2022-10-12 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 높이 계측 장치 및 높이 계측 방법 |
-
1993
- 1993-07-14 JP JP17413993A patent/JP3400493B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100681990B1 (ko) * | 1998-07-21 | 2007-02-15 | 소니 가부시끼 가이샤 | 액정 표시 패널의 검사 방법 및 검사 장치 |
| JP2007101399A (ja) * | 2005-10-05 | 2007-04-19 | Nikon Corp | 高さ測定装置および方法 |
| KR20220137616A (ko) | 2020-02-13 | 2022-10-12 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 높이 계측 장치 및 높이 계측 방법 |
| US12467740B2 (en) | 2020-02-13 | 2025-11-11 | Hamamatsu Photonics K.K. | Imaging unit and measurement device |
| US12467739B2 (en) | 2020-02-13 | 2025-11-11 | Hamamatsu Photonics K.K. | Height measurement apparatus and height measurement method |
| US12578183B2 (en) | 2020-02-13 | 2026-03-17 | Hamamatsu Photonics K.K. | Film thickness measuring device and film thickness measuring method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3400493B2 (ja) | 2003-04-28 |
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