JPH07291668A

JPH07291668A - 電波透過型熱線遮蔽ガラス

Info

Publication number: JPH07291668A
Application number: JP8439594A
Authority: JP
Inventors: Masaya Takayama; 昌也高山; Masaaki Yonekura; 正明米倉
Original assignee: Central Glass Co Ltd
Current assignee: Central Glass Co Ltd
Priority date: 1994-04-22
Filing date: 1994-04-22
Publication date: 1995-11-07

Abstract

(57)【要約】【目的】耐摩耗性、耐食性並びに耐久性に優れた積層
膜を備え、電波透過性が通常のフロ−トガラス並で無電
波障害であり、熱線遮蔽性で冷暖房効果を向上し、ブル
ー系又はグリーン系色調を呈し、合せ或いは複層ガラス
等は勿論、単板ガラスとして使用可能なガラスを得る。【構成】透明基板の片面に、膜厚が５〜80nmのSnの酸
化物又は酸素窒化物薄膜を第１層として被膜し、該第１
層の上に膜厚が１〜50nmでかつその表面抵抗率が１ｋΩ
／口以上であるTiの窒素酸化物薄膜を第２層として被覆
した後、該第２層の上に膜厚が５〜50nmのSnの酸化物又
は酸素窒化物薄膜を第３層として積層被覆した電波透過
特性を有する電波透過型熱線遮蔽ガラス。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、太陽輻射エネルギ−を
遮蔽する主として建築物等の窓ガラスに用いる被膜付き
の熱線遮蔽ガラスであって、とりわけ冷暖房効果を向上
せしめるようにできるとともに比較的高い可視光線透過
率を有するものであり、しかも電波の透過性が通常すな
わち未加工のフロートガラス並であって、ビル周囲の住
宅等においてTV画像でのゴースト現象等の電波の障害を
低減でき、さらにとりわけガラス面側からの反射色調が
淡いブルー系またはグリーン系色調であり、膜面側から
の反射色調がニュートラル系色調である、特に高層建築
用窓ガラスとして有用な電波透過特性を有する電波透過
型熱線遮蔽ガラスに関する。

【０００２】

【従来技術】近年、テレビ電波の受信にあたり、ビルの
反射によるゴースト障害が問題視され、ビルのコンクリ
ート壁などにフェライト電波吸収体を設けることが実用
化されつつあり、一方省エネや冷暖房効率の向上等か
ら、例えば高層ビルなどの窓ガラスにおいても金属、金
属酸化物などの膜をコーテイングしたり、このような膜
を有するフイルムを貼付けた断熱性能などの機能を付与
したものが増加しており、ガラスより電波に対して反射
率が高い膜をコーテイングしたり、フイルムを貼付ける
と電波に対する反射率が例えばかなりの高い値となり、
ことにブルー系色調またはグリーン系色調を呈する熱線
反射ガラスとしては電波障害は避け難い面があった。

【０００３】さらに、近年環境問題がクローズアップさ
れ、環境に優しい商品が求められている。従来の熱線反
射ガラスはあまりにも断熱性能を重視するために可視光
透過率が比較的低く、例えば特開昭60ー36355 号公報に
は可視光透過率が５〜40％であり、そのため室内からの
透視性に優れるとは言い難い。またさらに従来の熱線反
射ガラスはガラス面側からの可視光反射率が比較的高
く、まわりの居住環境に対して、ことに病院等が位置す
る場合、光公害を発生する心配があるものであった。

【０００４】また、さらには従来の熱線反射ガラスは、
夕刻から夜間になると室内灯の光が熱線反射性能膜によ
って反射され、室内側の膜面がギラギラとしたミラー状
に反射してしまい、これが居住性の面で大きな問題とな
っていた。

【０００５】例えば、特開昭63−190742号公報には熱線
反射ガラスの製法について記載されており、ガラス基板
からの反射色調がブルー色系を得るためには、第１層で
あるTiO₂層の膜厚が５〜10nm、第２層であるTiN 層の膜
厚が22.5〜31.5nm、第３層であるTiO₂層の膜厚が12.5〜
17.5nmであることが開示されている。またガラス面側か
らの反射色調がグリーン系を得るためには、第１層であ
るTiO₂層の膜厚が14〜18nm、第２層であるTiN 層の膜厚
が37.5〜42.5nm、第３層であるTiO₂層の膜厚が8.5 〜1
5.5nmであること、あるいは第１層であるTiO₂層の膜厚
が９〜13nm、第２層であるTiN 層の膜厚が38〜42nm、第
３層であるTiO₂層の膜厚が15.5〜20nmであること等が開
示されている。

【０００６】また例えば、本出願人が既に出願した特開
平３−208837号公報では、単板断熱ガラス板およびその
色ガラスを記載しており、ガラス基板からの反射色調が
ブルー色系を得るためには、ガラス板のような透明板の
一方の表面に、第１層として膜厚が10〜30nmのSiOxまた
はAl-SiOx 膜、第２層として膜厚が10〜40nmのTiNx膜、
第３層として膜厚が０〜20nmのTiOx膜、第４層として膜
厚が30〜50nmのSiOxまたはAl-SiOx 膜をそれぞれスパッ
タ法で成膜してなるものを開示した。

【０００７】さらに例えば、本出願人が既に出願した特
開平３−252332号公報では、電波低反射の熱線反射ガラ
スを記載しており、電波障害を低減したブルー系色調を
呈する熱線反射ガラスを得るためには、透明なガラス基
板の一方の表面に、第１層ならびに第３層として有色誘
電体薄膜を積層し、第２層として表面抵抗率が200 Ω／
口以上の金属薄膜または金属窒化物薄膜を積層して成
り、該被膜面の反対側から見た反射色調がブルーあるい
はゴールド色であるもの等を開示している。

【０００８】さらに例えば、本出願人が既に出願した特
開平４−203948号公報では、電波透過型熱線反射ガラス
を記載しており、電波障害を低減したブルー系またはグ
リーン系色調を呈する熱線反射ガラスを得るためには、
透明なガラス基板の一方の表面に、膜厚が５〜70nmのTi
とB の化合物を主成分とする窒化物薄膜または窒素酸化
物薄膜を第１層として被覆した後、該第１層の上に膜厚
が５〜50nmのTi、Ta、Sn、TiSi、Zr、Al、Siの内少なく
とも１種を選択した酸化物薄膜を第２層として被覆した
熱線反射ガラスであって、該被膜面の反対面から見た反
射色調がブルーあるいはグリーン色であるもの等を開示
している。

【０００９】

【発明が解決しようとする問題点】前述したような、例
えば特開昭63−190742号公報に記載されたものならびに
特開平３ー208837号公報に記載したものでは、ブルー色
を得るために、TiNx層薄膜の膜厚が比較的厚く、その結
果低抵抗な膜となり、高層建築物の窓ガラスとして施工
した際に、電波反射体となって高層建築物と放送局の間
にある一般家庭などで見られているTV画像におけるゴー
スト現象を発現することとなる。

【００１０】また例えば特開平３ー252332号公報では、
金属薄膜または金属窒化物薄膜の5〜13nm程度の超薄膜
を酸化物薄膜等でサンドイッチしたものであって、電波
低反射ガラスではあるものの、表面抵抗率が比較的低
く、その電波低反射性能は鉄筋コンクリートの電波反射
率以下であるとは言え、近年のさらなる電波低反射性能
に優れるものが望まれつつあるなかでは格段に充分な満
足を付与するものとは言い難いものである。

【００１１】また例えば特開平４−203948号公報に記載
したもでは、ブルーあるいはグリーン色調を呈する熱線
遮蔽膜であるTiBNまたはTiBNO 膜を作製するためのTiB
のスパッタリングターゲットは焼結体ターゲットである
ため、非常に高価であり、結果として熱線反射ガラスの
製造コストのアップに繋がる等必ずしも充分経済的であ
るとは言い難いものである。

【００１２】さらに、金属等の導電性の高い膜について
は、断熱性を高めようとして膜厚を厚くすればするほど
低抵抗となって、電波低反射性能が損なわれることとな
り、逆に膜厚を薄くしたとしても高い表面抵抗率とはな
りにくく、同様に上述の性能が充分得難い等の問題があ
り、ことにガラス面側の反射色調がブルーまたはグリー
ン色でかつ単板で使用できる熱線遮蔽ガラス、特に高層
建築物用として有用なものとは未だになり得ていないと
言わざるを得ない。

【００１３】

【問題点を解決するための手段】本発明は従来のこのよ
うな点に鑑みてなしたものであり、特定膜厚のSnの酸化
物または酸素窒化物薄膜を特定膜厚で被覆し、該第１層
の上に特定膜厚で表面抵抗率が例えば少なくとも１ｋΩ
／口以上であるTiの窒素酸化物薄膜を第２層として比較
的薄い膜厚で被覆した後、該第２層の上に特定膜厚のSn
の酸化物または酸素窒化物薄膜を第３層として被覆積層
したことで、光の干渉作用を巧みに利用することによっ
てブルー系色調またはグリーン系色調を発現させ、ガラ
ス面側からの可視光反射率を低くしたものであって、膜
面からの可視光反射率をも低くしかつ膜面の色調をニュ
ートラル化させ、しかも電波反射率をTV電波帯、ことに
周波数150MHz付近において約３％以下とフロ−トガラス
並に低くすることができ、断熱性能を保持しつつ、こと
に特定酸化物をオーバーコートしているので耐摩耗性や
耐久性をより強固に向上せしめるものとなり、かつ色調
を微妙にコントロールできることを可能とした、単板で
充分使用することができる電波透過性能を有する電波透
過型熱線遮蔽ガラスとなし得たものである。

【００１４】すなわち、本発明は、透明な基板のー方の
表面に、膜厚が５〜80nmのSnの酸化物または酸素窒化物
薄膜を第１層として被膜し、該第１層の上に膜厚が１〜
50nmでかつその表面抵抗率が１ｋΩ／口以上であるTiの
窒素酸化物薄膜を第２層として被覆した後、該第２層の
上に膜厚が５〜50nmのSnの酸化物または酸素窒化物薄膜
を第３層として積層被覆したことを特徴とする電波透過
特性を有する電波透過型熱線遮蔽ガラス。

【００１５】ならびに、前記積層被覆した熱線遮蔽性能
膜の表面抵抗率が、１ｋΩ／口以上であることを特徴と
する上述した電波透過型熱線遮蔽ガラス。さらに、前記
電波透過型熱線遮蔽ガラスにおいて、該ガラスのガラス
面側からの反射色調がブルーまたはグリーン系色調で、
かつガラス面側からの可視光反射率が25％以下であるこ
とを特徴とする上述した電波透過型熱線遮蔽ガラス。

【００１６】さらにまた、前記電波透過型熱線遮蔽ガラ
スにおいて、該ガラスの膜面側からの反射色調がニュー
トラル系色調で、かつ膜面側からの可視光反射率が30％
以下であることを特徴とする上述した電波透過型熱線遮
蔽ガラス。

【００１７】さらにまた、前記電波透過型熱線遮蔽ガラ
スにおいて、該ガラスの可視光透過率が40％以上である
ことを特徴とする上述した電波透過型熱線遮蔽ガラスを
それぞれ提供するものであるここで、前記膜厚が５〜80
nmのSnの酸化物薄膜または酸素窒化物薄膜を第１層とし
たのは、耐久性および量産性に優れる膜であり、ブルー
またはグリーン色を発現することを可能とするためであ
って、膜厚が５nm未満と薄くなると淡いブルー色または
グリーン色を発現することができず、また80nmを超えよ
り厚くなるとガラス面側反射色調が種々の色調を発現す
ることはできるものの、ガラス面の可視光反射率が高く
なり、積層被膜の膜面側の反射色調がギラギラとした黄
金色となり、室内の居住性の観点から好ましくないもの
となり、生産性の観点からも好ましくない。好ましい膜
厚としては、10〜50nm程度であって、膜面あるいはガラ
ス面のギラツキ感がより少ない等、より安定かつ確実に
上記作用効果を発現するものとなるためである。

【００１８】また、前記第１層の上に膜厚が１〜50nmで
かつその表面抵抗率が１ｋΩ／口以上であるTiの窒素酸
化物薄膜を第２層として被覆することとしたのは、Tiの
窒化物に比べTiの窒素酸化物は表面抵抗率の大きい膜で
あり、かつより可視光透過率が高く、可視光透過率の40
％以上を達成するために可能な膜であって、しかもガラ
ス面側からの反射色調がブルー系またはグリーン系色調
を発現させることが可能な耐久性に優れる膜であるから
であり、さらに安定して電波透過率特性を有することが
でき、ことにTV電波帯、特に周波数150MHz付近における
電波反射率を３％程度以下と通常のフロートガラス並の
電波反射率に低くすることができる熱線遮蔽膜として１
〜50nmの膜厚が必要だからであり、好ましい膜厚として
は、10〜30nm程度であって、ブルー系またはグリーン系
の反射色調をより確実に目視にて認識し易いものとなる
等、より安定かつ確実に上記作用効果を発現するものと
なる。

【００１９】さらに、前記第２層の上に膜厚が５〜50nm
のSnの酸化物または酸素窒化物薄膜を第３層として積層
被覆することとしたのは、第１層、第２層の各薄膜と巧
みに組み合わせることによって、光学的干渉作用により
ガラス面側からの反射色調が淡いブルー系またはグリー
ン系色調を発現し易くするためであって、さらに積層膜
の耐久性を強固に向上せしめるためであり、膜厚が５nm
未満と薄くなるとブルーまたはグリーン色を発現し得な
くなり、膜厚が50nmを超え厚くなるとガラス面側からの
可視光反射率が高くなり、膜面の反射色調がギラギラと
した強い黄金色となるので、膜面の反射色調をニュート
ラル化せしめるためには第３層の膜厚が薄い方がよい。
好ましい膜厚としては、15〜40nm程度であって、膜面あ
るいはガラス面のギラツキ感の少ない等、より安定かつ
確実に上記作用効果を発現するものとなるためである。

【００２０】なかでも、前記積層被覆した熱線遮蔽性能
膜の表面抵抗率が１ｋΩ／口以上で、かつ該ガラスのガ
ラス面側からの反射色調がブルー系またはグリーン系色
調を呈し、そのガラス面側からの可視光反射率が25％程
度以下であるとしたのは、充分な電波低反射性能を有
し、TV映像でのゴースト現象等の電波障害をより確実に
発現しないようにするためであり、またガラス面側から
の反射色調が淡いブルーまたはグリーン系色調を呈する
ことにより、ビル等が全体観察上意匠性に優れ、周囲の
環境に光公害等をも発現しない環境に優しいものとなる
ためである。

【００２１】さらに、該ガラスの膜面側からの反射色調
がニュートラル系色調を呈し、その膜面側からの可視光
反射率が30％以下であり、かつガラスの可視光透過率が
40％以上であるとしたのは、特に夕刻から夜間にかけて
の室内の居住性を快適にするためであり、また昼間の室
内側から見た外景が違和感なく適度な透視性を有するた
めであって、室内側からも環境に優しいものとなるため
である。

【００２２】つぎに、ガラス基板としては、無機質はも
ちろん有機質でも透明ガラスであればよく、無色あるい
は着色等でもガラス面側から見た反射色調がブルー系ま
たはグリーン系色調を得やすいものであればより好まし
いものである。また単板で使用できることはもとより、
複層ガラスあるいは合せガラス、強化ガラス等各種形
状、大きさ、厚みの板ガラス製品として使用できること
は言うまでもない。

【００２３】

【作用】前述したとおり、本発明の電波透過型熱線遮蔽
ガラスは、ガラス基板の一方の表面に特定膜厚のSnの酸
化物または酸素窒化物薄膜を第１層として被覆し、その
上に表面抵抗率が少なくとも１ｋΩ／口以上である特定
したTiの窒素酸化物を第２層として被覆し、さらにその
上に特定膜厚のSnの酸化物または酸素窒化物を第３層と
して被覆積層することによって、ガラス面側からの反射
色調がブルー系またはグリーン系色調を発現させること
を可能としたため意匠性にも優れ、ガラス面側からの可
視光反射率が比較的低いのでビル等の周囲の環境に与え
る光公害の影響も少なくなり、建築物としての居住性な
らびに景観性等も格段に優れたものとなり、膜面側から
の反射色調がニュートラル系色調であり、膜面側からの
可視光反射率も低く、しかも可視光透過率を40％程度以
上と高くせしめることによって、室内の居住性を格段に
改善することができ、さらに電波反射率をTV電波帯、こ
とに周波数150MHz付近において約３％以下とフロートガ
ラス並に低下することができ、断熱性能を保持しつつ、
耐摩耗性、耐久性に充分優れ、単板で充分使用すること
ができる有用な電波透過特性を有する熱線遮蔽ガラスを
提供するものである。

【００２４】

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。ただし本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。

【００２５】実施例１大きさ約600mmx600mm 、厚さ約6mm のクリアガラス(FL
6) を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアルコールで
順次洗浄し、乾燥した後、DCマグネトロンスパツタリン
グ装置の真空槽内にセットしてあるSnとTiのターゲツト
を対向して上方を往復できるようセットし、つぎに前記
槽内を真空ポンプで約５x10 ^-6Torr以下までに脱気した
後、該真空槽内にArとN₂のガス流量比がN₂／(Ar+N₂)=0.
8 であるArとN₂の混合ガス〔但し、ArとN₂のガス流量比
N₂／(Ar+N₂) の値は、0.5 〜1.0 （Arガス流量＝０）の
間にあればよい。〕を導入して真空度を約２x10 ^-3Torr
に保持し、前記Snのターゲツトに約0.4 kwの電力を印加
し、前記混合ガスによるDCマグネトロン反応スパツタの
中を、前記Snターゲット上方においてスピード約740mm
／min で前記板ガラスを搬送することによって約５nm厚
さのSnO₂薄膜を第１層として成膜した。成膜が完了した
後、Snターゲツトへの印加を停止した。

【００２６】次に、前記板ガラスを前記真空槽中に置い
たまま、前記槽内を真空ポンプで約５x10 ^-6Torr以下ま
でに脱気した後、該真空槽内にN₂とO₂のガス流量比がO₂
／(N ₂+O₂)=0.01であるN₂とO₂の混合ガス〔但し、N₂とO₂
のガス流量比O₂／(N₂+O₂) の値は、0.003 〜0.05の間に
あればよく、また必要に応じてTiNxOy薄膜の表面抵抗率
が膜厚50nm程度で１ｋΩ／口以上であれば成膜速度を高
くするため、あるいはTiNxOy薄膜の光学定数（ｎ＝屈折
率、ｋ＝消衰係数）を制御することを目的にArガスを導
入してもよい〕を導入して真空度を約２x10 ^-3Torrに保
持し、前記Tiのターゲツトに約1.5 kwの電力を印加し、
前記混合ガスによるDCマグネトロン反応スパツタの中
を、前記Tiターゲット上方においてスピード約310mm ／
min で前記板ガラスを搬送することによって、前記板ガ
ラスのSnO₂薄膜表面上に約10nm厚さのTiNxOy薄膜を第２
層として積層成膜した。成膜が完了した後、Tiターゲツ
トへの印加を停止した。

【００２７】次いで、前記板ガラスを前記真空槽中に置
いたまま、前記槽内を真空ポンプで約５x10 ^-6Torr以下
までに脱気した後、該真空槽内にArとN₂のガス流量比が
N₂／(Ar+N₂)=0.8 であるArとN₂の混合ガス〔但し、Arと
N₂のガス流量比N₂／(Ar+N₂)の値は、0.5 〜1.0 （Arガ
ス流量＝０）の間にあればよい。〕を導入して真空度を
約２x10 ^-3Torrに保持し、前記Snのターゲツトに約0.4
kwの電力を印加し、前記混合ガスによるDCマグネトロン
反応スパツタの中を、前記Snターゲット上方においてス
ピード約74mm／min で前記板ガラスを搬送することによ
って約50nm厚さのSnO₂薄膜を第３層として成膜した。成
膜が完了した後、Snターゲツトへの印加を停止した。

【００２８】得られた３層膜を有する電波透過特性を有
する電波透過型熱線遮蔽ガラスについて、可視光透過率
(380nm〜780nm)、可視光反射率(380nm〜780nm)ならびに
日射透過率(340nm〜1800nm) については340 型自記分光
光度計（日立製作所製）とJISZ8722、JISR3106によって
それぞれの光学的特性を求めた。さらにテ−バ−試験に
よるヘ−ズ（曇り具合）値の変化量（△Ｈ％）と透過率
の変化量（△Ｔ％）については、テ−バ−試験機（MODE
L 503 、TABER 社製）に膜面を上にした10cm角試験片を
セットし、膜面に荷重500gのかかった摩耗輪(CS-10F)が
２箇所で当たるようになっているもので、300 回回転し
た後、ヘーズメーター（日本電色工業製、NDH-20D ）に
よって測定し、試験前の測定値と対比し、その変化量
（△Ｈ％）および透過率の変化量（△Ｔ％）をもって表
した数値である。

【００２９】次に、耐薬品性のうち耐酸試験について
は、常温で１規定のHCl 溶液中に前記試験片を約６時間
浸漬した後、膜の劣化状態を見て、また耐アルカリ試験につ
いては、常温で１規定のNaOH溶液中に試験片を約６時間
浸漬した後、膜の劣化状態を見てそれぞれJISR3221によ
り判断したものであり、それぞれ○印はほとんど劣化が
見られなかったもの、×印は劣化が明らかに目立ったも
のである。

【００３０】またさらに、電波反射率については、大型
導波管法によって測定することで得た。その結果、表１
に示すことから明らかなように、従来の熱線反射ガラス
とほぼ同等の断熱性能を示し、優れた居住性をもって、
耐摩耗性、耐食性、耐候性、耐久性を有し、電波を充分
透過するものであって、電波低反射特性を有する熱線遮
蔽性ガラスとして高層建築物等の窓ガラスに有用なもの
となり、ことにガラス面からの反射色調がグリーン系色
調でガラス面からの可視光反射率が19.2％と低く、かつ
膜面の反射色調もニュートラル系でその可視光反射率が
6.8 ％と低く、所期のめざす電波透過型熱線遮蔽ガラス
を得た。

【００３１】実施例２〜10 前記実施例１と同様の方法で、搬送スピードと膜厚のデ
ータから所望の膜厚となるよう調節し、表１に示す３層
膜とその各膜厚を得て、その膜構成において実施例１で
示した測定法等によって同様の評価を行った。その結果
を表１に示す。

【００３２】得られた３層膜の電波透過特性を有する熱
線遮蔽ガラスは、実施例１と同様に優れた所期の光学特
性等の各物性を示すものであった。なお、SnOxNy薄膜に
ついては、例えば真空槽内にO₂とN₂のガス流量比がN₂／
(O ₂+N₂)=0.05であるO₂とN₂の混合ガス〔但し、O₂とN₂の
ガス流量比N₂／(O₂+N₂) の値は、0.01〜0.50の間にあれ
ばよく、また必要に応じて成膜速度を高くするため、あ
るいはSnOxNy薄膜の光学定数（ｎ＝屈折率、ｋ＝消衰係
数）を制御することを目的にArガスを導入してもよく、
この時の全ガスに対するArガスの量は常識的な範囲で
は、体積％で約50vol ％以下である。〕を導入して真空
度を約２x10 ^-3Torrに保持し、前記Snのターゲツトに約
0.4 kwの電力を印加し、前記混合ガスによるDCマグネト
ロン反応スパツタの中を、前記Snターゲット上方におい
てスピード約119mm ／min で前記板ガラスを搬送するこ
とによって、約30nm厚さのSnOxNy薄膜を得た。

【００３３】比較例１〜５実施例１と同様に処理したガラスを用い、同装置にSUS
のターゲツトを２本セットし、真空槽内を約５x10 ^-6To
rr以下までに脱気した後、該真空槽内にO₂ガスを導入
し、真空度を約２x10 ^-3Torrに保持し、前記SUS のター
ゲツトに約1.5kwの電力を印加し、板ガラス搬送スピー
ド約300mm ／min で膜厚約10nmのSUSOx 薄膜を第１層と
して成膜した。

【００３４】次いで、もう一方のSUS ターゲットを使用
し、Arガス圧約約２x10 ^-3Torrで印加電力約1.0kw にお
いて、板ガラス搬送スピード約500mm ／min で膜厚約６
nmのSUS 薄膜を得た。さらに第１層と同様にして板ガラ
ス搬送スピード約100mm ／min で膜厚約30nmのSUSOx 薄
膜を第３層として成膜積層した。

【００３５】また、SnOx薄膜については、前記実施例と
同様の方法で板ガラス搬送スピードを所望の膜厚となる
よう調整して得た。またさらにTiNx薄膜については、同
装置でTiターゲットを用い、同真空度、N₂ガス、印加電
力約1.5kw において、例えば板ガラス搬送スピード約10
0mm ／min で膜厚約30nmのTiNx薄膜を得た。

【００３６】このような方法によって、表１に示すよう
な１〜３層の膜を得、その膜構成において、実施例１と
同様の測定法、同様の評価を行った。その結果を表１に
それぞれ示す。

【００３７】それぞれ、比較例１〜５は、各実施例に比
して、従来の熱線反射ガラスであるこれらにおいては、
ガラス面側からの反射色調がブルー系またはグリーン系
色調ではあるものの、電波反射率も９％程度以上とな
り、建築物の鉄筋コンクリートの電波反射率より悪く、
建築物の周辺に電波障害を発現し易いものまたはするも
のであった。またさらに、可視光透過率が40％程度以下
で比較的低く、膜面側の反射色調がギラギラとしたゴー
ルド系色調であることから、建築物内の居住環境に優し
いものであるとはいい難いものであった。

【００３８】

【表１】

【００３９】

【発明の効果】以上前述したように、本発明の電波透過
型熱線遮蔽ガラスは、ガラス基板の一方の表面に特定膜
厚のSnの酸化物または酸素窒化物薄膜を第１層として被
覆し、その上に表面抵抗率が例えば少なくとも１ｋΩ／
口以上である特定したTiの窒素酸化物を第２層として被
覆し、さらにその上に特定膜厚のSnの酸化物または酸素
窒化物を第３層として被覆積層することによって、断熱
ガラスであって、耐摩耗性、耐食性ならびに耐久性に優
れ、電波透過がよく、通常のフロートガラス並の電波反
射率であり、高層建築物周辺に対し電波障害を発現する
ようなこともなく、ガラス面側からの反射色調がブルー
系またはグリーン系色調を呈する意匠性にも優れた、ガ
ラス面側からの可視光反射率が比較的低くビル等の周囲
の環境に与える光公害の影響も少なくなり、建築物とし
ての居住性並びに景観性等も格段に優れたものとなり、
室内においても居住性がよい、単板ガラスはもちろん合
せガラスあるいは複層ガラス等として使用することがで
きる、有用な電波透過特性を有する熱線遮蔽ガラスを効
率よく提供するものである。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透明なガラス基板のー方の表面に、膜厚
が５〜80nmのSnの酸化物または酸素窒化物薄膜を第１層
として被膜し、該第１層の上に膜厚が１〜50nmでかつそ
の表面抵抗率が１ｋΩ／口以上であるTiの窒素酸化物薄
膜を第２層として被覆した後、該第２層の上に膜厚が５
〜50nmのSnの酸化物または酸素窒化物薄膜を第３層とし
て積層被覆したことを特徴とする電波透過特性を有する
電波透過型熱線遮蔽ガラス。
【請求項２】前記積層被覆した熱線遮蔽性能膜の表面
抵抗率が、１ｋΩ／口以上であることを特徴とする請求
項１記載の電波透過型熱線遮蔽ガラス。
【請求項３】前記電波透過型熱線遮蔽ガラスにおい
て、該ガラスのガラス面側からの反射色調がブルーまた
はグリーン系色調で、かつガラス面側からの可視光反射
率が25％以下であることを特徴とする請求項１乃至２記
載の電波透過型熱線遮蔽ガラス。
【請求項４】前記電波透過型熱線遮蔽ガラスにおい
て、該ガラスの膜面側からの反射色調がニュートラル系
色調で、かつ膜面側からの可視光反射率が30％以下であ
ることを特徴とする請求項１乃至３記載の電波透過型熱
線遮蔽ガラス。
【請求項５】前記電波透過型熱線遮蔽ガラスにおい
て、該ガラスの可視光透過率が40％以上であることを特
徴とする請求項１乃至４記載の電波透過型熱線遮蔽ガラ
ス。