JPH07296313A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH07296313A JPH07296313A JP8672294A JP8672294A JPH07296313A JP H07296313 A JPH07296313 A JP H07296313A JP 8672294 A JP8672294 A JP 8672294A JP 8672294 A JP8672294 A JP 8672294A JP H07296313 A JPH07296313 A JP H07296313A
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- magnetic
- glass
- core
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガラス溶着時の気泡発生の防止と内部応力の
緩和を計ったＭＩＧ型の磁気ヘッドの製造方法。 【構成】 強磁性酸化物から成る一対のコア半体１０の
対向させる表面に高飽和磁束密度の金属磁性薄膜２を形
成し、磁気ギャップ６を形成する磁気ギャップ材を介在
させてガラス溶着によって一対のコア半体１０を接合し
て磁気コアを形成する工程を有する磁気ヘッドの製造方
法であって、前記ガラス溶着による接合は不活性ガスに
酸素を３００ｐｐｍないし５０００ｐｐｍ混入させた雰
囲気内にて行う。
緩和を計ったＭＩＧ型の磁気ヘッドの製造方法。 【構成】 強磁性酸化物から成る一対のコア半体１０の
対向させる表面に高飽和磁束密度の金属磁性薄膜２を形
成し、磁気ギャップ６を形成する磁気ギャップ材を介在
させてガラス溶着によって一対のコア半体１０を接合し
て磁気コアを形成する工程を有する磁気ヘッドの製造方
法であって、前記ガラス溶着による接合は不活性ガスに
酸素を３００ｐｐｍないし５０００ｐｐｍ混入させた雰
囲気内にて行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体への記録
・再生装置に備える磁気ヘッドの製造方法に関するもの
である。
・再生装置に備える磁気ヘッドの製造方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】ビデオテープレコーダ、デジタルオーデ
ィオレコーダ或いは高容量のフロッピーディスクドライ
ブ装置等に用いられる磁気ヘッドは、高抗磁力の記録媒
体に対する記録を可能とするため、磁気コアには高い飽
和磁束密度が必要である。そして磁気記録媒体の面内の
記録密度を向上させるためにできるだけ狭トラック化が
要求されている。更に磁気コアの磁束を外部に出す磁気
ギャップのギャップ長も極めて短くする必要がある。
ィオレコーダ或いは高容量のフロッピーディスクドライ
ブ装置等に用いられる磁気ヘッドは、高抗磁力の記録媒
体に対する記録を可能とするため、磁気コアには高い飽
和磁束密度が必要である。そして磁気記録媒体の面内の
記録密度を向上させるためにできるだけ狭トラック化が
要求されている。更に磁気コアの磁束を外部に出す磁気
ギャップのギャップ長も極めて短くする必要がある。
【０００３】上記のような磁気ヘッドで磁気コアの高飽
和磁束密度化を実現するために、磁気コアの磁路全体が
フェライトから成る従来のフェライトヘッドに代って、
最近はフェライトから成る磁気コア半体を磁気ギャップ
材を介して突き合わせる磁気コア半体の突き合わせ面に
センダストやアモルファス合金等の高飽和磁束密度の金
属磁性薄膜をスパッタリング（吹き付け）蒸着、イオン
ブレーティング等の真空薄膜形成技術により成膜した複
合ヘッド、いわゆるＭＩＧ（メタル・イン・ギャップ）
ヘッドが主流となっている。
和磁束密度化を実現するために、磁気コアの磁路全体が
フェライトから成る従来のフェライトヘッドに代って、
最近はフェライトから成る磁気コア半体を磁気ギャップ
材を介して突き合わせる磁気コア半体の突き合わせ面に
センダストやアモルファス合金等の高飽和磁束密度の金
属磁性薄膜をスパッタリング（吹き付け）蒸着、イオン
ブレーティング等の真空薄膜形成技術により成膜した複
合ヘッド、いわゆるＭＩＧ（メタル・イン・ギャップ）
ヘッドが主流となっている。
【０００４】上記のような、ＭＩＧ型の磁気ヘッドの製
造工程では、まず強磁性酸化物から成るコア材を鏡面ラ
ップ研磨し、得られた鏡面ラップ面に磁気ギャップ部の
トラック幅を規定するトラック溝を加工し、この加工面
に上記の金属磁性薄膜を成膜する。そして、これらの工
程を経たコア材の一対を金属磁性薄膜の成膜面を磁気ギ
ャップのギャップ材を介して突き合わせ、ガラス溶着に
より接合する。この際、ガラス溶着は不活性ガス（Ｎ
2 ，Ａｒ等）中にて行なわれ、その後ガラス溶着により
接合されたコア材を切断して磁気コアを得ている。
造工程では、まず強磁性酸化物から成るコア材を鏡面ラ
ップ研磨し、得られた鏡面ラップ面に磁気ギャップ部の
トラック幅を規定するトラック溝を加工し、この加工面
に上記の金属磁性薄膜を成膜する。そして、これらの工
程を経たコア材の一対を金属磁性薄膜の成膜面を磁気ギ
ャップのギャップ材を介して突き合わせ、ガラス溶着に
より接合する。この際、ガラス溶着は不活性ガス（Ｎ
2 ，Ａｒ等）中にて行なわれ、その後ガラス溶着により
接合されたコア材を切断して磁気コアを得ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな従来のＭＩＧヘッドでは、ガラス溶着に関連して以
下のような問題があった。
うな従来のＭＩＧヘッドでは、ガラス溶着に関連して以
下のような問題があった。
【０００６】ガラス溶着は磁気コア半体に強磁性金属膜
を成膜したのち、磁気ギャップ材を成膜してガラス溶着
されるが、磁気ギャップ材を介してガラスと強磁性金属
膜が反応してガラスの濡れ性が悪化し、十分なガラス流
れ性を確保するためにガラス自体が持っている最適溶着
温度を引き上げてしまう。
を成膜したのち、磁気ギャップ材を成膜してガラス溶着
されるが、磁気ギャップ材を介してガラスと強磁性金属
膜が反応してガラスの濡れ性が悪化し、十分なガラス流
れ性を確保するためにガラス自体が持っている最適溶着
温度を引き上げてしまう。
【０００７】このため、ガラスと強磁性金属膜が更に反
応し、ガラス中に気泡を発生させてしまう。ガラスに発
生した気泡はガラスと強磁性金属膜との接合強度を弱く
してしまい、コア加工に於ける歩留まり低下につながる
と共に溶着温度が高く成ることにより、コア材内部の残
留応力が高くなりガラス部，コア材にクラックを発生さ
せる。また、ヘッド摺動面に出た気泡は、磁気テープの
金属粉を巻き込み磁気信号に悪影響を及ぼす。
応し、ガラス中に気泡を発生させてしまう。ガラスに発
生した気泡はガラスと強磁性金属膜との接合強度を弱く
してしまい、コア加工に於ける歩留まり低下につながる
と共に溶着温度が高く成ることにより、コア材内部の残
留応力が高くなりガラス部，コア材にクラックを発生さ
せる。また、ヘッド摺動面に出た気泡は、磁気テープの
金属粉を巻き込み磁気信号に悪影響を及ぼす。
【０００８】本発明は上記のような従来の問題点を解消
するためになされたもので、ＭＩＧ型磁気ヘッドの製造
工程において上述したガラス溶着時の気泡の発生の防止
と内部応力を緩和することによってクラックの発生を防
止し、ヘッド製造工程の歩留まりを向上させることを目
的とするものである。
するためになされたもので、ＭＩＧ型磁気ヘッドの製造
工程において上述したガラス溶着時の気泡の発生の防止
と内部応力を緩和することによってクラックの発生を防
止し、ヘッド製造工程の歩留まりを向上させることを目
的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】このため、本発明に係る
磁気ヘッドの製造方法は、強磁性酸化物から成る一対の
コア材の対向させる表面に磁気ギャップ部が所定のトラ
ック幅に対応できるようにトラック溝を形成し、該対向
させる表面に高飽和磁束密度の合金膜を形成し、磁気ギ
ャップを形成する磁気ギャップ材を介在させて前記高飽
和磁束密度合金膜を形成した面を突き合わせガラス溶着
によって前記一対のコア材を接合して磁気コアを形成す
る工程を有する磁気ヘッドの製造方法であって、前記ガ
ラス溶着による接合は不活性ガスに酸素を３００ｐｐｍ
ないし５０００ｐｐｍ混入させた雰囲気内にて行うこと
によって、上記の目的を達成しようとするものである。
磁気ヘッドの製造方法は、強磁性酸化物から成る一対の
コア材の対向させる表面に磁気ギャップ部が所定のトラ
ック幅に対応できるようにトラック溝を形成し、該対向
させる表面に高飽和磁束密度の合金膜を形成し、磁気ギ
ャップを形成する磁気ギャップ材を介在させて前記高飽
和磁束密度合金膜を形成した面を突き合わせガラス溶着
によって前記一対のコア材を接合して磁気コアを形成す
る工程を有する磁気ヘッドの製造方法であって、前記ガ
ラス溶着による接合は不活性ガスに酸素を３００ｐｐｍ
ないし５０００ｐｐｍ混入させた雰囲気内にて行うこと
によって、上記の目的を達成しようとするものである。
【００１０】
【作用】上記の製造方法により、ガラス溶着時の気泡，
残留応力を低減でき歩留まりの高い低コストの磁気ヘッ
ドを提供することができる。
残留応力を低減でき歩留まりの高い低コストの磁気ヘッ
ドを提供することができる。
【００１１】
【実施例】図１は本発明の一実施例により製造されたＭ
ＩＧ型の磁気ヘッドの磁気コアの外観を示す斜視図であ
る。フェライト等の強磁性酸化物から成る一対のコア半
体１０，１０が磁気ギャップ６を形成する磁気ギャップ
材を介して突き合わされ、溶着ガラス３の溶着により接
合されており、コア半体１０，１０の突き合わせ面には
高飽和磁束密度のセンダスト合金などから成る金属磁性
薄膜２が成膜されている。
ＩＧ型の磁気ヘッドの磁気コアの外観を示す斜視図であ
る。フェライト等の強磁性酸化物から成る一対のコア半
体１０，１０が磁気ギャップ６を形成する磁気ギャップ
材を介して突き合わされ、溶着ガラス３の溶着により接
合されており、コア半体１０，１０の突き合わせ面には
高飽和磁束密度のセンダスト合金などから成る金属磁性
薄膜２が成膜されている。
【００１２】磁気コアには巻線窓５が形成されており、
この巻線窓５を通して不図示のコイル巻線を磁気コアに
巻回して磁気ヘッドが構成される。
この巻線窓５を通して不図示のコイル巻線を磁気コアに
巻回して磁気ヘッドが構成される。
【００１３】磁気コアの図１に示す上面は不図示の磁気
記録媒体が摺動接触する媒体摺動面１１であり円筒面状
に形成されている。
記録媒体が摺動接触する媒体摺動面１１であり円筒面状
に形成されている。
【００１４】図２は上記コア半体の製造工程を示す斜視
図である。
図である。
【００１５】１は図１に示すコア半体１０を切り出すコ
ア材であり、強磁性酸化物から矩形の板状に形成されて
いる。
ア材であり、強磁性酸化物から矩形の板状に形成されて
いる。
【００１６】磁気コアの製造工程では、まずコア材１に
図１に示す磁気ギャップ６のトラック幅を規定するため
のＶ字形のトラック溝４をトラック幅に対応した間隔で
形成する。また前記の巻線窓５を形成する巻線溝５ａが
形成してある。そして図２に示すようにコア材１のトラ
ック溝４と巻線溝５ａを加工した加工面側の全面に前記
の金属磁性薄膜２を成膜する。
図１に示す磁気ギャップ６のトラック幅を規定するため
のＶ字形のトラック溝４をトラック幅に対応した間隔で
形成する。また前記の巻線窓５を形成する巻線溝５ａが
形成してある。そして図２に示すようにコア材１のトラ
ック溝４と巻線溝５ａを加工した加工面側の全面に前記
の金属磁性薄膜２を成膜する。
【００１７】次に図３に示すように、上記の工程を経た
一対のコア材１の金属磁性薄膜２の成膜面を磁気ギャッ
プ６のギャップ材を介して突き合わせ、溶着ガラス３の
溶着により接合する。そして、この接合体の図３に示す
前面と背面が記録媒体への摺動面１１となるように円筒
面状に加工した後、符号８，９で示す切断線に沿って切
断して図１の磁気コアが得られる。
一対のコア材１の金属磁性薄膜２の成膜面を磁気ギャッ
プ６のギャップ材を介して突き合わせ、溶着ガラス３の
溶着により接合する。そして、この接合体の図３に示す
前面と背面が記録媒体への摺動面１１となるように円筒
面状に加工した後、符号８，９で示す切断線に沿って切
断して図１の磁気コアが得られる。
【００１８】図４は、上記コア材１どうしのガラス溶着
工程において、ＰｂＯ−ＳｉＯ2 −Ｂｉ2 Ｏ3 −Ｂ2 Ｏ
3 系溶着ガラスで、溶着雰囲気に不活性ガスＮ2 に酸素
Ｏ2を１０００ｐｐｍ添加して溶着した実施例と、溶着
雰囲気が純Ｎ2 ガスで溶着した従来例とのガラス流れ性
の差の実験結果が示してある。
工程において、ＰｂＯ−ＳｉＯ2 −Ｂｉ2 Ｏ3 −Ｂ2 Ｏ
3 系溶着ガラスで、溶着雰囲気に不活性ガスＮ2 に酸素
Ｏ2を１０００ｐｐｍ添加して溶着した実施例と、溶着
雰囲気が純Ｎ2 ガスで溶着した従来例とのガラス流れ性
の差の実験結果が示してある。
【００１９】図４に示すように、本実施例では最適溶着
温度を５７０℃から５５０℃に低く抑えることが可能と
成る。これはガラス溶着面のギャップ材を介した金属膜
が酸素を入れることにより温度上昇と共に表面に酸化膜
が形成され、従来は溶着ガラスからの酸素Ｏ2 を取り込
んでいたためガラス流れが妨げられていたのを酸素添加
の強固な酸化膜によりガラス流れ性が向上したことによ
る。
温度を５７０℃から５５０℃に低く抑えることが可能と
成る。これはガラス溶着面のギャップ材を介した金属膜
が酸素を入れることにより温度上昇と共に表面に酸化膜
が形成され、従来は溶着ガラスからの酸素Ｏ2 を取り込
んでいたためガラス流れが妨げられていたのを酸素添加
の強固な酸化膜によりガラス流れ性が向上したことによ
る。
【００２０】なお、上記の酸素の添加は、種々実験の結
果３００ｐｐｍないし５０００ｐｐｍとすることによ
り、上記作用・効果を発揮できることが確認できた。
果３００ｐｐｍないし５０００ｐｐｍとすることによ
り、上記作用・効果を発揮できることが確認できた。
【００２１】これは３００ｐｐｍ以上で溶着温度はほぼ
同じ傾向を示すが、酸化の面から５０００ｐｐｍ以下が
望ましいという理由によると思われる。
同じ傾向を示すが、酸化の面から５０００ｐｐｍ以下が
望ましいという理由によると思われる。
【００２２】なお、上記実施例は不活性ガスをＮ2 とし
たが、Ａｒ等の他の不活性ガス中においても同様に実施
できる。
たが、Ａｒ等の他の不活性ガス中においても同様に実施
できる。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、強磁性酸化物から成るコア材に、磁気コアの
磁気ギャップ部のトラック幅を規定するトラック溝を加
工し、該加工面側に金属磁性薄膜を成膜して、該コア材
の一対を磁気ギャップ材を挟んで金属磁性薄膜の成膜面
を突き合わせ、ガラス溶着により接合する工程を有する
磁気ヘッドの製造方法において、前記ガラス溶着時の雰
囲気に不活性ガス（Ｎ2，Ａｒ等）に酸素を３００〜５
０００ｐｐｍ添加して溶着することにより溶着ガラスの
最適溶着温度を引き下げることが可能となり、ガラスと
金属磁性膜との反応を抑えることができ、ガラス内に発
生する気泡を抑えることができると共に、溶着ガラスの
温度を下げることができコア材内部の残留応力を低くす
ることとなり、コア加工におけるガラス部，コア材のク
ラックの発生も抑えることが可能となるという優れた効
果が得られる。
によれば、強磁性酸化物から成るコア材に、磁気コアの
磁気ギャップ部のトラック幅を規定するトラック溝を加
工し、該加工面側に金属磁性薄膜を成膜して、該コア材
の一対を磁気ギャップ材を挟んで金属磁性薄膜の成膜面
を突き合わせ、ガラス溶着により接合する工程を有する
磁気ヘッドの製造方法において、前記ガラス溶着時の雰
囲気に不活性ガス（Ｎ2，Ａｒ等）に酸素を３００〜５
０００ｐｐｍ添加して溶着することにより溶着ガラスの
最適溶着温度を引き下げることが可能となり、ガラスと
金属磁性膜との反応を抑えることができ、ガラス内に発
生する気泡を抑えることができると共に、溶着ガラスの
温度を下げることができコア材内部の残留応力を低くす
ることとなり、コア加工におけるガラス部，コア材のク
ラックの発生も抑えることが可能となるという優れた効
果が得られる。
【図１】 本発明の一実施例の製造工程により製造され
たＭＩＧ型磁気ヘッドの磁気コアの斜視図である。
たＭＩＧ型磁気ヘッドの磁気コアの斜視図である。
【図２】 一実施例の製造工程においてコア材にトラッ
ク溝，巻線溝を加工し、金属磁性薄膜を成膜した状態を
示す斜視図である。
ク溝，巻線溝を加工し、金属磁性薄膜を成膜した状態を
示す斜視図である。
【図３】 一実施例の製造工程においてコア材どうしを
突き合わせ、ガラス溶着により接合した状態を示す斜視
図である。
突き合わせ、ガラス溶着により接合した状態を示す斜視
図である。
【図４】 一実施例におけるガス溶着時のガラス流れ性
と従来方法との違いを示す線図である。
と従来方法との違いを示す線図である。
１ コア材 ２ 金属磁性薄膜 ３ 溶着ガラス ４ トラック溝 ５ 巻線窓 ５ａ 巻線溝 ６ 磁気ギャップ ８，９ 切断線 １０ コア半体 １１ 媒体摺動面
Claims (1)
- 【請求項１】 強磁性酸化物から成る一対のコア材の対
向させる表面に磁気ギャップ部が所定のトラック幅に対
応できるようにトラック溝を形成し、該対向させる表面
に高飽和磁束密度の合金膜を形成し、磁気ギャップを形
成する磁気ギャップ材を介在させて前記高飽和磁束密度
合金膜を形成した面を突き合わせガラス溶着によって前
記一対のコア材を接合して磁気コアを形成する工程を有
する磁気ヘッドの製造方法であって、前記ガラス溶着に
よる接合は不活性ガスに酸素を３００ｐｐｍないし５０
００ｐｐｍ混入させた雰囲気内にて行うことを特徴とす
る磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8672294A JPH07296313A (ja) | 1994-04-25 | 1994-04-25 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8672294A JPH07296313A (ja) | 1994-04-25 | 1994-04-25 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07296313A true JPH07296313A (ja) | 1995-11-10 |
Family
ID=13894771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8672294A Withdrawn JPH07296313A (ja) | 1994-04-25 | 1994-04-25 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07296313A (ja) |
-
1994
- 1994-04-25 JP JP8672294A patent/JPH07296313A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010703 |