JPH07311908A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH07311908A JPH07311908A JP12697294A JP12697294A JPH07311908A JP H07311908 A JPH07311908 A JP H07311908A JP 12697294 A JP12697294 A JP 12697294A JP 12697294 A JP12697294 A JP 12697294A JP H07311908 A JPH07311908 A JP H07311908A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laminated
- plate
- core
- gapped
- magnetic head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ギャップ溶着時の工程歩留り、及び材料歩留
りを改善できる磁気ヘッドの製造方法を提供する。 【構成】 積層ブロック30を同一形状の積層プレート
40に切断する。積層プレート40の一方の面にアペッ
クス溝入れ及び巻線溝入れなどの処理の後、積層プレー
ト40の両面にギャップ材を成膜し、そして各積層プレ
ート40を重ね合わせて互いに溶着し、ギャップドブロ
ック50を作製する。ギャップドブロック50を、Iコ
アプレート60A及びCコアプレート60Bからなるギ
ャップドプレート60に切断し、更に公知の工程を経て
磁気ヘッドチップ1を得る。
りを改善できる磁気ヘッドの製造方法を提供する。 【構成】 積層ブロック30を同一形状の積層プレート
40に切断する。積層プレート40の一方の面にアペッ
クス溝入れ及び巻線溝入れなどの処理の後、積層プレー
ト40の両面にギャップ材を成膜し、そして各積層プレ
ート40を重ね合わせて互いに溶着し、ギャップドブロ
ック50を作製する。ギャップドブロック50を、Iコ
アプレート60A及びCコアプレート60Bからなるギ
ャップドプレート60に切断し、更に公知の工程を経て
磁気ヘッドチップ1を得る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、一般に二つのコア半体
を所定ギャップ長にて突合せて接合することにより構成
される磁気ヘッドの製造方法に関するものであり、特
に、Fe−Si−Al合金磁性膜などのような磁性薄膜
を非磁性基板にて挟持した構造の二つのコア半体を所定
ギャップ長にて突合せて接合することにより構成される
磁気ヘッドの製造方法に関するものである。このような
磁気ヘッドは、特に、高周波用で且つ高いS/N比が要
求される高密度記録用ヘッド、コンピュ−タ用ヘッドな
どに好適に使用される。
を所定ギャップ長にて突合せて接合することにより構成
される磁気ヘッドの製造方法に関するものであり、特
に、Fe−Si−Al合金磁性膜などのような磁性薄膜
を非磁性基板にて挟持した構造の二つのコア半体を所定
ギャップ長にて突合せて接合することにより構成される
磁気ヘッドの製造方法に関するものである。このような
磁気ヘッドは、特に、高周波用で且つ高いS/N比が要
求される高密度記録用ヘッド、コンピュ−タ用ヘッドな
どに好適に使用される。
【0002】
【従来の技術】磁気記録技術の分野における最近の記録
密度の向上は著しく、これに伴なって例えば電磁変換素
子としての磁気ヘッドに対する狭トラック化及びコア材
料の飽和磁化の増大並びに高周波領域における透磁率の
改善といった要求が高まっている。
密度の向上は著しく、これに伴なって例えば電磁変換素
子としての磁気ヘッドに対する狭トラック化及びコア材
料の飽和磁化の増大並びに高周波領域における透磁率の
改善といった要求が高まっている。
【0003】近年、磁気記録分野における上記要求を満
足せしめる磁気ヘッドとして、例えばFe−Si−Al
合金膜を用いた薄膜積層磁気ヘッドが注目を浴びてい
る。このような磁気ヘッドの製造方法の一例を図12を
参照して簡単に説明する。
足せしめる磁気ヘッドとして、例えばFe−Si−Al
合金膜を用いた薄膜積層磁気ヘッドが注目を浴びてい
る。このような磁気ヘッドの製造方法の一例を図12を
参照して簡単に説明する。
【0004】図12において、先ず公知の方法により磁
性薄膜積層体、即ち積層ブロック90を作製し(A)、
この積層ブロック90を切断してIコアプレート91及
びCコアプレート92を形成する(B)。このとき、図
にて明らかなようにIコアプレート91の厚さはCコア
プレート92の厚さに比して非常に薄いものとされてい
る。
性薄膜積層体、即ち積層ブロック90を作製し(A)、
この積層ブロック90を切断してIコアプレート91及
びCコアプレート92を形成する(B)。このとき、図
にて明らかなようにIコアプレート91の厚さはCコア
プレート92の厚さに比して非常に薄いものとされてい
る。
【0005】次にCコアプレート92の表面にアペック
スガラスモールドのための溝入れ、巻線溝のための溝入
れ等の処理を行なった後、Cコアプレート92及びIコ
アプレート91とをスペーサ及び接合ガラス層を介し
て、トラックの位置合わせをした後、加熱加圧接合、所
謂ギャップ溶着を行ないギャップドプレート93を得る
(C)。更に、ギャップドプレート93に研削等の加工
を加えて所定の厚みのギャップドプレート93’を作製
する(D)。
スガラスモールドのための溝入れ、巻線溝のための溝入
れ等の処理を行なった後、Cコアプレート92及びIコ
アプレート91とをスペーサ及び接合ガラス層を介し
て、トラックの位置合わせをした後、加熱加圧接合、所
謂ギャップ溶着を行ないギャップドプレート93を得る
(C)。更に、ギャップドプレート93に研削等の加工
を加えて所定の厚みのギャップドプレート93’を作製
する(D)。
【0006】このようにして作製されたギャップドプレ
ート93’に公知の工程を経て、図11に示すようなI
コア100とCコア200から成る磁気ヘッド1を得て
いた。
ート93’に公知の工程を経て、図11に示すようなI
コア100とCコア200から成る磁気ヘッド1を得て
いた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来の製
造方法においては、Cコアプレート及びIコアプレート
を作製した後に、ギャップ溶着を行ないギャップドプレ
ートを作製していた。このギャップ溶着を行なう工程に
おいてトラックの位置合わせを行なうためCコアプレー
ト及びIコアプレートを正確にアライメントすることが
要求される。
造方法においては、Cコアプレート及びIコアプレート
を作製した後に、ギャップ溶着を行ないギャップドプレ
ートを作製していた。このギャップ溶着を行なう工程に
おいてトラックの位置合わせを行なうためCコアプレー
ト及びIコアプレートを正確にアライメントすることが
要求される。
【0008】しかしながら、Cコアプレート及びIコア
プレートは、それぞれの厚みが異なること、また形状が
非対称であること等により、IコアプレートがCコアプ
レートに対して凸状に反り、ギャップ長不良(ギャップ
長大、ギャップ未溶着等)及び/又はミスアライメント
(膜ピッチずれ、平行移動等)が発生する。その結果ギ
ャップ溶着時の不良製品が多く、工程歩留りが悪いとい
う問題があった。
プレートは、それぞれの厚みが異なること、また形状が
非対称であること等により、IコアプレートがCコアプ
レートに対して凸状に反り、ギャップ長不良(ギャップ
長大、ギャップ未溶着等)及び/又はミスアライメント
(膜ピッチずれ、平行移動等)が発生する。その結果ギ
ャップ溶着時の不良製品が多く、工程歩留りが悪いとい
う問題があった。
【0009】また上記の従来の製造方法においては、I
コアプレート及びCコアプレートを正確にアライメント
するため、取り敢えず図12(C)に示すように、反り
の影響がでないように、図12(D)の所望の厚み(t
1 、t2 )より大きな厚み(T1 、T2 )で切断してギ
ャップドプレートを作製した後、研削加工を施し所望厚
み(t1 、t2 )のIコアプレート及びCコアプレート
を得ていたため、材料のうち研削加工時に捨てられる部
分が多く材料歩留りが悪いという問題もあった。
コアプレート及びCコアプレートを正確にアライメント
するため、取り敢えず図12(C)に示すように、反り
の影響がでないように、図12(D)の所望の厚み(t
1 、t2 )より大きな厚み(T1 、T2 )で切断してギ
ャップドプレートを作製した後、研削加工を施し所望厚
み(t1 、t2 )のIコアプレート及びCコアプレート
を得ていたため、材料のうち研削加工時に捨てられる部
分が多く材料歩留りが悪いという問題もあった。
【0010】従って、本発明の目的は、ギャップ溶着時
の工程歩留り、及び材料歩留りの良好な磁気ヘッドの製
造方法を提供することである。
の工程歩留り、及び材料歩留りの良好な磁気ヘッドの製
造方法を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的は本発明に係る
磁気ヘッドの製造方法にて達成される。要約すれば、本
発明は、二つのコア半体を所定ギャップ長にて突合せて
接合することにより構成される磁気ヘッドの製造方法に
おいて、基板と該基板上に設けられた合金膜とを含む磁
性薄膜層を積層してなる磁性薄膜積層体を同一厚さに切
断して複数の積層プレートを作製する工程と、該各積層
プレートの少なくとも一方の面にアペックス溝入れ及び
巻線溝入れの処理を施し、そして前記各積層プレートの
両面にギャップ材を成膜した後前記各積層プレートを重
ね合わせて互いに溶着してギャップドブロックを得る工
程と、該ギャップドブロックを等間隔に切断して前記二
つのコア半体を含むギャップドプレートを得る工程とを
含むことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法である。
磁気ヘッドの製造方法にて達成される。要約すれば、本
発明は、二つのコア半体を所定ギャップ長にて突合せて
接合することにより構成される磁気ヘッドの製造方法に
おいて、基板と該基板上に設けられた合金膜とを含む磁
性薄膜層を積層してなる磁性薄膜積層体を同一厚さに切
断して複数の積層プレートを作製する工程と、該各積層
プレートの少なくとも一方の面にアペックス溝入れ及び
巻線溝入れの処理を施し、そして前記各積層プレートの
両面にギャップ材を成膜した後前記各積層プレートを重
ね合わせて互いに溶着してギャップドブロックを得る工
程と、該ギャップドブロックを等間隔に切断して前記二
つのコア半体を含むギャップドプレートを得る工程とを
含むことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法である。
【0012】前記二つのコア半体はIコアプレート及び
Cコアプレート、又はともにCコアプレートとされる。
Cコアプレート、又はともにCコアプレートとされる。
【0013】
【実施例】以下、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の
一実施例を図面に則して更に詳しく説明する。尚、本実
施例では、製造される磁気ヘッドは、磁性膜としてFe
−Si−Al合金磁性膜を用いた薄膜積層磁気ヘッドと
する。但し、この形式の磁気ヘッドに限定されるもので
はない。
一実施例を図面に則して更に詳しく説明する。尚、本実
施例では、製造される磁気ヘッドは、磁性膜としてFe
−Si−Al合金磁性膜を用いた薄膜積層磁気ヘッドと
する。但し、この形式の磁気ヘッドに限定されるもので
はない。
【0014】先ず本実施例の磁気ヘッドの製造方法を、
図12に示した従来の製造方法に比して、図1により概
略的に説明する。同図において、従来と同様にして作製
された磁性薄膜積層体、即ち積層ブロック30を形成す
る(A)。次にこの積層ブロック30を、従来の製造方
法と異なり同一の厚さにて切断し、実質的に同一形状の
複数の積層プレート40を作製する(B)。次に各積層
プレート40の少なくとも一方の面にアペックス溝入れ
及び巻線溝入れなどの処理を施す。更に従来の製造方法
と異なり積層プレート40の両面にスパッタリングによ
りギャップ材を成膜し、トラックアライメントを行ない
ながら、各積層プレート40を重ね合わせて互いに溶着
し、即ちギャップ溶着を施し、ギャップドブロック50
を作製する(C)。更にギャップドブロック50を等間
隔に厚さ(T)にて切断して厚さt1 のIコアプレート
60A、厚さt2 のCコアプレート60Bからなるギャ
ップドプレート60を製造する(D)。
図12に示した従来の製造方法に比して、図1により概
略的に説明する。同図において、従来と同様にして作製
された磁性薄膜積層体、即ち積層ブロック30を形成す
る(A)。次にこの積層ブロック30を、従来の製造方
法と異なり同一の厚さにて切断し、実質的に同一形状の
複数の積層プレート40を作製する(B)。次に各積層
プレート40の少なくとも一方の面にアペックス溝入れ
及び巻線溝入れなどの処理を施す。更に従来の製造方法
と異なり積層プレート40の両面にスパッタリングによ
りギャップ材を成膜し、トラックアライメントを行ない
ながら、各積層プレート40を重ね合わせて互いに溶着
し、即ちギャップ溶着を施し、ギャップドブロック50
を作製する(C)。更にギャップドブロック50を等間
隔に厚さ(T)にて切断して厚さt1 のIコアプレート
60A、厚さt2 のCコアプレート60Bからなるギャ
ップドプレート60を製造する(D)。
【0015】このようにして作製されたギャップドプレ
ート60に従来と同様な所定の処理を加えて、図11に
示すような磁気ヘッド1を得る。
ート60に従来と同様な所定の処理を加えて、図11に
示すような磁気ヘッド1を得る。
【0016】次に上記の製造方法について、図2乃至図
11により更に詳しく説明する。
11により更に詳しく説明する。
【0017】先ず、図2に示すように、CoO−NiO
を主成分とするセラミックスの如き非磁性基板11を準
備する(A)。該基板11上に、スパッタリング法によ
りFe−Si−Al合金膜12を成膜し、合金磁性薄膜
層14を得る(B)。
を主成分とするセラミックスの如き非磁性基板11を準
備する(A)。該基板11上に、スパッタリング法によ
りFe−Si−Al合金膜12を成膜し、合金磁性薄膜
層14を得る(B)。
【0018】次いで、この合金磁性薄膜層14上に、例
えば、軟化点600℃以上の、好ましくは650℃〜8
00℃の積層ガラス15をスパッタリング法等で形成す
る(C)。積層ガラス15としてはSiO2 −Al2 O
3 −Na2 O系のガラス或はSiO2 −B2 O3 −Na
2 O系のガラスが好適である。
えば、軟化点600℃以上の、好ましくは650℃〜8
00℃の積層ガラス15をスパッタリング法等で形成す
る(C)。積層ガラス15としてはSiO2 −Al2 O
3 −Na2 O系のガラス或はSiO2 −B2 O3 −Na
2 O系のガラスが好適である。
【0019】次に、このようにして作製された磁性薄膜
層14を有する基板11を、図3に示すように、複数枚
積層し、最上部にダミープレート16を配置して加圧機
にて加熱加圧する。これによって、積層ガラス15が溶
融して互いに一体に接合され、磁性薄膜積層体(積層ブ
ロック)30が形成される。尚、ダミープレート16
は、基板11と同じ材料のものである。
層14を有する基板11を、図3に示すように、複数枚
積層し、最上部にダミープレート16を配置して加圧機
にて加熱加圧する。これによって、積層ガラス15が溶
融して互いに一体に接合され、磁性薄膜積層体(積層ブ
ロック)30が形成される。尚、ダミープレート16
は、基板11と同じ材料のものである。
【0020】次に、図3に一点鎖線にて示すように、積
層した厚さ方向に等間隔で切断し、図4に示すようにC
コア及びIコアを作製するための積層プレート40を切
り出す。
層した厚さ方向に等間隔で切断し、図4に示すようにC
コア及びIコアを作製するための積層プレート40を切
り出す。
【0021】更に、図5に示すように各積層プレート4
0の表面にアペックスガラスモールド20(図11参
照)のための溝入れ、及び図6に示すように巻線溝22
(図11参照)のための溝入れを行う。
0の表面にアペックスガラスモールド20(図11参
照)のための溝入れ、及び図6に示すように巻線溝22
(図11参照)のための溝入れを行う。
【0022】更に、各積層プレート40の両面にスペー
サー21及び接合ガラス層(m)をスパッタリング法に
て形成する。その後、図7に示すように各積層プレート
40をスペーサー21及び接合ガラス層(m)を介して
トラック位置合わせを行なった後、加熱加圧することに
より、ギャップドブロック50を得る。尚、図7には1
セットのみ図示されているが、積層ブロック30から切
り出した積層プレート40を複数のセットに分割して溶
着することも可能である。
サー21及び接合ガラス層(m)をスパッタリング法に
て形成する。その後、図7に示すように各積層プレート
40をスペーサー21及び接合ガラス層(m)を介して
トラック位置合わせを行なった後、加熱加圧することに
より、ギャップドブロック50を得る。尚、図7には1
セットのみ図示されているが、積層ブロック30から切
り出した積層プレート40を複数のセットに分割して溶
着することも可能である。
【0023】次いで、図8に示すように、ギャップドブ
ロック50をその層面に対して平行に切断し、Iコアプ
レート60A及びCコアプレート60Bからなるギャッ
プドプレート60を得る。
ロック50をその層面に対して平行に切断し、Iコアプ
レート60A及びCコアプレート60Bからなるギャッ
プドプレート60を得る。
【0024】次に、図9に示すように各ギャップドプレ
ート60のIコアサイド60A及びCコアサイド60B
にそれぞれ研削処理を施す。
ート60のIコアサイド60A及びCコアサイド60B
にそれぞれ研削処理を施す。
【0025】更に、図10に示すように、各ギャップド
プレート60を矢印にて示す溝入れ方向に対して平行に
切断しバーを得る。
プレート60を矢印にて示す溝入れ方向に対して平行に
切断しバーを得る。
【0026】更に、チップ切断を行なうことによって、
図11に示す磁気ヘッドチップ1を得る。
図11に示す磁気ヘッドチップ1を得る。
【0027】上記のような工程を経ることにより、1ブ
ロック当たり、従来の方法に比べ、2倍以上のヘッドチ
ップを得ることができる。また、ギャップ溶着時にも、
反りの差がなくなり、工程歩留りを向上することができ
る。
ロック当たり、従来の方法に比べ、2倍以上のヘッドチ
ップを得ることができる。また、ギャップ溶着時にも、
反りの差がなくなり、工程歩留りを向上することができ
る。
【0028】以上のように本発明による磁気ヘッドの製
造方法が、積層ブロック30を同じ形状の積層プレート
40に切断する工程と、次に積層プレート40の少なく
とも一方の面にアペックス溝入れ及び巻線溝入れなどの
処理を施した後、積層プレート40の両面にスパッタリ
ングによりギャップ材を成膜し、そして各積層プレート
40を重ね合わせて溶着し、即ちギャップ溶着を施し、
ギャップドブロック50を作製する工程とを含むことに
より、ギャップ溶着時の工程歩留り、及び材料歩留りを
改善することができる。
造方法が、積層ブロック30を同じ形状の積層プレート
40に切断する工程と、次に積層プレート40の少なく
とも一方の面にアペックス溝入れ及び巻線溝入れなどの
処理を施した後、積層プレート40の両面にスパッタリ
ングによりギャップ材を成膜し、そして各積層プレート
40を重ね合わせて溶着し、即ちギャップ溶着を施し、
ギャップドブロック50を作製する工程とを含むことに
より、ギャップ溶着時の工程歩留り、及び材料歩留りを
改善することができる。
【0029】尚、上記実施例では2つのコア半体がIコ
アプレート及びCコアプレートである場合について説明
したが、ともにCコアプレートであっても本発明の方法
を適用できることは当然である。
アプレート及びCコアプレートである場合について説明
したが、ともにCコアプレートであっても本発明の方法
を適用できることは当然である。
【0030】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
による磁気ヘッドの製造方法は、基板と該基板上に設け
られた合金膜とを含む磁性薄膜層を積層してなる磁性薄
膜積層体を同一形状の積層プレートに切断する工程と、
該積層プレートの一方の面に少なくともアペックス溝入
れ及び巻線溝入れの処理を施し、前記積層プレートの両
面にギャップ材を成膜し、そして各積層プレートを重ね
合わせて溶着してギャップドブロックを得る工程と、該
ギャップドブロックを等間隔に切断し記二つのコア半体
を含むギャップドプレードを得る工程とを含むことによ
り、ギャップ溶着時の工程歩留り、及び材料歩留りを改
善することができ、生産性の向上を達成することができ
る。
による磁気ヘッドの製造方法は、基板と該基板上に設け
られた合金膜とを含む磁性薄膜層を積層してなる磁性薄
膜積層体を同一形状の積層プレートに切断する工程と、
該積層プレートの一方の面に少なくともアペックス溝入
れ及び巻線溝入れの処理を施し、前記積層プレートの両
面にギャップ材を成膜し、そして各積層プレートを重ね
合わせて溶着してギャップドブロックを得る工程と、該
ギャップドブロックを等間隔に切断し記二つのコア半体
を含むギャップドプレードを得る工程とを含むことによ
り、ギャップ溶着時の工程歩留り、及び材料歩留りを改
善することができ、生産性の向上を達成することができ
る。
【図1】本発明による磁気ヘッドの製造方法における重
要な工程の一実施例を示す説明図である。
要な工程の一実施例を示す説明図である。
【図2】磁性薄膜層を得る工程を示す説明図である。
【図3】図2の磁性薄膜層を積層して得た積層ブロック
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図4】図3の積層ブロックを切断して得た積層プレー
トを示す斜視図である。
トを示す斜視図である。
【図5】図4の積層プレートにアペックス溝入れをした
状態を示す斜視図ある。
状態を示す斜視図ある。
【図6】図5の積層プレートに更に巻線溝入れをした状
態を示す斜視図である。
態を示す斜視図である。
【図7】図5の積層プレートをギャップ溶着して得たギ
ャプドブロックを示す斜視図である。
ャプドブロックを示す斜視図である。
【図8】図7のギャップドブロックを切断する状態を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図9】図8のギャップドブロックを切断して得たギャ
ップドプレートのI/Cサイドの研削状態を示す斜視図
である。
ップドプレートのI/Cサイドの研削状態を示す斜視図
である。
【図10】図9のギャップドプレートを切断してバーを
得る状態を示す斜視図である。
得る状態を示す斜視図である。
【図11】バーを切断して得られた磁気ヘッドチップを
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図12】従来の磁気ヘッドの製造方法における重要な
工程を示す説明図である。
工程を示す説明図である。
1 磁気ヘッド 11 基板 12 合金膜 14 磁性薄膜層 30 積層ブロック(磁性薄膜積層体) 40 積層プレート 50 ギャップドブロック 60 ギャップドプレート 60A Iコアプレート 60B Cコアプレート
【手続補正書】
【提出日】平成6年8月9日
【手続補正1】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図1
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】
【手続補正2】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図12
【補正方法】変更
【補正内容】
【図12】
Claims (3)
- 【請求項1】 二つのコア半体を所定ギャップ長にて突
合せて接合することにより構成される磁気ヘッドの製造
方法において、 基板と該基板上に設けられた合金膜とを含む磁性薄膜層
を積層してなる磁性薄膜積層体を同一厚さに切断して複
数の積層プレートを作製する工程と、該各積層プレート
の少なくとも一方の面にアペックス溝入れ及び巻線溝入
れの処理を施し、そして前記各積層プレートの両面にギ
ャップ材を成膜した後前記各積層プレートを重ね合わせ
て互いに溶着してギャップドブロックを得る工程と、該
ギャップドブロックを等間隔に切断して前記二つのコア
半体を含むギャップドプレートを得る工程とを含むこと
を特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項2】 前記二つのコア半体がIコアプレート及
びCコアプレートであることを特徴とする請求項1の磁
気ヘッドの製造方法。 - 【請求項3】 前記二つのコア半体がともにCコアプレ
ートであることを特徴とする請求項1の磁気ヘッドの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12697294A JPH07311908A (ja) | 1994-05-17 | 1994-05-17 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12697294A JPH07311908A (ja) | 1994-05-17 | 1994-05-17 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07311908A true JPH07311908A (ja) | 1995-11-28 |
Family
ID=14948461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12697294A Pending JPH07311908A (ja) | 1994-05-17 | 1994-05-17 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07311908A (ja) |
-
1994
- 1994-05-17 JP JP12697294A patent/JPH07311908A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH05182137A (ja) | 浮上型磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH07311908A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP2542946B2 (ja) | 磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS5832218A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JP2874787B2 (ja) | 合金磁性薄膜積層体の製造方法 | |
| JPS58222427A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| KR960008044Y1 (ko) | 적층자기헤드 | |
| JPS618710A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH0426904A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS5819720A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPS6394417A (ja) | 積層接着治具 | |
| JPS60160006A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPS62137711A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH04245002A (ja) | 磁気ヘッドコアの製造方法 | |
| JP2004103177A (ja) | 磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH025208A (ja) | 磁気ヘッド並びにその製造方法 | |
| JPH06139515A (ja) | 積層型磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH06124412A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS6224415A (ja) | 磁気ヘツド及びその製造方法 | |
| JP2005141843A (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPS6371909A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPS63249913A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS61222011A (ja) | 磁気ヘツド製造用複合材 | |
| JPH0512615A (ja) | 磁気ヘツドコアの製造方法 | |
| JPH05151520A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 |