JPH0732946U - スピンコータ用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 スピンコート処理の時間が短縮され、大量生
産性に優れるスピンコータ用治具を提供すること。 【構成】 ベース部材１と押え板２のゴム板３との間に
クランプされた被塗物１０の一片面に薬液をコートした
後、ベース部材１をスピンコータテーブルから取り外し
て、裏返した状態でスピンコータテーブルに取り付け
る。そして、被塗物１０の他方面に薬液をコートして、
被塗物１０を取り外し、定着処理を行う。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、スピンコート法により被塗物の両面に薬液をコートするためのスピ ンコータ用の治具に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、スピンコート法により被塗物の両面に成膜する方法としては、まず被塗 物の一方の面をスピンコータテーブルに接するように固定し、被塗物の他面に薬 液を供給して、スピンコータテーブルを回転して、前記他面に薬液をコートした 後、そのコートした薬液を加熱硬化処理などして被塗物に定着させ、そして、被 塗物を裏返してスピンコートテーブルに固定し、前記一方の面に同様にして薬液 をコートした後、被塗物に対する同様の定着処理を行うことにより、被塗物の両 面に成膜していた。

【０００３】 また、スピンコータにより薬液を被塗物の両面に同時に、コートする方法も種 々試みられている。例えば、特開平４−３１５４３５号公報、特開平２−３３９ ８０号公報に開示されているように、被塗物の中心部を保持部材が保持し、被塗 物の両側から薬液を供給すると共に、前記保持部材が回転して、被塗物の両面に 薬液をコートすることにより成膜していた。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上述のような被塗物の片面づつに対して薬液コート及び定着処 理を行う方法では、スピンコータテーブルに被塗物の片面が接しているので、裏 面のコートを行う前に、表面にコートされた薬液の定着処理を行わなければなら なかった。従って、定着処理を表裏の２度行なわなければならなく、そのめに長 時間を要し、大量生産性に劣るといった問題があった。

【０００５】 また、被塗物の両面に同時に薬液をコートする前記従来の方法では、被塗物が 、その中心部を中心として回転されるので、スピンコート処理が１つの被塗物に 対してしか行えず、大量生産性に劣るといった問題があった。

【０００６】 本考案は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、スピンコー ト処理を速く行うことができるスピンコータ用治具を提供することを目的とする 。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

この目的を達成するために本考案の請求項１のスピンコータ用治具は、被塗物 を協働してクランプするためのベース部材及び押え部材と、前記ベース部材をス ピンコータテーブルに固定するための固定部材とを備えている。

【０００８】 請求項２では、前記ベース部材または前記押え部材の何れか一方或は両方の前 記被塗物をクランプする位置に軟質部材を備えたことを特徴とする。

【０００９】 請求項３では、前記固定部材は、ネジ部とそのネジ部の一端に取り付けられた 頭部とからなるネジ部材であり、前記ベース部材には、前記ネジ部材を通すこと ができる第一領域と、前記ネジ部材のネジ部を通し、且つ前記頭部を通すことが できない第二領域とを有する貫通孔が形成されたことを特徴とする。

【００１０】

【作用】

上記の構成を有する本考案のスピンコータ用治具では、前記ベース部材と前記 押え部材とが協働して被塗物をクランプし、前記ベース部材を固定部材がスピン コータテーブルに固定するので、被塗物はスピンコータテーブルの面上に接しな い。

【００１１】

【実施例】

以下、本考案を具体化した一実施例を図面を参照して説明する。

【００１２】 図１に本考案のスピンコータ用治具の構成を示す斜視図を示す。また、図２（ ａ）に本考案のスピンコータ用治具の平面図、図２（ｂ）に本考案のスピンコー タ用治具の断面図をそれぞれ示す。

【００１３】 図１及び図２に示すように、スピンコータテーブル１１には、固定部材として の固定ネジ４が取り付けられている。その固定ネジ４は、ネジ部とネジ部より径 が大きい頭部とから構成されており、ネジ部がスピンコータテーブル１１に螺合 している。そして、ベース部材１には固定ネジ４のネジ部及び頭部を通すことが できる第一領域と、ネジ部を通し、且つ頭部と通すことができない第二領域とを 有する貫通孔７が形成されている。そして、固定ネジ４を貫通孔７の前記第一領 域を通して、固定ネジ４の前記頭部をベース部材１の上面より上方に配置し、そ の後貫通孔７の前記第二領域に固定ネジ４が移動するようにベース部材１を移動 させ、固定ネジ４を回転させてベース部材１をスピンコータテーブル１１に固定 する。

【００１４】 また、ベース部材１には、押え板２が、バネ部材６を介してクランプネジ５に よって、取り付けられている。その押え板２には、軟質部材としてのゴム板３が 設けられており、そのゴム板３は、ベース部材１に形成されている凸部９に対応 して設けられている。そして、ゴム板３と凸部９との間に、被塗物１０を挟み込 み、バネ部材６を介してクランプネジ５を締め込むことにより、被塗物１０はス ピンコータテーブル１１上に接することなくクランプされる。また、押え板２の 一端はベース部材１に形成されている溝部８にはめ込まれている。

【００１５】 なお、ゴム板３は押え板２に備えられる必要はなく、例えば、ベース部材１側 に備えられてもよい。さらに、被塗物１０を損傷する恐れのない場合には、ゴム 板３は備えられなくてもよい。

【００１６】 上述のような構成の本実施例のスピンコータ用治具は図３に示すように、スピ ンコータの構成部品であり、回転するスピンコータテーブル１１上に配置される 。

【００１７】 なお、本実施例では、スピンコータ用治具はスピンコータテーブル１１の４箇 所に配置したが、設置されるスピンコータ用治具の数は制約されない。

【００１８】 そして、公知の手法により被塗物１０上に薬液をコートする。すなわち、図４ に示すようにスピンコータの回転モータ１４によって連結棒１５を介してスピン コータテーブル１１を回転させながら、薬液瓶１６に収納されている薬液を図示 しない定量ポンプにより所定量だけ、チューブ１７を介してアーム１２に供給し 、薬液吐出口１３から薬液を滴下する。このとき、被塗物１０が配置されている スピンコータテーブル１１の半径方向の位置に対してアーム１２をスイングする ことにより被塗物１０の所望する領域に薬液をコートすることができる。

【００１９】 なお、スピンコータテーブル１１の回転パターンは一定回転速度に限らず、例 えば、薬液を供給する段階では比較的低速で回転させ、その後、薬液の供給が終 了したら高速で回転させ、被塗物１０上に存在する余剰の薬液を遠心力により吹 き飛ばす方法に対しても対応できる。

【００２０】 所定のプログラムにより被塗物の片面に薬液をコートした後、固定ネジ４を緩 め、貫通孔７の前記第二領域から前記第一領域へ固定ネジ４を移動するようにベ ース部材１を移動させ、その後、固定ネジ４を貫通孔７の第一領域を通過させる ことによりベース部材１をスピンコータテーブル８からはずす。そして、薬液を コートした面の裏面がコートされるように、ベース部材１を裏返して、貫通孔７ の前記第一領域に固定ネジ４を通過させ、貫通孔の前記第二領域に固定ネジ４が 移動するようにベース部材１を移動させ、固定ネジ４を締める。このとき、貫通 孔７を利用することにより、固定ネジ４をスピンコータテーブル１１から完全に はずすことなく、ベース部材１をスピンコータテーブル１１に対して脱着するこ とができるので処理速度が速い。

【００２１】 そして、被塗物１０の他方の面にも同様に薬液をコートして被塗物１０の両面 に薬液をコートした後、被塗物１０をスピンコータ用治具から取り外す。このと き、クランプネジ５を緩めると、バネ部材６の反発力により、押え板２はベース 部材１に形成されている溝部８を中心に上方に回転する。よって、被塗物１０を クランプしている部分の凸部９との間隔が広がり、被塗物１０はスピンコータ用 治具から取り外すことができる。続けて、次の被塗物１０をクランプすることが できる。これにより、クランプネジ５を完全に抜くことなく、被塗物１０を脱着 することができるので、処理速度が速い。

【００２２】 次に、被塗物１０に対して所定の定着処理を一度施すことにより、被塗物１０ の両面に成膜することができる。

【００２３】 上述したように、本実施例のスピンコータ用治具では、被塗物１０がベース部 材１の凸部９と押え板２に設けられたゴム板３との間にクランプされているので 、スピンコータテーブル１１に被塗物１０が接することがない。このため、被塗 物１０の両面に薬液をコートした後、定着処理を一度行えば良いので、上述した 第一の従来例と比較して定着処理を一工程省略することができるため、従来より スピンコータ処理にかかる時間が短くなり、大量生産性に優れる。また、スピン コータテーブル１１上に複数のスピンコータ用治具を取り付けることができるの で、大量生産性に優れる。

【００２４】

【考案の効果】

以上説明したことから明かなように、本考案のスピンコータ用治具によれば、 前記ベース部材と前記押え部材とが協働して被塗物をクランプし、前記ベース部 材を固定部材がスピンコータテーブルに固定するので、スピンコータテーブルに 被塗物が接することがない。このため、被塗物の両面に薬液をコートした後、定 着処理を一度行えば良いので、従来より、スピンコート処理にかかる時間が短縮 されて、大量生産性に優れる。また、スピンコータテーブルに複数の治具を取り 付けることができるので、大量生産性に優れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例のスピンコータ用治具の構成
を示す斜視図である。

【図２】前記実施例のスピンコータ治具の構成を示す説
明図である。

【図３】前記実施例のスピンコータ治具の配置を示す平
面図である。

【図４】前記実施例のスピンコータの構成を示す斜視図
である。

【符号の説明】

１ ベース部材 ２ 押え板 ３ ゴム部材 ４ 固定ネジ ６ バネ部材 ７ 鍵穴 １０ 被塗物 １１ スピンコータテーブル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/31

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 被塗物を協働してクランプするためのベ
   ース部材及び押え部材と、 前記ベース部材をスピンコータテーブルに固定するため
   の固定部材とを備えたことを特徴とするスピンコータ用
   治具。
2. 【請求項２】 前記ベース部材または前記押え部材の何
   れか一方或は両方の前記被塗物をクランプする位置に軟
   質部材を備えたことを特徴とする請求項１記載のスピン
   コータ用治具。
3. 【請求項３】 前記固定部材は、ネジ部とそのネジ部の
   一端に取り付けられた頭部とからなるネジ部材であり、
   前記ベース部材には、前記ネジ部材を通すことができる
   第一領域と、前記ネジ部材のネジ部を通し、且つ前記頭
   部を通すことができない第二領域とを有する貫通孔が形
   成されたことを特徴とする請求項１記載のスピンコータ
   用治具。