JPH073445A - スパッタリングターゲット材の接合方法 - Google Patents
スパッタリングターゲット材の接合方法Info
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- JPH073445A JPH073445A JP14888293A JP14888293A JPH073445A JP H073445 A JPH073445 A JP H073445A JP 14888293 A JP14888293 A JP 14888293A JP 14888293 A JP14888293 A JP 14888293A JP H073445 A JPH073445 A JP H073445A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ターゲット材と、銅及び銅合金又はステンレス
からなる冷却部材をＩｎ系の半田を用い、これを加熱空
冷して接合するスパッタリングターゲット材の接合方法
において、ターゲット材と冷却部材にＣｒ／Ｎｉ／Ａｕ
の蒸着を施して、接合することを特徴とする。 【効果】Ｃｒ／Ｎｉ／Ａｕ蒸着をターゲットと冷却部材
に行うことにより、難接合材の接合を安価で容易に行う
ことが出来る。
からなる冷却部材をＩｎ系の半田を用い、これを加熱空
冷して接合するスパッタリングターゲット材の接合方法
において、ターゲット材と冷却部材にＣｒ／Ｎｉ／Ａｕ
の蒸着を施して、接合することを特徴とする。 【効果】Ｃｒ／Ｎｉ／Ａｕ蒸着をターゲットと冷却部材
に行うことにより、難接合材の接合を安価で容易に行う
ことが出来る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＣｒ系の難接合材ターゲ
ット材と、銅又は銅合金又は難接合材であるステンレス
冷却部材とをろう接合する方法に関する。
ット材と、銅又は銅合金又は難接合材であるステンレス
冷却部材とをろう接合する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来は、冷却部材は熱伝導のよい銅を使
用するのが一般的であり、銅はあらゆるろう材に非常に
濡れやすい性質がある。又、銅はめっきによる表面改善
が容易であるので、ターゲット材が難接合材の場合の
み、接合の考慮をする必要があった。
用するのが一般的であり、銅はあらゆるろう材に非常に
濡れやすい性質がある。又、銅はめっきによる表面改善
が容易であるので、ターゲット材が難接合材の場合の
み、接合の考慮をする必要があった。
【０００３】又、銅とターゲット材は熱膨張係数が異な
るため、特開平1−262088 号，特開平1−262089 号，特
開平2−11759号公報にある様に、ろう接合の冷却過程に
おけるターゲット材及び冷却部材の収縮量が、同一にな
る温度にそれぞれ加熱したり、熱膨張の差異から生じる
反りと、逆方向に反り量に応じた反りを与えつつ、ろう
接合を行っている。
るため、特開平1−262088 号，特開平1−262089 号，特
開平2−11759号公報にある様に、ろう接合の冷却過程に
おけるターゲット材及び冷却部材の収縮量が、同一にな
る温度にそれぞれ加熱したり、熱膨張の差異から生じる
反りと、逆方向に反り量に応じた反りを与えつつ、ろう
接合を行っている。
【０００４】しかし、温度管理が難しいことや、適当な
反りを逆に与えることは、実作業上難しい。
反りを逆に与えることは、実作業上難しい。
【０００５】又、特願平4−159127 号明細書では、蒸着
材にＴｉ／Ｐｔ／Ａｕを用いているが、Ｔｉ／Ｐｔ／Ａ
ｕは、非常に高価であり、接合に多大な費用がかかって
いる。
材にＴｉ／Ｐｔ／Ａｕを用いているが、Ｔｉ／Ｐｔ／Ａ
ｕは、非常に高価であり、接合に多大な費用がかかって
いる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】スパッタリングターゲ
ット材は、銅及び銅合金の冷却部材に接合し、スパッタ
リング装置に装着し、水冷して使用するのが通例であ
る。
ット材は、銅及び銅合金の冷却部材に接合し、スパッタ
リング装置に装着し、水冷して使用するのが通例であ
る。
【０００７】しかし、スパッタリング材のターゲットの
中には、その成分系より銅ではなくて、ステンレスのよ
うな難接合材を冷却部材として使用する場合がある。
中には、その成分系より銅ではなくて、ステンレスのよ
うな難接合材を冷却部材として使用する場合がある。
【０００８】ステンレスは一般に、ほとんどのろう材に
は濡れにくく、接合は難しい。
は濡れにくく、接合は難しい。
【０００９】Ｃｒ系ターゲットやＣｏ系ターゲットも、
ろう材には濡れにくい。
ろう材には濡れにくい。
【００１０】よって、特殊なフラックスを用いないとろ
う材は、濡れ広がらない。
う材は、濡れ広がらない。
【００１１】しかし、高真空状態で用いるスパッタリン
グターゲット材の接合にフラックスを用いると、有害な
ガスが生じスパッタリングに支障をきたす。
グターゲット材の接合にフラックスを用いると、有害な
ガスが生じスパッタリングに支障をきたす。
【００１２】又、蒸着材にＴｉ／Ｐｔ／Ａｕを用いる
と、難接合材の接合は可能であるが、非常に高価な材料
を使用するため、接合に多大な費用を要するという問題
があった。
と、難接合材の接合は可能であるが、非常に高価な材料
を使用するため、接合に多大な費用を要するという問題
があった。
【００１３】本発明の目的は難接合ターゲットと、難接
合冷却部材とを安価に接合する方法を提供することにあ
る。
合冷却部材とを安価に接合する方法を提供することにあ
る。
【００１４】
【課題を解決するための手段】難接合材であるＣｏ系や
Ｃｒ系ターゲット及びステンレス冷却部材に、Ｃｒ−Ｎ
ｉ−Ａｕの蒸着を行い、表面の改質を行う。この組織
は、Ｔｉ−Ｐｔ−Ａｕに比較して、非常に安価である。
Ｃｒ系ターゲット及びステンレス冷却部材に、Ｃｒ−Ｎ
ｉ−Ａｕの蒸着を行い、表面の改質を行う。この組織
は、Ｔｉ−Ｐｔ−Ａｕに比較して、非常に安価である。
【００１５】この方法によると、特殊なフラックスを用
いないため、高真空状態でも有害なガスの発生は無い。
いないため、高真空状態でも有害なガスの発生は無い。
【００１６】最上部膜のＡｕは、Ｉｎ半田に非常に濡れ
易く、容易に接合が行える。
易く、容易に接合が行える。
【００１７】
【作用】ろう材に濡れにくいＳＵＳ材及びターゲット材
を、非常に濡れ易いＣｒ−Ｎｉ−Ａｕの蒸着膜を形成し
て、表面改質を行いろう接合が容易にできる。
を、非常に濡れ易いＣｒ−Ｎｉ−Ａｕの蒸着膜を形成し
て、表面改質を行いろう接合が容易にできる。
【００１８】
【実施例】SUS304の２０ＴＰ材にＣｒ／Ｎｉ／Ａｕの蒸
着膜厚を、０.１μ／０.２μ／０.２μ として蒸着を行
い、接着強度のテープ剥離テストを行った。
着膜厚を、０.１μ／０.２μ／０.２μ として蒸着を行
い、接着強度のテープ剥離テストを行った。
【００１９】その結果、剥離は全く認められなかった。
【００２０】同様に、Ｃｏ−Ｃｒ−ＴａターゲットにＣ
ｒ／Ｎｉ／Ａｕの蒸着を行いテープ剥離テストを行った
が、剥離は全く認められなかった。
ｒ／Ｎｉ／Ａｕの蒸着を行いテープ剥離テストを行った
が、剥離は全く認められなかった。
【００２１】予備テストの結果、ＳＵＳ及びＣｏ−Ｃｒ
−Ｔａターゲットへの蒸着性及び接着強度に問題ないこ
とを確認した。
−Ｔａターゲットへの蒸着性及び接着強度に問題ないこ
とを確認した。
【００２２】次に、φ１３０／φ７０×１２ｔ SUS304
冷却部材とφ２４０／６ｔＣｏ−Ｃｒ−Ｔａターゲット
の接合を行った。
冷却部材とφ２４０／６ｔＣｏ−Ｃｒ−Ｔａターゲット
の接合を行った。
【００２３】SUS304冷却部材はリング状であるので、そ
の部分のみ蒸着される様に、蒸着用マスクを作成し、Ｃ
ｒ／Ｎｉ／Ａｕをそれぞれ０.１／０.２／０.２μｍ の
膜厚で蒸着膜を形成した。
の部分のみ蒸着される様に、蒸着用マスクを作成し、Ｃ
ｒ／Ｎｉ／Ａｕをそれぞれ０.１／０.２／０.２μｍ の
膜厚で蒸着膜を形成した。
【００２４】次にターゲット材にも、ＳＵＳのリングの
接合面に蒸着される様に、マスクを作成し、Ｃｒ／Ｎｉ
／ＡｕをＳＵＳ材と同じ膜厚になるさに、蒸着膜を形成
した。
接合面に蒸着される様に、マスクを作成し、Ｃｒ／Ｎｉ
／ＡｕをＳＵＳ材と同じ膜厚になるさに、蒸着膜を形成
した。
【００２５】蒸着が終わったターゲットの接合面にＩｎ
半田箔を置き１８０〜２００℃に加熱し、接合面上に溶
接したＩｎ半田をターゲット全面に薄くのばす。
半田箔を置き１８０〜２００℃に加熱し、接合面上に溶
接したＩｎ半田をターゲット全面に薄くのばす。
【００２６】同様にして、ＳＵＳ冷却部材にもＩｎ半田
を全面に薄くのばす。
を全面に薄くのばす。
【００２７】次にターゲットと、ＳＵＳ冷却部材の接合
面の間に、Ｉｎ半田箔をずれないように積層し、クリッ
プで留め約１０kgのおもしを乗せて、雰囲気温度２００
〜２３０℃の炉の中に入れて約３０分保持する。
面の間に、Ｉｎ半田箔をずれないように積層し、クリッ
プで留め約１０kgのおもしを乗せて、雰囲気温度２００
〜２３０℃の炉の中に入れて約３０分保持する。
【００２８】この様にして接合を行った結果、剥離，変
形のない接合が行えた。
形のない接合が行えた。
【００２９】又、接合品の放射線検査の結果、接合部の
面積率９５％以上と良好であった。今まで難接合材であ
ったＳＵＳ材と、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａターゲット材の接合
を、特殊な治工具を使用せずに安価で容易に行うことが
できた。
面積率９５％以上と良好であった。今まで難接合材であ
ったＳＵＳ材と、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａターゲット材の接合
を、特殊な治工具を使用せずに安価で容易に行うことが
できた。
【００３０】
【発明の効果】本発明によると、Ｃｒ／Ｎｉ／Ａｕ蒸着
をターゲットと冷却部材に行うことにより、難接合材の
接合を安価で容易に行うことが出来る。
をターゲットと冷却部材に行うことにより、難接合材の
接合を安価で容易に行うことが出来る。
【図１】接合前の各部材の積層を示す説明図。
１…Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａターゲット材、２…Ｃｒ／Ｎｉ／
Ａｕ蒸着膜、３…ろう材、４…ＳＵＳ冷却部材。
Ａｕ蒸着膜、３…ろう材、４…ＳＵＳ冷却部材。
Claims (3)
- 【請求項１】ターゲット材と、銅及び銅合金又はステン
レスからなる冷却部材をＩｎ系の半田を用い、これを加
熱空冷して接合するスパッタリングターゲット材の接合
方法において、ターゲット材と冷却部材にＣｒ／Ｎｉ／
Ａｕの蒸着を施して、接合することを特徴とするスパッ
タリングターゲット材の接合方法。 - 【請求項２】請求項１において、Ｃｏ系ターゲット材，
Ｃｒ系ターゲット材及びＮｂ系ターゲット材のような難
接合材に、前記方法を用い、強固な金属間化合物を形成
してろう接合するスパッタリングターゲット材の接合方
法。 - 【請求項３】請求項１または２において、前記冷却部材
が難接合材のステンレスに同様の蒸着を行い、強固な金
属間化合物を形成してろう接合するスパッタリングター
ゲット材の接合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14888293A JPH073445A (ja) | 1993-06-21 | 1993-06-21 | スパッタリングターゲット材の接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14888293A JPH073445A (ja) | 1993-06-21 | 1993-06-21 | スパッタリングターゲット材の接合方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH073445A true JPH073445A (ja) | 1995-01-06 |
Family
ID=15462831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14888293A Pending JPH073445A (ja) | 1993-06-21 | 1993-06-21 | スパッタリングターゲット材の接合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH073445A (ja) |
-
1993
- 1993-06-21 JP JP14888293A patent/JPH073445A/ja active Pending
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