JPH0735397Y2 - 半導体ウエハ収納箱 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、半導体ウエハ収納箱に関するものであり、特
に収納箱を持上げて保持移動するための構造に関するも
のである。

［従来の技術］ 半導体ウエハの製造は一般に、例えばシリコン等に半導
体を200から300の工程において加工して行われる。すな
わち、シリコンを予め定められた多くの工程に順次移動
させ、所定の加工を施して半導体ウエハは製造される。

この移動には、第３図（キャリアボックスの側面図）に
示す半導体ウエハを収納する収納箱としてのキャリアボ
ックス４が用いられる。このキャリアボックス４は図に
示すように、ボックス本体42とボックス蓋40から形成さ
れている。

ボックス本体42とボックス蓋40とは、接続軸4b（第１図
Ｂ参照）によって接続されてる。そして、ボックス蓋40
はこの接続軸4bを中心に自在に開閉することができるよ
うになっている。ボックス蓋40には、貫通穴32aを有す
る突出部材32が固定されている。この貫通穴32aにはボ
ックス本体42が備える凸部30がはまり込み、ボックス蓋
40が閉じられた状態でボックス本体42に固定されるよう
になっている。

このキャリアボックス４にシリコンを収納して次の工程
へと移動させる。キャリアボックス４はその移動が手作
業で行えるような大きさに形成されている。そしてキャ
リアボックス４内には通常、同種の半導体ウエハに加工
されるシリコンが20枚から24枚収納されている。

製造される半導体ウエハには種々のものがあり、その種
類に従って製造工程や加工の内容が決定されている。従
って、工程経路は製造される半導体ウエハの種類により
様々であるので、工程から次の工程への移動を自動的に
行うことは事実上困難である。すなわち、自動化機構が
極めて複雑になり、設備費用が増大するので、キャリア
ボックス４の移動は手作業で行われる。

キャリアボックス４が経由すべき工程や、その工程で施
される加工内容等は、マニュアルであるランカード（図
示せず）に記載され各キャリアボックス４に備え付けら
れている。

今、キャリアボックス４が所定の工程へ運ばれてきたと
する。この工程のオペレータは、まずランカードに記載
されている加工内容を把握する。そしてキャリアボック
ス４に収納されているシリコンを取り出し、ランカード
に記載されている指示に基づいてシリコンに加工を施
す。キャリアボックス４に収納されていた全てのシリコ
ンに加工を施した後、加工済のシリコンを再びキャリア
ボックス４に収納する。そしてオペレーターは、この工
程での加工を終えたことを示すサイン等をランカードに
記載する こうして一つの工程における加工が終了する。

そして、キャリアボックス４は次の工程へと運ばれる。
次に運ばれる工程箇所はランカードに記載されている。
そして以降の工程においても同様の加工処理がなされて
所望する半導体ウエハが製造される。

［考案が解決しようとする課題］ しかし、上記従来の技術には次のような問題があった。

通常、キャリアボックス４を持上げ運搬する場合、第３
図に示すボックス本体42の底面42Lに指を掛けて持ち運
搬移動する。又、ボッックス蓋40に固定されている突出
部材32に指を掛けて持上げることがある。

一方、キャリアボックス４に収納されるシリコンは、塵
芥等が付着すると製品特性が変化し信頼性の低下を招
く。従って、塵芥を可能な限り排除するため、一般に製
造に関与する作業員は防塵加工が施されたクリーン手袋
等を着用している。クリーン手袋には防塵加工が施され
ている為、キャリアボックス４を持上げる際にボックス
本体42の底面42Lに掛けた指が滑り、キャリアボッック
ス４が落下する虞がある。

又、突出部材32に指を掛けて持上げる場合、突出部材32
に設けられている貫通穴32aとボックス本体42が備える
凸部30とのはまり込みが不完全なことがある。このよう
な場合、運搬の途中に貫通穴32aから凸部30が外れ、そ
の衝突でキャリアボックス４を落下してしまう虞があ
る。

キャリアボックス４に収納されているシリコンは慎重な
扱いを要するものであり、落下等の衝撃があった場合は
損壊するという問題がある。一般にシリコンは高価なも
のであり、このシリコンが20枚から24枚単位で収納され
ているキャリアボックス４を落下したときの損失は大き
い。

そこで、本考案はキャリアボックスの運搬の際にキャリ
アボックスが落下する危険性を減少させ、作業の安全と
作業効率の向上を図ることができるキャリアボックスを
提供することを目的とする。

［課題を解決する為の手段］ 本考案に係る半導体ウエハ収納箱は、 半導体ウエハを収納する収納箱、 収納箱の所定の面に固定されており、収納箱を持上げ保
持するための取っ手部材、 を備えており、 当該取っ手部材の上面部は、前記所定の面に対し、当該
所定の面から離れるにしたがって下方向に傾斜するよう
形成され、 当該取っ手部材の下面部は、前記所定の面に対しほぼ垂
直に形成されている、 ことを特徴としている。

［作用］ 本考案に係る半導体ウエハ収納箱においては、収納箱の
所定の面に、収納箱を持上げ保持するための取っ手部材
が固定されている。そして、取っ手部材の上面部は、前
記所定の面に対し、当該所定の面から離れる方向に下が
って傾斜する所定の角度を有して形成されている。また
この取っ手部材の下面部は、前記所定の面に対しほぼ垂
直に形成されている。

このため、収納箱の所定の面に対する取っ手部材の固定
面を広く確保しつつ取っ手部材の重量を軽くすることが
できる。また、取っ手部材の下面部が収納箱の所定の面
に対しほぼ垂直に形成されているため、下面部に指をか
けて持上げた場合、滑らずに確実に保持することができ
る。

［実施例］ 本考案の一実施例を図面に基づき説明する。

第１図Ａに示すものは、収納箱としてのキャリアボック
ス４の側面図である。キャリアボックス４はボックス本
体42とボックス蓋40とから形成されており、接続軸4b
（第１図Ｂ参照）によって接続されてる。そして、ボッ
クス蓋40はこの接続軸4bを中心に自在に開閉することが
できるようになっている。ボックス蓋40には、貫通穴32
aを有する突出部材32が固定されている。この貫通穴32a
にはボックス本体42が備える凸部30がはまり込み、ボッ
クス蓋40が閉じられた状態でボックス本体42に固定され
るようになっている。

キャリアボックス４にはシリコンが20枚から24枚収納さ
れている。そしてこのキャリアボックス４は所定の製造
工程を順次移動し、各工程でキャリアボックス４に収納
されているシリコンに加工が施されて半導体ウエハが製
造される。

ボックス本体42の側面81,82には、第１図Ｂ（キャリア
ボックス４の正面図）に示すように各々取っ手部材とし
てのハンドリングアーム1,2が固定されている。ハンド
リングアーム1,2はボックス本体42の側面81,82から所定
の長さ1d,2dだけ突出している。キャリアボックス４を
運搬する際には、このハンドリングアーム1,2の下面部
としての底面1L,2Lに指を掛けて持上げる。

尚、一般にキャリアボックス４の重量は、その内部にシ
リコンが20から24枚収納されているため相当重い。この
為、キャリアボックス４に固定されるハンドリングアー
ム1,2の重量は可能な限り軽い方がよい。すなわち、仮
に重量の重いハンドリングアーム1,2を用いた場合、キ
ャリアボックス４の重量が更に増大して作業効率の向上
が十分に図れないからである。

しかし、一方ハンドリングアーム1,2を小さく形成する
とボックス本体42の側面81,82との接続面91,92の面積が
小さくなり、ハンドリングアーム1,2が剥離する虞があ
る。すなわち、接続面91,92の面積の減少に伴い、ハン
ドリングアーム1,2とボックス本体42の側面81,82との接
着力が低下し、キャリアボックス４の運搬中にキャリア
ボックス４を落下する虞が生じる。

そこでこの実施例においては、第１図Ｂに示すようにハ
ンドリングアーム1,2の上面部である上面1H,2Hは所定の
角度を有する斜面になっている。上面1H,2Hが斜面とな
っていることで、接続面91,92の面積を大きくとりつつ
ハンドリングアーム1,2の重量を減少させることができ
る。こうして更に作業の安全性及び作業効率の向上を図
ることができる。

又第２図に示すように、ボックス蓋40の上面40Hにラン
カードホルダー20を設けることもできる。ランカードホ
ルダー20は袋状に形成されており、挿入口24からランカ
ード10を収納することができる（矢印200の示す方
向）。ランカード10は、キャリアボックス４が経由すべ
き工程や、その工程で施される加工内容等が記載された
マニュアルである。ランカード10がランカードホルダー
20に収納されていることにより、ランカード10の紛失や
落下して他のランカードと入れ替わることを防止するこ
とができる。

更にランカードホルダー20の挿入口24に近接した位置
に、抜け止め突起６を設けるとよい。抜け止め突起６が
設けられていることにより、キャリアボックス４の運搬
の際の振動等により、ランカード10が矢印100の方向に
露出しても、抜け止め突起６と接触してそれ以上露出す
ることがない。すなわち、ランカード10の落下防止がよ
り完全となる。

［考案の効果］ 本考案に係る半導体ウエハ収納箱においては、収納箱の
所定の面に、収納箱を持上げ保持するための取っ手部材
が固定されている。そして、取っ手部材の上面部は、前
記所定の面に対し、当該所定の面から離れる方向に下が
って傾斜する所定の角度を有して形成されている。また
この取っ手部材の下面部は、前記所定の面に対しほぼ垂
直に形成されている。

すなわち、収納箱の所定の面に対する取っ手部材の固定
面を広く確保しつつ取っ手部材の重量を軽くすることが
できる。このため、収納箱の所定の面から取っ手部材が
剥離して半導体ウエハ収納箱が落下する危険を回避し、
しかも取っ手部材の重量を軽くすることによって作業性
の向上を図ることができる。

また、取っ手部材の下面部が収納箱の所定の面に対しほ
ぼ垂直に形成されているため、下面部に指をかけて持上
げた場合、滑らずに確実に保持することができる。この
ため、半導体ウエハ収納箱が落下する危険を減少させ、
作業の安全と作業効率の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図Ａは、本考案の一実施例に係るキャリアボッック
スの側面図、 第１図Ｂは、本考案の一実施例に係るキャリアボッック
スの正面図、 第２図は、本考案の他の実施例に係るキャリアボッック
スの側面図、 第３図は、従来のキャリアボッックスの側面図である。 1,2……ハンドリングアーム ４……キャリアボックス 40……ボックス蓋 42……ボックス本体 81,82……ボックス本体42の側面

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体ウエハを収納する収納箱、 収納箱の所定の面に固定されており、収納箱を持上げ保
   持するための取っ手部材、 を備えており、 当該取っ手部材の上面部は、前記所定の面に対し、当該
   所定の面から離れるにしたがって下方向に傾斜するよう
   形成され、 当該取っ手部材の下面部は、前記所定の面に対しほぼ垂
   直に形成されている、 ことを特徴とする半導体ウエハ収納箱。