JPS6324062A

JPS6324062A - 帯状物連続真空蒸着処理装置

Info

Publication number: JPS6324062A
Application number: JP16562386A
Authority: JP
Inventors: Hisanao Nakahara; 中原　久直; Norio Takahashi; 憲男高橋; Fumihito Suzuki; 鈴木　文仁
Original assignee: Kawasaki Steel Corp
Current assignee: JFE Steel Corp
Priority date: 1986-07-16
Filing date: 1986-07-16
Publication date: 1988-02-01
Anticipated expiration: 2010-04-19
Also published as: JPH0735576B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、金属ス）　ＩＪツブ等の帯状物の表面に真空
蒸着室内でイオンブレーティング等の物理的蒸着法によ
って金属、セラミラスその池の薄い被膜を連続的にコー
ティングするための帯状物連続真空蒸着処理装置に関す
るものである。

（従来の技術）従来、金属ストリップ等の帯状物の両面または片面にＡ
β、Ｔ１等を連続的に蒸着するための帯状物両面連続真
空蒸着処理装置とし“て、第４図に示すような形式のも
のが既知である。この図示の形式の連続真空蒸着処理装
置は、真空蒸着処理を行うための高真空に維持される真
空蒸着室ｌを具え、この真空蒸着室１内には帯状物２の
両面に対し蒸着処理を行うため帯状物反転用下段および
上段デフレクタ−ロール３，４と表面蒸着用下段蒸発源
５および裏面蒸着用上段蒸発源６とが設けられている。

真空蒸着室１の入側および出側には、真空蒸着室１内の
高真空を維持しながら真空蒸着処理すべき帯状物２を入
側大気雰囲気中から真空蒸着室１内に導入するとともに
出側大気雰囲気中に真空蒸着室１から導出しｆ８るよう
入側および出側エアーロック７および８が真空蒸着室ｌ
に連続して設けられており、これら両エアーロック７．
８は真空蒸着室１に近い程高真空度に調圧された複数個
の区分差圧室によりそれぞれ構成され、帯状物２を人口
１ａから出口１ｂを経て連続的に真空蒸着室１内に通過
させて蒸着処理を行っている際に、真空蒸着室１内を高
真空に維持すための真空封止を確保するよう構成されて
いる。

また、入側エアーロック７の人口側および出側エアーロ
ック８の出口側には、それぞれコイル巻戻機９および巻
取機１０が設けられ、これにより、巻戻機９によってコ
イルから巻戻した帯状物２を入側エアーロック７の人口
開口１１から真空蒸着室１を経て出側エアーロック８の
出口開口１２に連続的に通し、真空蒸着室１内で蒸発源
５および６からそれぞれ蒸発した金属蒸気を帯状物表面
および裏面にそれぞれ蒸着させ、出側エアーロク８の出
口開口１２から出た帯状物２を巻取機１０によってコイ
ル状に巻き取るよう構成されている。

（発明が解決しようとする問題点）このような帯状物連続真空蒸着処理装置では、真空蒸着
室１内に設置されている蒸発源の取替、蒸発物の補充を
＠繁に行なう必要があり、また、真空蒸着室内に設置さ
れている蒸着用機器等に蒸発源５から蒸発した金属等の
蒸気が付着し、この結果としてこれらの機器が正常に作
動しなくなるため、真空蒸着室内に入って蒸着用機器等
の清掃、補修等を行なう必要がある。

しかしながら、上述したような構成の従来の帯状物連続
真空蒸着処理装置ては、上記の各メンテナンス作業を行
うため、高真空の真空蒸着室を開放して大気雰囲気にし
ており、この間に真空蒸着室内にある帯状物は製品にな
らず、製品歩留りが低下する問題や、また、上述の蒸発
源の取替、蒸発物の補充、機器の補修等の各種メンテナ
ンス作業の作業時間がそのままライン休止時間となり、
さらに各種メンテナンス作業終了後に室内をもとの真空
度にするために長時間を要し、これがため設備の稼働率
が低下するという問題があった。また、作業者の足場が
悪く、安全作業上の問題があった。

本発明は上述した問題を解決し、製品歩留りを向上し、
装置の休止時間を短縮して設備の稼働率の低下をなくし
、さらに作業員が安全に作業しく尋るよう改善した帯状
物連続真空蒸着処理装置を提供しようとするものである
。

（問題点を解決するための手段）本発明によれば、第１図に示すように、高真空度に排気
される真空室と、この真空室内に高真空を維持しながろ
真空蒸着処理、すべき帯状物２を入側大気７囲気中から
真空室に導入するとともに出側大気雰囲気中に真空室か
ら導出し得るよう真空室の入側および出側に設けられた
エアーロック７゜８と、真空室内において帯状物を反転
させるデフレフクーロール３，４と、蒸発源５，６とを
具える帯状物連続真空蒸着処理装置において、前記入側
および出側エアーロックを経て常時高真空度に維持され
る固定真空室１５と、蒸発、Ｒ５，６が内部に設けられ
真空蒸着作業位置において固定真空室１５に密閉扉付開
口２０．２１．２８を経てそれぞれ接続される交換可能
の蒸着室２２ａ、　２２ｂと前記密閉ｆｆｔ１８゜１９
、２９付開口２０．２１２８を経てデフレフクーロール
３．４を固定真空室１５内から蒸着室２２ａまたは２２
Ｅｌ内に移動する装置２４．２５．２６．２７とを具え
ること特徴とする。

また、本発明を実施するに当たっては、少なくとも２個
の前記蒸着室２２ａ、　２２ｂをそれぞれ有する蒸着ユ
ニット２２．２３と、蒸着ユニッ）２２．２３のいづれ
か１個の蒸着室２２ａまたは２２′０を固定真空室１５
に接続させる真空蒸着作業位置Ａに切換え位置させるよ
う蒸着ユニッ）２２．２３を移動する装置２３゜２９と
を設けるのが好ましい。

（作　用）上述の構成になる本発明の帯状物連続蒸着処理装置は、
固定真空室１５に蒸着室２２ａを密閉扉付開口２０．２
１２８を経て接続し、密閉扉１８．１９．２９を開放し
、デフレクタ−ロール３，４を固定真空室１５内から蒸
着室２２ａ内に移動し、固定真空室１５内およびこれに
開口２０．２１．２８を経てそれぞれ連通している蒸着
室２２ａ内を所定の高真空度に維持してこれらの室内に
帯状物２をデフレクタ−ロール３．４によって反転させ
て通過させ、蒸着室２２ａ内で蒸発源５，６から蒸発す
る金属蒸気等によって薄い被膜を帯状物の表面に連続的
に蒸着する。

蒸発源の交換、蒸発物の補充、蒸着用機器の清掃、補修
等のメンテナンス作業を行う必要が生じた場合には、蒸
着室２２ａ内に位置しているデフレクタ−ロール３．４
を移動して固定真空室１５内に位置させ、開口２０．２
１の密閉扉１８．１９を閉じ、蒸着室２２ａを交替用蒸
着室２２ｂと交換する。

交替用蒸着室２２ｂは、蒸着室２２ａにより真空蒸着作
業を行っている間に上記メンテナンス作業を完了し、好
ましくは、開口２８に設けられている密閉扉２９を閉止
して内部を所定の高真空度に適当な真空装置によって排
気されている。

したがって、交替用蒸着室２２ｂをメンテナンスまたは
待機位置Ｂから真空蒸着作業位置Ａに移動し、固定真空
室Ｘ５に密閉、先付開口２（１，２１，２８を介して接
続した後、密閉扉１ｇ、　１９．２９を開放して固定真
空室１５に蒸着室２２ｂを連通させ、前述したようにデ
フレクタ−ロール３．４を固定真空室１５内から移動し
て蒸着室２２ｂ内に位置させることによって、真空蒸着
作業を直ちに再開することができる。

上述したように本発明によれば、真空蒸着処理中の帯状
物は常に高真空雰囲気中に保持され、従って、メンテナ
ンス作業による不良品の発生を完全になくすることがで
き、また、メンテナンス作業による装置の休止時間を著
しく短縮でき、設備の稼働率を向上させることができる
。また、メンテナンス作業を作業員にとって安全な場所
で行うことができる。

（実施例）第１〜３図は本発明の１実施例を示す。図示の例では、
固定真空室１５を図示せざる真空装置によって所定の高
真空度に排気し得るようにして設け、この固定真空室１
５の入側側壁１６の下部に設けた入口１５ａに入側エア
ーロック７が連結され、出側側壁１７の上部に設けた出
口１５ｂに出側エアーロック８が連結され、固定真空室
１５内の高真空を維持しながら真空蒸着処理すべき帯状
物を入側大気雰囲気中から真空室に導入するとともに出
側大気雲囲気中に真空室から導出し得るよう構成してい
る。

固定真空室１５の出側側壁１６の下部および入側側壁１
７の上部に気密扉１８．１９によってそれぞれ閉止され
る下段および上段開口２０．２１がそれぞれ設けられ、
下段および上段開口２０．２１を経て固定真空室１５に
通じる蒸着室２２ａを有する下段および上段蒸着ユニッ
Ｂ２．２３が設けられている。これらの蒸着ユニット２
２．２３の蒸着室２２ａ内に帯状物反転用下段および上
段デフレクタ−ロール３，４と表面蒸着用下段蒸発源５
および裏面蒸着用上段蒸発源６がそれぞれ設けられてい
る。

下段および上段デフレフクーロール３．４はそれぞれ下
役および上役蒸発ユニッ）２２．２３の蒸着室２２ａ内
および固定真空室１５内に設けられたレール２４．２５
．２６．２７によってそれぞれ蒸着ユニット２２、２３
がち固定真空室１５内に移動し得るよう構成されている
。

下段および上役蒸着ユニット２２および２３は、それぞ
れ２個の蒸着室２２ａ、　２２ｂを具え、これらの蒸着
室を交互に用い、例えば、一方の蒸着室２２ａを用いて
真空蒸発処理を行っている間に、地方の蒸着室２２ｂに
おいて蒸発源その池の蒸着用機器の交換、補修および蒸
発物の補充等の各種メンテナンス作業を行い、さらに適
当な真空装置によって所定の真空度に排気し得るよう構
成される。両蒸着ユニッ）２２．２３は実質的に同じ構
造のも・のを用いることができるので、下段の蒸着ユニ
ット２２の構造についてのみ説明する。

第３図に示すように、下段蒸発ユニット２２は並列する
２個の蒸着室２２ａ、　２２ｂを有し、各蒸着室は真空
室１５の下段開口２０に通じる開口２８を有し、各開口
２８にはそれぞれ気密扉２９が設けられ、各蒸着室２２
ａ、　２２ｂ内に上述したデフレクタ−ロール移動用レ
ール２５がそれぞれ設けられ、このレール２５に対して
直角方向に延長して設けられた蒸着ユニット移動用レー
ル３０上に走行す車輪３１によって蒸着ユニット２２の
蒸着室２２ａおよび２２ｂのいずれか一方の開口が真空
室開口２０に位置を一致する位置に移動し得るようにし
、これにより一方の蒸着室、例えば、第３図に示すよう
に、蒸着室２２ａが真空蒸着作業位置Ａに位置する際に
、他方の蒸着室、すなわち蒸着室２２ｂが各種メンテナ
ンス作業のためのメンテナンス位置已に位置するよう構
成されている。

上述の構成になる図示の例の帯状物連続真空蒸着処理装
置によれば、真空蒸着処理すべき帯状物２は第１図に示
すように入側エアーロック７を経て高真空度の真空室１
５内に導入され、気密扉１８゜２９が開かれて開放され
ている開口２０．２８を経て下段蒸着ユニット２２の蒸
着室２２ａ内に入り、この蒸着室内の下段デフレクタ−
ロール３を経て反転された後、気密扉１８．２９が開か
れて開放されている開口２１．２８を経て上段蒸着ユニ
ット２３の蒸着室２２ａ内に入り、この蒸着室２２ａ内
の上段デフレフクーロール４の周りを通過して真空室１
５内から出側エアーロック８を経て装置外に導出され、
この間に、下段蒸着ユニット２２の蒸着室２２ａ内の下
段蒸発源５および上段蒸着ユニット２３の蒸着室２２ａ
内の上段蒸発源６からそれぞれ蒸発する蒸気によって帯
状物の両面には薄い被膜が蒸着される。

蒸着ユニッ）２２．２３の蒸着室２２ａ内の蒸発源５゜
６の交換、蒸発物の補充または蒸着用機器の清掃、補修
等のメンテナンス作業に際しては、デフレクタ−ロール
３，４をレール上に移動して、第２図に示すように、固
定真空室１５内にそれぞれ移動し、気密扉１８．１９を
閉じた後、蒸発ユニッ）２２．２３をレール３０上に移
動し、内部の各種メンテナンス作業が完了して所定の高
真空度に排気し終わった交替用蒸着室２２ｂをメンテナ
ンス位置Ｂから真空蒸着作業位置Ａに位置させる（第３
図参照）。

次に、真空室１５の気密扉１８および１９と蒸着室２２
ｋｌの気密扉２９を開放し、デフレクタ−ロール３，４
を真空室１５から蒸着ユニッ）２２．２３の蒸着室２２
ｂ内の所定位置に移動し、これにより、真空蒸着作業を
開始することができる。

（発明の効果）本発明によれば、真空蒸着処理中の帯状物は常に高真空
雲囲気中に保持され、従って、メンテナンス作業による
不良品の発生を完全になくすことができ、また、メンテ
ナンス作業による装置の休止時間を著しく短縮でき、設
備の稼動率を向上させることができる。また、メンテナ
ンス作業を作業員にとって安全な場所で行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による装置の線図的縦断面図、第２図は
第１図に示す装置の蒸着室交換時の作用説明図、第３図は第１図の■−■線上で矢の方向に見た装置の端
面図、第４図は従来装置の線図的縦断面図である。２・・・帯状物　　　　　　３，４・・・デフレクタ−
ロール５．６・・・蒸発源　　　　　７・・・入側エア
ーロック訃・・出側エアーロック　１１・・・人口開口
１２・・・出口　　　　　　　１５・・・固定真空室１
６・・・出側側壁　　　　　１７・・・入側側壁１８、
１９・・・密閉扉　　　　２０．２１・・・開口２２、
２３・・・蒸着ユニッ）　　２２ａ・・・蒸着室２４、
２５．２６．２７・・・レール２８・・・開口　　　　　　　２９・・・密閉扉３０・
・・レール　　　　　　３１・・・車輪第１図第３図第４図

Claims

【特許請求の範囲】１、高真空に排気される真空室と、この真空室内に高真
空を維持しながら真空蒸着処理すべき帯状物を入側大気
雰囲気中から真空室に導入するとともに出側大気雰囲気
中に真空室から導出し得るよう真空室の入側および出側
に設けられたエアーロックと、真空室内において帯状物
を反転させるデフレクターロールと、蒸発源とを具える
帯状物連続真空蒸着処理装置において、前記入側および
出側エアーロックを経て常時高真空度に維持される固定
真空室と、蒸発源が内部に設けられ真空蒸着作業位置に
おいて固定真空室に密閉扉付開口を経て接続される交換
可能の蒸着室と、前記密閉扉付開口を経てデフレクター
ロールを固定真空室内から蒸着室内に移動する装置とを
具えることを特徴とする帯状物連続真空蒸着処理装置。２、少なくとも２個の前記蒸着室を有する蒸着ユニット
と、蒸着ユニットのいづれか１個の蒸着室を固定真空室
に接続させる真空蒸着作業位置に切換え位置させるよう
蒸着ユニットを移動する装置とを具えることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項に記載の装置。