JPH0735716Y2 - リニア駆動装置におけるカップリング装置 - Google Patents
リニア駆動装置におけるカップリング装置Info
- Publication number
- JPH0735716Y2 JPH0735716Y2 JP1988041903U JP4190388U JPH0735716Y2 JP H0735716 Y2 JPH0735716 Y2 JP H0735716Y2 JP 1988041903 U JP1988041903 U JP 1988041903U JP 4190388 U JP4190388 U JP 4190388U JP H0735716 Y2 JPH0735716 Y2 JP H0735716Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coupling
- linear
- linear drive
- drive device
- elastic material
- Prior art date
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- 230000008878 coupling Effects 0.000 title claims description 30
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title claims description 30
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 title claims description 30
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- Machine Tool Units (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ たとえば，工作機，ロボット等の一軸テーブルの駆動用
に使用されるリニア駆動装置では,0.5μといういわゆる
サブミクロン級の高精度の位置決めを必要とする。最近
ではエアテーブル，半導体の製造工程等の用途でも，こ
のような精度を必要としている。
に使用されるリニア駆動装置では,0.5μといういわゆる
サブミクロン級の高精度の位置決めを必要とする。最近
ではエアテーブル，半導体の製造工程等の用途でも，こ
のような精度を必要としている。
本考案はこのような高精度の位置決めを必要とするもの
に適したリニア駆動装置用のカップリング装置に関す
る。
に適したリニア駆動装置用のカップリング装置に関す
る。
［従来の技術］ 従来のものは，第３図に示すように構成される。同図に
おいて，（イ）は平面図，（ロ）は（イ）のＡ−Ａ′線
における断面図である。
おいて，（イ）は平面図，（ロ）は（イ）のＡ−Ａ′線
における断面図である。
１はリニアサーボモータ等のリニア駆動装置（図示せ
ず）を駆動源とする一軸の駆動テーブル,2は負荷テーブ
ル,3および５は夫々駆動テーブル１と負荷テーブル２の
各下面に設けたリニアガイド,3′はリニアガイド３を支
承するレールである。４はカップリングで，駆動テーブ
ル１の推力をカップリングピン4aを介して負荷テーブル
２に伝達するようになっている。
ず）を駆動源とする一軸の駆動テーブル,2は負荷テーブ
ル,3および５は夫々駆動テーブル１と負荷テーブル２の
各下面に設けたリニアガイド,3′はリニアガイド３を支
承するレールである。４はカップリングで，駆動テーブ
ル１の推力をカップリングピン4aを介して負荷テーブル
２に伝達するようになっている。
［考案が解決しようとする課題］ 従来のものでは，上記のように，駆動テーブル１の推力
はカップリング４を介して負荷テーブル２に伝達される
が，この伝達機構の主要な役割をするカップリングピン
4aは，負荷テーブル２に対して遊合状態で嵌合されてい
るためガタを生じ，サブミクロン級の精密な位置決めを
するには問題があった。
はカップリング４を介して負荷テーブル２に伝達される
が，この伝達機構の主要な役割をするカップリングピン
4aは，負荷テーブル２に対して遊合状態で嵌合されてい
るためガタを生じ，サブミクロン級の精密な位置決めを
するには問題があった。
このような事態を回避するため，カップリングピン4aの
取り付けをリジットすることも考えられるが，このよう
にした場合には,X−Ｙ−Ｚ方向の直交度をリニアガイド
３と５について精密に調整する必要があり，厄介であっ
た。
取り付けをリジットすることも考えられるが，このよう
にした場合には,X−Ｙ−Ｚ方向の直交度をリニアガイド
３と５について精密に調整する必要があり，厄介であっ
た。
本考案は従来のものの上記課題（問題点）を解決するよ
うにしたリニア駆動装置におけるカップリング装置を提
供することを目的とする。
うにしたリニア駆動装置におけるカップリング装置を提
供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 本考案のリニア駆動装置におけるカップリング装置は上
記課題を解決するために、リニアサーボモータ等のリニ
ア駆動装置によって駆動される駆動テーブルから負荷テ
ーブルへ上下左右方向の振動成分を吸収することができ
る断面形状の弾性材料の薄板で構成されるフレキシブル
カップリングにより連結するように構成した。
記課題を解決するために、リニアサーボモータ等のリニ
ア駆動装置によって駆動される駆動テーブルから負荷テ
ーブルへ上下左右方向の振動成分を吸収することができ
る断面形状の弾性材料の薄板で構成されるフレキシブル
カップリングにより連結するように構成した。
この場合、フレキシブルカップリングを断面が状の弾
性材料の薄板で構成することができる。あるいは、これ
に代え、フレキシブルカップリングは、断面をＳ状また
はＺ状あるいは 状に形成した弾性材料の薄板で構成するようにしても良
い。
性材料の薄板で構成することができる。あるいは、これ
に代え、フレキシブルカップリングは、断面をＳ状また
はＺ状あるいは 状に形成した弾性材料の薄板で構成するようにしても良
い。
［実施例］ 以下第１図に示す本考案の一実施例によって本考案を具
体的に説明する。
体的に説明する。
同図において第３図と均等な構成については，これと同
等な符号を付して示した。
等な符号を付して示した。
６はフレキシブルカップリングで，これは，たとえば，
同図に示すように，弾性材料。の薄板を用い，断面が
状となるように形成される。７および８は断面がＴ字状
の取付金具で，各取付金具の中央部の突起7a,8aに対し
て夫々縦溝7b,8bが形成されていてこれらの各縦溝に亙
ってフレキシブルカップリング６の上端および下端を収
納した上で，駆動テーブル1,負荷テーブル２に対してビ
ス等（図示せず）で固着するようにしている。
同図に示すように，弾性材料。の薄板を用い，断面が
状となるように形成される。７および８は断面がＴ字状
の取付金具で，各取付金具の中央部の突起7a,8aに対し
て夫々縦溝7b,8bが形成されていてこれらの各縦溝に亙
ってフレキシブルカップリング６の上端および下端を収
納した上で，駆動テーブル1,負荷テーブル２に対してビ
ス等（図示せず）で固着するようにしている。
なお，フレキシブルカップリング６は，このような形状
のものに限定されない。たとえば，この他，弾性材料の
薄板を使用して第２図の（イ）〜（ハ）に示すように,
S,Zおよび 等の各種断面形状のもので構成しても良い。要するに，
弾性材料の薄板により上下左右方向の振動成分（ガタを
含む）を吸収するような断面形状とすれば良い。
のものに限定されない。たとえば，この他，弾性材料の
薄板を使用して第２図の（イ）〜（ハ）に示すように,
S,Zおよび 等の各種断面形状のもので構成しても良い。要するに，
弾性材料の薄板により上下左右方向の振動成分（ガタを
含む）を吸収するような断面形状とすれば良い。
［作用］ 本考案では，フレキシブルカップリング６を備えている
ため，駆動テーブル１は負荷テーブル２に対して,Y,Z方
向には可撓性を有し，一方，推力の伝達方向であるＸ方
向にはガタのない剛性をもった駆動力の伝達が可能とな
る。
ため，駆動テーブル１は負荷テーブル２に対して,Y,Z方
向には可撓性を有し，一方，推力の伝達方向であるＸ方
向にはガタのない剛性をもった駆動力の伝達が可能とな
る。
［考案の効果］ 本考案は，上記のように，駆動テーブル２と負荷テーブ
ルとの連結を上下左右方向の振動成分（ガタを含む）を
吸収することができるフレキシブルカップリングによっ
て行っているため，次のような優れた効果を有する。
ルとの連結を上下左右方向の振動成分（ガタを含む）を
吸収することができるフレキシブルカップリングによっ
て行っているため，次のような優れた効果を有する。
リニアサーボモータ等のリニア駆動装置の駆動力をガ
タなく負荷テーブルに確実に伝達することができる。
タなく負荷テーブルに確実に伝達することができる。
したがって，サブミクロン級の高精度の位置決めを必
要とする用途にも適用できる。
要とする用途にも適用できる。
なお、フレキシブルカップリングの形状を請求項１乃
至４に記載のように断面を状等のように特別な形状に
構成することにより、上記に述べた作用効果を極め
て簡単な構成によって実現することができる。
至４に記載のように断面を状等のように特別な形状に
構成することにより、上記に述べた作用効果を極め
て簡単な構成によって実現することができる。
第１図は本考案の第１の実施例を示すもので，その内
（イ）は平面図，（ロ）は（イ）のＡ−Ａ′断面におけ
る断面図，また，（ハ）は本考案のカップリングと駆動
テーブルおよび負荷テーブルとの取付状態を示す斜視
図，第２図は本考案の他の実施例を示す簡略断面図であ
る。 また，第３図は従来例を示すもので，その内（イ）は平
面図，（ロ）は（イ）のＡ−Ａ′断面における断面図で
ある。 1:駆動テーブル 2:負荷テーブル 6:フレキシブルカップリング
（イ）は平面図，（ロ）は（イ）のＡ−Ａ′断面におけ
る断面図，また，（ハ）は本考案のカップリングと駆動
テーブルおよび負荷テーブルとの取付状態を示す斜視
図，第２図は本考案の他の実施例を示す簡略断面図であ
る。 また，第３図は従来例を示すもので，その内（イ）は平
面図，（ロ）は（イ）のＡ−Ａ′断面における断面図で
ある。 1:駆動テーブル 2:負荷テーブル 6:フレキシブルカップリング
Claims (4)
- 【請求項１】リニアサーボモータ等のリニア駆動装置に
よって駆動される駆動テーブルから負荷テーブルへ、上
下左右方向の振動成分を吸収することができるように、
断面が状の弾性材料の薄板で構成したフレキシブルカ
ップリングにより連結するようにしたことを特徴とする
リニア駆動装置におけるカップリング装置。 - 【請求項２】リニアサーボモータ等のリニア駆動装置に
よって駆動される駆動テーブルから負荷テーブルへ、上
下左右方向の振動成分を吸収することができるように、
断面がＳ状の弾性材料の薄板で構成したフレキシブルカ
ップリングにより連結するようにしたことを特徴とする
リニア駆動装置におけるカップリング装置。 - 【請求項３】リニアサーボモータ等のリニア駆動装置に
よって駆動される駆動テーブルから負荷テーブルへ、上
下左右方向の振動成分を吸収することができるように、
断面がＺ状の弾性材料の薄板で構成したフレキシブルカ
ップリングにより連結するようにしたことを特徴とする
リニア駆動装置におけるカップリング装置。 - 【請求項４】リニアサーボモータ等のリニア駆動装置に
よって駆動される駆動テーブルから負荷テーブルへ、上
下左右方向の振動成分を吸収することができるように、
断面が 状の弾性材料の薄板で構成したフレキシブルカップリン
グにより連結するようにしたことを特徴とするリニア駆
動装置におけるカップリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988041903U JPH0735716Y2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | リニア駆動装置におけるカップリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988041903U JPH0735716Y2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | リニア駆動装置におけるカップリング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01148247U JPH01148247U (ja) | 1989-10-13 |
| JPH0735716Y2 true JPH0735716Y2 (ja) | 1995-08-16 |
Family
ID=31268329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988041903U Expired - Lifetime JPH0735716Y2 (ja) | 1988-03-31 | 1988-03-31 | リニア駆動装置におけるカップリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0735716Y2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6122746Y2 (ja) * | 1981-05-11 | 1986-07-08 | ||
| JPS6048239A (ja) * | 1983-08-24 | 1985-03-15 | Hitachi Ltd | 精密送り装置 |
| JPH0673788B2 (ja) * | 1985-10-14 | 1994-09-21 | 株式会社アマダ | 工作機械のテ−ブル駆動用リニアモ−タ |
-
1988
- 1988-03-31 JP JP1988041903U patent/JPH0735716Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01148247U (ja) | 1989-10-13 |
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