JPH073638Y2 - ワイヤボンダーにおけるワイヤカット用クランプ装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案はワイヤボンダーにおけるワイヤカット用クラン
プ装置に係り、ワイヤを挟持するクランプパッドがワイ
ヤに過大な力で押当して、ワイヤが偏平に変形するのを
防止するようにしたものである。

（従来の技術） ダイを基板に搭載した後、このダイの電極と基板側の電
極をワイヤにより接続するワイヤボンディング手段は、
まず円筒状のキャピラリから導出されたワイヤの下端部
をダイの電極にボンディングし、次にワイヤを基板の電
極上に案内して、このキャピラリの下端部によりワイヤ
をこの電極に圧着し、次にキャピラリの上方のクランプ
パッドによりワイヤを挟持して、このパッドを上昇させ
ることにより、上記圧着点からワイヤを切断するように
なっている。

第４図はこの種従来のワイヤカット用クランプ装置の平
面図であって、101,102はヒンジ部103を中心に回転自在
に軸着されたアーム部材、104はアーム部材101に取り付
けられた副アーム部材、105,105はアーム部材101と副ア
ーム部材104の先端部に装着されたクランプパッド、106
は両パッド105,105によりワイヤ107を挟持する方向にア
ーム部材101,102を付勢するばね材、108はパッド105,10
5を離間させる方向にアーム部材101,102を回転させるソ
レノイドである。この装置はソレノイド108を駆動して
パッド105,105を離間させた状態（鎖線参照）で両パッ
ド105,105の間にワイヤ107を通し、またソレノイド108
をオフにして両パッド105,105によりワイヤ107を挟持し
た状態で、本装置を上昇させることにより、上記のよう
にこのワイヤ107を上記基板への圧着点から切断するよ
うになっている。

（考案が解決しようとする課題） しかしながら上記従来装置は、ソレノイド108を作動さ
せてアーム部材101,104のパッド105,105を互いに離間さ
せた後、ソレノイド108をオフにしてばね材106のばね力
によりパッド105,105にてワイヤ107を挟持する場合、そ
の強い圧接力によりワイヤ107は偏平に潰されやすく、
かくなるとワイヤ107の応力若しくは屈曲性に方向性を
生じて、上記のようなワイヤ107による電極と電極の接
続作業に支障をきたしやすい問題があった。殊に上記従
来装置においては、ソレノイド108の作動により、アー
ム部材101,104は過度に大きく開いてパッド105とパッド
105は過大に離間しやすく、かくなるとソレノイド108の
作動の停止とともに、パッド105,105はばね材106のばね
力によりワイヤ107にきわめて強く圧接されるため、殊
に金ワイヤのような柔らかいワイヤは、その衝撃により
偏平に変形しやすい問題があった。

したがって本考案は、上記のようにパッドとパッドによ
りワイヤを挟持する際に、ワイヤがパッドの圧接力によ
り偏平に変形するのを防止できるワイヤカット用クラン
プ装置を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段） このために本考案は、ヒンジ部により回転自在に軸着さ
れた第１及び第２のアーム部材と、これらのアーム部材
の先端部に装着されてワイヤを挟持するクランプパッド
と、第１のアーム部材のクランプパッドを第２のアーム
部材のクランプパッドに圧接する方向に第１のアーム部
材を付勢するばね材と、クランプパッドとクランプパッ
ドを離間させる方向に第１のアーム部材を回転させるソ
レノイドと、第２のアーム部材の上記離間方向の回転限
度を規定するストッパーと、このアーム部材を弾持する
クッション用ばね材と、このクッション用ばね材のばね
力の調整手段とを設けたものである。

（作用） 上記構成によれば、ソレノイドが作動することにより第
１のアーム部材は回転して開き、パッドとパッドによる
ワイヤの挟持状態は解除される。またソレノイドがオフ
になると、ばね材のばね力により第１のアーム部材は閉
方向に回転し、ワイヤは第１及び第２のアーム部材のパ
ッドにより挟持されるが、その際第１のアーム部材のパ
ッドから第２のアーム部材のパッドに加えられる衝撃は
クッション用ばね材により吸収される。またその際、第
１のアーム部材から加えられる押圧力により、第２のア
ーム部材はクッション用ばね材のばね力に抗して逆方向
に回転するが、その過度の回転はストッパーにより阻止
される。

（実施例） 次に、図面を参照しながら本考案の実施例を説明する。

第１図はワイヤボンダーにおけるワイヤカット用クラン
プ装置の斜視図、第２図は平面図であって、１はフレー
ムであり、その下面に第１のアーム部材２と第２のアー
ム部材３がヒンジ部４により回転自在に軸着されてい
る。5,5はアーム部材2,3の先端部に装着されたクランプ
パッドであり、これらのパッド5,5により、ワイヤ６を
挟持する。８はフレーム１の側壁部1aと第１のアーム部
材２の間に設けられたソレノイド、９はコイルばねから
成るばね材、10はこのばね材９のばね力を調整するため
の絞り調整ねじである。このばね材９は、一方のアーム
部材２を第２図において反時計方向、すなわちこのアー
ム部材２のパッド５が他方のアーム部材３のパッド５に
押当して、両パッド5,5によりワイヤ６を挟持する方向
に付勢している。またソレノイド８は、そのロッド8aが
退去することにより、アーム部材２を第２図において時
計方向に回転させ、両パッド7,7を離間させて、ワイヤ
６の挟持状態を解除する。11はソレノイド８の止めね
じ、12はアーム部材２に装着された手動開放レバーであ
る。

13は第２のアーム部材３の背面に弾接する板ばねから成
るクッション用ばね材であって、その基端部はピン14に
より上記側壁1aの内面に取り付けられている。15はねじ
棒から成るばね材13のばね力の調整手段であって、側壁
1aに螺着されて、その先端部はばね材13の背面に当接し
ており、その螺入量を変えることにより、アーム部材３
を押圧するばね力を調整する。21,22はアーム部材３の
後端部を挟むように設けられたピンから成る第１及び第
２のストッパーである。第１のストッパー21は、アーム
部材３の閉方向への過度の回転を阻止する。また第２の
ストッパー22は、アーム部材３のパッド離間方向すなわ
ち第２図において反時計方向の回転限度を規定する。

第１図において、16はパッド5,5の上方に延出するワイ
ヤ６のガイドリング、17はパッド5,5の下方にあって、
ワイヤ６をガイドするキャピラリ、18はキャピラリ17の
保持用ホーン、19は基板、20は基板19に搭載されたダ
イ、6aはダイ20の電極と基板19の電極を接続するワイヤ
である。なおダイボンダー本体等の本考案と直接関係の
ない装置の説明は省略している。

本装置は上記のような構成より成り、次に動作の説明を
行う。

パッド5,5によりワイヤ６を挟持した状態で、パッド5,5
を下動させることにより、キャピラリ17の下端部からワ
イヤ６の下端部を導出するとともに、スパッタリング手
段によりワイヤ６の下端部に溶融ボールを形成したうえ
で、このボールをダイ20の電極に着地させることによ
り、ワイヤ６の下端部をダイ20の電極に接続する。次に
ソレノイド８を作動させて、パッド5,5によるワイヤ６
の挟持状態を解除するとともに、図示しない手段により
基板19をXY方向に移動させて、キャピラリ17を基板19の
電極の上方に対向させる。次にキャピラリ17を下動させ
てその下端部によりワイヤ６を基板19に押し付けること
により、ワイヤ６を基板19の電極に圧着する（第３図参
照）。次にこの状態でソレノイド８をオフにしてパッド
5,5によりワイヤ６を挟持し、ワイヤ６をそのまま引き
上げることにより、ワイヤ６を圧着点ａから切断する。

このようにワイヤ６によりダイ20と基板19の電極同士を
接続する場合、アーム部材2,3を開閉して、パッド5,5に
よるワイヤ６の挟持と開放が繰り返される。この挟持は
ばね材９のばね力により行われ、開放はソレノイド８が
作動することにより行われる。この場合、ソレノイド８
がオフになって、ばね材９のばね力により第１のアーム
部材３が閉方向に回転してそのパッド５が第２のアーム
部材３のパッド５側に押圧するときに、ワイヤ６がパッ
ド5,5に強く挟まれて偏平に変形してしまいやすい。し
かしながらパッド5,5が閉じたときにはワイヤ６に加え
られる衝撃はクッション用ばね材13により吸収されるの
で、かかる問題を生じない。またその際、第１のアーム
部材２から加えられる押圧力により、第２のアーム部材
３はクッション用ばね材13のばね力に抗して逆方向に回
転するが、その過度の回転はストッパー22により阻止さ
れる。すなわちこの場合のアーム部材３の回転量は、ス
トッパー22とのギャップｔ分だけであり、この分だけア
ーム部材３が逃げることにより、ワイヤ６に加わる衝撃
が吸収される。またねじ棒15のねじ込み量を変えること
により、ばね材13のばね力を調整して、衝撃吸収力やパ
ッド５とパッド５によるクランプ力を調整することがで
きる。

（考案の効果） 以上説明したように本考案は、ヒンジ部により回転自在
に軸着された第１及び第２のアーム部材と、これらのア
ーム部材の先端部に装着されてワイヤを挟持するクラン
プパッドと、第１のアーム部材のクランプパッドを第２
のアーム部材のクランプパッドに圧接する方向に第１の
アーム部材を付勢するばね材と、クランプパッドとクラ
ンプパッドを離間させる方向に第１のアーム部材を回転
させるソレノイドと、第２のアーム部材の上記離間方向
の回転限度を規定するストッパーと、このアーム部材を
弾持するクッション用ばね材と、このクッション用ばね
材のばね力の調整手段とからクランプ装置を構成してい
るので、パッドが閉じてワイヤを挟持する際に、ワイヤ
に強く衝撃力が加わって、ワイヤが偏平に変形するのを
防止することができる。

【図面の簡単な説明】

図は本考案の実施例を示すものであって、第１図はクラ
ンプ装置の斜視図、第２図は平面図、第３図はワイヤボ
ンディング中の正面図、第４図は従来装置の平面図であ
る。 ２……アーム部材 ３……アーム部材 ４……ヒンジ部 ６……ワイヤ ７……クランプパッド ８……ソレノイド ９……ばね材 13……クッション用ばね材 15……ばね力の調整手段 22……ストッパー

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ヒンジ部により回転自在に軸着された第１
   及び第２のアーム部材と、これらのアーム部材の先端部
   に装着されてワイヤを挟持するクランプパッドと、第１
   のアーム部材のクランプパッドを第２のアーム部材のク
   ランプパッドに圧接する方向に第１のアーム部材を付勢
   するばね材と、クランプパッドとクランプパッドを離間
   させる方向に第１のアーム部材を回転させるソレノイド
   と、第２のアーム部材の上記離間方向の回転限度を規定
   するストッパーと、このアーム部材を弾持するクッショ
   ン用ばね材と、このクッション用ばね材のばね力の調整
   手段とから成ることを特徴とするワイヤボンダーにおけ
   るワイヤカット用クランプ装置。