JPH0738465B2 - 圧電素子の蒸着分極装置および蒸着分極方法 - Google Patents
圧電素子の蒸着分極装置および蒸着分極方法Info
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- JPH0738465B2 JPH0738465B2 JP26977189A JP26977189A JPH0738465B2 JP H0738465 B2 JPH0738465 B2 JP H0738465B2 JP 26977189 A JP26977189 A JP 26977189A JP 26977189 A JP26977189 A JP 26977189A JP H0738465 B2 JPH0738465 B2 JP H0738465B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、圧電素子の蒸着および分極装置と、蒸着およ
び分極の方法に関する。
び分極の方法に関する。
〔発明の概要〕 この発明は、圧電素子の蒸着および分極装置において、
基台に組み込まれた上下方向に移動可能な素子台に圧電
素子を取り付けることにより、圧電素子の電極の蒸着と
分極を一つの装置によりできるようにしたものである。
基台に組み込まれた上下方向に移動可能な素子台に圧電
素子を取り付けることにより、圧電素子の電極の蒸着と
分極を一つの装置によりできるようにしたものである。
従来、圧電素子の電極の蒸着と分極は別々の装置によっ
て行っていた。
て行っていた。
第５図は従来の圧電素子の蒸着装置の縦断面図である
が、基台１に圧電素子の電極形状と同様な窓部6aを有す
るマスク６を組み、規正わく２で押え、圧電素子10をマ
スク６の上面に密着させて組み込み、規正わく２の案内
部にマスク押え31を組み、押えばね32により加圧保持し
ていた。
が、基台１に圧電素子の電極形状と同様な窓部6aを有す
るマスク６を組み、規正わく２で押え、圧電素子10をマ
スク６の上面に密着させて組み込み、規正わく２の案内
部にマスク押え31を組み、押えばね32により加圧保持し
ていた。
また、第６図は従来の圧電素子の分極装置の縦断面図で
あるが、固定台35に、圧電素子10を取り付けた素子受台
36を組み込み、圧電素子10に分極端子８を接触させて分
極していた。
あるが、固定台35に、圧電素子10を取り付けた素子受台
36を組み込み、圧電素子10に分極端子８を接触させて分
極していた。
従来の圧電素子の蒸着装置にあっては、マスクを交換す
る場合に毎回押えばねやマスク押えを外さなければなら
ず、分極する場合は圧電素子を別の分極装置に取り付け
なければならないという作業上の不具合があり、圧電素
子の品質の安定化も困難という問題点があった。
る場合に毎回押えばねやマスク押えを外さなければなら
ず、分極する場合は圧電素子を別の分極装置に取り付け
なければならないという作業上の不具合があり、圧電素
子の品質の安定化も困難という問題点があった。
本発明は、基台に組み込まれた素子台に圧電素子を取り
付けたままで、各種マスクを交換することにより電極の
蒸着と分極が行える圧電素子の蒸着分極装置およびその
蒸着分極方法を提供することを目的としている。
付けたままで、各種マスクを交換することにより電極の
蒸着と分極が行える圧電素子の蒸着分極装置およびその
蒸着分極方法を提供することを目的としている。
上記目的を達成するために、本発明では次の手段を採用
した。
した。
圧電素子を組み込み、電極の蒸着を行い、さらに分極を
行う圧電素子の蒸着分極装置において、 基台と上下方向に移動可能に基台に組み込まれた圧電素
子を取り付ける素子台と、 蒸着等により圧電素子に電極を形成するための圧電素子
の電極形状に合わせた窓形状を有する交換可能な一以上
のマスクと、 素子台をマスクの方向に加圧する加圧部材と、 圧電素子の分極時に、マスクの窓部を貫通して圧電素子
に接触する一以上の分極端子から構成された圧電素子の
蒸着分極装置。
行う圧電素子の蒸着分極装置において、 基台と上下方向に移動可能に基台に組み込まれた圧電素
子を取り付ける素子台と、 蒸着等により圧電素子に電極を形成するための圧電素子
の電極形状に合わせた窓形状を有する交換可能な一以上
のマスクと、 素子台をマスクの方向に加圧する加圧部材と、 圧電素子の分極時に、マスクの窓部を貫通して圧電素子
に接触する一以上の分極端子から構成された圧電素子の
蒸着分極装置。
圧電素子の蒸着および分極の方法において、基台に上下
方向に移動可能に組み込まれ、加圧部材により上方に押
し上げられた素子台に圧電素子を組み込み、 圧電素子の電極形状に合わせた窓形状を有するマスク
を、上記圧電素子にほぼ密着させて組み、蒸着等により
圧電素子に電極を形成し、さらに、上記マスクの窓部を
貫通させて圧電素子に一以上の分極端子を接触させて分
極することを特徴とする圧電素子の蒸着分極方法。
方向に移動可能に組み込まれ、加圧部材により上方に押
し上げられた素子台に圧電素子を組み込み、 圧電素子の電極形状に合わせた窓形状を有するマスク
を、上記圧電素子にほぼ密着させて組み、蒸着等により
圧電素子に電極を形成し、さらに、上記マスクの窓部を
貫通させて圧電素子に一以上の分極端子を接触させて分
極することを特徴とする圧電素子の蒸着分極方法。
窓形状の異なる複数のマスクを用いて、圧電素子の片面
若しくは両面に分極前，分極後、あるいは分極の前後に
おいてマスクを交換して蒸着を複数回数行う請求項２記
載の圧電素子の蒸着分極方法。
若しくは両面に分極前，分極後、あるいは分極の前後に
おいてマスクを交換して蒸着を複数回数行う請求項２記
載の圧電素子の蒸着分極方法。
上記のように構成された圧電素子の蒸着分極装置は、電
極の蒸着時にはマスクと圧電素子がほぼ密着するので電
極の形状は正確に形成でき、マスクを交換したり圧電素
子を反転することも可能である。
極の蒸着時にはマスクと圧電素子がほぼ密着するので電
極の形状は正確に形成でき、マスクを交換したり圧電素
子を反転することも可能である。
また、マスクを組み込んだままで、マスクの窓部を貫通
させて分極端子を圧電素子に接触させることができるの
である。
させて分極端子を圧電素子に接触させることができるの
である。
本発明の実施例について図面を参照して説明する。
第３図において、基台１に案内ピン11が固定され、案内
ピン11の案内穴11aに素子台３のピン部3aが組み込まれ
る。素子台３と基台１の間にはコイルばね12が組み込ま
れ、素子台３は常に上方へ加圧されている。
ピン11の案内穴11aに素子台３のピン部3aが組み込まれ
る。素子台３と基台１の間にはコイルばね12が組み込ま
れ、素子台３は常に上方へ加圧されている。
基台１に規正わく２を組み込み固定する。
素子台３の突起部3bを案内として圧電素子10を素子台に
組み、マスク上板５とマスク下板４の間にマスク６をは
さんで規正わく２の上にねじ22により固定する。
組み、マスク上板５とマスク下板４の間にマスク６をは
さんで規正わく２の上にねじ22により固定する。
この時、マスク６の下面と圧電素子10の上面は密着し、
素子台３のつば部3cの上面と規正わく２の度当たり部2a
の間には隙間があり、素子台３の下面と基台１の上面の
間にも隙間ができる。
素子台３のつば部3cの上面と規正わく２の度当たり部2a
の間には隙間があり、素子台３の下面と基台１の上面の
間にも隙間ができる。
この状態で電極蒸着機（図示せず）により圧電素子上面
に電極パターンを形成することができる。
に電極パターンを形成することができる。
電極パターン形成後、ねじ22を外しマスク上板５、マス
ク下板４、マスク６を外した状態を第４図に示す。
ク下板４、マスク６を外した状態を第４図に示す。
このとき、コイルばね12のばね力により素子台３は上方
に上がり、つば部3cが規正わく２に当たったところで止
まる。
に上がり、つば部3cが規正わく２に当たったところで止
まる。
ここで、圧電素子を反転することもでき、又、新しいマ
スクを組み込んで再度、別の形状の電極を蒸着すること
も可能となる。
スクを組み込んで再度、別の形状の電極を蒸着すること
も可能となる。
第１図及び第２図は、本発明の圧電素子の蒸着分極装置
の分極時の状態を示す図で、基台３に圧電素子10を組み
込んだ素子台３をコイルばね12をはさんで組み、規正わ
く２、マスク上板５、マスク下板４、マスク６、分極わ
く７をねじ21、22により固定したものである。
の分極時の状態を示す図で、基台３に圧電素子10を組み
込んだ素子台３をコイルばね12をはさんで組み、規正わ
く２、マスク上板５、マスク下板４、マスク６、分極わ
く７をねじ21、22により固定したものである。
そして、分極に必要な一以上の分極端子８を、マスク６
の窓部6aを貫通して圧電素子10に押しつけると、素子台
３の下面は基台１の上面に密着する。この状態で分極端
子８により圧電素子10に電圧をかけて分極する。
の窓部6aを貫通して圧電素子10に押しつけると、素子台
３の下面は基台１の上面に密着する。この状態で分極端
子８により圧電素子10に電圧をかけて分極する。
分極端子８の位置は分極わく７により決められている。
分極後に分極わく７および分極端子８を除去して、別の
形状のマスク６を組み込んで再度別の電極パターンを蒸
着することもできる。
形状のマスク６を組み込んで再度別の電極パターンを蒸
着することもできる。
本発明は以上説明したように、蒸着分極装置に圧電素子
を取り付けることにより、マスクの交換も容易で、マス
クをつけたままで圧電素子の分極が行えるため、作業性
もよく、圧電素子の品質も安定するという効果がある。
を取り付けることにより、マスクの交換も容易で、マス
クをつけたままで圧電素子の分極が行えるため、作業性
もよく、圧電素子の品質も安定するという効果がある。
第１図は圧電素子の蒸着分極装置の分極時の縦断面図、
第２図は圧電素子の蒸着分極装置の平面図、第３図は蒸
着時の縦断面図、第４図は蒸着用マスク交換時の縦断面
図、第５図は従来の圧電素子の蒸着装置の縦断面図、第
６図は従来の圧電素子の分極装置の縦断面図である。 １……基台 ２……規正わく ３……素子台 ６……マスク ８……分極端子 10……圧電素子 11……案内ピン 12……コイルばね
第２図は圧電素子の蒸着分極装置の平面図、第３図は蒸
着時の縦断面図、第４図は蒸着用マスク交換時の縦断面
図、第５図は従来の圧電素子の蒸着装置の縦断面図、第
６図は従来の圧電素子の分極装置の縦断面図である。 １……基台 ２……規正わく ３……素子台 ６……マスク ８……分極端子 10……圧電素子 11……案内ピン 12……コイルばね
Claims (3)
- 【請求項１】圧電素子を組み込み、電極の蒸着を行い、
さらに分極を行う圧電素子の蒸着分極装置において、 基台と上下方向に移動可能に基台に組み込まれた圧電素
子を取り付ける素子台と、 蒸着等により圧電素子に電極を形成するための圧電素子
の電極形状に合わせた窓形状を有する交換可能な一以上
のマスクと、 素子台をマスクの方向に加圧する加圧部材と、 圧電素子の分極時に、マスクの窓部を貫通して圧電素子
に接触する一以上の分極端子から構成された圧電素子の
蒸着分極装置。 - 【請求項２】圧電素子の蒸着および分極の方法におい
て、 基台に上下方向に移動可能に組み込まれ、加圧部材によ
り上方に押し上げられた素子台に圧電素子を組み込み、 圧電素子の電極形状に合わせた窓形状を有するマスク
を、上記圧電素子にほぼ密着させて組み、蒸着等により
圧電素子に電極を形成し、さらに、上記マスクの窓部を
貫通させて圧電素子に一以上の分極端子を接触させて分
極することを特徴とする圧電素子の蒸着分極方法。 - 【請求項３】窓形状の異なる複数のマスクを用いて、圧
電素子の片面若しくは両面に分極前，分極後、あるいは
分極の前後においてマスクを交換して蒸着を複数回数行
う請求項２記載の圧電素子の蒸着分極方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26977189A JPH0738465B2 (ja) | 1989-10-17 | 1989-10-17 | 圧電素子の蒸着分極装置および蒸着分極方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26977189A JPH0738465B2 (ja) | 1989-10-17 | 1989-10-17 | 圧電素子の蒸着分極装置および蒸着分極方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03131077A JPH03131077A (ja) | 1991-06-04 |
| JPH0738465B2 true JPH0738465B2 (ja) | 1995-04-26 |
Family
ID=17476925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26977189A Expired - Fee Related JPH0738465B2 (ja) | 1989-10-17 | 1989-10-17 | 圧電素子の蒸着分極装置および蒸着分極方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0738465B2 (ja) |
-
1989
- 1989-10-17 JP JP26977189A patent/JPH0738465B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03131077A (ja) | 1991-06-04 |
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