JPH0740565B2 - ウエハーの両面同時研削方法とその装置 - Google Patents
ウエハーの両面同時研削方法とその装置Info
- Publication number
- JPH0740565B2 JPH0740565B2 JP3100540A JP10054091A JPH0740565B2 JP H0740565 B2 JPH0740565 B2 JP H0740565B2 JP 3100540 A JP3100540 A JP 3100540A JP 10054091 A JP10054091 A JP 10054091A JP H0740565 B2 JPH0740565 B2 JP H0740565B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- grinding
- rotate
- grinding wheels
- grinding wheel
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シリコン等のウエハー
の両面を同時に研削する方法と装置に関する。
の両面を同時に研削する方法と装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来シリコン等のウエハー表面を研削す
るには、回転する研削砥石をウエハーのー面に接触させ
摩擦によって行なう研削装置が一般に用いられている。
その一例を図２によって説明すると、ウエハー１を回転
テーブル２の上面に固定し、研削砥石３を研削砥石回転
用モータ４で回転しながら、バランスウエイト５と研削
砥石送り用モータ６により、送りユニット７を利用して
緩やかに下降させ、ウエハー１に接触させると、ウエハ
ー１の上表面が研削される。テーブル駆動用モータ８
は、ウエハーの研削開始と完了の際、回転テーブル２を
回転してウエハー１の供給、取出しを行うためのもので
ある。（「機械の研究」第４巻第１０号、１９８９参
照）。
るには、回転する研削砥石をウエハーのー面に接触させ
摩擦によって行なう研削装置が一般に用いられている。
その一例を図２によって説明すると、ウエハー１を回転
テーブル２の上面に固定し、研削砥石３を研削砥石回転
用モータ４で回転しながら、バランスウエイト５と研削
砥石送り用モータ６により、送りユニット７を利用して
緩やかに下降させ、ウエハー１に接触させると、ウエハ
ー１の上表面が研削される。テーブル駆動用モータ８
は、ウエハーの研削開始と完了の際、回転テーブル２を
回転してウエハー１の供給、取出しを行うためのもので
ある。（「機械の研究」第４巻第１０号、１９８９参
照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の研削装置では、ウエハーを片面づつしか研削
できないので、研削時間がながくなると同時に、ウエハ
ーの一面の研削完了後、ウエハーを反転して他面を研削
するための装置の設定変更に工数と時間を要し、経済的
に問題があるほか、設定変更にあたりウエハーを損傷す
る危険が増加するという不利があった。
うな従来の研削装置では、ウエハーを片面づつしか研削
できないので、研削時間がながくなると同時に、ウエハ
ーの一面の研削完了後、ウエハーを反転して他面を研削
するための装置の設定変更に工数と時間を要し、経済的
に問題があるほか、設定変更にあたりウエハーを損傷す
る危険が増加するという不利があった。
【０００４】本発明は、ウエハ−の両面を同時に研削し
て研削時間を短縮するとともに、研削面の変更に要する
工数と時間を不要とし、歩留まりを向上できる研削装置
を提供することを目的とするもので、第１の発明は、回
転する研削砥石をウエハ−に接触させ、表面を研削する
ウエハ−研削方法において、ウエハ−を偏芯して保持す
る円板状の回転キャリアと、独立して回転し得る１対の
相対向する中央研削砥石およびその周囲に等間隔に配設
され同方向に同速度で回転する複数対の相対向する周囲
研削砥石とを設け、各研削砥石はそれぞれ対向面間にウ
エハ−を挾持して研削するウエハ−の両面同時研削方法
を要旨とするものである。また、第２の発明および第３
の発明は、その方法を実施するのに好適な異なる装置の
提案に関し、前記請求項２および３にそれぞれ記載され
た要件から成るウエハ−の両面同時研削装置を要旨とす
るものである。
て研削時間を短縮するとともに、研削面の変更に要する
工数と時間を不要とし、歩留まりを向上できる研削装置
を提供することを目的とするもので、第１の発明は、回
転する研削砥石をウエハ−に接触させ、表面を研削する
ウエハ−研削方法において、ウエハ−を偏芯して保持す
る円板状の回転キャリアと、独立して回転し得る１対の
相対向する中央研削砥石およびその周囲に等間隔に配設
され同方向に同速度で回転する複数対の相対向する周囲
研削砥石とを設け、各研削砥石はそれぞれ対向面間にウ
エハ−を挾持して研削するウエハ−の両面同時研削方法
を要旨とするものである。また、第２の発明および第３
の発明は、その方法を実施するのに好適な異なる装置の
提案に関し、前記請求項２および３にそれぞれ記載され
た要件から成るウエハ−の両面同時研削装置を要旨とす
るものである。
【０００５】
【作用】以下に本発明の一実施態様を図面によって詳細
に説明する。図１（ａ）は第２の本発明のウエハーの両
面同時研削装置を示し、（ｂ）はこの装置のウエハー、
キャリア、研削砥石の相対位置関係の説明図である。キ
ャリア９は、偏芯して設けた保持孔１０にウエハー１を
保持し、周縁に外歯車を刻設され、キャリア駆動用モー
タ１１により下ギヤボックス１２、ガイド歯車１３を介
して強制駆動され回転する。
に説明する。図１（ａ）は第２の本発明のウエハーの両
面同時研削装置を示し、（ｂ）はこの装置のウエハー、
キャリア、研削砥石の相対位置関係の説明図である。キ
ャリア９は、偏芯して設けた保持孔１０にウエハー１を
保持し、周縁に外歯車を刻設され、キャリア駆動用モー
タ１１により下ギヤボックス１２、ガイド歯車１３を介
して強制駆動され回転する。
【０００６】下中央研削砥石ａ、上中央研削砥石ａ′
は、中央砥石駆動用モータ１４によりそれぞれ下ギヤボ
ックス１２および駆動軸１５、上ギヤボックス１６を介
して強制駆動され、所定の速度と方向に回転される。同
様に下周囲研削砥石ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇおよび上周
囲研削砥石ｂ′、ｃ′、ｄ′、ｅ′、ｆ′、ｇ′は周囲
砥石駆動用モータ１７により、それぞれ下ギヤボックス
１２および駆動軸１８、上ギヤボックス１６を介して強
制駆動され、同方向に同速度で回転する。中央研削砥
石、周囲研削砥石のそれぞれの対向する上、下の研削砥
石は反対方向に回転してもよい。１９は上砥石送り用モ
ータで、スクリュー２０により上ギヤボックス１６を
上、下方向に移動させることにより、上中央研削砥石
ａ′、上周囲研削砥石ｂ′、ｃ′、ｄ′、ｅ′、ｆ′、
ｇ′を上昇、下降させる。
は、中央砥石駆動用モータ１４によりそれぞれ下ギヤボ
ックス１２および駆動軸１５、上ギヤボックス１６を介
して強制駆動され、所定の速度と方向に回転される。同
様に下周囲研削砥石ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇおよび上周
囲研削砥石ｂ′、ｃ′、ｄ′、ｅ′、ｆ′、ｇ′は周囲
砥石駆動用モータ１７により、それぞれ下ギヤボックス
１２および駆動軸１８、上ギヤボックス１６を介して強
制駆動され、同方向に同速度で回転する。中央研削砥
石、周囲研削砥石のそれぞれの対向する上、下の研削砥
石は反対方向に回転してもよい。１９は上砥石送り用モ
ータで、スクリュー２０により上ギヤボックス１６を
上、下方向に移動させることにより、上中央研削砥石
ａ′、上周囲研削砥石ｂ′、ｃ′、ｄ′、ｅ′、ｆ′、
ｇ′を上昇、下降させる。
【０００７】ウエハー１は、キャリア９に偏芯して設け
られた保持孔１０に保持され、前記下中央研削砥石ａ、
下周囲研削砥石ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇと上中央研削砥
石ａ′、上周囲研削砥石ｂ′、ｃ′、ｄ′、ｅ′、
ｆ′、ｇ′間に置かれ、前記上砥石送り用モータ１９に
より各上砥石を上、下させ適当な摩擦力をウエハーに加
えて研削されるので、ウエハーは自転しながら公転し、
各研削砥石により均一に精度よく研削される。また研削
開始あるいは完了時には各上砥石を上限まで上昇させウ
エハーの供給、取出しを行う。キャリア９に保持される
ウエハーは１枚とは限らず、保持孔を複数個設けて複数
枚とすれば作業能率が一層向上する。
られた保持孔１０に保持され、前記下中央研削砥石ａ、
下周囲研削砥石ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇと上中央研削砥
石ａ′、上周囲研削砥石ｂ′、ｃ′、ｄ′、ｅ′、
ｆ′、ｇ′間に置かれ、前記上砥石送り用モータ１９に
より各上砥石を上、下させ適当な摩擦力をウエハーに加
えて研削されるので、ウエハーは自転しながら公転し、
各研削砥石により均一に精度よく研削される。また研削
開始あるいは完了時には各上砥石を上限まで上昇させウ
エハーの供給、取出しを行う。キャリア９に保持される
ウエハーは１枚とは限らず、保持孔を複数個設けて複数
枚とすれば作業能率が一層向上する。
【０００８】図１（ｃ）図は、第３の本発明のウエハ−
の両面同時研削装置におけるウエハ−、ガイドロ−ラ、
研削砥石の相対位置関係の説明図であって、下研削砥石
ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆ，ｇと上研削砥石ａ'，ｂ'，
ｃ'，ｄ'，ｅ'，ｆ'，ｇ'間に挾持したウエハ−１を、
３個のガイドロ−ラ２１により回転しながらウエハ−両
面を同時に研削する。また、上記本発明の各装置は、図
１（ａ）図に示すような縦型とは限らず、ウエハ−を垂
直にして研削する横型としてもよい。
の両面同時研削装置におけるウエハ−、ガイドロ−ラ、
研削砥石の相対位置関係の説明図であって、下研削砥石
ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆ，ｇと上研削砥石ａ'，ｂ'，
ｃ'，ｄ'，ｅ'，ｆ'，ｇ'間に挾持したウエハ−１を、
３個のガイドロ−ラ２１により回転しながらウエハ−両
面を同時に研削する。また、上記本発明の各装置は、図
１（ａ）図に示すような縦型とは限らず、ウエハ−を垂
直にして研削する横型としてもよい。
【０００９】
【発明の効果】本発明によれば、多数の研削砥石がウエ
ハーの表裏全面をカバーし、ウエハーの両面を同時に均
一に研削するため、研削精度が向上するとともに、研削
時間が従来の片面づつの場合の半分になり、研削面変更
のための時間と工数のロスがなく、さらに研削装置の設
定変更に伴うウエハー損傷の危険も少なくなるので、本
発明は産業上きわめて有用なものである。
ハーの表裏全面をカバーし、ウエハーの両面を同時に均
一に研削するため、研削精度が向上するとともに、研削
時間が従来の片面づつの場合の半分になり、研削面変更
のための時間と工数のロスがなく、さらに研削装置の設
定変更に伴うウエハー損傷の危険も少なくなるので、本
発明は産業上きわめて有用なものである。
【図１】（ａ）は第２の本発明のウエハーの両面同時研
削装置の側面図、（ｂ）は（ａ）の装置のウエハー、キ
ャリア、各研削砥石の相互位置関係の説明図、（ｃ）は
第３の本発明のウエハーの両面同時研削装置における、
ウエハー、ガイドローラ、各研削砥石の相互位置関係の
説明図である。
削装置の側面図、（ｂ）は（ａ）の装置のウエハー、キ
ャリア、各研削砥石の相互位置関係の説明図、（ｃ）は
第３の本発明のウエハーの両面同時研削装置における、
ウエハー、ガイドローラ、各研削砥石の相互位置関係の
説明図である。
【図２】従来のウエハーの研削装置の側面図である。
１ ウエハー、 ２ 回転テーブル、３ 研削砥石、
４ 研削砥石回転用モータ、５ バランスウエイト、６
研削砥石送り用モータ、 ７ 送りユニット、８ テ
ーブル駆動用モータ、９ キャリア、 １０ 保持孔、
１１ キャリア駆動用モータ、１２ 下ギヤボック
ス、 １３ ガイド歯車、 １４ 中央砥石駆動用モー
タ、１５ 駆動軸、 １６ 上ギヤボックス、 １７
周囲砥石駆動用モータ、１８ 駆動軸、 １９ 上砥石
送り用モータ、 ２０ スクリュー、２１ ガイドロー
ラ、ａ 下中央研砥石、 ａ′ 上中央研砥石、ｂ、
ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ 下周囲研削砥石、ｂ′、ｃ′、
ｄ′、ｅ′、ｆ′、ｇ′ 上周囲研削砥石。
４ 研削砥石回転用モータ、５ バランスウエイト、６
研削砥石送り用モータ、 ７ 送りユニット、８ テ
ーブル駆動用モータ、９ キャリア、 １０ 保持孔、
１１ キャリア駆動用モータ、１２ 下ギヤボック
ス、 １３ ガイド歯車、 １４ 中央砥石駆動用モー
タ、１５ 駆動軸、 １６ 上ギヤボックス、 １７
周囲砥石駆動用モータ、１８ 駆動軸、 １９ 上砥石
送り用モータ、 ２０ スクリュー、２１ ガイドロー
ラ、ａ 下中央研砥石、 ａ′ 上中央研砥石、ｂ、
ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ 下周囲研削砥石、ｂ′、ｃ′、
ｄ′、ｅ′、ｆ′、ｇ′ 上周囲研削砥石。
Claims (3)
- 【請求項１】 回転する研削砥石をウエハ−に接触さ
せ、表面を研削するウエハ−研削方法において、ウエハ
−を偏芯して保持する円板状の回転キャリアと、独立し
て回転し得る１対の相対向する中央研削砥石およびその
周囲に等間隔に配設され同方向に同速度で回転する複数
対の相対向する周囲研削砥石とを設け、各研削砥石はそ
れぞれ対向面間にウエハ−を挾持して研削することを特
徴とするウエハ−の両面同時研削方法。 - 【請求項２】 回転する研削砥石をウエハ−に接触さ
せ、表面を研削するウエハ−研削装置において、ウエハ
−を偏芯して保持する円板状の回転キャリアと、独立し
て回転し得る１対の相対向する中央研削砥石およびその
周囲に等間隔に配設され同方向に同速度で回転する複数
対の相対向する周囲研削砥石とを設け、各研削砥石はそ
れぞれ対向面間にウエハ−を挾持し、各研削砥石の少な
くとも一方は回転軸方向に移動可能であることを特徴と
するウエハ−の両面同時研削装置。 - 【請求項３】 回転する研削砥石をウエハ−に接触さ
せ、表面を研削するウエハ−研削装置において、ウエハ
−周縁に接するように配設された回転可能なガイドロ−
ラと、独立して回転し得る１対の相対向する中央研削砥
石およびその周囲に等間隔に配設され同方向に同速度で
回転する複数対の相対向する周囲研削砥石とを設け、各
研削砥石はそれぞれ対向面間にウエハ−を挾持し、各研
削砥石の対の少なくとも一方は回転軸方向に移動可能で
あることを特徴とするウエハ−の両面同時研削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3100540A JPH0740565B2 (ja) | 1991-04-05 | 1991-04-05 | ウエハーの両面同時研削方法とその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3100540A JPH0740565B2 (ja) | 1991-04-05 | 1991-04-05 | ウエハーの両面同時研削方法とその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04307935A JPH04307935A (ja) | 1992-10-30 |
| JPH0740565B2 true JPH0740565B2 (ja) | 1995-05-01 |
Family
ID=14276787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3100540A Expired - Fee Related JPH0740565B2 (ja) | 1991-04-05 | 1991-04-05 | ウエハーの両面同時研削方法とその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0740565B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3923107B2 (ja) * | 1995-07-03 | 2007-05-30 | 株式会社Ｓｕｍｃｏ | シリコンウェーハの製造方法およびその装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5320194A (en) * | 1976-08-06 | 1978-02-24 | Nec Corp | Method for polishing both surfaces undistortedly |
| JPS5778639U (ja) * | 1980-10-30 | 1982-05-15 | ||
| JPS57142839U (ja) * | 1981-03-02 | 1982-09-07 | ||
| JPS5912556U (ja) * | 1982-07-19 | 1984-01-26 | 株式会社東芝 | 両面ポリツシング装置のウエハ−加工圧力制御機構 |
-
1991
- 1991-04-05 JP JP3100540A patent/JPH0740565B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04307935A (ja) | 1992-10-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |