JPH0741163Y2 - ボンディングパッド用クラッド板 - Google Patents
ボンディングパッド用クラッド板Info
- Publication number
- JPH0741163Y2 JPH0741163Y2 JP1987071430U JP7143087U JPH0741163Y2 JP H0741163 Y2 JPH0741163 Y2 JP H0741163Y2 JP 1987071430 U JP1987071430 U JP 1987071430U JP 7143087 U JP7143087 U JP 7143087U JP H0741163 Y2 JPH0741163 Y2 JP H0741163Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- bonding pad
- plate
- alloy plate
- clad plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Laminated Bodies (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 利用産業分野 この考案は、厚膜混成集積回路のアルミニウム配線部ボ
ンデイングパッド用のNi-Fe合金板と連続Al層およびは
んだめつき層からなる３層クラッド板の改良に係り、め
っき浴に浸漬した際のアルミの溶出を防止し、めっき浴
の長寿命化と製品品質の向上を図ったボンデイングパッ
ド用クラッド板に関する。
ンデイングパッド用のNi-Fe合金板と連続Al層およびは
んだめつき層からなる３層クラッド板の改良に係り、め
っき浴に浸漬した際のアルミの溶出を防止し、めっき浴
の長寿命化と製品品質の向上を図ったボンデイングパッ
ド用クラッド板に関する。
背景技術 従来、厚膜混成集積回路のアルミニウム配線部に用いら
れるボンデイングパッド用の３層クラッド板は、Ni40wt
％〜50wt％含有のFe合金板の１主面に、圧接法あるいは
蒸着法により、その全面にAl層を被着し他主面にはんだ
層を被着した構成からなる。
れるボンデイングパッド用の３層クラッド板は、Ni40wt
％〜50wt％含有のFe合金板の１主面に、圧接法あるいは
蒸着法により、その全面にAl層を被着し他主面にはんだ
層を被着した構成からなる。
ボンテイングパッドの製造に際して、クラッド板の前記
Al層をマスキングテープにて被覆した後、前記の母材Ni
-Fe合金板の他主面にめっき処理によりはんだ層を被着
した後、前記マスキングテープを剥離除去し、その後、
打抜加工し、ボンデイングパッドを得ていた。
Al層をマスキングテープにて被覆した後、前記の母材Ni
-Fe合金板の他主面にめっき処理によりはんだ層を被着
した後、前記マスキングテープを剥離除去し、その後、
打抜加工し、ボンデイングパッドを得ていた。
しかし、従来のクラッド板を用いる場合、前記めっき処
理時、マスキングテープとNi-Fe合金板間に介在するAl
層がその間隙に浸入するめっき液によって溶出し、めっ
き浴を汚染し、めっき不良による製品品質の低下に伴い
歩留低下を招来する問題があった。
理時、マスキングテープとNi-Fe合金板間に介在するAl
層がその間隙に浸入するめっき液によって溶出し、めっ
き浴を汚染し、めっき不良による製品品質の低下に伴い
歩留低下を招来する問題があった。
考案の目的 この考案は、めっき処理時にAlの溶出を防止でき、品質
良好にして歩留良好のボンデイングパッドを提供できる
ボンテイングパッド用クラッド板を目的とする。
良好にして歩留良好のボンデイングパッドを提供できる
ボンテイングパッド用クラッド板を目的とする。
考案の構成 この考案は、Ni40wt％〜55wt％含有のFe合金板の１主面
に、その幅方向の両縁に0.5mm〜2.5mm幅の前記Fe合金板
の露出面を有し、その露出面間部に連続Al層を被着し他
主面にはんだめっき層を被着してなることを特徴とする
ボンデイングパッド用クラッド板である。
に、その幅方向の両縁に0.5mm〜2.5mm幅の前記Fe合金板
の露出面を有し、その露出面間部に連続Al層を被着し他
主面にはんだめっき層を被着してなることを特徴とする
ボンデイングパッド用クラッド板である。
この考案において、Ni含有のFe合金板は、厚膜混成集積
回路基板にボンデイングパッドをはんだ付けして積載
し、そのAl面にAl線をボンデイングして実用に供した際
に、温度変化の繰り返しによるはんだ界面、あるいはNi
含有のFe合金とAlのクラッド界面の密着強度の劣化を減
少させるため、熱膨張係数整合の観点からNi量40％〜55
％の範囲内で選定される。
回路基板にボンデイングパッドをはんだ付けして積載
し、そのAl面にAl線をボンデイングして実用に供した際
に、温度変化の繰り返しによるはんだ界面、あるいはNi
含有のFe合金とAlのクラッド界面の密着強度の劣化を減
少させるため、熱膨張係数整合の観点からNi量40％〜55
％の範囲内で選定される。
また、本考案において、連続Al層を被着した主面におけ
る幅方向の両側に設けるNi含有Fe合金板の露出面幅
（Ｗ）を0.5mm〜2.5mmに限定した理由は、0.5mm未満で
は、はんだめっき処理時、めっき液によりAl層が溶出す
る恐れがあり、また、2.5mmを超えると、クラッド板を
打抜き加工して製品化する場合の製品歩留を低下する恐
れがあるので好ましくないためである。
る幅方向の両側に設けるNi含有Fe合金板の露出面幅
（Ｗ）を0.5mm〜2.5mmに限定した理由は、0.5mm未満で
は、はんだめっき処理時、めっき液によりAl層が溶出す
る恐れがあり、また、2.5mmを超えると、クラッド板を
打抜き加工して製品化する場合の製品歩留を低下する恐
れがあるので好ましくないためである。
図面に基づく考案の開示 第１図a,b図はこの考案の３層クラッド板の製品工程を
示す断面説明図である。第２図はボンデイングパッドの
断面斜視図である。
示す断面説明図である。第２図はボンデイングパッドの
断面斜視図である。
第１図に示す母材の２層クラッド板（１）は、Ni40％〜
55％含有のFe合金板（２）にそれより狭い幅の連続Al板
を、例えば、圧接法にて被着したものである。
55％含有のFe合金板（２）にそれより狭い幅の連続Al板
を、例えば、圧接法にて被着したものである。
すなわち、板幅（Ｗ）25mm、板厚0.8mmのNi40％〜55％
含有のFe合金板（２）の１主面に、その両縁端より1mm
の幅（ω）にNi40％〜55％含有のFe合金板表面が露出す
るように露出面（３）を設け、その両露出面（３）間部
に幅（W1）、厚み0.05mmの連続Al層（４）が位置するよ
うに、圧接法にて連続Al層（４）を被着したクラッド板
（１）である。
含有のFe合金板（２）の１主面に、その両縁端より1mm
の幅（ω）にNi40％〜55％含有のFe合金板表面が露出す
るように露出面（３）を設け、その両露出面（３）間部
に幅（W1）、厚み0.05mmの連続Al層（４）が位置するよ
うに、圧接法にて連続Al層（４）を被着したクラッド板
（１）である。
以下に、この考案において、ボンデイングパッドを製造
する例を説明する。
する例を説明する。
まず、前記クラッド板（１）の連続Al層（４）を被着し
た１主面に、マスキングテープ（５）を被覆した後、Ni
40％〜55％含有のFe合金板（２）の他主面にめっき法に
より、はんだめっき層（６）を被着する。
た１主面に、マスキングテープ（５）を被覆した後、Ni
40％〜55％含有のFe合金板（２）の他主面にめっき法に
より、はんだめっき層（６）を被着する。
この際、この考案によるNi40％〜55％含有のFe合金板の
１主面の連続Al層（４）の両側面の幅（ω）0.5mm〜2.5
mmのNi40％〜55％含有のFe合金板（２）の露出面（３）
にマスキングテープ（５）が密着するため、前記めっき
処理時、めっき液がマスキングテープ（５）とNi40％〜
55％含有のFe合金板（２）間に浸入することを防止で
き、Al層（４）の溶出が防止でき、従来のクラッド板の
如き、めっき処理時のAl層の溶出の問題は解消し、製品
歩留向上に有効である。
１主面の連続Al層（４）の両側面の幅（ω）0.5mm〜2.5
mmのNi40％〜55％含有のFe合金板（２）の露出面（３）
にマスキングテープ（５）が密着するため、前記めっき
処理時、めっき液がマスキングテープ（５）とNi40％〜
55％含有のFe合金板（２）間に浸入することを防止で
き、Al層（４）の溶出が防止でき、従来のクラッド板の
如き、めっき処理時のAl層の溶出の問題は解消し、製品
歩留向上に有効である。
その後、従来のクラッド板と同様にマスキングテープ
（５）を剥離除去した後、打抜き加工して、第２図に示
す如く、一面にAl面（４）を、他面にはんだめっき面
（６）を有し、心材としてNi40％〜55％含有のFe合金板
（２）からなるボンデイングパッドを得ることができ
る。
（５）を剥離除去した後、打抜き加工して、第２図に示
す如く、一面にAl面（４）を、他面にはんだめっき面
（６）を有し、心材としてNi40％〜55％含有のFe合金板
（２）からなるボンデイングパッドを得ることができ
る。
第１図a,b図はこの考案の３層クラッド板の製造工程を
示す断面説明図である。第２図はコンデンサ容器の断面
斜視図である。 １……クラッド板、２…Ni40％〜55％含有のFe合金板、
３…露出面、４…Al層、５…マスキングテープ、６…は
んだめっき層。
示す断面説明図である。第２図はコンデンサ容器の断面
斜視図である。 １……クラッド板、２…Ni40％〜55％含有のFe合金板、
３…露出面、４…Al層、５…マスキングテープ、６…は
んだめっき層。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 23/373
Claims (1)
- 【請求項１】Ni40wt％〜55wt％含有のFe合金板の１主面
に、その幅方向の両縁に0.5mm〜2.5mm幅の前記Fe合金板
の露出面を有し、その露出面間部に連続Al層を被着し、
他主面にははんだめっき層を被着してなることを特徴と
するボンディングパッド用クラッド板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987071430U JPH0741163Y2 (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | ボンディングパッド用クラッド板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987071430U JPH0741163Y2 (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | ボンディングパッド用クラッド板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63180225U JPS63180225U (ja) | 1988-11-21 |
| JPH0741163Y2 true JPH0741163Y2 (ja) | 1995-09-20 |
Family
ID=30913976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987071430U Expired - Lifetime JPH0741163Y2 (ja) | 1987-05-13 | 1987-05-13 | ボンディングパッド用クラッド板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0741163Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2024168857A (ja) * | 2023-05-25 | 2024-12-05 | 株式会社プロテリアル | ワイヤボンディング用クラッド材、ワイヤボンディング用クラッド材を用いた接合構造、および電池の製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59174287A (ja) * | 1983-03-23 | 1984-10-02 | Hitachi Cable Ltd | 部分クラツド材の製造方法 |
| JPS60227456A (ja) * | 1984-04-26 | 1985-11-12 | Nec Corp | 半導体装置用リ−ドフレ−ム |
-
1987
- 1987-05-13 JP JP1987071430U patent/JPH0741163Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63180225U (ja) | 1988-11-21 |
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