JPH0758545B2 - 薄膜磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
薄膜磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH0758545B2 JPH0758545B2 JP63194912A JP19491288A JPH0758545B2 JP H0758545 B2 JPH0758545 B2 JP H0758545B2 JP 63194912 A JP63194912 A JP 63194912A JP 19491288 A JP19491288 A JP 19491288A JP H0758545 B2 JPH0758545 B2 JP H0758545B2
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- thin film
- layer
- recording medium
- medium
- magnetic recording
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、固定磁気ディスク装置に用いられる、強磁
性金属薄膜からなる磁性層を備えた薄膜磁気記録媒体の
製造方法に関する。
性金属薄膜からなる磁性層を備えた薄膜磁気記録媒体の
製造方法に関する。
〔従来の技術〕 薄膜磁気記録媒体は、通常、非磁性基体上に非磁性金属
下地層，磁性層，保護層，潤滑層がそれぞれ薄膜で順次
積層された層構成である。非磁性基体としてはAl合金基
板に無電解めっきでNi−Ｐ合金層が形成されたものが用
いられる。Ni−Ｐ合金層はその上に積層される各薄膜の
機械的強度を補強するために設けられる。非磁性金属下
地層は磁気特性を高めるために設けられるもので、一般
にはCrが用いられ、スパッタ法で形成される。磁性層は
一般にCo系合金，例えばCo−Ni合金が用いられ、スパッ
タ法で形成される。保護層は耐食性，耐磨耗性を向上さ
せるために設けられるもので、一般にアモルファスカー
ボン（ａ−Ｃ）またはSiO2が用いられ、スパッタ法など
で形成される。潤滑層は耐磨耗性などを高めるために設
けられるもので、液体潤滑剤または固体潤滑剤を塗布し
て形成される。
下地層，磁性層，保護層，潤滑層がそれぞれ薄膜で順次
積層された層構成である。非磁性基体としてはAl合金基
板に無電解めっきでNi−Ｐ合金層が形成されたものが用
いられる。Ni−Ｐ合金層はその上に積層される各薄膜の
機械的強度を補強するために設けられる。非磁性金属下
地層は磁気特性を高めるために設けられるもので、一般
にはCrが用いられ、スパッタ法で形成される。磁性層は
一般にCo系合金，例えばCo−Ni合金が用いられ、スパッ
タ法で形成される。保護層は耐食性，耐磨耗性を向上さ
せるために設けられるもので、一般にアモルファスカー
ボン（ａ−Ｃ）またはSiO2が用いられ、スパッタ法など
で形成される。潤滑層は耐磨耗性などを高めるために設
けられるもので、液体潤滑剤または固体潤滑剤を塗布し
て形成される。
上述の液体潤滑剤を潤滑層として塗布する方法として
は、ディップ法，スピンコート法，スプレーバフ法など
がある。しかしながら、どの方法を用いても、単に塗布
しただけでは充分満足できる性能を備えた潤滑層とはな
り得ず、媒体の信頼性試験において、機械的特性を評価
するためのコンタクト・スタート・ストップ（以下、CS
Sと称する）テスト，吸着力試験で摩擦係数が増加し、
実使用に際しても、CSSの繰り返しで摩擦係数が増大し
たり，磁気ヘッドの媒体表面への吸着が発生したりする
問題点があった。
は、ディップ法，スピンコート法，スプレーバフ法など
がある。しかしながら、どの方法を用いても、単に塗布
しただけでは充分満足できる性能を備えた潤滑層とはな
り得ず、媒体の信頼性試験において、機械的特性を評価
するためのコンタクト・スタート・ストップ（以下、CS
Sと称する）テスト，吸着力試験で摩擦係数が増加し、
実使用に際しても、CSSの繰り返しで摩擦係数が増大し
たり，磁気ヘッドの媒体表面への吸着が発生したりする
問題点があった。
この発明は、上述の問題点を解消して、実使用に際して
CSSが繰り返されても摩擦係数が増大せず、媒体表面へ
の磁気ヘッドの吸着も生じにくい、耐久性に優れた、信
頼性の高い薄膜磁気記録媒体の製造方法を提供すること
を目的とする。
CSSが繰り返されても摩擦係数が増大せず、媒体表面へ
の磁気ヘッドの吸着も生じにくい、耐久性に優れた、信
頼性の高い薄膜磁気記録媒体の製造方法を提供すること
を目的とする。
本発明は、上述の目的を達成するため、強磁性金属薄膜
からなる磁性層上に保護層を形成し、この保護層上に液
体潤滑剤を塗布し、その表面に布を押し当ててバフを行
うことにより潤滑層を形成する薄膜磁気記録媒体の製造
方法において、前記保護層がアモルファスカーボンから
なると共に、前記潤滑層がフロロカーボン系潤滑剤から
なり、前記バフを行うときの面圧が2kg/cm2以上、3kg/c
m2以下であることを特徴としている。
からなる磁性層上に保護層を形成し、この保護層上に液
体潤滑剤を塗布し、その表面に布を押し当ててバフを行
うことにより潤滑層を形成する薄膜磁気記録媒体の製造
方法において、前記保護層がアモルファスカーボンから
なると共に、前記潤滑層がフロロカーボン系潤滑剤から
なり、前記バフを行うときの面圧が2kg/cm2以上、3kg/c
m2以下であることを特徴としている。
保護層上にフロロカーボン系の液体潤滑剤を塗布した状
態では、第２図の媒体の要部部分断面図に示すように、
保護層１の表面に潤滑剤２が島状に付着していると思わ
れる。このような塗布面に布を押し当てて2kg/cm2以
上、3kg/cm2以下の面圧でバフを行うことにより、第１
図の媒体の要部部分断面図に示すように潤滑剤２が膜厚
の厚い箇所から薄い箇所へ膜厚ばらつきを補正するよう
に流動し、保護層１上に膜厚均一な連続膜として潤滑剤
２からなる潤滑層が形成できることになる。潤滑層をこ
のような連続膜とすることにより、CSSテスト，吸着力
試験における摩擦係数を低減でき、磁気ヘッドの媒体へ
の吸着を防ぐことができる。
態では、第２図の媒体の要部部分断面図に示すように、
保護層１の表面に潤滑剤２が島状に付着していると思わ
れる。このような塗布面に布を押し当てて2kg/cm2以
上、3kg/cm2以下の面圧でバフを行うことにより、第１
図の媒体の要部部分断面図に示すように潤滑剤２が膜厚
の厚い箇所から薄い箇所へ膜厚ばらつきを補正するよう
に流動し、保護層１上に膜厚均一な連続膜として潤滑剤
２からなる潤滑層が形成できることになる。潤滑層をこ
のような連続膜とすることにより、CSSテスト，吸着力
試験における摩擦係数を低減でき、磁気ヘッドの媒体へ
の吸着を防ぐことができる。
Al合金からなるディスク状基板に無電解めっきでNi−Ｐ
合金層を形成し、その表面に鏡面加工，テクスチァ加工
を施した後、その上にスパッタ法によりCrからなる非磁
性金属下地層,Co−Ni合金からなる磁性層,a−Ｃからな
る保護層を順次積層し、さらに、この上に、フロロカー
ボン系の液体潤滑剤を0.4重量％含有した溶剤をディッ
プ法により塗布した。このディスクを回転数100rpmで回
転させながら潤滑剤塗布面に布（研磨性のものではな
く、例えばワイピングクロス）を押しあててバフを行っ
て液体潤滑剤の均一な連続膜の潤滑層を有する媒体を作
製した。媒体面に布を押しあてる面圧を1.0,1.5,2.0,2.
5kg/cm2と変えて作製した媒体について、吸着力試験を
行った。吸着力試験は媒体と磁気ヘッドとを接触させた
状態で温度33℃，相対湿度80％の雰囲気中に１日間放置
し、その後静止摩擦係数を測定し、所定の規格値，例え
ば0.4以下を満足するかどうかで良否を判定した。その
結果、第３図に示したように面圧2.0,2.5kg/cm2で良と
判定され、面圧2.0kg/cm2以上で吸着が生じにくく、静
摩擦係数が小さく良好であることが判る。ところが、面
圧が3.0kg/cm2を超えると、バフを行うときに潤滑剤の
離脱が生じたり、布の融着が起きたりする問題が発生す
る。従って、バフを行うときの面圧は2.0kg/cm2以上3.0
kg/cm2以下の範囲であることが必要であり、より好まし
くは2.0kg/cm2以上2.5kg/cm2以下の範囲である。
合金層を形成し、その表面に鏡面加工，テクスチァ加工
を施した後、その上にスパッタ法によりCrからなる非磁
性金属下地層,Co−Ni合金からなる磁性層,a−Ｃからな
る保護層を順次積層し、さらに、この上に、フロロカー
ボン系の液体潤滑剤を0.4重量％含有した溶剤をディッ
プ法により塗布した。このディスクを回転数100rpmで回
転させながら潤滑剤塗布面に布（研磨性のものではな
く、例えばワイピングクロス）を押しあててバフを行っ
て液体潤滑剤の均一な連続膜の潤滑層を有する媒体を作
製した。媒体面に布を押しあてる面圧を1.0,1.5,2.0,2.
5kg/cm2と変えて作製した媒体について、吸着力試験を
行った。吸着力試験は媒体と磁気ヘッドとを接触させた
状態で温度33℃，相対湿度80％の雰囲気中に１日間放置
し、その後静止摩擦係数を測定し、所定の規格値，例え
ば0.4以下を満足するかどうかで良否を判定した。その
結果、第３図に示したように面圧2.0,2.5kg/cm2で良と
判定され、面圧2.0kg/cm2以上で吸着が生じにくく、静
摩擦係数が小さく良好であることが判る。ところが、面
圧が3.0kg/cm2を超えると、バフを行うときに潤滑剤の
離脱が生じたり、布の融着が起きたりする問題が発生す
る。従って、バフを行うときの面圧は2.0kg/cm2以上3.0
kg/cm2以下の範囲であることが必要であり、より好まし
くは2.0kg/cm2以上2.5kg/cm2以下の範囲である。
また、面圧2.5kg/cm2でバフを行って作製した媒体と、
バフを行わなかった媒体とについてCSSテストを行つ
た。CSSサイクルと摩擦係数との関係を第４図の線図に
示す。第４図よりバフを行った媒体はCSSを繰り返して
も摩擦係数は増加せず、バフなしの媒体より優れている
ことは明らかである。
バフを行わなかった媒体とについてCSSテストを行つ
た。CSSサイクルと摩擦係数との関係を第４図の線図に
示す。第４図よりバフを行った媒体はCSSを繰り返して
も摩擦係数は増加せず、バフなしの媒体より優れている
ことは明らかである。
バフを行って作製した媒体と、同様に作製してバフのみ
を行わなかった媒体について、媒体の表面粗さと液体潤
滑剤からなる潤滑層の膜厚との関係を調べた。その測定
結果を第５図の線図に示す。ここで、表面粗さは媒体表
面の粗さのアボットの相対負荷曲線の10％の深さから１
％の深さを引いた差の値で示した。バフを行った媒体の
方がバフを行わなかった媒体に比べて潤滑層の膜厚が厚
く、また、表面粗さを示す数値が大きい程両者の膜厚の
差が大きくなっていることより、液体潤滑剤がバフ前で
は第２図に示したように島状に付着していたものが、バ
フを行うことにより第１図に示したような膜厚の均一な
連続膜となったものと考えられる。
を行わなかった媒体について、媒体の表面粗さと液体潤
滑剤からなる潤滑層の膜厚との関係を調べた。その測定
結果を第５図の線図に示す。ここで、表面粗さは媒体表
面の粗さのアボットの相対負荷曲線の10％の深さから１
％の深さを引いた差の値で示した。バフを行った媒体の
方がバフを行わなかった媒体に比べて潤滑層の膜厚が厚
く、また、表面粗さを示す数値が大きい程両者の膜厚の
差が大きくなっていることより、液体潤滑剤がバフ前で
は第２図に示したように島状に付着していたものが、バ
フを行うことにより第１図に示したような膜厚の均一な
連続膜となったものと考えられる。
以上のような本発明によれば、アモルファスカーボンか
らなる保護層上にフロロカーボン系液体潤滑剤を塗布
し、その表面に布を押し当てて2kg/cm2以上、3kg/cm2以
下の面圧でバフを行うことにより潤滑層を形成するよう
にしたので、本発明により製造する薄膜磁気記録媒体の
潤滑層の膜厚を均一にして磁気ヘッドの吸着を防止する
と共に、CSS耐久性を高めることができる。
らなる保護層上にフロロカーボン系液体潤滑剤を塗布
し、その表面に布を押し当てて2kg/cm2以上、3kg/cm2以
下の面圧でバフを行うことにより潤滑層を形成するよう
にしたので、本発明により製造する薄膜磁気記録媒体の
潤滑層の膜厚を均一にして磁気ヘッドの吸着を防止する
と共に、CSS耐久性を高めることができる。
第１図はこの発明に係わるバフを行う製造方法による媒
体の潤滑層の要部部分断面図、第２図は従来の製造方法
による媒体の潤滑層の要部部分断面図、第３図はバフに
際して布を押しあてる面圧と吸着力テスト良否との関係
を示す関係図、第４図はバフ工程のあり，なしの媒体に
ついてCSSサイクルと摩擦係数との関係を示す線図、第
５図は同じくバフ工程のあり，なしの媒体について、表
面粗さと潤滑層膜厚との関係を示す線図である。 １……保護層、２……液体潤滑剤。
体の潤滑層の要部部分断面図、第２図は従来の製造方法
による媒体の潤滑層の要部部分断面図、第３図はバフに
際して布を押しあてる面圧と吸着力テスト良否との関係
を示す関係図、第４図はバフ工程のあり，なしの媒体に
ついてCSSサイクルと摩擦係数との関係を示す線図、第
５図は同じくバフ工程のあり，なしの媒体について、表
面粗さと潤滑層膜厚との関係を示す線図である。 １……保護層、２……液体潤滑剤。
Claims (1)
- 【請求項１】強磁性金属薄膜からなる磁性層上に保護層
を形成し、この保護層上に液体潤滑剤を塗布し、その表
面に布を押し当ててバフを行うことにより潤滑層を形成
する薄膜磁気記録媒体の製造方法において、前記保護層
がアモルファスカーボンからなると共に、前記潤滑層が
フロロカーボン系潤滑剤からなり、前記バフを行うとき
の面圧が2kg/cm2以上、3kg/cm2以下であることを特徴と
する薄膜磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63194912A JPH0758545B2 (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | 薄膜磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63194912A JPH0758545B2 (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | 薄膜磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0244519A JPH0244519A (ja) | 1990-02-14 |
| JPH0758545B2 true JPH0758545B2 (ja) | 1995-06-21 |
Family
ID=16332407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63194912A Expired - Lifetime JPH0758545B2 (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | 薄膜磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0758545B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0283823A (ja) * | 1988-09-19 | 1990-03-23 | Fujitsu Ltd | 磁気ディスク媒体の製造方法 |
| JP4238341B2 (ja) | 2003-04-23 | 2009-03-18 | 富士電機デバイステクノロジー株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法および製造装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6383921A (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
1988
- 1988-08-04 JP JP63194912A patent/JPH0758545B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0244519A (ja) | 1990-02-14 |
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Legal Events
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