JPH0760893B2 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
半導体装置およびその製造方法Info
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- JPH0760893B2 JPH0760893B2 JP1289005A JP28900589A JPH0760893B2 JP H0760893 B2 JPH0760893 B2 JP H0760893B2 JP 1289005 A JP1289005 A JP 1289005A JP 28900589 A JP28900589 A JP 28900589A JP H0760893 B2 JPH0760893 B2 JP H0760893B2
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- JP
- Japan
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- electrode
- guide ring
- anode
- semiconductor device
- conductor
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W76/00—Containers; Fillings or auxiliary members therefor; Seals
- H10W76/10—Containers or parts thereof
- H10W76/12—Containers or parts thereof characterised by their shape
- H10W76/13—Containers comprising a conductive base serving as an interconnection
- H10W76/138—Containers comprising a conductive base serving as an interconnection having another interconnection being formed by a cover plate parallel to the conductive base, e.g. sandwich type
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- Thyristors (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は半導体装置およびその製造方法に関するもの
で、特に、電極補償板と他の部材との間の位置ずれを防
止するための改良に関する。
で、特に、電極補償板と他の部材との間の位置ずれを防
止するための改良に関する。
主として大電力回路に使用されるフラットパック型の半
導体装置では、電極補償板や電極導電体などの部材を半
導体基板と重ね合わせるとともに、このようにして得ら
れた構造体を絶縁筒体の中に収容している。
導体装置では、電極補償板や電極導電体などの部材を半
導体基板と重ね合わせるとともに、このようにして得ら
れた構造体を絶縁筒体の中に収容している。
第9A図はこのような半導体装置の従来例の外観を示す側
面図であり、第9A図の区間Ｑを切りつめて内部構造を示
した拡大縦断面図が第9B図に示されている。第9B図にお
いて、半導体エレメント１はゲートターンオフサイリス
タであり、円板形の半導体基板３の下側主面に陰極導電
膜４とゲート導電膜５とを相互に分離して形成し、この
半導体基板３を、陽極電極を兼ねる導電性の補強板２に
ロウ付けして構成されている（図中、これらの導電膜4,
5の厚さは拡大して描かれている）。また、半導体基板
３の端部には絶縁性の保護層６が形成されている。
面図であり、第9A図の区間Ｑを切りつめて内部構造を示
した拡大縦断面図が第9B図に示されている。第9B図にお
いて、半導体エレメント１はゲートターンオフサイリス
タであり、円板形の半導体基板３の下側主面に陰極導電
膜４とゲート導電膜５とを相互に分離して形成し、この
半導体基板３を、陽極電極を兼ねる導電性の補強板２に
ロウ付けして構成されている（図中、これらの導電膜4,
5の厚さは拡大して描かれている）。また、半導体基板
３の端部には絶縁性の保護層６が形成されている。
この半導体エレメント１は、絶縁性のガイドリング９内
に挿入されて、このガイドリング９によって第9B図の水
平方向の位置を規制されている。このガイドリング９は
絶縁筒体10に内嵌めされている。そして、補強板２の上
面には陽極補償板７と陽極導電体８とがこの順序で載置
されている。陽極補償板７の水平方向の位置は、ガイド
リング９の突出部9aで規制されている。陽極導電体８に
は陽極フランジ11が取付けられており、絶縁筒体10の端
部に固定した他方のフランジ12とこの陽極フランジ11と
をエッジ13でアーク溶接している。
に挿入されて、このガイドリング９によって第9B図の水
平方向の位置を規制されている。このガイドリング９は
絶縁筒体10に内嵌めされている。そして、補強板２の上
面には陽極補償板７と陽極導電体８とがこの順序で載置
されている。陽極補償板７の水平方向の位置は、ガイド
リング９の突出部9aで規制されている。陽極導電体８に
は陽極フランジ11が取付けられており、絶縁筒体10の端
部に固定した他方のフランジ12とこの陽極フランジ11と
をエッジ13でアーク溶接している。
半導体エレメント１の下方には、その概略的な外形のみ
を破線で示す陰極／ゲート組立体CGが存在する。この陰
極／ゲート組立体CGは、陰極補償板や陰極導電体を含む
とともに、ゲート導電膜５からゲート端子30までの電気
的経路を構成する部材を有している。また、陰極／ゲー
ト組立体CGは、陰極フランジ14によって絶縁筒体10に連
結されている。そして、ゲート端子30に制御信号を与え
ることにより、陰極／ゲート組立体CGの下面と陽極導電
体８との間の電気的経路が、半導体基板２のスイッチン
グ作用によって開閉される。
を破線で示す陰極／ゲート組立体CGが存在する。この陰
極／ゲート組立体CGは、陰極補償板や陰極導電体を含む
とともに、ゲート導電膜５からゲート端子30までの電気
的経路を構成する部材を有している。また、陰極／ゲー
ト組立体CGは、陰極フランジ14によって絶縁筒体10に連
結されている。そして、ゲート端子30に制御信号を与え
ることにより、陰極／ゲート組立体CGの下面と陽極導電
体８との間の電気的経路が、半導体基板２のスイッチン
グ作用によって開閉される。
ところで、第9B図の半導体装置は、陽極導電体８と陰極
／ゲート組立体CGとの間に、矢印Ｆ−Ｆで示すような方
向へのある程度の圧力が加わった状態での使用を前提に
して組立てられている。すなわち、このような圧力によ
って各部材間の電気的接触が均一に保たれ、それによっ
てこの半導体装置の正常な動作が実現される。
／ゲート組立体CGとの間に、矢印Ｆ−Ｆで示すような方
向へのある程度の圧力が加わった状態での使用を前提に
して組立てられている。すなわち、このような圧力によ
って各部材間の電気的接触が均一に保たれ、それによっ
てこの半導体装置の正常な動作が実現される。
しかしながら、この半導体装置を所要の電気設備に組込
む前には、このような圧力は加わっていない。したがっ
て、この半導体装置を輸送する際などには、振動などに
よって陽極導電体８が上方に浮上がることがある。それ
は、陽極フランジ11が銅などの柔らかい金属で形成され
ており、振動などによって変形を受けやすいからであ
る。
む前には、このような圧力は加わっていない。したがっ
て、この半導体装置を輸送する際などには、振動などに
よって陽極導電体８が上方に浮上がることがある。それ
は、陽極フランジ11が銅などの柔らかい金属で形成され
ており、振動などによって変形を受けやすいからであ
る。
すると、陽極導電体８と補強板２との間に空隙が生じ、
陽極補償板７が矢印Ｋで示すようにガイドリング９の突
出部9aを乗り越えるように変位してしまう。そして、こ
のような変位が生ずると、もはや各部材を均一に接触さ
せることができなくなる。その結果、動作時における半
導体基板３内の電流の分布が不均一となって、基板３の
異常な発熱や破壊が生ずる。
陽極補償板７が矢印Ｋで示すようにガイドリング９の突
出部9aを乗り越えるように変位してしまう。そして、こ
のような変位が生ずると、もはや各部材を均一に接触さ
せることができなくなる。その結果、動作時における半
導体基板３内の電流の分布が不均一となって、基板３の
異常な発熱や破壊が生ずる。
このような事態を防止するために、突出部9aの高さＨを
高くするという改良も考えられる。しかしながら、ガイ
ドリング９と陽極フランジ11との間の上下方向のギャッ
プは比較的狭いため、突出部9aの高さＨを十分に高くと
ることは困難である。
高くするという改良も考えられる。しかしながら、ガイ
ドリング９と陽極フランジ11との間の上下方向のギャッ
プは比較的狭いため、突出部9aの高さＨを十分に高くと
ることは困難である。
この発明は従来技術における上述の問題の克服を意図し
ており、半導体エレメントの位置がガイドリングによっ
て規制される半導体装置において、電極補償板がガイド
リングを乗り越えて変位する事態を防止した構造とその
製造方法を提供することを目的とする。
ており、半導体エレメントの位置がガイドリングによっ
て規制される半導体装置において、電極補償板がガイド
リングを乗り越えて変位する事態を防止した構造とその
製造方法を提供することを目的とする。
上述の目的を達成するため、この発明の第１の構成によ
る半導体装置は、（ａ）半導体基板の第１と第２の主面
上に第１と第２の電極がそれぞれ設けられた半導体エレ
メントと、（ｂ）第１の電極上に配置されて第１の電極
と接触する電極補償板と、（ｃ）電極補償板上に配置さ
れて電極補償板と接触する第１の電極導電体と、（ｄ）
第２の電極上に配置されて第２の電極と電気的に接触す
る第２の電極導電体と、（ｅ）半導体エレメントに外嵌
めされ、半導体エレメントの位置を規制するガイドリン
グと、（ｆ）ガイドリングが挿入され、第１と第２の電
極導電体に連結された絶縁筒体とを備え、電極補償板
が、（ｂ−１）ガイドリングの内径に応じた径を有する
中心部分と、（ｂ−２）この中心部分からガイドリング
の第１の電極導電体に対向する端面に沿って絶縁筒体の
内壁面の近傍まで延在された複数の腕部とを有するもの
である。
る半導体装置は、（ａ）半導体基板の第１と第２の主面
上に第１と第２の電極がそれぞれ設けられた半導体エレ
メントと、（ｂ）第１の電極上に配置されて第１の電極
と接触する電極補償板と、（ｃ）電極補償板上に配置さ
れて電極補償板と接触する第１の電極導電体と、（ｄ）
第２の電極上に配置されて第２の電極と電気的に接触す
る第２の電極導電体と、（ｅ）半導体エレメントに外嵌
めされ、半導体エレメントの位置を規制するガイドリン
グと、（ｆ）ガイドリングが挿入され、第１と第２の電
極導電体に連結された絶縁筒体とを備え、電極補償板
が、（ｂ−１）ガイドリングの内径に応じた径を有する
中心部分と、（ｂ−２）この中心部分からガイドリング
の第１の電極導電体に対向する端面に沿って絶縁筒体の
内壁面の近傍まで延在された複数の腕部とを有するもの
である。
また、この発明の第２の構成の半導体装置は、第１の構
成の半導体装置において、腕部の先端が、ガイドリング
の端面と交差するガイドリングの外壁面に沿って折り曲
げられ、この外壁面とこの外壁面に対向する絶縁筒体の
内壁面との間の間隙に配設されたものである。
成の半導体装置において、腕部の先端が、ガイドリング
の端面と交差するガイドリングの外壁面に沿って折り曲
げられ、この外壁面とこの外壁面に対向する絶縁筒体の
内壁面との間の間隙に配設されたものである。
さらに、この発明の第３の構成は、半導体基板の第１と
第２の主面上に第１と第２の電極がそれぞれ設けられた
半導体エレメントを第１と第２の電極導電体の間に挿入
した半導体装置の製造方法であって、（ａ）第１と第２
の開口部を有する絶縁筒体の第２の開口部内に第２の電
極導電体が挿入され、絶縁筒体が第２の電極導電体に連
結されるとともに、絶縁筒体の内部空間の中央部にガイ
ドリングが内嵌めされた構造体を組立てる工程と、
（ｂ）第２の電極を第２の電極導電体に対向させつつ、
半導体エレメントを第１の開口部から内部空間に導入
し、半導体エレメントをガイドリングに内嵌めする工程
と、（ｃ）ガイドリングの内径に応じた径を有する中心
部分とこの中心部分を半導体エレメント上に載置した際
に中心部分からガイドリングの端面に沿って絶縁筒体の
内壁面の近傍まで延在される複数の腕部とを有する電極
補償板を第１の開口部から内部空間へ導入して半導体エ
レメント上に載置する工程と、（ｄ）第１の電極導電体
を第１の開口部側から電極補償板上に載置する工程と、
（ｅ）第１の電極導電体と絶縁筒体とを連結する工程
と、を備えたものである。
第２の主面上に第１と第２の電極がそれぞれ設けられた
半導体エレメントを第１と第２の電極導電体の間に挿入
した半導体装置の製造方法であって、（ａ）第１と第２
の開口部を有する絶縁筒体の第２の開口部内に第２の電
極導電体が挿入され、絶縁筒体が第２の電極導電体に連
結されるとともに、絶縁筒体の内部空間の中央部にガイ
ドリングが内嵌めされた構造体を組立てる工程と、
（ｂ）第２の電極を第２の電極導電体に対向させつつ、
半導体エレメントを第１の開口部から内部空間に導入
し、半導体エレメントをガイドリングに内嵌めする工程
と、（ｃ）ガイドリングの内径に応じた径を有する中心
部分とこの中心部分を半導体エレメント上に載置した際
に中心部分からガイドリングの端面に沿って絶縁筒体の
内壁面の近傍まで延在される複数の腕部とを有する電極
補償板を第１の開口部から内部空間へ導入して半導体エ
レメント上に載置する工程と、（ｄ）第１の電極導電体
を第１の開口部側から電極補償板上に載置する工程と、
（ｅ）第１の電極導電体と絶縁筒体とを連結する工程
と、を備えたものである。
第１の構成においては、電極補償板の腕部が絶縁筒体の
内壁面近傍にまで伸びていることにより、この電極補償
板の位置は、実質的に絶縁筒体の内壁面で規制される。
このため、電極補償板がガイドリングの半径方向に大き
く変位することはない。
内壁面近傍にまで伸びていることにより、この電極補償
板の位置は、実質的に絶縁筒体の内壁面で規制される。
このため、電極補償板がガイドリングの半径方向に大き
く変位することはない。
第２の構成においては、腕部の先端部分がガイドリング
と絶縁筒体との間のギャップに挿入されているため、電
極補償板の変位はさらに有効に防止される。
と絶縁筒体との間のギャップに挿入されているため、電
極補償板の変位はさらに有効に防止される。
さらに、第３の構成の製造方法に従えば、上記第１の構
成に相当する半導体装置を、複雑な工程なしに得ること
ができる。
成に相当する半導体装置を、複雑な工程なしに得ること
ができる。
A.全体構成 第1A図はこの発明の一実施例であるフラットパック型の
半導体装置100の側面図である。また、第1B図は第1A図
の区間Ｐを切りつめて描いた拡大縦断面図である。この
半導体装置100は、ゲートターンオフサイリスタの本体
に相当する円板形の半導体基板３を有している。半導体
基板３の中には、不純物をドーブして形成した複数の活
性領域が存在する。
半導体装置100の側面図である。また、第1B図は第1A図
の区間Ｐを切りつめて描いた拡大縦断面図である。この
半導体装置100は、ゲートターンオフサイリスタの本体
に相当する円板形の半導体基板３を有している。半導体
基板３の中には、不純物をドーブして形成した複数の活
性領域が存在する。
半導体基板（シリコン基板）３の第１の主面には、導電
材料によって形成され、陽極電極を兼ねる円板形の補強
板２がロウ付けされている。他方、半導体基板３の第２
の主面には、アルミニウムによって形成された陰極導電
膜４とゲート導電膜５とが互いに分離して設けられてい
る。また、半導体基板３のエッジ部は、絶縁性の保護層
６によって覆われている。そして、これらの部材２〜６
によって、半導体エレメント１が構成されている。
材料によって形成され、陽極電極を兼ねる円板形の補強
板２がロウ付けされている。他方、半導体基板３の第２
の主面には、アルミニウムによって形成された陰極導電
膜４とゲート導電膜５とが互いに分離して設けられてい
る。また、半導体基板３のエッジ部は、絶縁性の保護層
６によって覆われている。そして、これらの部材２〜６
によって、半導体エレメント１が構成されている。
半導体エレメント１は、補強板２の直径と実質的に等し
い内径を持つ絶縁性のガイドリング70の内壁面81に内嵌
めされている。したがって、半導体エレメント１の水平
方向の位置は、ガイドリング70によって規制されてい
る。なお、このガイドリング70の形状の詳細については
後述する。そして、このガイドリング70は、アルミナセ
ラミックよりなる絶縁筒体10の内壁面10aに内嵌めされ
ている。
い内径を持つ絶縁性のガイドリング70の内壁面81に内嵌
めされている。したがって、半導体エレメント１の水平
方向の位置は、ガイドリング70によって規制されてい
る。なお、このガイドリング70の形状の詳細については
後述する。そして、このガイドリング70は、アルミナセ
ラミックよりなる絶縁筒体10の内壁面10aに内嵌めされ
ている。
一方、陰極導電膜４の下面上には、それぞれが円板状と
なっている第１の陰極補償板20と第２の陰極補償板21と
が配置されている。これらの補償板20,21は、半導体基
板３に通電した際に基板３と陰極導電体22とのそれぞれ
の熱膨張率の差に起因して生ずる熱的応力を緩和ないし
は補償するために設けられている。このため、陰極補償
板20は、半導体基板３に近い熱膨張率を持つ材料、たと
えばモリブデンによって形成されている。また、他方の
陰極補償板21は、たとえば銅によって形成されている。
なっている第１の陰極補償板20と第２の陰極補償板21と
が配置されている。これらの補償板20,21は、半導体基
板３に通電した際に基板３と陰極導電体22とのそれぞれ
の熱膨張率の差に起因して生ずる熱的応力を緩和ないし
は補償するために設けられている。このため、陰極補償
板20は、半導体基板３に近い熱膨張率を持つ材料、たと
えばモリブデンによって形成されている。また、他方の
陰極補償板21は、たとえば銅によって形成されている。
陰極導電体22は銅によって形成され、肉厚の中央円板部
22aと広径の円板底部22bとを有している。中央円板部22
aは第２の陰極補償板21に当接している。したがって、
陰極導電体22は、陰極補償板20,21を介して半導体エレ
メント１内の陰極導電膜４に電気的に接触していること
になる。また、円板底部22bの外周には鉄−ニッケル合
金からなる陰極フランジ14が固定されている。陰極フラ
ンジ14は絶縁筒体10の下方端部に固定されており、それ
によって、陰極導電体22は絶縁筒体10に連結されてい
る。また、ガイドリング70の下方端面84が、この陰極フ
ランジ14に当接している。
22aと広径の円板底部22bとを有している。中央円板部22
aは第２の陰極補償板21に当接している。したがって、
陰極導電体22は、陰極補償板20,21を介して半導体エレ
メント１内の陰極導電膜４に電気的に接触していること
になる。また、円板底部22bの外周には鉄−ニッケル合
金からなる陰極フランジ14が固定されている。陰極フラ
ンジ14は絶縁筒体10の下方端部に固定されており、それ
によって、陰極導電体22は絶縁筒体10に連結されてい
る。また、ガイドリング70の下方端面84が、この陰極フ
ランジ14に当接している。
陰極導電体22の円板底部22b上には、一対の平座金42,44
と交互に１対の皿バネ41,43が中央円板部22aを取囲むよ
うに設けられている。皿バネ43の上にはさらに平座金34
と絶縁リング33とが配置されている。絶縁リング33上に
は、導電材料からなるゲートリング32が設けられる。好
ましくは、半導体基板３に近い熱膨張係数を有する導電
材料によってこのゲートリング32が形成される。
と交互に１対の皿バネ41,43が中央円板部22aを取囲むよ
うに設けられている。皿バネ43の上にはさらに平座金34
と絶縁リング33とが配置されている。絶縁リング33上に
は、導電材料からなるゲートリング32が設けられる。好
ましくは、半導体基板３に近い熱膨張係数を有する導電
材料によってこのゲートリング32が形成される。
ゲートリング32は、陰極補償板20,21と陰極導電体22の
上半部とのまわりに設けられた絶縁部材31を介して、こ
れらの部材20,21,22に外嵌めされている。また、ゲート
リング32の頂部はゲート導電膜５に当接している。そし
て、皿バネ41,43によってゲートリング32はゲート導電
膜５に向けて付勢され、ゲートリング32とゲート導電膜
５との電気的接触が維持される。
上半部とのまわりに設けられた絶縁部材31を介して、こ
れらの部材20,21,22に外嵌めされている。また、ゲート
リング32の頂部はゲート導電膜５に当接している。そし
て、皿バネ41,43によってゲートリング32はゲート導電
膜５に向けて付勢され、ゲートリング32とゲート導電膜
５との電気的接触が維持される。
ゲートリング32には、絶縁筒体10の外部にまで伸びるゲ
ートリード線35が取付けられている。このゲートリード
線35はチューブ状の絶縁スリーブ36内に挿通されてお
り、ガイドリング70の切欠き空間74内を通っている。そ
して、ゲートリード線35の端部はアーク溶接によって金
属パイプ37の端部と一体化され、それによってゲート端
子30が形成されている。ゲート側の電気経路と陰極側の
電気経路とは、既述した絶縁部材31,33によって互いに
電気的に分離されている。
ートリード線35が取付けられている。このゲートリード
線35はチューブ状の絶縁スリーブ36内に挿通されてお
り、ガイドリング70の切欠き空間74内を通っている。そ
して、ゲートリード線35の端部はアーク溶接によって金
属パイプ37の端部と一体化され、それによってゲート端
子30が形成されている。ゲート側の電気経路と陰極側の
電気経路とは、既述した絶縁部材31,33によって互いに
電気的に分離されている。
一方、補強板２の上には、たとえば銅によって形成され
た陽極補償板50が載置されている。この陽極補償板50
は、半導体基板３の陽極側における熱応力の緩和ないし
は補償を行うためのものである。後に詳述するように、
陽極補償板50は、円板形の中心部分51と、この中心部分
51から放射状に伸びたカギ形の４本の腕部61〜64（後述
する第２図参照）とを有している。ただし第1B図にはこ
のうちの２本の腕部61,63のみが示されている。また、
中心部分51と腕部61〜64との境界位置が第1B図において
境界Ｂとして示されている。
た陽極補償板50が載置されている。この陽極補償板50
は、半導体基板３の陽極側における熱応力の緩和ないし
は補償を行うためのものである。後に詳述するように、
陽極補償板50は、円板形の中心部分51と、この中心部分
51から放射状に伸びたカギ形の４本の腕部61〜64（後述
する第２図参照）とを有している。ただし第1B図にはこ
のうちの２本の腕部61,63のみが示されている。また、
中心部分51と腕部61〜64との境界位置が第1B図において
境界Ｂとして示されている。
第1B図において、腕部61は、中心部分51から水平に伸び
る第１の部分61aと、この第１の部分61aの終端で折れ曲
って垂直下方に伸びる第２の部分61bとを有している。
第１の部分61aはガイドリング70の上部端面の一部分で
ある面83に当接している。また、第２の部分61bは絶縁
筒体10の内壁面10aのごく近傍に位置しており、絶縁筒
体10とガイドリング70との間のギャップ73に挿入されて
いる。他の腕部62〜64についても同様である。なお、陽
極補償板50とその周囲の部材との位置関係は後に詳述す
る。
る第１の部分61aと、この第１の部分61aの終端で折れ曲
って垂直下方に伸びる第２の部分61bとを有している。
第１の部分61aはガイドリング70の上部端面の一部分で
ある面83に当接している。また、第２の部分61bは絶縁
筒体10の内壁面10aのごく近傍に位置しており、絶縁筒
体10とガイドリング70との間のギャップ73に挿入されて
いる。他の腕部62〜64についても同様である。なお、陽
極補償板50とその周囲の部材との位置関係は後に詳述す
る。
陽極補償板50の上には、銅製の陽極導電体８が設けられ
ている。陽極導電体８の外周形状は段差を有する円板で
あり、その外周には、銅製の部分11aと鉄−ニッケル合
金の部分11bとを有する陽極フランジ11が固定されてい
る。そして、絶縁筒体10の上側端部に固定された別のフ
ランジ12と上記陽極フランジ11とが、それぞれのエッジ
13でアーク溶接され、それによって陽極導電体８と絶縁
筒体10とが連結されている。
ている。陽極導電体８の外周形状は段差を有する円板で
あり、その外周には、銅製の部分11aと鉄−ニッケル合
金の部分11bとを有する陽極フランジ11が固定されてい
る。そして、絶縁筒体10の上側端部に固定された別のフ
ランジ12と上記陽極フランジ11とが、それぞれのエッジ
13でアーク溶接され、それによって陽極導電体８と絶縁
筒体10とが連結されている。
第1B図の状態における半導体装置は、その陰極導電体22
と陽極導電体８との間に外部から電圧を印加し、ゲート
電極30から制御信号を与えることにより、ターンオンま
たはターンオフする。
と陽極導電体８との間に外部から電圧を印加し、ゲート
電極30から制御信号を与えることにより、ターンオンま
たはターンオフする。
B.陽極補償板50とガイドリング70の詳細 第２図は半導体装置100の一部分を分解して示す斜視図
であり、第３図は陽極補償板50とガイドリング70との部
分切欠拡大図である。
であり、第３図は陽極補償板50とガイドリング70との部
分切欠拡大図である。
第２図において、４本の腕部61〜64は、中心部分51と一
体に形成されており、中心部分51の外周に沿って等間隔
に配列している。ガイドリング70の突出部71は補強板２
の上方空間をとりまく円形のリングであり、ガイドリン
グ70の上端面には４個の切欠き91〜94が放射状に形成さ
れている。溝91〜94のそれぞれの幅は、腕部61〜64のそ
れぞれの幅と実質的に同一とされている。腕部61〜64の
配列に応じて、切欠き91〜94もガイドリング70の上端面
に沿って等間隔に配列している。このため、第２図中に
破線矢印で示すように陽極補償板50が構造体200に含ま
れる補強板２の上面に載置されたとき、切欠き91〜94は
腕部61〜64をそれぞれ受け入れることができる。
体に形成されており、中心部分51の外周に沿って等間隔
に配列している。ガイドリング70の突出部71は補強板２
の上方空間をとりまく円形のリングであり、ガイドリン
グ70の上端面には４個の切欠き91〜94が放射状に形成さ
れている。溝91〜94のそれぞれの幅は、腕部61〜64のそ
れぞれの幅と実質的に同一とされている。腕部61〜64の
配列に応じて、切欠き91〜94もガイドリング70の上端面
に沿って等間隔に配列している。このため、第２図中に
破線矢印で示すように陽極補償板50が構造体200に含ま
れる補強板２の上面に載置されたとき、切欠き91〜94は
腕部61〜64をそれぞれ受け入れることができる。
第３図において、切欠き91は、ガイドリング70の上端面
に沿って形成された水平チャネル95と、この水平チャネ
ル95からガイドリング70の外壁面82へ折れ曲った凹部96
との組合せによって構成されている。このうち、水平チ
ャネル95は腕部61の第１の部分61aに適合し、凹部96は
第２の部分61bに適合する。ガイドリング70を第1B図の
絶縁筒体10に内嵌めしたとき、凹部96はギャップ73とな
る。
に沿って形成された水平チャネル95と、この水平チャネ
ル95からガイドリング70の外壁面82へ折れ曲った凹部96
との組合せによって構成されている。このうち、水平チ
ャネル95は腕部61の第１の部分61aに適合し、凹部96は
第２の部分61bに適合する。ガイドリング70を第1B図の
絶縁筒体10に内嵌めしたとき、凹部96はギャップ73とな
る。
腕部61が切欠き91に収容された状態が第４図に示されて
いる。陽極補償板50における中心部分51と腕部61との境
界Ｂは、ガイドリング70の内壁面81から微小距離L1だけ
離れている。このような距離L1を与えておくことによ
り、陽極補償板50を、ガイドリング70によって囲まれて
いる補強板２上の空間へ導入することが容易となる。ま
た、この距離L1は、中心部分51が熱膨張する際のクリア
ランスとしても機能する。また、腕部61の第２の部分61
bは、絶縁筒体10の内壁面10aから微小距離L2だけ離れて
いる。この距離L2の存在によって、第２の部分61bのギ
ャップ73への挿入か容易となり、陽極補償板50の熱膨張
のためのクリアランスも確保される。そして、この距離
L2を与えるために、ギャップ73の幅は、第２の部分61b
の厚さよりも若干大きくされている。
いる。陽極補償板50における中心部分51と腕部61との境
界Ｂは、ガイドリング70の内壁面81から微小距離L1だけ
離れている。このような距離L1を与えておくことによ
り、陽極補償板50を、ガイドリング70によって囲まれて
いる補強板２上の空間へ導入することが容易となる。ま
た、この距離L1は、中心部分51が熱膨張する際のクリア
ランスとしても機能する。また、腕部61の第２の部分61
bは、絶縁筒体10の内壁面10aから微小距離L2だけ離れて
いる。この距離L2の存在によって、第２の部分61bのギ
ャップ73への挿入か容易となり、陽極補償板50の熱膨張
のためのクリアランスも確保される。そして、この距離
L2を与えるために、ギャップ73の幅は、第２の部分61b
の厚さよりも若干大きくされている。
第３図および第４図は腕部61および切欠き91について描
かれているが、これらの構造は他の腕部62〜64および切
欠き92〜94についても同様である。
かれているが、これらの構造は他の腕部62〜64および切
欠き92〜94についても同様である。
半導体装置100の運搬中などにおいて振動がこの装置100
に加わり、第1B図の陽極導電体８が浮上った状況を想定
する。このとき、陽極補償板50を上から押しつける圧力
が減少する。しかしながら、腕部61が絶縁筒体10の内壁
面10a近傍にまで伸びているため、陽極補償板50の水平
方向の変位は第４図の距離L1以下である。したがって、
陽極補償板50の水平方向の位置ずれは実質的に防止さ
れ、振動による陽極補償板50の動きは上下方向のものの
みとなる。この上下方向の動きは陽極補償板50に対して
重大な影響を与えることはない。それは、振動が停止し
た後には陽極補償板50は元の位置に戻るからである。す
なわち、陽極補償板50の水平方向の変位が防止されてい
るため、陽極補償板50の位置が不可逆的にずれることは
ない。
に加わり、第1B図の陽極導電体８が浮上った状況を想定
する。このとき、陽極補償板50を上から押しつける圧力
が減少する。しかしながら、腕部61が絶縁筒体10の内壁
面10a近傍にまで伸びているため、陽極補償板50の水平
方向の変位は第４図の距離L1以下である。したがって、
陽極補償板50の水平方向の位置ずれは実質的に防止さ
れ、振動による陽極補償板50の動きは上下方向のものの
みとなる。この上下方向の動きは陽極補償板50に対して
重大な影響を与えることはない。それは、振動が停止し
た後には陽極補償板50は元の位置に戻るからである。す
なわち、陽極補償板50の水平方向の変位が防止されてい
るため、陽極補償板50の位置が不可逆的にずれることは
ない。
この実施例のように腕部61〜64をカギ形にしてその先端
部をギャップ73に挿入した場合にはこの効果はさらに高
まる。すなわち、陽極補償板50に振動が加わっても、腕
部61〜64の先端部は常にギャップ73内で垂直下方に維持
されているため、陽極補償板50の全体は傾くことができ
ない。その結果、陽極補償板50の不可逆的変位がさらに
有効に防止される。
部をギャップ73に挿入した場合にはこの効果はさらに高
まる。すなわち、陽極補償板50に振動が加わっても、腕
部61〜64の先端部は常にギャップ73内で垂直下方に維持
されているため、陽極補償板50の全体は傾くことができ
ない。その結果、陽極補償板50の不可逆的変位がさらに
有効に防止される。
また、腕部61〜64は切欠き91〜94に収容されているた
め、陽極補償板50が水平面内で回転してしまうこともな
い。このため、陽極補償板50の回転と並進との組合せに
よる不可逆的変位も防止される。この切欠き91〜94は、
半導体装置100への組立ての際にも役立っている。すな
わち、第1B図の皿バネ41,43が設けられているため、陽
極導電体８が取付けられる前には、ゲートリング32を介
して半導体エレメント１と陽極補償板50とに上向きのバ
ネ力が加わっており、これらの部材1,50は第1B図に示し
た位置よりも若干上方の位置にある。そして、陽極導電
体８をこれらの部材1,50の上に載置してそれに下向きの
力を加え、陽極フランジ11をフランジ12へ溶接する。こ
のとき、部材1,50は皿バネ41,43の付勢力に逆らって若
干下方に沈むが、その際の腕部61〜64の沈みのためのク
リアランスが、切欠き91〜94によって確保される。
め、陽極補償板50が水平面内で回転してしまうこともな
い。このため、陽極補償板50の回転と並進との組合せに
よる不可逆的変位も防止される。この切欠き91〜94は、
半導体装置100への組立ての際にも役立っている。すな
わち、第1B図の皿バネ41,43が設けられているため、陽
極導電体８が取付けられる前には、ゲートリング32を介
して半導体エレメント１と陽極補償板50とに上向きのバ
ネ力が加わっており、これらの部材1,50は第1B図に示し
た位置よりも若干上方の位置にある。そして、陽極導電
体８をこれらの部材1,50の上に載置してそれに下向きの
力を加え、陽極フランジ11をフランジ12へ溶接する。こ
のとき、部材1,50は皿バネ41,43の付勢力に逆らって若
干下方に沈むが、その際の腕部61〜64の沈みのためのク
リアランスが、切欠き91〜94によって確保される。
切欠き91〜94を設けずに陽極補償板50をガイドリング70
の上端面に適合させるためには、ガイドリング70の上端
面をフラットにして、その上端面全体をチャネル95の底
面の高さとすればよい。しかしながら、ガイドリング70
の上端面を完全にフラットにして突出部71を取り除く
と、突出部71による補償板50の位置ずれ規制作用がなく
なってしまう。このため、突出部71を残したままで溝91
〜94を形成し、腕部61〜64を切欠き91〜94に収容するこ
とによって、腕部61〜64と突出部71とのそれぞれによる
陽極補償板50の位置ずれ防止作用を同時に利用すること
が望ましい。
の上端面に適合させるためには、ガイドリング70の上端
面をフラットにして、その上端面全体をチャネル95の底
面の高さとすればよい。しかしながら、ガイドリング70
の上端面を完全にフラットにして突出部71を取り除く
と、突出部71による補償板50の位置ずれ規制作用がなく
なってしまう。このため、突出部71を残したままで溝91
〜94を形成し、腕部61〜64を切欠き91〜94に収容するこ
とによって、腕部61〜64と突出部71とのそれぞれによる
陽極補償板50の位置ずれ防止作用を同時に利用すること
が望ましい。
C.半導体装置100の製造工程 以上の構造を有する半導体装置100は、次のような順序
で組立てられる。
で組立てられる。
まず、半導体装置100に含まれる各部材を個別に製作す
る。陽極補償板50の中心部分51の直径はガイドリング70
の内径よりも2L2だけ小さくする。また、腕部61〜64そ
れぞれの第１の部分61aの長さは、第４図のガイドリン
グ70の内壁面81からギャップ73までの水平距離よりもL2
だけ大きな値とされる。距離L1,L2はいずれも微小であ
るから、近似的には、中心部分51の直径はガイドリング
70の内径に等しく、第１の部分の長さはガイドリング70
の厚さに等しい。
る。陽極補償板50の中心部分51の直径はガイドリング70
の内径よりも2L2だけ小さくする。また、腕部61〜64そ
れぞれの第１の部分61aの長さは、第４図のガイドリン
グ70の内壁面81からギャップ73までの水平距離よりもL2
だけ大きな値とされる。距離L1,L2はいずれも微小であ
るから、近似的には、中心部分51の直径はガイドリング
70の内径に等しく、第１の部分の長さはガイドリング70
の厚さに等しい。
中心部分51と腕部61〜64とは、たとえば銅板の打ち抜き
によって一体に形成され、腕部61〜64の第２の部分61b
を折り曲げることによって所要の陽極補償板50が得られ
る。また、ガイドリング70には、突出部71と切欠き91〜
94とを形成しておく。
によって一体に形成され、腕部61〜64の第２の部分61b
を折り曲げることによって所要の陽極補償板50が得られ
る。また、ガイドリング70には、突出部71と切欠き91〜
94とを形成しておく。
このようにして、準備された各部材のうち、半導体エレ
メント1,陽極補償板50,陽極導電体８および陽極フラン
ジ11のそれぞれを除いた他の部材を第3B図に従って組立
てる。このようにして得られた構造体においては、陰極
導電体22およびその周囲の各部材が、絶縁筒体10の下方
開口側に挿入され、陰極導電体22と絶縁筒体10とは、陰
極フランジ14によって連結されている、また、陰極補償
板20,21も陰極導電体22の上に設けられている。さら
に、ガイドリング70が絶縁筒体10の内部空間のほぼ中央
部に内嵌めされている。
メント1,陽極補償板50,陽極導電体８および陽極フラン
ジ11のそれぞれを除いた他の部材を第3B図に従って組立
てる。このようにして得られた構造体においては、陰極
導電体22およびその周囲の各部材が、絶縁筒体10の下方
開口側に挿入され、陰極導電体22と絶縁筒体10とは、陰
極フランジ14によって連結されている、また、陰極補償
板20,21も陰極導電体22の上に設けられている。さら
に、ガイドリング70が絶縁筒体10の内部空間のほぼ中央
部に内嵌めされている。
次に、陰極導電層４を下方に向けた状態で半導体エレメ
ント１を絶縁筒体10の上部開口からその内部空間へと導
入する。そして、この半導体エレメント１をガイドリン
グ70に内嵌めする。第２図の構造体200はこの段階が完
了した状態を示している。
ント１を絶縁筒体10の上部開口からその内部空間へと導
入する。そして、この半導体エレメント１をガイドリン
グ70に内嵌めする。第２図の構造体200はこの段階が完
了した状態を示している。
さらに、陽極補償板50を絶縁筒体10の上部開口からその
内部空間に導入する。そして、陽極補償板50の中心部分
51は補強板２上に載置され、腕部61〜64は切欠き61〜64
上にそれぞれ配置される。
内部空間に導入する。そして、陽極補償板50の中心部分
51は補強板２上に載置され、腕部61〜64は切欠き61〜64
上にそれぞれ配置される。
次に、陽極フランジ11をあらかじめ取付けてある陽極導
電体８を絶縁筒体10の上方開口部から陽極補償板50上に
載置する。そして、陽極導電体８の上方から下方に圧力
を加えると陽極補償板50と半導体エレメント１とは皿バ
ネ41,43の付勢力に逆らって若干沈み、腕部61〜64は切
欠き91〜94のそれぞれのチャネル95の底に接触する。
電体８を絶縁筒体10の上方開口部から陽極補償板50上に
載置する。そして、陽極導電体８の上方から下方に圧力
を加えると陽極補償板50と半導体エレメント１とは皿バ
ネ41,43の付勢力に逆らって若干沈み、腕部61〜64は切
欠き91〜94のそれぞれのチャネル95の底に接触する。
この状態において、陽極フランジ11の端部13を、絶縁筒
体10の上端面にあらかじめ固定されているフランジ12の
端部にアーク溶接する。これによって陽極導電体８と絶
縁筒体10とはフランジ11,12を介して連結される。
体10の上端面にあらかじめ固定されているフランジ12の
端部にアーク溶接する。これによって陽極導電体８と絶
縁筒体10とはフランジ11,12を介して連結される。
以上の工程によって、第1B図に示す半導体装置100が完
成する。
成する。
D.他の実施例 第５図は陽極補償板の他の例を示す図である。この陽極
補償板50aにおいては、腕部65が水平部分61aのみを有し
ている。また、これに応じて、ゲートリング70aのそれ
ぞれの切欠きは水平チャネル95のみを備えている。
補償板50aにおいては、腕部65が水平部分61aのみを有し
ている。また、これに応じて、ゲートリング70aのそれ
ぞれの切欠きは水平チャネル95のみを備えている。
第６図はさらに他の陽極補償板50bを示している。陽極
補償板50bのそれぞれの腕部66は、ゲートリング70bの突
出部71をまたぐブリッジ部分61cと水平部分61dとを有し
ている。この腕部66は切欠きのないゲートリング70bと
組合わせて使用される。第５図および第６図のいずれに
おいても、水平部分61a,61dの先端は、第1B図に示す絶
縁筒体10の内壁面10aのごく近傍にまで伸びている。
補償板50bのそれぞれの腕部66は、ゲートリング70bの突
出部71をまたぐブリッジ部分61cと水平部分61dとを有し
ている。この腕部66は切欠きのないゲートリング70bと
組合わせて使用される。第５図および第６図のいずれに
おいても、水平部分61a,61dの先端は、第1B図に示す絶
縁筒体10の内壁面10aのごく近傍にまで伸びている。
第７図は３本の腕部112〜114を備えた陽極補償板110の
平面図である。この腕部112〜114は円形中央部分111の
円周上に等間隔で配置されている。腕部112〜114のそれ
ぞれは第３図に示す腕部61と同一であってもよく、ま
た、第５図および第６図に示す腕部65,66のいずれかと
同一であってもよい。一般に、３本以上の腕部を中心部
分の周囲に設けておけば、陽極補償板の２次元的な位置
決めが常に可能である。
平面図である。この腕部112〜114は円形中央部分111の
円周上に等間隔で配置されている。腕部112〜114のそれ
ぞれは第３図に示す腕部61と同一であってもよく、ま
た、第５図および第６図に示す腕部65,66のいずれかと
同一であってもよい。一般に、３本以上の腕部を中心部
分の周囲に設けておけば、陽極補償板の２次元的な位置
決めが常に可能である。
第8A図の陽極補償板120は、中心部分121の直径方向に整
列した２本の腕部122,123を有している。腕部122,123を
相互に結ぶ方向をＸ方向とすると、腕部122,123のそれ
ぞれの先端が絶縁筒体10の内壁面10aの近傍に存在する
ことにより、Ｘ方向への陽極補償板120の変位が防止さ
れる。また、腕部122,123のそれぞれの幅Ｗを比較的大
きくしておけば、陽極補償板120がＹ方向に少し変位し
ただけで、腕部122,123の先端が第8B図に破線矢印130で
示すように絶縁筒体10の内壁面10aに当接する。このた
め、Ｙ方向の変位の最大許容量以下で腕122,123の先端
が内壁面10aに当接するように幅Ｗを定めておけば、陽
極補償板120のＹ方向の大きな変位は防止できる。
列した２本の腕部122,123を有している。腕部122,123を
相互に結ぶ方向をＸ方向とすると、腕部122,123のそれ
ぞれの先端が絶縁筒体10の内壁面10aの近傍に存在する
ことにより、Ｘ方向への陽極補償板120の変位が防止さ
れる。また、腕部122,123のそれぞれの幅Ｗを比較的大
きくしておけば、陽極補償板120がＹ方向に少し変位し
ただけで、腕部122,123の先端が第8B図に破線矢印130で
示すように絶縁筒体10の内壁面10aに当接する。このた
め、Ｙ方向の変位の最大許容量以下で腕122,123の先端
が内壁面10aに当接するように幅Ｗを定めておけば、陽
極補償板120のＹ方向の大きな変位は防止できる。
さらに、第３図の腕部61のようにカギ形の形状をした腕
部を設けるときには、唯一本の腕部のみを設けただけで
も陽極補償板の２次元的位置決めは可能である。すなわ
ち、陽極補償板の腕部の数は制限されるものではなく、
任意の数の腕部を持った陽極補償板が利用可能である。
部を設けるときには、唯一本の腕部のみを設けただけで
も陽極補償板の２次元的位置決めは可能である。すなわ
ち、陽極補償板の腕部の数は制限されるものではなく、
任意の数の腕部を持った陽極補償板が利用可能である。
この発明の適用対象となる半導体装置はゲートターンオ
フサイリスタに限定されない。たとえば他のサイリスタ
やトランジスタのほか、ダイオードのように制御電極を
有さない素子についても利用可能である。第1B図の上側
が陰極であるような素子については、陰極補償板につい
てこの発明が適用される。
フサイリスタに限定されない。たとえば他のサイリスタ
やトランジスタのほか、ダイオードのように制御電極を
有さない素子についても利用可能である。第1B図の上側
が陰極であるような素子については、陰極補償板につい
てこの発明が適用される。
以上説明したように、この発明の第１の構成によれば、
電極補償板に腕部を設けることにより、電極補償板がガ
イドリングを乗り越えて変位する事態を有効に防止でき
る。
電極補償板に腕部を設けることにより、電極補償板がガ
イドリングを乗り越えて変位する事態を有効に防止でき
る。
また、第２の構成では、腕部の先端部分をガイドリング
と絶縁筒体との間のギャップに挿入することにより、電
極補償板の変位をさらに有効に防止できる。
と絶縁筒体との間のギャップに挿入することにより、電
極補償板の変位をさらに有効に防止できる。
さらに、第３の構成における製造方法では、複雑な工程
を設けることなく、上記第１の構成に応じた半導体装置
を得ることができる。
を設けることなく、上記第１の構成に応じた半導体装置
を得ることができる。
第1A図はこの発明の一実施例である半導体装置の側面
図、第1B図は第1A図の区間Ｐを切りつめて示した拡大縦
断面図、第２図は実施例の半導体装置の部分分解斜視
図、第３図は陽極補償板とガイドリングとの詳細構成を
示す部分切欠拡大図、第４図はガイドリングの切欠きに
収容された陽極補償板の腕部を示す図、第５図および第
６図は腕部の変形例を示す図、第７図，第8A図および第
8B図は陽極補償板の変形例を示す図、第9A図は従来の半
導体装置の側面図、第9B図は第9A図の区間Ｑを切りつめ
て示す拡大縦断面図である。 図において、１は半導体エレメント、２は陽極電極兼用
の補強板、３は半導体基板、４は陰極導電膜、５はゲー
ト導電膜、８は陽極導電体、10は絶縁筒体、20,21は陰
極補償板、22は陰極導電体、50は陽極補償板、51は中心
部分、61〜64は腕部、61aは腕部の第１の部分、61bは腕
部の第２の部分、70はゲートリング、71は突出部、73は
ギャップ、91〜94は切欠き、100は半導体装置である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
図、第1B図は第1A図の区間Ｐを切りつめて示した拡大縦
断面図、第２図は実施例の半導体装置の部分分解斜視
図、第３図は陽極補償板とガイドリングとの詳細構成を
示す部分切欠拡大図、第４図はガイドリングの切欠きに
収容された陽極補償板の腕部を示す図、第５図および第
６図は腕部の変形例を示す図、第７図，第8A図および第
8B図は陽極補償板の変形例を示す図、第9A図は従来の半
導体装置の側面図、第9B図は第9A図の区間Ｑを切りつめ
て示す拡大縦断面図である。 図において、１は半導体エレメント、２は陽極電極兼用
の補強板、３は半導体基板、４は陰極導電膜、５はゲー
ト導電膜、８は陽極導電体、10は絶縁筒体、20,21は陰
極補償板、22は陰極導電体、50は陽極補償板、51は中心
部分、61〜64は腕部、61aは腕部の第１の部分、61bは腕
部の第２の部分、70はゲートリング、71は突出部、73は
ギャップ、91〜94は切欠き、100は半導体装置である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (3)
- 【請求項１】半導体装置であって、 （ａ） 半導体基板の第１と第２の主面上に第１と第２
の電極がそれぞれ設けられた半導体エレメントと、 （ｂ） 前記第１の電極上に配置されて前記第１の電極
と接触する電極補償板と、 （ｃ） 前記電極補償板上に配置されて前記電極補償板
と接触する第１の電極導電体と、 （ｄ） 前記第２の電極上に配置されて前記第２の電極
と電気的に接触する第２の電極導電体と、 （ｅ） 前記半導体エレメントに外嵌めされ、前記半導
体エレメントの位置を規制するガイドリングと、 （ｆ）前記ガイドリングが挿入され、前記第１と第２の
電極導電体に連結された絶縁筒体とを備え、 前記電極補償板が、 （ｂ−１） 前記ガイドリングの内径に応じた径を有す
る中心部分と、 （ｂ−２） この中心部分から前記ガイドリングの前記
第１の電極導電体に対向する端面に沿って前記絶縁筒体
の内壁面の近傍まで延在された複数の腕部とを有するこ
とを特徴とする半導体装置。 - 【請求項２】前記腕部の先端が、前記端面と交差するガ
イドリングの外壁面に沿って折り曲げられ、この外壁面
とこの外壁面に対向する前記絶縁筒体の内壁面との間の
間隙に配設されたことを特徴とする請求項１記載の半導
体装置。 - 【請求項３】半導体基板の第１と第２の主面上に第１と
第２の電極がそれぞれ設けられた半導体エレメントを第
１と第２の電極導電体の間に挿入した半導体装置の製造
方法であって、 （ａ） 第１と第２の開口部を有する絶縁筒体の前記第
２の開口部内に前記第２の電極導電体が挿入され、前記
絶縁筒体が前記第２の電極導電体に連結されるととも
に、前記絶縁筒体の内部空間の中央部にガイドリングが
内嵌めされた構造体を組立てる工程と、 （ｂ） 前記第２の電極を前記第２の電極導電体に対向
させつつ、前記半導体エレメントを前記第１の開口部か
ら前記内部空間に導入し、前記半導体エレメントを前記
ガイドリングに内嵌めする工程と、 （ｃ） 前記ガイドリングの内径に応じた径を有する中
心部分とこの中心部分を前記半導体エレメント上に載置
した際に前記中心部分から前記ガイドリングの端面に沿
って前記絶縁筒体の内壁面の近傍まで延在される複数の
腕部とを有する電極補償板を前記第１の開口部から前記
内部空間へ導入して前記半導体エレメント上に載置する
工程と、 （ｄ） 前記第１の電極導電体を前記第１の開口部側か
ら前記電極補償板上に載置する工程と、 （ｅ） 前記第１の電極導電体と前記絶縁筒体とを連結
する工程と、 を備えた半導体装置の製造方法。
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