JPH0788012B2 - 基板の分割装置 - Google Patents
基板の分割装置Info
- Publication number
- JPH0788012B2 JPH0788012B2 JP30770687A JP30770687A JPH0788012B2 JP H0788012 B2 JPH0788012 B2 JP H0788012B2 JP 30770687 A JP30770687 A JP 30770687A JP 30770687 A JP30770687 A JP 30770687A JP H0788012 B2 JPH0788012 B2 JP H0788012B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- belt
- substrate
- soft bag
- boundary
- transfer surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、分割用の細溝あるいはケガキ線等が所定の
パターンで形成された例えばセラミツク等の基板を、そ
のパターンを境にして分割する基板の分割方法に関する
ものである。
パターンで形成された例えばセラミツク等の基板を、そ
のパターンを境にして分割する基板の分割方法に関する
ものである。
近年、例えばハイブリツドIC等の半導体装置において、
絶縁性能または高周波性能等の要求からセラミツク基板
が採用されるものがある。この基板を形成するには、一
般にバツチ処理されることが多く、このため第５図に示
すように基板1aの素材となるセラミツク製のシート成形
体１（以下、この成形体１も基板と称する）に細溝ある
いはケガキ線からなる分割線２を設け、この分割線に沿
つて回路パターン等の加工後に多くの基板1aに分割する
ことにより行なわれる。この基板１の周囲は輸送中に端
部の一部が外部からの力によつて欠落する可能性もある
ので、余分な部分として用意されている。
絶縁性能または高周波性能等の要求からセラミツク基板
が採用されるものがある。この基板を形成するには、一
般にバツチ処理されることが多く、このため第５図に示
すように基板1aの素材となるセラミツク製のシート成形
体１（以下、この成形体１も基板と称する）に細溝ある
いはケガキ線からなる分割線２を設け、この分割線に沿
つて回路パターン等の加工後に多くの基板1aに分割する
ことにより行なわれる。この基板１の周囲は輸送中に端
部の一部が外部からの力によつて欠落する可能性もある
ので、余分な部分として用意されている。
しかしながら基板を分割するためには分割線付近に押圧
部材を押付け、その力で分割しているが、押圧力のかか
りかたが何等かの原因によつて不均一になると、分割線
以外の部分で割れ易く、歩留りが悪いという問題を有し
ていた。
部材を押付け、その力で分割しているが、押圧力のかか
りかたが何等かの原因によつて不均一になると、分割線
以外の部分で割れ易く、歩留りが悪いという問題を有し
ていた。
このような問題を解決するためにこの発明は、ベルトに
レベル面の異なる移送面を作る部材と、軟質バツグと、
軟質バツグを移送面の境界付近に押圧する押圧部材と、
軟質バツグとベルトとの間に設けられたバツクアツプベ
ルトとを備えたものである。
レベル面の異なる移送面を作る部材と、軟質バツグと、
軟質バツグを移送面の境界付近に押圧する押圧部材と、
軟質バツグとベルトとの間に設けられたバツクアツプベ
ルトとを備えたものである。
基板が移送面境界付近で軟質バツグに押圧され、強度の
弱い分割線部分に力が集中し、そこを境として分割され
るとともに、分割された基板が整然と整列する。
弱い分割線部分に力が集中し、そこを境として分割され
るとともに、分割された基板が整然と整列する。
第１図はこの装置の外観を示す斜視図であり、10はベル
トでありその上に乗せられた基板を移送するようになつ
ている。11はバツクアツプベルトであり、これらのベル
トは第２図に示すような位置関係になつている。12はベ
ルト10の下方においてそのベルトを上側に押し上げ、膨
出部を作ることによつて、ベルト10にレベルの異なる移
送面を作る部材であり、この例では受ローラを用いてい
る。受ローラ12はベルト10の移送方向と直角に交差し、
ベルト10が移送されることによつて摩擦によつて回転す
るようになつている。13は受ローラ12によつて作り出さ
れる異なる移送面の境界付近にベルト10の移送方向と直
角に交差し、かつ中に流体（この例ではエア）が充填さ
れ、全体として筒状で回転可能な軟質バツグである。な
おこの筒状部分は後述するが、内部および外部の圧力に
よつて自在に変形するようになつている。
トでありその上に乗せられた基板を移送するようになつ
ている。11はバツクアツプベルトであり、これらのベル
トは第２図に示すような位置関係になつている。12はベ
ルト10の下方においてそのベルトを上側に押し上げ、膨
出部を作ることによつて、ベルト10にレベルの異なる移
送面を作る部材であり、この例では受ローラを用いてい
る。受ローラ12はベルト10の移送方向と直角に交差し、
ベルト10が移送されることによつて摩擦によつて回転す
るようになつている。13は受ローラ12によつて作り出さ
れる異なる移送面の境界付近にベルト10の移送方向と直
角に交差し、かつ中に流体（この例ではエア）が充填さ
れ、全体として筒状で回転可能な軟質バツグである。な
おこの筒状部分は後述するが、内部および外部の圧力に
よつて自在に変形するようになつている。
14a,14bは軟質バツグ13の横方向位置を規制する保持ロ
ーラであり、図示しない軸受に支持され、軟質バツグ13
が回転することによつて回転するようになつている。15
は軟質バツグ13の上下方向を規制する押えローラであ
り、その押圧力は支点16aを中心に回動するアーム16に
与える力をダイヤル17で調節し、変えられるようになつ
ている。18a〜18dはバツグアツプベルト11に張力を与え
る受ローラであり、その張力は受ローラ18dの軸に取付
けられたレバー19によつて与えられている。そのレバー
19は支点19aを中心に回動するようになつており、その
回動力は図示しないスプリングの弾力によつて与えられ
ている。20はバツクアツプベルト11のベルト10側の面を
清掃するブラシである。21a〜21dはベルト10を内面から
支える受ローラであり、そのうち例えば受ローラ21aは
図示しないモータによつて回転駆動されるようになつて
いる。22は軟質バツグ13より手前に設けられ、基板１の
前縁部および後縁部を検出するセンサである。
ーラであり、図示しない軸受に支持され、軟質バツグ13
が回転することによつて回転するようになつている。15
は軟質バツグ13の上下方向を規制する押えローラであ
り、その押圧力は支点16aを中心に回動するアーム16に
与える力をダイヤル17で調節し、変えられるようになつ
ている。18a〜18dはバツグアツプベルト11に張力を与え
る受ローラであり、その張力は受ローラ18dの軸に取付
けられたレバー19によつて与えられている。そのレバー
19は支点19aを中心に回動するようになつており、その
回動力は図示しないスプリングの弾力によつて与えられ
ている。20はバツクアツプベルト11のベルト10側の面を
清掃するブラシである。21a〜21dはベルト10を内面から
支える受ローラであり、そのうち例えば受ローラ21aは
図示しないモータによつて回転駆動されるようになつて
いる。22は軟質バツグ13より手前に設けられ、基板１の
前縁部および後縁部を検出するセンサである。
なお、ブラシ20,各ローラ，センサ22は図示しない手段
によつて筐体に取付けられている。また、ダイヤル17を
大きくまわすことによつてアーム16が上昇し、軟質バツ
グ13から離れるようになつており、このため押えローラ
15および軟質バツグ13の清掃が容易なように構成されて
いる。
によつて筐体に取付けられている。また、ダイヤル17を
大きくまわすことによつてアーム16が上昇し、軟質バツ
グ13から離れるようになつており、このため押えローラ
15および軟質バツグ13の清掃が容易なように構成されて
いる。
第３図は軟質バツグ13の断面図であり、例えば布製で膨
張可能な筒状体13aの両開口部が側板25,26で塞がれると
ともに、その側板は筒状体13aの中に設けられた軸27,28
に、ネジ13b,13cによつて固定されている。軸28は軸27
に設けた凹部27aに挿入され、相互に摺動自在となつて
いるとともに、その左端よりエアを注入するためのガイ
ド穴28aが穿設され、ガイド穴28aの先端部は直角に曲
り、軸28の側面に達している。29はエア注入パイプであ
り、筐体側に設けた図示しないポンプからエアが注入さ
れるようになつている。また、30は回転支持部であり、
この部分は回転せず、軸28だけが回転するが、エア注入
パイプ29からのエアはガイド穴28aに伝わるようになつ
ている。
張可能な筒状体13aの両開口部が側板25,26で塞がれると
ともに、その側板は筒状体13aの中に設けられた軸27,28
に、ネジ13b,13cによつて固定されている。軸28は軸27
に設けた凹部27aに挿入され、相互に摺動自在となつて
いるとともに、その左端よりエアを注入するためのガイ
ド穴28aが穿設され、ガイド穴28aの先端部は直角に曲
り、軸28の側面に達している。29はエア注入パイプであ
り、筐体側に設けた図示しないポンプからエアが注入さ
れるようになつている。また、30は回転支持部であり、
この部分は回転せず、軸28だけが回転するが、エア注入
パイプ29からのエアはガイド穴28aに伝わるようになつ
ている。
このように構成された装置の動作は次の通りである。ベ
ルト10に乗せられた基板１は矢印の方向に移送され、や
がてベルト10とバツクアツプベルト11によつて挾まれ、
第４図に示すように受ローラ12と軟質バツグ13によつて
押圧される。軟質バツグ13は変形しながらバツクアツプ
ベルト11を介して基板１を押圧し、ベルト10は受ローラ
12によつて膨出部が作られ、その部分の移送面は他の部
分とレベルが異なつているので、基板23は先端部にかか
る力が他の部分より大きくなる。しかしこの力は基板１
に分割線が設けられていなければ、基板に破砕が生じな
い値に選ばれている。ところが、基板１には分割線が設
けられているので、その部分は機械的強度が弱くなつて
いる。このため基板１は分割線の部分で圧力に耐えられ
なくなり、第４図に示すように分割線の部分で破砕さ
れ、分割された小さな基板1aができる。このとき、バツ
クアツプベルト11が無くても基板１が割れることについ
ては同様であるが、軟質バツグだけで割ると割れた後の
基板1aが整然と整列せずに、重なつてしまうことがあ
り、このような状態になると角が欠けたり、後工程の作
業性が悪くなるなどの問題がある。
ルト10に乗せられた基板１は矢印の方向に移送され、や
がてベルト10とバツクアツプベルト11によつて挾まれ、
第４図に示すように受ローラ12と軟質バツグ13によつて
押圧される。軟質バツグ13は変形しながらバツクアツプ
ベルト11を介して基板１を押圧し、ベルト10は受ローラ
12によつて膨出部が作られ、その部分の移送面は他の部
分とレベルが異なつているので、基板23は先端部にかか
る力が他の部分より大きくなる。しかしこの力は基板１
に分割線が設けられていなければ、基板に破砕が生じな
い値に選ばれている。ところが、基板１には分割線が設
けられているので、その部分は機械的強度が弱くなつて
いる。このため基板１は分割線の部分で圧力に耐えられ
なくなり、第４図に示すように分割線の部分で破砕さ
れ、分割された小さな基板1aができる。このとき、バツ
クアツプベルト11が無くても基板１が割れることについ
ては同様であるが、軟質バツグだけで割ると割れた後の
基板1aが整然と整列せずに、重なつてしまうことがあ
り、このような状態になると角が欠けたり、後工程の作
業性が悪くなるなどの問題がある。
一方、基板を割ると、分割線の部分で割れても、細かな
破砕屑が軟質バツグに付着する。このため、軟質バツグ
をブラシ等で清掃する必要があるが、軟質バツグ13の径
はあまり大きくないので、清掃した後の屑を集めるのが
難かしい。ところが、バツクアツプベルト11を用いれ
ば、それに付着した屑は軟質バツグ13から離れた個所に
設けられたブラシ20によつて簡単にかつ確実に集めるこ
とができる。
破砕屑が軟質バツグに付着する。このため、軟質バツグ
をブラシ等で清掃する必要があるが、軟質バツグ13の径
はあまり大きくないので、清掃した後の屑を集めるのが
難かしい。ところが、バツクアツプベルト11を用いれ
ば、それに付着した屑は軟質バツグ13から離れた個所に
設けられたブラシ20によつて簡単にかつ確実に集めるこ
とができる。
従来は剛体によつて剛体である基板を割つていたので、
治具の押圧位置によつて均等でない力が基板にかかり、
分割線以外の部分で割れてしまうことがあつたが、軟質
バツグ13を用いることによつて押圧力が基板に均等にか
かり、機械的に弱い分割線を境にして割れるようになつ
た。また、バツクアツプベルト11を用いていることか
ら、基板にかかる力は更に均等に近くなり、このためよ
り確実に正確に割れ、歩留りも良くなつた。
治具の押圧位置によつて均等でない力が基板にかかり、
分割線以外の部分で割れてしまうことがあつたが、軟質
バツグ13を用いることによつて押圧力が基板に均等にか
かり、機械的に弱い分割線を境にして割れるようになつ
た。また、バツクアツプベルト11を用いていることか
ら、基板にかかる力は更に均等に近くなり、このためよ
り確実に正確に割れ、歩留りも良くなつた。
バツクアツプベルト11は金属性のもの、またはベルト10
と同質のもののうちから破砕屑の付着し難いものを使用
すれば良い。
と同質のもののうちから破砕屑の付着し難いものを使用
すれば良い。
以上説明したようにこの発明は、ベルトに乗せられ送ら
れてくる基板を、軟質バツグによつて押し付け、その押
し付けられたベルト部分のレベル差を変えておくととも
に、ベルトと軟質バツグとの間にバツグアツプベルトを
設けたものであるから、基板の確実な分割を行なえると
ともに、分割された基板が整列して取出せ、かつ破砕屑
の清掃も容易であるという効果を有する。
れてくる基板を、軟質バツグによつて押し付け、その押
し付けられたベルト部分のレベル差を変えておくととも
に、ベルトと軟質バツグとの間にバツグアツプベルトを
設けたものであるから、基板の確実な分割を行なえると
ともに、分割された基板が整列して取出せ、かつ破砕屑
の清掃も容易であるという効果を有する。
第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第２図は第
１図の要部を示す斜視図、第３図は軟質バツグの断面
図、第４図は基板の分割される状態を示す図、第５図は
基板と分割線の関係を示す斜視図である。 10……ベルト、11……バツクアツプベルト、12……受ロ
ーラ、13……軟質バツグ、20……ブラシ、22……セン
サ、25,26……側板、29……エア注入パイプ、13a……筒
状体、51……リトリガラブルモノマルチバイブレータ、
52……カウンタ、53……パルス発生器、54……比較器、
55……基準器。
１図の要部を示す斜視図、第３図は軟質バツグの断面
図、第４図は基板の分割される状態を示す図、第５図は
基板と分割線の関係を示す斜視図である。 10……ベルト、11……バツクアツプベルト、12……受ロ
ーラ、13……軟質バツグ、20……ブラシ、22……セン
サ、25,26……側板、29……エア注入パイプ、13a……筒
状体、51……リトリガラブルモノマルチバイブレータ、
52……カウンタ、53……パルス発生器、54……比較器、
55……基準器。
Claims (1)
- 【請求項１】所定パターンの細溝あるいはケガキ線が少
なくとも一方の面に形成された基板を移送するベルト
と、 ベルトの下方においてベルトにレベルの異なる移送面を
作る部材と、 ベルトの異なる移送面の境界付近にベルトの移送方向と
交差する状態で設けられかつ中に流体が充填され、全体
として筒状で回転可能な軟質バツグと、 軟質バツグを移送面の境界付近に押圧する押圧部材と、 軟質バツグとベルトの間に設けられベルトと同一速度で
同一方向に移動するバツクアツプベルトとから構成さ
れ、 基板がバツクアツプベルトの下を通過するとき軟質バツ
グの圧力によつて前記パターンを境にして基板の分割を
行なうことを特徴とする基板の分割装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30770687A JPH0788012B2 (ja) | 1987-12-07 | 1987-12-07 | 基板の分割装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30770687A JPH0788012B2 (ja) | 1987-12-07 | 1987-12-07 | 基板の分割装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01148512A JPH01148512A (ja) | 1989-06-09 |
| JPH0788012B2 true JPH0788012B2 (ja) | 1995-09-27 |
Family
ID=17972256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30770687A Expired - Fee Related JPH0788012B2 (ja) | 1987-12-07 | 1987-12-07 | 基板の分割装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0788012B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6262960B2 (ja) * | 2013-08-23 | 2018-01-17 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 基板分断装置 |
-
1987
- 1987-12-07 JP JP30770687A patent/JPH0788012B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01148512A (ja) | 1989-06-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |