JPH01148512A - 基板の分割装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、分割用の細溝あるいはケガキ線等が所定の
パターンで形成された例えばセラミック等の基板を、そ
のパターンを境にして分割する基板の分割方法に関する
ものである。

〔従来の技術〕

近年、例えばハイブリッドＩＣ等の半導体装置において
、絶縁性能または高周波性能等の要求からセラミック基
板が採用されるものがある。この基板を形成するには、
一般にバッチ処理されることが多く、このため第５図に
示すように基板１ｍの素材となるセラミック製のシート
成形体１（以下、この成形体１も基板と称する）に細溝
あるいはケガキ線からなる分割線２を設け、この分割線
に沿って回路パターン等の加工後に多くの基板１ａに分
割することにより行なわれる。この基板１の周囲は輸送
中に端部の一部が外部からの力にょって欠落する可能性
もあるので、余分か部分として用意されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし々から基板を分割するためには分割線付近に押圧
部材を押付け、その力で分割しているが、押圧力のかか
りかたが何等かの原因によって不均一に在ると、分割線
以外の部分で割れ易く、歩留りが悪いという問題を有し
ていた。

〔問題点を解決するための手段〕

このような問題を解決するためにこの発明は、ベルトに
レベル面の異々る移送面を作る部材と、軟質バッグと、
軟質バッグを移送面の境界付近に押圧する押圧部材と、
軟質バッグとベルトとの間に設けられたバックアップベ
ルトとを備えたものである。

〔作用〕

基板が移送面境界付近で軟質バッグに押圧され、強度の
弱い分割線部分に力が集中し、そこを境として分割され
るとともに、分割された基板が整然と整列する。

〔実施例〕 第１図はこの装置の外観を示す斜視図であり、１０はベ
ルトでありその上に乗せられた基板を移送するようにな
っている。１１はバックアップベルトであり、これらの
ベルトは第２図に示すような位置関係になっている。１
２はベルト１０の下方においてそのベルトを上側に押し
上げ、膨出部を作ることによって、ベルト１０にレベル
の異なる移送面を作る部材でアシ、この例では受ローラ
を用いている。受ローラ１２はベル）１０の移送方向と
直角に交差し、ベルト１０が移送されることによって摩
擦によって回転するようになっている。

１３は受ローラ１２によって作り出される異なる移送面
の境界付近にベルト１０の移送方向と直角に交差し、か
つ中に流体（この例ではエア）が充填され、全体として
筒状で回転可能な軟質バッグである。なおこの筒状部分
は後述するが、内部および外部の圧力によって自在に変
形するように々っている。

１４ａ、ｉ４ｂは軟質バッグ１３の横方向位置を規制す
る保持ローラであシ、図示し々い軸受に支持され、軟質
バッグ１３が回転することによって回転するようになっ
ている。１５は軟質バッグ１３の上下方向を規制する押
えローラでアシ、その押圧力は支点１６＆を中心に回動
するアーム１６に与える力をダイヤル１７で調節し、変
えられるようになっている。１８ａ〜１８ｄはバッグア
ップベルト１１に張力を与える受ローラであシ、その張
力は受ローラ５１８ｄの軸に取付けられたレバー１９に
よって与えられている。そのレバー１９は支点１９ａを
中心に回動するようになっており、その回動力は図示し
ないスプリングの弾力によって与えられている。２０は
バックアップベルト１１のベルト１０側の面を清掃する
ブラシである。２１ａ〜２１ｄはベルト１０を内面から
支える受ローラであり、そのうち例えば受ローラ２１ａ
は図示しないモータによって回転駆動されるようにガっ
ている。２２は軟質バッグ１３よシ手前に設けられ、基
板１の前縁部および後縁部を検出するセンサである。

なお、ブラシ２０．各ローラ、センサ２２は図示しガい
手段によって筐体に取付けられている。

また、ダイヤル１７を大きくまわすことによってアーム
１６が上昇し、軟質バッグ１３から離れるようになって
おり、このため押えローラ１５および軟質バッグ１３の
清掃が容易なように構成されている。

第３図は軟質バッグ１３の断面図であり、例えば布製で
膨張可能な筒状体１３＆の両開口部が側板２５．２６で
塞がれるとともに、その側板は筒状体１３畠の中に設け
られた軸２７．２８に、ネジ１３ｂ。

１３ｃによって固定されている。軸２８は軸２γに設け
た凹部２７＆に挿入され、相互に摺動自在と々つている
とともに、その左端よりエアを注入するためのガイド穴
２８ａが穿設され、ガイド穴２８＆の先端部は直角に曲
り、軸２８の側面に達している。

２９けエア注入パイプであり、筐体側に設けた図示しな
いポンプからエアが注入されるように麿っている。また
、３ｏは回転支持部であり、この部分は回転せず、軸２
８だけが回転するが、エア注入パイプ２９からのエアは
ガイド穴２８１Ｌに伝わるように々っている。

このように構成された装置の動作は次の通りである。ベ
ルト１０に乗せられた基板１は矢印の方向に移送され、
やがてベルト１０とバックアップベルト１１によって挾
まれ、第４図に示すように受ローラ１２と軟質バッグ１
３によって押圧される。軟質バッグ１３は変形しながら
バックアップベルト１１を介して基板１を押圧し、ベル
ト１０は受ローラ１２によって膨出部が作られ、その部
分の移送面は他の部分とレベルが異々つているので、基
板２３は先端部にかかる力が他の部分より犬キ＜カる。

しかしこの力は基板１に分割線が設けられていなければ
、基板に破砕が生じない値に選ばれている。ところが、
基板１には分割線が設けられているので、その部分は機
械的強度が弱くなっている。このため基板１は分割線の
部分で圧力に耐えられ力くなり、第４図に示すように分
割線の部分で破砕され、分割された小さ々基板１ａがで
きる。このとき、バックアップベルト１１が無くても基
板１が割れることについては同様であるが、軟質バッグ
だけで割ると割れた後の基板１ｓＬが整然と整列せずに
、重なってしまうことがｓｂ、このような状態になると
角が欠けたシ、後工程の作業性が悪くなるなどの問題が
ある。

一方、基板を割ると、分割線の部分で割れても、細かな
破砕屑が軟質バッグに付着する。このため、軟質バッグ
をブラシ等で清掃する必要があるが、軟質バッグ１３の
径はあまυ大きくないので、清掃した後の屑を集めるの
が難かしい。ところが、バックアップベルト１１を用い
れば、それに付着した屑は軟質バッグ１３から離れ九個
所に設けられたブラシ２０によって簡単にかつ確実に集
めることができる。

従来は剛体によって剛体である基板を割っていたので、
治具の押圧位置によって均等でない力が基板にかかり、
分割線以外の部分で割れてしまうことがあったが、軟質
バッグ１３を用いることによって押圧力が基板に均等に
かかり、機械的に弱い分割線を境にして割れるように々
つた。また、バックアップベルト１１を用いていること
から、基板にかかる力は更に均等に近くなり、このため
よシ確実に正確に割れ、歩留シも良くなった。

バックアップベルト１１は金属性のもの、またはベルト
１０と同質のもののうちから破砕屑の付着し難いものを
使用すれば良い。

〔発明の効果〕

以上説明したようにこの発明は、ベルトに乗せられ送ら
れてくる基板を、軟質バッグによって押し付け、その押
し付けられたベルト部分のレベル差を変えておくととも
に、ベルトと軟質バッグとの間にバッグアップベルトを
設けたものであるか゛ら、基板の確実な分割を行なえる
とともに、分割された基板が整列して取出せ、かつ破砕
屑の清掃も容易であるという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第２図は第
１図の要部を示す斜視図、第３図は軟質バッグの断面図
、第４図は基板の分割される状態を示す図、第５図は基
板と分割線の関係を示す斜視図である。 １０・・拳・ベルト、１１＠・・・バックアップベルト
、１２・・・・受口−、ｌｙ、１３・・争・軟質バッグ
、２ｏ０００．ブラシ、２２００．。 センサ、２５，２６・・・・側板、２９・・・・エア注
入パイプ、１３１・拳・・筒状体、５１・・・・リトリ
ガラプルモノマルチバイブレータ、５２・・・・カウン
タ、５３・・・・パルス発生器、５４・・・・比較器、
５５・・・・基準器。 特許出願人　　戸　塚　忠　　男 代　理　人　山川政樹（ほか２名）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　所定パターンの細溝あるいはケガキ線が少なくとも一
   方の面に形成された基板を移送するベルトと、 ベルトの下方においてベルトにレベルの異なる移送面を
   作る部材と、 ベルトの異なる移送面の境界付近にベルトの移送方向と
   交差する状態で設けられかつ中に流体が充填され、全体
   として筒状で回転可能な軟質バッグと、 軟質バッグを移送面の境界付近に押圧する押圧部材と、 軟質バッグとベルトの間に設けられベルトと同一速度で
   同一方向に移動するバックアップベルトとから構成され
   、 基板がバックアップベルトの下を通過するとき軟質バッ
   グの圧力によつて前記パターンを境にして基板の分割を
   行なうことを特徴とする基板の分割装置。