JPH0795144B2 - 顕微鏡用光学系アタッチメント - Google Patents
顕微鏡用光学系アタッチメントInfo
- Publication number
- JPH0795144B2 JPH0795144B2 JP63251533A JP25153388A JPH0795144B2 JP H0795144 B2 JPH0795144 B2 JP H0795144B2 JP 63251533 A JP63251533 A JP 63251533A JP 25153388 A JP25153388 A JP 25153388A JP H0795144 B2 JPH0795144 B2 JP H0795144B2
- Authority
- JP
- Japan
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- lens
- microscope
- mirror
- optical path
- sample
- Prior art date
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 46
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/0088—Inverse microscopes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/18—Arrangements with more than one light path, e.g. for comparing two specimens
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は顕微鏡の対物レンズの前に装備する光学系シス
テムのアタッチメントに関し、より詳しくは、顕微鏡か
ら相当程度離れた位置にある試料を観察するための顕微
鏡用光学系リレーシステムであって、試料を移動させる
ことなくその試料の裏面、側面を観察することを可能に
する顕微鏡用光学系アタッチメントに関する。
テムのアタッチメントに関し、より詳しくは、顕微鏡か
ら相当程度離れた位置にある試料を観察するための顕微
鏡用光学系リレーシステムであって、試料を移動させる
ことなくその試料の裏面、側面を観察することを可能に
する顕微鏡用光学系アタッチメントに関する。
（従来の技術） 一対の対物レンズと一対の接眼レンズをもつ従来の顕微
鏡では、試料との距離が余り離れていると観察できず、
単にリレーレンズによってこれを引き寄せる場合にはリ
レーレンズの孔径が大きくなってアタッチメントとして
は好ましくない。またこれまでの顕微鏡では一面を観察
している試料の反対面や側面を当該試料を動かさずに観
察すること、つまり観察面からある程度離れた位置にあ
る観察面を試料を動かさずに観察することはできない
し、それを可能にするアタッチメントの類も無かった。
鏡では、試料との距離が余り離れていると観察できず、
単にリレーレンズによってこれを引き寄せる場合にはリ
レーレンズの孔径が大きくなってアタッチメントとして
は好ましくない。またこれまでの顕微鏡では一面を観察
している試料の反対面や側面を当該試料を動かさずに観
察すること、つまり観察面からある程度離れた位置にあ
る観察面を試料を動かさずに観察することはできない
し、それを可能にするアタッチメントの類も無かった。
（発明が解決しようとする課題） 本発明は、小さな孔径のリレーレンズで済む顕微鏡用光
学系リレーシステムに関し、試料の異なった部分を試料
を移動させることなく観察することを可能とする新規な
顕微鏡用光学系アタッチメントを提供することを目的と
するものである。
学系リレーシステムに関し、試料の異なった部分を試料
を移動させることなく観察することを可能とする新規な
顕微鏡用光学系アタッチメントを提供することを目的と
するものである。
（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために本発明に係わる顕微鏡用光学
系アタッチメントは、リレーレンズ１の実像面に位置す
る状態でフイルドレンズ２を設け、このフイルドレンズ
２の実像面に焦点を合せる状態で顕微鏡３のもつ対物レ
ンズを設けると共にこれ等リレーレンズ１、フイルドレ
ンズ２、顕微鏡３の光路上に第１〜第３ミラー５、５′
５″および光路切換ミラー６を、光路切換ミラー６は光
路から外れ可能として顕微鏡３の対物レンズと試料４の
間に、第１ミラー５は試料４とリレーレンズ１の間に、
第２ミラー５′はリレーレンズ１とフイルドレンズ２の
間に、また第３ミラー５″は第２ミラー５′とフイルド
レンズ２の間にこれ等ミラー６、５、５′５″が方形を
形成する配置で設けたものであり、 そして、第２リレーレンズ８および第２光路切換ミラー
７を有し、第２光路切換ミラー７を光路から外れ可能と
して第２ミラー５′と第３ミラー５″の間に設け、第２
リレーレンズ８をフイルドレンズ２の実像面に位置させ
て第２光路切換ミラー７と試料４の間に設けたものであ
る。
系アタッチメントは、リレーレンズ１の実像面に位置す
る状態でフイルドレンズ２を設け、このフイルドレンズ
２の実像面に焦点を合せる状態で顕微鏡３のもつ対物レ
ンズを設けると共にこれ等リレーレンズ１、フイルドレ
ンズ２、顕微鏡３の光路上に第１〜第３ミラー５、５′
５″および光路切換ミラー６を、光路切換ミラー６は光
路から外れ可能として顕微鏡３の対物レンズと試料４の
間に、第１ミラー５は試料４とリレーレンズ１の間に、
第２ミラー５′はリレーレンズ１とフイルドレンズ２の
間に、また第３ミラー５″は第２ミラー５′とフイルド
レンズ２の間にこれ等ミラー６、５、５′５″が方形を
形成する配置で設けたものであり、 そして、第２リレーレンズ８および第２光路切換ミラー
７を有し、第２光路切換ミラー７を光路から外れ可能と
して第２ミラー５′と第３ミラー５″の間に設け、第２
リレーレンズ８をフイルドレンズ２の実像面に位置させ
て第２光路切換ミラー７と試料４の間に設けたものであ
る。
（実施例）および（作用） 第１図は、リレーレンズ１の実像面にフイルドレンズ２
を位置させ、このフイルドレンズ２の実像面に焦点を合
わせる状態で顕微鏡３の対物レンズ（図示せず）を位置
させ、リレーレンズ１により試料４の実像をフイルドレ
ンズ２のレンズ面に作り、これを顕微鏡３により観察す
るようにした、本発明の顕微鏡用光学系システムの原理
図を示すものである。
を位置させ、このフイルドレンズ２の実像面に焦点を合
わせる状態で顕微鏡３の対物レンズ（図示せず）を位置
させ、リレーレンズ１により試料４の実像をフイルドレ
ンズ２のレンズ面に作り、これを顕微鏡３により観察す
るようにした、本発明の顕微鏡用光学系システムの原理
図を示すものである。
一般にフイルドレンズ無しでリレーレンズのみで観察す
る場合、顕微鏡の内向角とリレーレンズの焦点距離の関
係でリレーレンズの直径を視野の広さの２倍に作る必要
があり、リレーレンズの直径が大きくなるが、本発明に
おいては上記のような構成のシステムとしたことによっ
て、フイルドレンズによる焦点の角度と顕微鏡の立体角
が互いに打ち消され、顕微鏡に恰も１倍のレンズを取り
付けたと同じような状態となり、リレーレンズは顕微鏡
の視野をカバーする大きさの口径で済む、即ち小さな口
径でよいことになる。
る場合、顕微鏡の内向角とリレーレンズの焦点距離の関
係でリレーレンズの直径を視野の広さの２倍に作る必要
があり、リレーレンズの直径が大きくなるが、本発明に
おいては上記のような構成のシステムとしたことによっ
て、フイルドレンズによる焦点の角度と顕微鏡の立体角
が互いに打ち消され、顕微鏡に恰も１倍のレンズを取り
付けたと同じような状態となり、リレーレンズは顕微鏡
の視野をカバーする大きさの口径で済む、即ち小さな口
径でよいことになる。
第２図は本発明の第１実施例を示すものであって、第２
及び第３ミラー５′、５″を介して結ばれるリレーレン
ズ１の実像面にフイルドレンズ２を位置させ、このフイ
ルドレンズ２の実像面に、光路切換ミラー６を介して焦
点を合わせる状態で顕微鏡３の対物レンズ（図示せず）
を位置させたものである。
及び第３ミラー５′、５″を介して結ばれるリレーレン
ズ１の実像面にフイルドレンズ２を位置させ、このフイ
ルドレンズ２の実像面に、光路切換ミラー６を介して焦
点を合わせる状態で顕微鏡３の対物レンズ（図示せず）
を位置させたものである。
この第１実施例を用いて試料４の上面を観察する場合に
は、光路切換ミラー６、６′の位置まで移動させておい
て直接上面を観察し、試料４の下面を観察する場合には
光路切換ミラー６を所定の６の位置に位置させることに
よって、リレーレンズ１、フイルドレンズ２、第１〜３
ミラー５、５′、５″を介して観察する。
は、光路切換ミラー６、６′の位置まで移動させておい
て直接上面を観察し、試料４の下面を観察する場合には
光路切換ミラー６を所定の６の位置に位置させることに
よって、リレーレンズ１、フイルドレンズ２、第１〜３
ミラー５、５′、５″を介して観察する。
第３図は本発明の第２実施例を示すものであって、第２
図に示す顕微鏡用光学系アタッチメントにおいて、試料
４の側方に第２リレーレンズ８と第２光路切換ミラー７
を置き、これらの第２リレーレンズ８、第２光路切換ミ
ラー７、第３ミラー５″、第１の光路切換のミラー６に
よって閉光路を形成する。
図に示す顕微鏡用光学系アタッチメントにおいて、試料
４の側方に第２リレーレンズ８と第２光路切換ミラー７
を置き、これらの第２リレーレンズ８、第２光路切換ミ
ラー７、第３ミラー５″、第１の光路切換のミラー６に
よって閉光路を形成する。
この第２実施例を用いて試料４の上面を観察するときに
は、第１の光路切換ミラー７を６′の位置まで移動さ
せ、直接試料４の上面を観察し、試料４の下面を観察す
るときには、第１の光路切換ミラー６′をもとの位置６
に戻し、第２光路切換ミラー７を７′の位置に移動する
ことによって第１ミラー５、第１のリレーレンズ１、第
２ミラー５′、第３ミラー５″、第１の光路切換ミラー
６を介して観察し、試料４の側面を観察するときには、
第１の光路切換ミラー６を６の位置に置き、第２光路切
換ミラー７を７の位置におくことによって、第２リレー
レンズ８、第２光路切換ミラー７、第３ミラー５″、第
１の光路切換ミラー６を介して観察する。
は、第１の光路切換ミラー７を６′の位置まで移動さ
せ、直接試料４の上面を観察し、試料４の下面を観察す
るときには、第１の光路切換ミラー６′をもとの位置６
に戻し、第２光路切換ミラー７を７′の位置に移動する
ことによって第１ミラー５、第１のリレーレンズ１、第
２ミラー５′、第３ミラー５″、第１の光路切換ミラー
６を介して観察し、試料４の側面を観察するときには、
第１の光路切換ミラー６を６の位置に置き、第２光路切
換ミラー７を７の位置におくことによって、第２リレー
レンズ８、第２光路切換ミラー７、第３ミラー５″、第
１の光路切換ミラー６を介して観察する。
（発明の効果） 本発明に係わる顕微鏡用光学系アタッチメントによれ
ば、試料を動かさずに顕微鏡用光学系アタッチメント内
の構成部品の配置を変える操作をするだけで、試料の上
面、裏面、側面を観察することができる。
ば、試料を動かさずに顕微鏡用光学系アタッチメント内
の構成部品の配置を変える操作をするだけで、試料の上
面、裏面、側面を観察することができる。
第１図は本発明に係わる顕微鏡用光学系アタッチメント
の原理図、第２図は本発明の第２実施例を示す系統図、
第３図は同じく第２実施例を示す系統図である。 １、８……リレーレンズ、２……フイルドレンズ、３…
…顕微鏡、４……物体、５、５′、５″……固定のミラ
ー、６、７……光路切換ミラー。
の原理図、第２図は本発明の第２実施例を示す系統図、
第３図は同じく第２実施例を示す系統図である。 １、８……リレーレンズ、２……フイルドレンズ、３…
…顕微鏡、４……物体、５、５′、５″……固定のミラ
ー、６、７……光路切換ミラー。
Claims (2)
- 【請求項１】リレーレンズ１の実像面に位置する状態で
フイルドレンズ２を設け、このフイルドレンズ２の実像
面に焦点を合せる状態で顕微鏡３のもつ対物レンズを設
けると共にこれ等リレーレンズ１、フイルドレンズ２、
顕微鏡３の光路上に第１〜第３ミラー５、５′５″およ
び光路切換ミラー６を、光路切換ミラー６は光路から外
れ可能として顕微鏡３の対物レンズと試料４の間に、第
１ミラー５は試料４とリレーレンズ１の間に、第２ミラ
ー５′はリレーレンズ１とフイルドレンズ２の間に、ま
た第３ミラー５″は第２ミラー５′とフイルドレンズ２
の間にこれ等ミラー６、５、５′５″が方形を形成する
配置で設けたことを特徴とする顕微鏡用光学系アタッチ
メント。 - 【請求項２】第２リレーレンズ８および第２光路切換ミ
ラー７を有し、第２光路切換ミラー７を光路から外れ可
能として第２ミラー５′と第３ミラー５″の間に設け、
第２リレーレンズ８をフイルドレンズ２の実像面に位置
させて第２光路切換ミラー７と試料４の間に設けたこと
を特徴とする請求項１記載の顕微鏡用光学系アタッチメ
ント。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63251533A JPH0795144B2 (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 | 顕微鏡用光学系アタッチメント |
| US07/569,482 US5059010A (en) | 1988-10-05 | 1990-08-20 | Optical system and an optical attachment for a microscope including a field lens, a relay lens, and four mirrors |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63251533A JPH0795144B2 (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 | 顕微鏡用光学系アタッチメント |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1322194A Division JPH073510B2 (ja) | 1989-12-12 | 1989-12-12 | 顕微鏡用光学系アタツチメント |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0297910A JPH0297910A (ja) | 1990-04-10 |
| JPH0795144B2 true JPH0795144B2 (ja) | 1995-10-11 |
Family
ID=17224227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63251533A Expired - Lifetime JPH0795144B2 (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 | 顕微鏡用光学系アタッチメント |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5059010A (ja) |
| JP (1) | JPH0795144B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5386112A (en) * | 1990-06-29 | 1995-01-31 | Dixon; Arthur E. | Apparatus and method for transmitted-light and reflected-light imaging |
| US5253106A (en) * | 1992-03-20 | 1993-10-12 | Amarel Precision Instruments, Inc. | Oblique viewing system for microscopes |
| US6005709A (en) * | 1996-06-05 | 1999-12-21 | Marine Biological Laboratory | Microscope system for using transmitted light to observe living organisms |
| JP3716502B2 (ja) * | 1996-07-24 | 2005-11-16 | 東ソー株式会社 | 蛍光検出装置 |
| US6678089B1 (en) * | 2000-04-13 | 2004-01-13 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Microscope |
| CN212749367U (zh) * | 2017-04-11 | 2021-03-19 | 亚斯卡奈特股份有限公司 | 立体像成像单元和使用了该立体像成像单元的显微镜装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1458143A (en) * | 1923-06-12 | Best available copn | ||
| US3752589A (en) * | 1971-10-26 | 1973-08-14 | M Kobayashi | Method and apparatus for positioning patterns of a photographic mask on the surface of a wafer on the basis of backside patterns of the wafer |
| JPS56101119A (en) * | 1980-01-17 | 1981-08-13 | Canon Inc | Observing device |
| GB2084755A (en) * | 1980-09-30 | 1982-04-15 | Transport The Minister Of | Optical comparator |
| JPS5919320A (ja) * | 1982-07-23 | 1984-01-31 | Canon Inc | 検出光学系 |
| US4877960A (en) * | 1987-02-17 | 1989-10-31 | Spectra-Tech, Inc. | Microscope having dual remote image masking |
-
1988
- 1988-10-05 JP JP63251533A patent/JPH0795144B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-08-20 US US07/569,482 patent/US5059010A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5059010A (en) | 1991-10-22 |
| JPH0297910A (ja) | 1990-04-10 |
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Legal Events
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