JPH0798680B2 - 鉛系ペロブスカイト型セラミックスの原料粉末の製造方法 - Google Patents

鉛系ペロブスカイト型セラミックスの原料粉末の製造方法

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JPH0798680B2
JPH0798680B2 JP1294183A JP29418389A JPH0798680B2 JP H0798680 B2 JPH0798680 B2 JP H0798680B2 JP 1294183 A JP1294183 A JP 1294183A JP 29418389 A JP29418389 A JP 29418389A JP H0798680 B2 JPH0798680 B2 JP H0798680B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は鉛系ペロブスカイト型セラミックスの原料粉末
の製造方法に係わり、詳しくは圧電体、半導体、センサ
ー、オプトエレクトロニクス材、誘電体、特に積層キャ
パシターの誘電体等として用いて好適な機能性セラミッ
クスを作製し得る、均一微細な粒子径を有し、易焼結性
で、高嵩密度のニオブ含有鉛系ペロブスカイト型セラミ
ックスの原料粉末の製造方法に関する。
〔従来の技術〕
鉛系ペロブスカイト型セラミックスは、圧電体として広
く用いられている他、近年、積層キャパシター等の誘電
体としてもその利用が盛んに検討され始めた新素材であ
る。
このような新用途への利用が検討され始めたのは、鉛系
ペロブスカイト型セラミックスは、 その誘電率が高く、チタン酸バリウム等の従来汎用さ
れている誘電体に比べて単位体積当たりの誘電容量が大
きいため、キャパシターの小型大容量化が可能になる、 その焼結温度が従来のチタン酸バリウムの1300〜1400
℃に比べて1200℃以下と低いため、従来の白金、パラジ
ウムより安価な融点の比較的低い銀を内部電極材として
用いることが可能になる、 鉛とペロブスカイトを構成し得る物質の種類が多いた
め、組成を適宜変更することによって用途に応じた多種
の誘電体材料を作製することが可能である、等の理由に
よるものである。
かかる鉛系ペロブスカイト型セラミックスの原料粉末の
製造方法としては、従来、乾式法と湿式法とが知られて
いる。
乾式法はペロブスカイトを構成すべき各成分の酸化物粉
末をその構成割合に応じて混合し、仮焼する方法であ
る。
一方、湿式法、とりわけ従来一般的に行われている湿式
法は、ペロブスカイトを構成すべき各成分の全てを含む
混合溶液を調整し、この混合溶液にアルカリ等の沈澱形
成液を添加して共沈させ、得られた沈澱物を分離した
後、これを乾燥し、仮焼する方法である。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、上記乾式法には、均一な組成の原料粉末
を得ることが困難であり、また誘電率の低いパイロクロ
ア相を多く含む原料粉末した得られないという問題があ
る。このパイロクロア相を少なくし、強誘電性を示すペ
ロブスカイト相を多く生成させるためには仮焼温度を高
くすればよいが、そうすると、原料粉末が粗大化して、
易焼結性のものが得られ難いという新たな問題が生じて
しまう。
一方、上記湿式法によれば、均一な組成の粉末が比較的
得られ易い。しかし、均一であるがゆえに、沈澱形成
時、乾燥時、或いは、仮焼時に粒子同士が凝結し二次粒
子を形成するため粒子径が大きくなり、上記、乾式法に
おいて仮焼温度を高くした場合と同様に、易焼結性のも
のが得られ難い。
また、上記、共沈を利用する湿式法では、各構成成分に
対して、共通の、すなわち、同じ濃度の沈澱形成液を用
いることになるので、各構成成分の沈澱形成能が異なる
場合、所望する構成割合のペロブスカイトを得ることが
困難になるという問題もある。
さらに、乾式、湿式を問わず、従来法による原料粉末を
焼結して得られるセラミックスはそのグレインサイズが
一般に5μm以上の大きさになるため、誘電体層の厚み
に制約を受けることが多い積層型キャパシターの如き、
小型大容量化の要請があるものには適用し得ないという
問題もある。
本発明者等は、ニオブ含有鉛系ペロブスカイト型セラミ
ックスに関して鋭意研究した結果、次の如き驚嘆すべき
知見を得た。
すなわち、機能性セラミックスの原料粉末としては、組
成の均一なものが好ましい。
而して、従来においては、組成の均一な原料粉末を得る
ために、各種成成分の固相反応における挙動の相違を考
慮せず、各構成成分の化合物を均一に混合すれば均一な
組成のものが得られるとの誤った考え方により、ペロブ
スカイトの全構成成分を均一に混合する努力をしてい
た。
しかしながら、鉛はコバルト、ニッケル等の金属元素に
比べてニオブと反応し易い活性の非常に高い元素であ
る。このため、原料粉末が粗大化するのを防止する必要
上、比較的低温で行われる固相反応においては、全構成
成分を均一に混合する従来方法では、鉛とニオブとの反
応が、鉛と他の金属との反応に優先してしまうこととな
る。
従来、鉛とニオブとの化合物であるパイロクロア相が多
くなり、強誘電性を示すペロブスカイト相の充分な生成
をみることが出来なかった理由はここにある。
一方、パイロクロア相の生成を防止するため、Aの酸化
物とNbの酸化物とを混合し、900〜1000℃の温度で仮焼
してAのニオブ酸塩を予め調製し、これとPbOとを反応
させる方法が提案さている(Mat.Res.Bull.Vol.17,1245
−1250,1982 S.L.Swartz and T.R.Shrout)。
しかしながら、上記方法はパイロクロア相を著しく減少
させるものの、Aのニオブ酸塩の調製温度が高いため、
粉砕が難しく、0.5μm以下の微細なペロブスカイトを
得ることが困難であった。
本発明は以上の事情に鑑みなされたものであって、その
目的とするところは、上記従来方法の問題点を解消し
て、ペロブスカイト相の生成率が高く、所望の組成比を
有し、高嵩密度且つ易焼結性のニオブ含有鉛系ペロブス
カイト型セラミックスの原料粉末の製造方法を提供する
にある。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するための本発明に係る鉛系ペロブスカ
イト型セラミックスの原料粉末の製造方法(以下、「本
発明方法」という)は、先ずPbに比べて活性の低いA成
分と、ニオブ酸ゾルとの混合物を仮焼し、次いでこれに
鉛化合物を加えて再び仮焼する二段仮焼法である。
すなわち、本発明は、一般式Pb AX Nb1-XO3で表される
鉛系ペロブスカイト型セラミックスの原料粉末の製造方
法において、前記Aの水酸化物のゾルまたは懸濁液とニ
オブ酸ゾルとの混合乾燥物を仮焼(以下、この仮焼を
「B仮焼」という)し、次いでこの仮焼物とPb化合物と
を混合した後、仮焼(以下、この仮焼を「P仮焼」とい
う)することを骨子とする。
ただし、上式中、X=1/2または1/3であって、AはFe、
Co、Cr、Ni、Mn、Mg、Zn、Cd、Zr、In、CuおよびHfの中
から選ばれた少なくとも一種の元素である。
ニオブ酸ゾルとしては、例えば、水酸化ニオブの強酸懸
濁液と過酸化水素とを反応させて得られるペルオキシニ
オブ錯体の水溶液を、適宜の時間(通常、48時間程
度)、10〜50℃の温度に保持することによりゾル化した
ものを用いることができる。なお、ニオブ酸ゾルのPHを
アルカリを用いて調整した後、限外濾過することによ
り、セラミックスの機能性を妨げる要因となる不純陽イ
オンや、Cl-、NO3 -等の不純陰イオンを脱イオン精製し
たものを用いることが好ましい。
A成分としては、Aの酸化物または水酸化物の懸濁液も
しくは水溶液、或いは、Aのアルコキシドに純水を添加
してゾル化したものや、Aの化合物の水溶液またはアル
コール溶液と陰イオン交換樹脂とを接触させて陰イオン
を水酸イオンとアニオン交換させて得たものを用いるこ
とができる。
Pb化合物としては、本発明において時に限定されない
が、炭酸鉛、水酸化鉛、硝酸鉛、酸化鉛、酢酸鉛、しゅ
う酸鉛、蟻酸鉛等、仮焼時に鉛以外の成分が飛散するも
のが好ましい。なお、これらの鉛化合物を二種以上併用
することももとより可能である。
次に、本発明に係る、ニオブ含有鉛京ペロブスカイト型
セラミックスの原料粉末の製造方法について説明する。
本発明方法は、ニオブ酸ゾルおよびA成分化合物の混合
乾燥物のB仮焼工程、B仮焼物とPb化合物との湿式混合
工程、および、P仮焼工程とを主たる有効工程とする。
本発明方法においては、ニオブ酸ゾルとA成分の化合物
との混合物を乾燥したものを、B仮焼する。A成分の水
酸化物ゾル、とりわけAの化合物と強塩基性陰イオン交
換樹脂とを接触させてイオン交換反応させて得られたも
のと、ニオブ酸ゾルとの混合物を用いることが好まし
い。これは、この混合物が均一で表面エネルギーの大き
い微細な粒子群からなるからである。この粒子の表面エ
ネルギーが大きいことから、続いて行うB仮焼およびP
仮焼を従来よりも低い温度で行うことが可能になる。
なお、B仮焼およびP仮焼ともに、400〜900℃の温度で
行うことが好ましい。400℃未満の場合、反応が不十分
となり、900℃を越えた場合、原料粉末の粒子径が大き
くなり易焼結性のものが得られ難くなる。
なお、B仮焼で得た仮焼物とPb化合物との混合は、特に
限定されないが、一般に湿式粉砕混合を行うことが混合
物の均一化を図る上で好ましい。
本発明方法において、二段階に分けて仮焼することとし
たのは、鉛とニオブとの反応が先行することに因るパイ
ロクロア相の生成を抑制し、ペロブスカイト生成率の高
い原料粉末を低い仮焼温度で得ることを可能にするため
であり、さらにB仮焼に際してより反応温度を下げるた
めニオブ原料としてニオブ酸ゾルを使用することとした
ためである。
このように、本発明方法においては、二段仮焼法を用い
更にニオブ酸ゾルを用いることによりペロブスカイト生
成率を高めたので、従来のように該生成率を高めるため
に仮焼温度を高くする必要がなく、比較的低温で仮焼す
ることが可能になる。そして、この低温での仮焼が、粒
子径の小さい易焼結性の原料粉末を得ることを可能にし
たのである。
また、仮焼温度の低下により、比表面積が大きな原料粉
末が得られるとともに、前記原料粉末の小径化により、
低い温度での焼結が可能となる。
それゆえ、本発明方法による原料粉末をキャパシターの
誘電体に適用する場合においては、従来の白金、パラジ
ウムはもとより、これらより安価な銀よりもさらに安価
な融点の低い卑金属を内部電極として用いることが可能
になり、電極材料の選択範囲が広くなるとともに、低コ
スト化を図ることができる。特に、本発明方法による原
料粉末は比表面積の大きい高嵩密度の強誘電体であるた
め、例えば小型大容量化の要請がある積層キャパシター
に適用して有効である。
なお、本発明方法による原料粉末を誘電体に適用する場
合は、本発明方法により得られた原料粉末と他のPb系ペ
ロブスカイト型セラミックス原料粉末とを固溶化して用
いることが実用的である。
この場合の他のPb系ペロブスカイト型セラミックスの原
料粉末としては、一般式 PbAXB1-XO3(ただし、式中、Aは前出のAと同じ元素、
BはW、Nb、Taの中から選ばれた少なくとも一種の元
素)で表されるものが例示される。
上記固溶化は、例えば他のPb系ペロブスカイト型セラミ
ックス原料粉末を、本発明方法のB仮焼またはP仮焼前
に予め混合し、この混合物を仮焼することにより行って
もよい。
また、原料粉末の焼結性や、得られるセラミックスの電
気特性を制御するために、微量成分として、例えばMn
O2、SiO2、Bi2O3等の化合物を乾式または湿式で添加し
てもよい。
〔実施例〕
以下、本発明を実施例に基づいてさらに詳細に説明する
が、本発明は下記実施例により何ら限定されるものでは
なく、その要旨を変更しない範囲において適宜変更実施
可能なものである。
(実施例1) 水酸化ニオブ(三井金属鉱業社製)0.2モルを純水300ml
に分散させ、これに濃塩酸1モルを加えた後、撹拌しな
がら過酸化水素0.8モルを徐々に加え、純水を追加して
水酸化ニオブをペルオキシニオブ錯体に変化させペルオ
キシニオブの錯体水溶液1を調製した。この水溶液を
45℃の温度に、48時間保持してペルオキシニオブ酸ゾル
を生成させた。
次いで、生成したペルオキシニオブ酸ゾルに6Nアンモニ
ア水を滴下してそのPHを1.5に調整した。なお、このゾ
ルのコロイド粒子の粒系は0.02μm(レーザー粒径解析
システムLPA−3000/3100、大塚電子社製にて測定)であ
った。
PH調整により限外濾過可能になった上記ペルオキシニオ
ブ酸ゾルを限外濾過膜(ポリスルホン、分画分子量1000
0)に通して塩素イオン等の不純イオンを除去して精製
した。
一方、0.2モルの硝酸マグネシウム水溶液500mlに強塩基
性アニオン交換樹脂(イオン交換容量1.04eq/R−l、住
友化学工業社製、商品名「Duolite A−101D」)500mlを
加え、30分間緩速撹拌した後、アニオン交換樹脂と水酸
化マグネシウムゾルとを分離した。
上記精製ペルオキシニオブ酸ゾルと上記水酸化マグネシ
ウムゾルとを撹拌しつつ混合し、この混合物をスプレー
ドライ法で乾燥した後、アルミナルツボ中650℃の温度
で、2時間加熱してB仮焼した。
得られたB仮焼粉末の平均粒子径は0.08μm(レーザー
粒径解析システムLPA−3000/3100、大塚電子社製にて測
定)であった。また、X線回析により、MgNb2O6結晶で
あることが確認された。
このB仮焼粉末にPb(Mg1/3Nb2/3)O3となるように酸化
鉛を配合し、この配合物と純水とジルコニアボール(5m
mφ)とともにポリアミド製の容器に入れた後、該ポッ
トをボールミルに設置して15時間湿式混合し、次いで、
ジルコニアボールを分離して内容物を乾燥した。得られ
た乾燥粉末をアルミナルツボ中700℃の温度で、2時間
P仮焼して、Pb(Mg0.33Nb0.66)O3の組成のセラミック
ス製造用原料粉末を得た。
得られたP仮焼粉末について、X線回析によりペロブス
カイト率を算出し結果を表に示す。
上記P仮焼粉末を、ボールミルにて15時間湿式粉砕し、
その粉砕物を乾燥した後、8重量%のポリビニルアルコ
ール水溶液を粉末に対して8重量%添加して顆粒化し
た。この顆粒物を1000kg/cm2の圧力で加圧成形してペレ
ット状のグリーン成形体とした。
次いで、上記グリーン成形体を電気炉に収容して500℃
の温度で4時間加熱し、ポリビニルアルコールを熱分解
させた後昇温し、温度950℃で2時間焼成して焼結ペレ
ットを得た。
得られた焼結ペレットについて、X線回析法によるペロ
ブスカイト率を算出した結果を表に示す。
(実施例2) 重炭酸アンモニウム(和光純薬社製)0.6モルを純水500
mlに溶解して得た水溶液に硝酸マグネシウム(和光純薬
社製)0.2モルを純水500mlに溶解して得た水溶液を30分
間で添加した後30分間撹拌した。得られた水酸化マグネ
シウムに実施例1で得た精製ペルオキシニオブ酸ゾルを MgNb2O6の組成になるように混合して、スプレードライ
法で乾燥した。この粉末を実施例1と同様にして、二段
仮焼法および焼結を行い、順次P仮焼粉末および焼結ペ
レットを得、これについてX線回析法によりペロブスカ
イト率を算出した。結果を表に示す。なお、B仮焼、P
仮焼および焼結は表に示す所定の各温度で2時間行っ
た。
(実施例3〜5) 前記硝酸マグネシウムに代えて、各々硝酸第二鉄(実施
例3)、硝酸コバルト(実施例4)、硝酸ニッケル(実
施例5)を用いたこと以外は実施例1と同様にして、二
段仮焼および焼結を行い、順次P仮焼粉末および焼結ペ
レットを得、これらについてX線回析法によるペロブス
カイト率を算出した結果を表に示す。なお、B仮焼、P
仮焼および焼結は、表に示す所定の各温度で2時間行っ
た。
(比較例1) 酸化マグネシウム(宇部化学社製)および酸化ニオブ
(三井金属鉱業社製)の各粉末を MgNb2O6の組成になるように配合し、この配合物と純水
とジルコニアボール(5mmφ)とをポリアミド製ポット
に入れた後、該ポットをボールミルに設置して15時間湿
式混合し、次いで、ジルコニアボールを分離して乾燥
し、B仮焼した。このB仮焼粉末にPb(Mg1/3Nb2/3)O3
となるように酸化鉛(大日本塗料社製)を配合し、以
下、実施例1と同様にして、二段仮焼および焼結を行
い、順次P仮焼粉末および焼結ペレットを得、これらに
ついてX線回析法によるペロブスカイト率を算出した。
結果を表に示す。なお、B仮焼、P仮焼および焼結は、
表に示す所定の温度で2時間行った。
(比較例2〜4) 前記酸化マグネシウムに代えて、各々酸化第2鉄(レア
メタル社製)(比較例2)、酸化コバルト(和光純薬社
製)(比較例3)、酸化ニッケル(キシダ化学社製)
(比較例4)を用いたこと以外は比較例1と同様にし
て、二段仮焼および焼結を行い、順次P仮焼粉末および
焼結ペレットを得、これらについてX線回析法によりペ
ロブスカイト率を算出した。結果を表に示す。なお、B
仮焼、P仮焼および焼結は、表に示す所定の各温度で2
時間行った。
表に示すように、実施例1〜5で得た各焼結ペレットの
ペロブスカイト率はすべて100%であるのに対して、比
較例1〜4で得た各焼結ペレットのペロブスカイト率は
いずれも100%未満(96.5〜97.5%)と低い。
このことから、実施例で得たものは全て、ペロブスカイ
ト相のみからなるのに対して、比較例で得たものは全
て、ペロブスカイト相とパイロクロア相との混相からな
るものであることが確認された。
なお、上記実施例では、A成分を構成する元素のうち一
部のものについてのみ説明したが、他の成分についても
同様の結果が得られることはもとよりである。
〔発明の効果〕
以上、詳細に説明したように、本発明方法によれば、反
応性の低いA成分化合物とニオブ酸ゾルとを予め混合し
たものを用いるため、仮焼を低温で行うことができ、均
一微細な組成の易焼結性の原料粉末を得ることができ
る。その結果、その原料粉末をもとに微細なグレインサ
イズを有するセラミックスを製造することが可能にな
り、圧電体、半導体、センサー、オプトエレクトロニク
ス材、円板キャパシターの強誘電体等としての利用はも
とより、積層キャパシターの強誘電体としての利用等、
特に小型大容量化が要請される分野への本組成セラミッ
クスの適用が可能になる。
以上の如く、本発明は優れた特有の効果を奏するもので
ある。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安倍 一允 大阪府堺市戎島町5丁1番地 堺化学工業 株式会社内 (72)発明者 宇野 肇 大阪府堺市戎島町5丁1番地 堺化学工業 株式会社内 (72)発明者 白崎 信一 茨城県新治郡桜村竹園3―610―201

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】一般式Pb AX Nb1-XO3で表される鉛系ペロ
    ブスカイト型セラミックス(ただし式中、X=1/2また
    は1/3であって、AはFe、Co、Cr、Ni、Mn、Mg、Zn、C
    d、Zr、In、CuおよびHfの中から選ばれた少なくとも一
    種の元素である)の原料粉末の製造方法において、 前記Aの化合物とニオブ酸ゾルとの混合乾燥物を仮焼
    し、次いでこの仮焼物とPb化合物とを混合した後、仮焼
    することを特徴とする鉛系ペロブスカイト型セラミック
    スの原料粉末の製造方法。
  2. 【請求項2】前記ニオブ酸ゾルが、水酸化ニオブの強酸
    懸濁液と過酸化水素とを反応させて得られるペルオキシ
    ニオブ錯体の水溶液をゾル化して得られたものである請
    求項1記載の鉛系ペロブスカイト型セラミックスの原料
    粉末の製造方法。
  3. 【請求項3】前記ニオブ酸ゾルが、水酸化ニオブの強酸
    懸濁液と過酸化水素とを反応させて得られるペルオキシ
    ニオブ錯体の水溶液をゾル化した後、限外濾過して不純
    イオンを除去した精製ペルオキシニオブ酸ゾルである請
    求項1記載の鉛系ペロブスカイト型セラミックスの原料
    粉末の製造方法。
  4. 【請求項4】前記Aの化合物が、Aの水酸化物、または
    Aの塩をアルカリで中和した後、水洗して得られたもの
    である請求項1〜3のいずれかに記載の鉛系ペロブスカ
    イト型セラミックスの原料粉末の製造方法。
  5. 【請求項5】前記Aの化合物が、Aの塩の水溶液または
    アルコール溶液と陰イオン交換樹脂との陰イオン交換反
    応により得られたものである請求項1〜3のいずれかに
    記載の鉛系ペロブスカイト型セラミックスの原料粉末の
    製造方法。
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