JPH08100252A - 成膜装置 - Google Patents
成膜装置Info
- Publication number
- JPH08100252A JPH08100252A JP23665994A JP23665994A JPH08100252A JP H08100252 A JPH08100252 A JP H08100252A JP 23665994 A JP23665994 A JP 23665994A JP 23665994 A JP23665994 A JP 23665994A JP H08100252 A JPH08100252 A JP H08100252A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- container
- crucible
- metal material
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高性能な磁気記録媒体を効率良く得ることが
出来る技術を提供することにある。 【構成】 容器内の金属材料を蒸発させ、支持体に堆積
させることにより金属膜を構成する成膜装置であって、
前記容器の下方位置にて金属材料を受け取り、この金属
材料を前記容器の上方位置まで搬送して前記容器内に供
給するよう構成された供給手段を具備した成膜装置。
出来る技術を提供することにある。 【構成】 容器内の金属材料を蒸発させ、支持体に堆積
させることにより金属膜を構成する成膜装置であって、
前記容器の下方位置にて金属材料を受け取り、この金属
材料を前記容器の上方位置まで搬送して前記容器内に供
給するよう構成された供給手段を具備した成膜装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば磁気記録媒体の
製造装置に関する。
製造装置に関する。
【０００２】
【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体には、高密
度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けられる磁性
層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のものではな
く、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが提案さ
れている。すなわち、無電解メッキ等の湿式メッキ手
段、真空蒸着、スパッタリングあるいはイオンプレーテ
ィング等の乾式メッキ手段により磁性層を構成した磁気
記録媒体が提案されている。そして、この種の磁気記録
媒体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に
適したものである。
度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けられる磁性
層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のものではな
く、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが提案さ
れている。すなわち、無電解メッキ等の湿式メッキ手
段、真空蒸着、スパッタリングあるいはイオンプレーテ
ィング等の乾式メッキ手段により磁性層を構成した磁気
記録媒体が提案されている。そして、この種の磁気記録
媒体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に
適したものである。
【０００３】特に、蒸着手段により磁性膜を構成する手
段は、スパッタリングによる場合よりも成膜速度が速い
ことから好ましい。この蒸着手段による磁気記録媒体の
製造装置は、図４のように構成されているものが一般的
である。尚、図４中、２１は冷却キャンロール、２２は
ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの供給
側ロール、２３はＰＥＴフィルムの巻取側ロール、２４
は遮蔽板、２５はルツボ、２６は磁性合金、２７は電子
銃、２８は真空容器、２９は供給装置である。すなわ
ち、真空容器２８内を所定の真空度のものに排気した
後、電子銃２７を作動させてルツボ２５内の磁性合金２
６を蒸発させ、ＰＥＴフィルムに対して磁性合金２６を
堆積（蒸着）させることによって磁気記録媒体が製造さ
れている。
段は、スパッタリングによる場合よりも成膜速度が速い
ことから好ましい。この蒸着手段による磁気記録媒体の
製造装置は、図４のように構成されているものが一般的
である。尚、図４中、２１は冷却キャンロール、２２は
ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの供給
側ロール、２３はＰＥＴフィルムの巻取側ロール、２４
は遮蔽板、２５はルツボ、２６は磁性合金、２７は電子
銃、２８は真空容器、２９は供給装置である。すなわ
ち、真空容器２８内を所定の真空度のものに排気した
後、電子銃２７を作動させてルツボ２５内の磁性合金２
６を蒸発させ、ＰＥＴフィルムに対して磁性合金２６を
堆積（蒸着）させることによって磁気記録媒体が製造さ
れている。
【０００４】この製造装置において、長尺状のＰＥＴフ
ィルムに連続的に磁性材料を蒸着させる為には、溶湯面
の高さが一定となるよう蒸発により失われた磁性金属を
補給する必要があり、供給装置２９によってルツボ２５
に磁性合金の塊３０が供給されている。しかしながら、
従来の装置にあっては、磁性合金の塊３０がルツボ２５
に対して、その上方から落とし込まれるようになってい
たので、蒸発金属の付着による汚損や熱による影響で安
定した供給が出来ないことがある。
ィルムに連続的に磁性材料を蒸着させる為には、溶湯面
の高さが一定となるよう蒸発により失われた磁性金属を
補給する必要があり、供給装置２９によってルツボ２５
に磁性合金の塊３０が供給されている。しかしながら、
従来の装置にあっては、磁性合金の塊３０がルツボ２５
に対して、その上方から落とし込まれるようになってい
たので、蒸発金属の付着による汚損や熱による影響で安
定した供給が出来ないことがある。
【０００５】この為、ＰＥＴフィルム上に堆積する磁性
膜に欠陥が引き起こされ、高性能な磁気記録媒体の生産
効率が著しく低下する問題があった。
膜に欠陥が引き起こされ、高性能な磁気記録媒体の生産
効率が著しく低下する問題があった。
【０００６】
【発明の開示】本発明の目的は、高性能な磁気記録媒体
を効率良く得ることが出来る技術を提供することにあ
る。この本発明の目的は、容器内の金属材料を蒸発さ
せ、支持体に堆積させることにより金属膜を構成する成
膜装置であって、前記容器の下方位置にて金属材料を受
け取り、この金属材料を前記容器の上方位置まで搬送し
て前記容器内に供給するよう構成された供給手段を具備
してなることを特徴とする成膜装置によって達成され
る。
を効率良く得ることが出来る技術を提供することにあ
る。この本発明の目的は、容器内の金属材料を蒸発さ
せ、支持体に堆積させることにより金属膜を構成する成
膜装置であって、前記容器の下方位置にて金属材料を受
け取り、この金属材料を前記容器の上方位置まで搬送し
て前記容器内に供給するよう構成された供給手段を具備
してなることを特徴とする成膜装置によって達成され
る。
【０００７】尚、容器において金属材料が投入される側
の縁部には、ガイド板が立設されてなることが好まし
く、これによって特に効果的に蒸発金属の付着を防止す
ることが出来る。又、製造コストの面から供給手段をラ
ックピニオン機構により構成されることが好ましい。例
えば、供給手段に、金属材料の収納容器と、この収納容
器内の金属材料を案内するレールと、このレール端に設
けられたラックピニオン機構とを具備し、前記収納容器
内の金属材料をレールによりラックピニオン機構まで案
内し、この案内された金属材料をラックピニオン機構に
より容器の上方位置まで搬送するよう構成させたものを
例示することが出来る。
の縁部には、ガイド板が立設されてなることが好まし
く、これによって特に効果的に蒸発金属の付着を防止す
ることが出来る。又、製造コストの面から供給手段をラ
ックピニオン機構により構成されることが好ましい。例
えば、供給手段に、金属材料の収納容器と、この収納容
器内の金属材料を案内するレールと、このレール端に設
けられたラックピニオン機構とを具備し、前記収納容器
内の金属材料をレールによりラックピニオン機構まで案
内し、この案内された金属材料をラックピニオン機構に
より容器の上方位置まで搬送するよう構成させたものを
例示することが出来る。
【０００８】この本発明によれば、磁性材料の供給に際
して、磁性材料はルツボよりも低位置から搬送され、ル
ツボ内に投入されるよう構成しているから、熱や蒸発金
属の付着による不具合は起きない。この為、常にスムー
ズな金属材料の供給が可能で、磁性材料の蒸発が安定し
ており、支持体上に堆積する磁性膜に欠陥が引き起こさ
れ難く、高性能な磁気記録媒体が生産効率良く得られ、
磁気記録媒体が低コストで得られる。
して、磁性材料はルツボよりも低位置から搬送され、ル
ツボ内に投入されるよう構成しているから、熱や蒸発金
属の付着による不具合は起きない。この為、常にスムー
ズな金属材料の供給が可能で、磁性材料の蒸発が安定し
ており、支持体上に堆積する磁性膜に欠陥が引き起こさ
れ難く、高性能な磁気記録媒体が生産効率良く得られ、
磁気記録媒体が低コストで得られる。
【０００９】以下、本発明について実施例を挙げて説明
する。
する。
【００１０】
【実施例】図１〜図３は本発明に係る成膜装置の一実施
例を示すもので、図１は磁気記録媒体の製造装置全体の
概略図、図２及び図３は金属材料供給機構の作動状況を
示す側面図である。各図中、１は冷却キャンロール、２
はＰＥＴフィルムなどの非磁性の支持体、３ａは支持体
２の供給側ロール、３ｂは支持体２の巻取側ロール、４
は遮蔽板、５はＣｏ−Ｎｉ磁性合金、６は電子銃、７は
真空容器、８はルツボである。尚、これらの部分の構成
は周知であるから、詳細な説明は省略する。
例を示すもので、図１は磁気記録媒体の製造装置全体の
概略図、図２及び図３は金属材料供給機構の作動状況を
示す側面図である。各図中、１は冷却キャンロール、２
はＰＥＴフィルムなどの非磁性の支持体、３ａは支持体
２の供給側ロール、３ｂは支持体２の巻取側ロール、４
は遮蔽板、５はＣｏ−Ｎｉ磁性合金、６は電子銃、７は
真空容器、８はルツボである。尚、これらの部分の構成
は周知であるから、詳細な説明は省略する。
【００１１】９はルツボ８に供給されるＣｏ−Ｎｉ磁性
合金のペレットであり、供給がスムーズに行われるよ
う、直径が１０ｍｍ、高さが１２〜２０ｍｍの円柱状に
成形されている。１０はペレット収納容器、１１はルツ
ボ８内の溶融蒸発面よりも下方位置にセットされている
傾斜レール、１２は上下方向に変位可能に設けられたロ
ッドであり、このロッド１２の先端部はペレット収納容
器１０側からルツボ８側に向かって傾斜（例えば、円弧
状に傾斜）したものとなっている。
合金のペレットであり、供給がスムーズに行われるよ
う、直径が１０ｍｍ、高さが１２〜２０ｍｍの円柱状に
成形されている。１０はペレット収納容器、１１はルツ
ボ８内の溶融蒸発面よりも下方位置にセットされている
傾斜レール、１２は上下方向に変位可能に設けられたロ
ッドであり、このロッド１２の先端部はペレット収納容
器１０側からルツボ８側に向かって傾斜（例えば、円弧
状に傾斜）したものとなっている。
【００１２】１３は図示していない駆動手段によって回
転するピニオンであり、ロッド１２に形成されたラック
と噛合した状態で配置されており、これによってロッド
１２の上下動が行われるようになっている。１４はルツ
ボ８の縁部におけるペレット供給側に設けられたガイド
板であり、これによって一層効果的に金属材料供給機構
に対する蒸発金属の付着が防止される。
転するピニオンであり、ロッド１２に形成されたラック
と噛合した状態で配置されており、これによってロッド
１２の上下動が行われるようになっている。１４はルツ
ボ８の縁部におけるペレット供給側に設けられたガイド
板であり、これによって一層効果的に金属材料供給機構
に対する蒸発金属の付着が防止される。
【００１３】次に、上記のように構成させた装置を用い
て磁気記録媒体を製造する工程について説明する。先
ず、真空容器７内を所定の真空度のものに排気した後、
電子銃６を作動させてルツボ８内の磁性合金５を蒸発さ
せ、支持体２に対して磁性合金の粒子を斜め蒸着させ
る。そして、蒸発により磁性合金５が減って行くと、図
２に示す如く、降下した状態にあるロッド１２がピニオ
ン１３の回転によって押し上げられ、これによってロッ
ド先端部に載ったペレット９が投入位置まで搬送され
る。
て磁気記録媒体を製造する工程について説明する。先
ず、真空容器７内を所定の真空度のものに排気した後、
電子銃６を作動させてルツボ８内の磁性合金５を蒸発さ
せ、支持体２に対して磁性合金の粒子を斜め蒸着させ
る。そして、蒸発により磁性合金５が減って行くと、図
２に示す如く、降下した状態にあるロッド１２がピニオ
ン１３の回転によって押し上げられ、これによってロッ
ド先端部に載ったペレット９が投入位置まで搬送され
る。
【００１４】そして、図３に示す如く、ペレット９がガ
イド板１４を越えてルツボ８内に落下すると、ピニオン
１３が逆転して、ロッド１２は元の位置まで引き戻され
る。尚、この後退動作の終了直前、すなわちロッド１２
が再び図２に示す状態となった時点で、ロッド１２はペ
レット９を一つ受け取り、次のペレット供給が可能とな
る。
イド板１４を越えてルツボ８内に落下すると、ピニオン
１３が逆転して、ロッド１２は元の位置まで引き戻され
る。尚、この後退動作の終了直前、すなわちロッド１２
が再び図２に示す状態となった時点で、ロッド１２はペ
レット９を一つ受け取り、次のペレット供給が可能とな
る。
【００１５】このようにして蒸着作業が行われている
間、磁性合金が溶湯内に絶えず供給されるので、蒸着作
業の中断は起きず、効率良く磁性膜を形成出来、しかも
熱や蒸発金属の付着によって磁性合金材料の供給に不具
合が引き起こされる恐れもないので、高品質な磁気記録
媒体が歩留り良く製造される。尚、上記の説明は磁性膜
の形成についてのものであるが、バックコート膜を金属
薄膜で形成する場合にも同様に出来る。
間、磁性合金が溶湯内に絶えず供給されるので、蒸着作
業の中断は起きず、効率良く磁性膜を形成出来、しかも
熱や蒸発金属の付着によって磁性合金材料の供給に不具
合が引き起こされる恐れもないので、高品質な磁気記録
媒体が歩留り良く製造される。尚、上記の説明は磁性膜
の形成についてのものであるが、バックコート膜を金属
薄膜で形成する場合にも同様に出来る。
【００１６】
【効果】本発明によれば、熱や蒸発金属の付着に起因し
た金属材料供給の不具合が発生し難く、金属材料をルツ
ボ内へ確実、かつ、スムーズに供給出来るようになり、
従って安定した蒸発を長時間にわたって連続して行わせ
ることが出来、高品質な膜を効率よく得ることが出来、
例えば高性能な磁気記録媒体を低コストで得ることが出
来る。
た金属材料供給の不具合が発生し難く、金属材料をルツ
ボ内へ確実、かつ、スムーズに供給出来るようになり、
従って安定した蒸発を長時間にわたって連続して行わせ
ることが出来、高品質な膜を効率よく得ることが出来、
例えば高性能な磁気記録媒体を低コストで得ることが出
来る。
【図１】本発明に係る磁気記録媒体の製造装置全体の概
略図
略図
【図２】金属材料供給機構の作動状況を示す側面図
【図３】金属材料供給機構の作動状況を示す側面図
【図４】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略図
１ 冷却キャン ２ 支持体 ３ａ 供給側ロール ３ｂ 巻取側ロール ５ 磁性合金 ６ 電子銃 ７ 真空容器 ８ ルツボ ９ ペレット １０ ペレット収納容器 １１ レール １２ ロッド １３ ピニオン １４ ガイド板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 水野谷 博英 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内 (72)発明者 若林 繁美 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (4)
- 【請求項１】 容器内の金属材料を蒸発させ、支持体に
堆積させることにより金属膜を構成する成膜装置であっ
て、前記容器の下方位置にて金属材料を受け取り、この
金属材料を前記容器の上方位置まで搬送して前記容器内
に供給するよう構成された供給手段を具備してなること
を特徴とする成膜装置。 - 【請求項２】 容器において金属材料が供給される側の
縁部には、ガイド板が設けられてなることを特徴とする
請求項１記載の成膜装置。 - 【請求項３】 供給手段がラックピニオン機構を持つこ
と特徴とする請求項１または請求項２に記載の成膜装
置。 - 【請求項４】 供給手段は、金属材料の収納容器と、こ
の収納容器内の金属材料を案内するレールと、このレー
ル端に設けられたラックピニオン機構とを具備し、前記
収納容器内の金属材料をレールによりラックピニオン機
構まで案内し、この案内された金属材料をラックピニオ
ン機構により容器の上方位置まで搬送するよう構成され
てなること特徴とする請求項１〜請求項３いずれかに記
載の成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23665994A JPH08100252A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23665994A JPH08100252A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 成膜装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08100252A true JPH08100252A (ja) | 1996-04-16 |
Family
ID=17003892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23665994A Pending JPH08100252A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 成膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08100252A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100725039B1 (ko) * | 2005-10-27 | 2007-06-07 | 세메스 주식회사 | 유기물 증발기 및 유기물 증발방법, 그리고 상기 유기물 증발기를 구비하는 유기물 증착 장치 |
| KR100773567B1 (ko) * | 2006-07-06 | 2007-11-07 | 세메스 주식회사 | 증착물질 공급 장치 |
| CN106952717A (zh) * | 2017-03-21 | 2017-07-14 | 道真自治县金林科技有限公司 | 用于变压器加工的辅助装置 |
-
1994
- 1994-09-30 JP JP23665994A patent/JPH08100252A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100725039B1 (ko) * | 2005-10-27 | 2007-06-07 | 세메스 주식회사 | 유기물 증발기 및 유기물 증발방법, 그리고 상기 유기물 증발기를 구비하는 유기물 증착 장치 |
| KR100773567B1 (ko) * | 2006-07-06 | 2007-11-07 | 세메스 주식회사 | 증착물질 공급 장치 |
| CN106952717A (zh) * | 2017-03-21 | 2017-07-14 | 道真自治县金林科技有限公司 | 用于变压器加工的辅助装置 |
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