JPH0798864A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
- Publication number
- JPH0798864A JPH0798864A JP24467093A JP24467093A JPH0798864A JP H0798864 A JPH0798864 A JP H0798864A JP 24467093 A JP24467093 A JP 24467093A JP 24467093 A JP24467093 A JP 24467093A JP H0798864 A JPH0798864 A JP H0798864A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic material
- crucible
- magnetic
- inert gas
- melting tank
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- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 融解液のはね返りを抑制することができる磁
気記録媒体の製造装置を提供すること。 【構成】 本装置は、真空容器と、該真空容器内に配設
され一連の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材
の下方に配設され磁性材料の融解槽を有するルツボと、
該ルツボの磁性材料に電子ビームを照射するための電子
ビーム発生装置とを含む磁気記録媒体の製造装置におい
て、前記ルツボは、融解槽の上方より融解槽内液面の一
角に不活性ガスを吹付け可能なノズル手段と、該ノズル
手段に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段と、前
記液面の一角に磁性材料を供給する磁性材料供給手段を
具備することを特徴とする。
気記録媒体の製造装置を提供すること。 【構成】 本装置は、真空容器と、該真空容器内に配設
され一連の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材
の下方に配設され磁性材料の融解槽を有するルツボと、
該ルツボの磁性材料に電子ビームを照射するための電子
ビーム発生装置とを含む磁気記録媒体の製造装置におい
て、前記ルツボは、融解槽の上方より融解槽内液面の一
角に不活性ガスを吹付け可能なノズル手段と、該ノズル
手段に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段と、前
記液面の一角に磁性材料を供給する磁性材料供給手段を
具備することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁性材料の蒸気を蒸着
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体を製造する
装置に関し、特にそのルツボの構成に関するものであ
る。
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体を製造する
装置に関し、特にそのルツボの構成に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の蒸着型磁気記録媒体の製造装置と
して、真空容器と、この真空容器内に配設され一連の被
蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に配設
され磁性材料の融解槽を有するルツボと、このルツボの
磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生
装置とを含むものがある。そして、ルツボの融解槽内の
磁性材料に電子ビームを照射しこれにより磁性材料は電
子ビームの照射を受けて溶融し、蒸発を続け、その蒸気
を被蒸着材に蒸着していた。
して、真空容器と、この真空容器内に配設され一連の被
蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に配設
され磁性材料の融解槽を有するルツボと、このルツボの
磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生
装置とを含むものがある。そして、ルツボの融解槽内の
磁性材料に電子ビームを照射しこれにより磁性材料は電
子ビームの照射を受けて溶融し、蒸発を続け、その蒸気
を被蒸着材に蒸着していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】磁性材料の蒸発に伴
い、磁性材料を補充しなければならない。このとき、ル
ツボの上方より溶融した磁性材料の中にペレット状の磁
性材料を投入する際に、溶融した磁性材料がはね、それ
が被蒸着材に付着する虞がある。この「はね返り」は、
ペレット状の磁性材料がルツボの中に落下したことによ
る「はね返り」と、温度の低いペレット状磁性材料が高
温の溶融液の中に入ることにより引起こされる異状突沸
などによるルツボからの溶融物の飛出しによる「はね返
り」の総称である。
い、磁性材料を補充しなければならない。このとき、ル
ツボの上方より溶融した磁性材料の中にペレット状の磁
性材料を投入する際に、溶融した磁性材料がはね、それ
が被蒸着材に付着する虞がある。この「はね返り」は、
ペレット状の磁性材料がルツボの中に落下したことによ
る「はね返り」と、温度の低いペレット状磁性材料が高
温の溶融液の中に入ることにより引起こされる異状突沸
などによるルツボからの溶融物の飛出しによる「はね返
り」の総称である。
【０００４】この付着物は突起異物となり、この突起異
物があると、記録・再生時に磁気ヘッドがこれに乗り上
げて磁気ヘッドと被蒸着材の間が広くなりすぎ正常な記
録・再生ができなくなってしまう。
物があると、記録・再生時に磁気ヘッドがこれに乗り上
げて磁気ヘッドと被蒸着材の間が広くなりすぎ正常な記
録・再生ができなくなってしまう。
【０００５】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、磁性材料の
はね返りを阻止して被蒸着材上に適正な蒸着膜を形成す
るようにした新規な磁気記録媒体の製造装置を提供しよ
うとするものである。
れたものであり、その目的とするところは、磁性材料の
はね返りを阻止して被蒸着材上に適正な蒸着膜を形成す
るようにした新規な磁気記録媒体の製造装置を提供しよ
うとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体の
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボ
の磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発
生装置とを含む磁気記録媒体の製造装置において、前記
ルツボは、融解槽の上方より融解槽内液面の一角に不活
性ガスを吹付け可能なノズル手段と、該ノズル手段に不
活性ガスを供給する不活性ガス供給手段と、前記液面の
一角に磁性材料を供給する磁性材料供給手段とを具備す
ることを特徴とする。
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボ
の磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発
生装置とを含む磁気記録媒体の製造装置において、前記
ルツボは、融解槽の上方より融解槽内液面の一角に不活
性ガスを吹付け可能なノズル手段と、該ノズル手段に不
活性ガスを供給する不活性ガス供給手段と、前記液面の
一角に磁性材料を供給する磁性材料供給手段とを具備す
ることを特徴とする。
【０００７】本発明におけるノズル手段は、融解槽の上
方より融解槽内液面の一角に不活性ガスを吹付け可能に
構成されている。融解槽内液面の一角に不活性ガスを吹
付けることにより、液面の温度が下がり、その部分の溶
融液の粘度が高くなる。この粘度が高くなったところへ
磁性材料を供給することによって、溶融液のはね返りを
阻止しようとするものである。
方より融解槽内液面の一角に不活性ガスを吹付け可能に
構成されている。融解槽内液面の一角に不活性ガスを吹
付けることにより、液面の温度が下がり、その部分の溶
融液の粘度が高くなる。この粘度が高くなったところへ
磁性材料を供給することによって、溶融液のはね返りを
阻止しようとするものである。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明
する。
する。
【０００９】図１は、本発明による磁気記録媒体の製造
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、ルツボ３と、そして電子ビーム発生装置４とを
含んでいる。真空容器１は、その排出口２９が図示しな
い真空ポンプに接続され、この真空容器内に一連の被蒸
着材、すなわち合成樹脂製テープ５を走行させる走行装
置２が配設されている。走行装置２は、送りロール６
と、巻取りロール７と、そして冷却キャン８からなって
いる。ルツボ３は、冷却キャン８下方の所定位置に配設
されている。このルツボ３は、ＭｇＯより構成され２０
００℃程度までの高温に耐えられるようになっている。
またこのルツボ３は、融解槽９を備え、この融解槽９内
に磁性金属１０を収容している。電子ビーム発生装置４
は電子銃１１を備え、この電子銃１１から電子ビームを
発射し、この電子ビームを融解槽９内の磁性金属１０に
照射するようになっている。遮蔽板１２が冷却キャン８
の下方に冷却キャンに接近して配設され、この遮蔽板１
２は磁性金属１０蒸気のテープ５に対する蒸着領域を規
制している。
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、ルツボ３と、そして電子ビーム発生装置４とを
含んでいる。真空容器１は、その排出口２９が図示しな
い真空ポンプに接続され、この真空容器内に一連の被蒸
着材、すなわち合成樹脂製テープ５を走行させる走行装
置２が配設されている。走行装置２は、送りロール６
と、巻取りロール７と、そして冷却キャン８からなって
いる。ルツボ３は、冷却キャン８下方の所定位置に配設
されている。このルツボ３は、ＭｇＯより構成され２０
００℃程度までの高温に耐えられるようになっている。
またこのルツボ３は、融解槽９を備え、この融解槽９内
に磁性金属１０を収容している。電子ビーム発生装置４
は電子銃１１を備え、この電子銃１１から電子ビームを
発射し、この電子ビームを融解槽９内の磁性金属１０に
照射するようになっている。遮蔽板１２が冷却キャン８
の下方に冷却キャンに接近して配設され、この遮蔽板１
２は磁性金属１０蒸気のテープ５に対する蒸着領域を規
制している。
【００１０】ルツボ３は、融解槽９の上方より融解槽内
液面の一角に不活性ガスを吹付け可能なノズル手段と、
不活性ガス供給手段１４を具備している。ノズル手段１
３は、曲折部１５を介して先端１６が融解槽内液面の一
角に向けられているノズル管１８よりなっている。先端
１６は、細穴を有し、この細穴より不活性ガスを噴出す
るようになっている。
液面の一角に不活性ガスを吹付け可能なノズル手段と、
不活性ガス供給手段１４を具備している。ノズル手段１
３は、曲折部１５を介して先端１６が融解槽内液面の一
角に向けられているノズル管１８よりなっている。先端
１６は、細穴を有し、この細穴より不活性ガスを噴出す
るようになっている。
【００１１】不活性ガス供給手段１４は、前記ノズル管
１８に接続される供給管１９と、この供給管１９に配設
される流量調節弁２１と、供給管１９に接続される不活
性ガス供給源、すなわち不活性ガスを圧入したボンベ２
０よりなっている。ボンベ２０より供給された不活性ガ
スは、供給管１９、及びノズル管１８を通り、ノズル管
先端１６より噴出し、融解槽内液面の一角に吹付けるよ
うになっている。図２に示すように、不活性ガスの噴出
により、供給管１３附近の液面の温度が下がり、この部
分１５の粘度が高くなる。この粘度が高くなった部分１
５に磁性材料供給手段より、磁性材料が供給される。
１８に接続される供給管１９と、この供給管１９に配設
される流量調節弁２１と、供給管１９に接続される不活
性ガス供給源、すなわち不活性ガスを圧入したボンベ２
０よりなっている。ボンベ２０より供給された不活性ガ
スは、供給管１９、及びノズル管１８を通り、ノズル管
先端１６より噴出し、融解槽内液面の一角に吹付けるよ
うになっている。図２に示すように、不活性ガスの噴出
により、供給管１３附近の液面の温度が下がり、この部
分１５の粘度が高くなる。この粘度が高くなった部分１
５に磁性材料供給手段より、磁性材料が供給される。
【００１２】図３〜５に、磁性材料供給手段の概略図
と、その作動の様子を示す。磁性材料供給手段は、材料
搬送レール１６と、材料貯蔵槽１７と、仕切部材１８と
を含んでいる。材料搬送レール１６は樋状の部材で、材
料を搬送するべく傾斜しており、その一端が穴１９と連
絡しており、またその他端が高粘度の部分１５内に位置
している。仕切部材１８は、材料貯蔵槽１７を半径方向
に区切っており、その各区内にそれぞれペレツト状の磁
性金属１０が収容されている。この仕切部材１８は、中
心軸の周りを回転可能にされており、仕切部材１８が回
転することにより、仕切部材１８に押されて磁性金属１
０が穴１９に落とされ、材料搬送レール１６を通り（図
４）、融解槽９内の部分１５内に落とされる（図５）。
と、その作動の様子を示す。磁性材料供給手段は、材料
搬送レール１６と、材料貯蔵槽１７と、仕切部材１８と
を含んでいる。材料搬送レール１６は樋状の部材で、材
料を搬送するべく傾斜しており、その一端が穴１９と連
絡しており、またその他端が高粘度の部分１５内に位置
している。仕切部材１８は、材料貯蔵槽１７を半径方向
に区切っており、その各区内にそれぞれペレツト状の磁
性金属１０が収容されている。この仕切部材１８は、中
心軸の周りを回転可能にされており、仕切部材１８が回
転することにより、仕切部材１８に押されて磁性金属１
０が穴１９に落とされ、材料搬送レール１６を通り（図
４）、融解槽９内の部分１５内に落とされる（図５）。
【００１３】このように構成された本発明装置におい
て、磁性金属の蒸発に伴い、ペレット状の磁性金属１０
が磁性材料供給手段より供給される。先ず、供給管１３
によりその先端より不活性ガスを噴出させて、供給管１
３附近の液面の温度を下げ、高粘度の部分１５を形成す
る。次に、磁性材料供給手段の材料搬送レールより磁性
金属１０を融解槽９内に供給し、この磁性金属１０は粘
度が高くなった部分１５に落とされる。この部分１５は
粘度が高いために上から落としてもはね返りはほとんど
ない。また、この部分１５は、温度が比較的低いために
磁性金属１０を投入しても、異状突沸が回避される。
て、磁性金属の蒸発に伴い、ペレット状の磁性金属１０
が磁性材料供給手段より供給される。先ず、供給管１３
によりその先端より不活性ガスを噴出させて、供給管１
３附近の液面の温度を下げ、高粘度の部分１５を形成す
る。次に、磁性材料供給手段の材料搬送レールより磁性
金属１０を融解槽９内に供給し、この磁性金属１０は粘
度が高くなった部分１５に落とされる。この部分１５は
粘度が高いために上から落としてもはね返りはほとんど
ない。また、この部分１５は、温度が比較的低いために
磁性金属１０を投入しても、異状突沸が回避される。
【００１４】送りロール６より送り出されてこの蒸発領
域内に入ったテープ５は、磁性金属蒸気の蒸着を受けな
がら冷却キャン上を円周方向に回転し、その間に磁性膜
がテープ上に形成され、巻取りロール７により巻取られ
る。
域内に入ったテープ５は、磁性金属蒸気の蒸着を受けな
がら冷却キャン上を円周方向に回転し、その間に磁性膜
がテープ上に形成され、巻取りロール７により巻取られ
る。
【００１５】
【発明の効果】本発明は、以上述べたように構成されて
いるので、磁性材料を供給するに際し、磁性材料の融解
液のはね返りの少ない磁気記録媒体の製造装置が実現で
き、その結果良質の磁気記録媒体が得られるものであ
る。
いるので、磁性材料を供給するに際し、磁性材料の融解
液のはね返りの少ない磁気記録媒体の製造装置が実現で
き、その結果良質の磁気記録媒体が得られるものであ
る。
【図１】本発明による磁気記録媒体の製造装置の構成
図。
図。
【図２】本装置に備るルツボの平面図。
【図３】本装置に備る磁性材料供給手段の作動の様子を
示す概略図。
示す概略図。
【図４】本装置に備る磁性材料供給手段の作動の様子を
示す概略図。
示す概略図。
【図５】本装置に備る磁性材料供給手段の作動の様子を
示す概略図。
示す概略図。
１ 真空容器 ２ 走行装置 ３ ルツボ ４ 電子ビーム発生装置 ５ テープ（被蒸着材） ８ 冷却キャン １０ 磁性金属 １３ 不活性ガス供給管 １５ 高粘度部分 １６ 材料搬送レール １７ 材料貯蔵槽 １８ 仕切部材 １９ 穴
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606番地 花 王株式会社情報科学研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料の融解槽を有するルツボと、該ルツボ
の磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発
生装置とを含む磁気記録媒体の製造装置において、 前記ルツボは、融解槽の上方より融解槽内液面の一角に
不活性ガスを吹付け可能なノズル手段と、該ノズル手段
に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段と、前記液
面の一角に磁性材料を供給する磁性材料供給手段とを具
備することを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24467093A JPH0798864A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24467093A JPH0798864A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0798864A true JPH0798864A (ja) | 1995-04-11 |
Family
ID=17122207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24467093A Pending JPH0798864A (ja) | 1993-09-30 | 1993-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0798864A (ja) |
-
1993
- 1993-09-30 JP JP24467093A patent/JPH0798864A/ja active Pending
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