JPH08101298A - 放射光取出し弁および放射光取出し装置 - Google Patents
放射光取出し弁および放射光取出し装置Info
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- JPH08101298A JPH08101298A JP26197294A JP26197294A JPH08101298A JP H08101298 A JPH08101298 A JP H08101298A JP 26197294 A JP26197294 A JP 26197294A JP 26197294 A JP26197294 A JP 26197294A JP H08101298 A JPH08101298 A JP H08101298A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 放射光の波長に応じて複数の光取り出しライ
ンを必要とせず、１本の光取り出しラインで波長領域の
異なる光を取り出すことができ、しかも切り換えを簡単
に行うことができる放射光取出し弁および放射光取出し
装置を提供することにある。 【構成】 光取り出しライン２６に開閉可能かつ真空封
止可能な放射光取出し弁４０のゲートバルブ４１を設
け、このゲートバルブ４１の弁体４４に貫通孔４５をあ
けて硬Ｘ線を透過し得る金属膜４７を取付けるようにす
る。ゲートバルブ４１を操作することにより硬Ｘ線の場
合には、弁体４４を閉じて真空封止状態で金属膜４７を
介して透過する放射光を利用し、軟Ｘ線の場合には、弁
体４４を開けて金属膜４７のない単なる真空チャンバの
状態で放射光を利用する。これにより、１本の光取り出
しライン２６で広範囲の放射光を利用することができる
とともに、切り換えもバルブの開閉で簡単に行うことが
できる。
ンを必要とせず、１本の光取り出しラインで波長領域の
異なる光を取り出すことができ、しかも切り換えを簡単
に行うことができる放射光取出し弁および放射光取出し
装置を提供することにある。 【構成】 光取り出しライン２６に開閉可能かつ真空封
止可能な放射光取出し弁４０のゲートバルブ４１を設
け、このゲートバルブ４１の弁体４４に貫通孔４５をあ
けて硬Ｘ線を透過し得る金属膜４７を取付けるようにす
る。ゲートバルブ４１を操作することにより硬Ｘ線の場
合には、弁体４４を閉じて真空封止状態で金属膜４７を
介して透過する放射光を利用し、軟Ｘ線の場合には、弁
体４４を開けて金属膜４７のない単なる真空チャンバの
状態で放射光を利用する。これにより、１本の光取り出
しライン２６で広範囲の放射光を利用することができる
とともに、切り換えもバルブの開閉で簡単に行うことが
できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、放射光取出し弁およ
び放射光取出し装置に関し、１本の放射光取り出しライ
ンに介装して波長の長い軟Ｘ線から短い硬Ｘ線までの広
範囲の放射光を簡単に切り換えて取り出すことができる
ようにしたものである。
び放射光取出し装置に関し、１本の放射光取り出しライ
ンに介装して波長の長い軟Ｘ線から短い硬Ｘ線までの広
範囲の放射光を簡単に切り換えて取り出すことができる
ようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、粒子加速器の研究開発に伴ない、
取り出される放射光を利用して超々ＬＳＩ回路の作成、
医療分野における診断、分子解析、構造解析等様々な分
野への適用が期待されている。
取り出される放射光を利用して超々ＬＳＩ回路の作成、
医療分野における診断、分子解析、構造解析等様々な分
野への適用が期待されている。
【０００３】例えば小型の粒子加速器の一つであるシク
ロトロン放射光（ＳＯＲ光）装置は、その概要を図４に
示すように、電子発生装置（電子銃等）１０で発生した
電子ビームが直線加速器（ライナック）１２で光速近く
に加速され、ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６で偏向
されて、インフレクタ１８を介してシンクロトロンの蓄
積リング２２内に入射される。蓄積リング２２に入射さ
れた電子ビームは高周波加速空洞２１でエネルギを与え
られながら収束電磁石２３で収束され、偏向電磁石２４
で偏向されて真空ダクトで構成された蓄積リング２２内
を周回し続け、蓄積された状態になる。偏向電磁石２４
で偏向される時に発生するＳＯＲ光２９は光取り出しラ
イン２６先端の窓３２を通して出射される。
ロトロン放射光（ＳＯＲ光）装置は、その概要を図４に
示すように、電子発生装置（電子銃等）１０で発生した
電子ビームが直線加速器（ライナック）１２で光速近く
に加速され、ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６で偏向
されて、インフレクタ１８を介してシンクロトロンの蓄
積リング２２内に入射される。蓄積リング２２に入射さ
れた電子ビームは高周波加速空洞２１でエネルギを与え
られながら収束電磁石２３で収束され、偏向電磁石２４
で偏向されて真空ダクトで構成された蓄積リング２２内
を周回し続け、蓄積された状態になる。偏向電磁石２４
で偏向される時に発生するＳＯＲ光２９は光取り出しラ
イン２６先端の窓３２を通して出射される。
【０００４】このＳＯＲ光２９の出射用の窓３２は、光
取り出しライン２６内部の高真空と外部の低真空または
大気を遮断しながらＳＯＲ光２９を出射する機能を必要
とするもので、ＳＯＲ光２９の透過率が高くかつ機械的
強度が強いベリリウム等の薄い金属膜を用いて構成され
た窓（以下、金属膜窓３２とする。）となっている。
取り出しライン２６内部の高真空と外部の低真空または
大気を遮断しながらＳＯＲ光２９を出射する機能を必要
とするもので、ＳＯＲ光２９の透過率が高くかつ機械的
強度が強いベリリウム等の薄い金属膜を用いて構成され
た窓（以下、金属膜窓３２とする。）となっている。
【０００５】こうして出射されたＳＯＲ光２９は、例え
ば露光装置２８に送られて超々ＬＳＩ回路作成用の光源
等として利用される。
ば露光装置２８に送られて超々ＬＳＩ回路作成用の光源
等として利用される。
【０００６】このような超々ＬＳＩ回路作成用の光源と
して利用される放射光は、波長が５〜１０オングストロ
ーム程度の短い硬Ｘ線領域のものであり、ベリリウム等
の金属膜窓３２を介して光取り出しライン２６から取り
出すようにしても必要な光を取り出すことができるとと
もに、不要な光を除去することができる。
して利用される放射光は、波長が５〜１０オングストロ
ーム程度の短い硬Ｘ線領域のものであり、ベリリウム等
の金属膜窓３２を介して光取り出しライン２６から取り
出すようにしても必要な光を取り出すことができるとと
もに、不要な光を除去することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、大型の放射
光装置では、波長が短い硬Ｘ線（波長が０．０１〜１オ
ングストローム）から波長の長い軟Ｘ線（波長が１〜１
００オングストローム）までの広範囲の放射光を利用す
ることが考えられており、波長の長い軟Ｘ線をベリリウ
ム等の金属膜窓を介して取り出そうとすると、波長が長
くなるほど透過し難くなり、利用することができないと
いう問題がある。
光装置では、波長が短い硬Ｘ線（波長が０．０１〜１オ
ングストローム）から波長の長い軟Ｘ線（波長が１〜１
００オングストローム）までの広範囲の放射光を利用す
ることが考えられており、波長の長い軟Ｘ線をベリリウ
ム等の金属膜窓を介して取り出そうとすると、波長が長
くなるほど透過し難くなり、利用することができないと
いう問題がある。
【０００８】このため光取り出しライン２６を放射光の
波長に応じて複数本設置しなければならなくなったり、
あるいは光取り出しライン２６先端のフランジに取付け
てある金属膜窓３２を取り外し、金属窓のない単なるチ
ャンバの状態にして放射光を利用する装置と連結する必
要があり、遠隔操作で取り外すことが出来ないため、光
り取り出しライン２６のところで作業者が着脱しなけれ
ばならないという問題がある。
波長に応じて複数本設置しなければならなくなったり、
あるいは光取り出しライン２６先端のフランジに取付け
てある金属膜窓３２を取り外し、金属窓のない単なるチ
ャンバの状態にして放射光を利用する装置と連結する必
要があり、遠隔操作で取り外すことが出来ないため、光
り取り出しライン２６のところで作業者が着脱しなけれ
ばならないという問題がある。
【０００９】この発明は、かかる課題に鑑みてなされた
もので、放射光の波長に応じて複数の光取り出しライン
を必要とせず、１本の光取り出しラインで波長領域の異
なる光を取り出すことができ、しかも切り換えを簡単に
行うことができる放射光取出し弁および放射光取出し装
置を提供しようとするものである。
もので、放射光の波長に応じて複数の光取り出しライン
を必要とせず、１本の光取り出しラインで波長領域の異
なる光を取り出すことができ、しかも切り換えを簡単に
行うことができる放射光取出し弁および放射光取出し装
置を提供しようとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明の放射光取出し
弁は、真空チャンバーを構成するゲートバルブの弁室
と、この弁室内の弁座に挿脱されて真空チェンバーを遮
断し得る弁体と、この弁体に形成された貫通孔に設けら
れて硬Ｘ線を透過し得る金属膜と、前記弁体の前記金属
膜の周囲に設けられて当該金属膜を冷却する冷却管とか
らなることを特徴とするものである。
弁は、真空チャンバーを構成するゲートバルブの弁室
と、この弁室内の弁座に挿脱されて真空チェンバーを遮
断し得る弁体と、この弁体に形成された貫通孔に設けら
れて硬Ｘ線を透過し得る金属膜と、前記弁体の前記金属
膜の周囲に設けられて当該金属膜を冷却する冷却管とか
らなることを特徴とするものである。
【００１１】また、この発明の放射光取出し装置は、蓄
積リングから出射される放射光を取り出す放射光取出し
装置において、放射光取り出しラインに軟Ｘ線取出時に
開放し得る開閉可能かつ真空封止可能なゲートバルブを
設け、このゲートバルブの弁体に貫通孔を形成し、この
貫通孔に真空封止可能かつ硬Ｘ線を透過し得る金属膜を
取付けたことを特徴とするものである。
積リングから出射される放射光を取り出す放射光取出し
装置において、放射光取り出しラインに軟Ｘ線取出時に
開放し得る開閉可能かつ真空封止可能なゲートバルブを
設け、このゲートバルブの弁体に貫通孔を形成し、この
貫通孔に真空封止可能かつ硬Ｘ線を透過し得る金属膜を
取付けたことを特徴とするものである。
【００１２】
【作用】この発明の放射光取出し弁によれば、ゲートバ
ルブの弁室を真空チャンバーで構成して弁体に貫通孔を
あけて硬Ｘ線を透過し得る金属膜を取付け、この金属膜
の周囲の弁帯に冷却管を配置して冷却できるようにして
おり、ゲートバルブと同様の弁体の操作により硬Ｘ線の
場合には、バルブを閉じて真空封止状態で金属膜を介し
て透過する放射光を利用でき、軟Ｘ線の場合には、バル
ブを開けて金属膜のない単なる真空チャンバーの状態で
放射光を利用でき、１本の光り取り出しラインで済み、
切換えも弁体の開閉で簡単にできるとともに、放射光取
出しに伴う金属膜の加熱を冷却できるようにしている。
ルブの弁室を真空チャンバーで構成して弁体に貫通孔を
あけて硬Ｘ線を透過し得る金属膜を取付け、この金属膜
の周囲の弁帯に冷却管を配置して冷却できるようにして
おり、ゲートバルブと同様の弁体の操作により硬Ｘ線の
場合には、バルブを閉じて真空封止状態で金属膜を介し
て透過する放射光を利用でき、軟Ｘ線の場合には、バル
ブを開けて金属膜のない単なる真空チャンバーの状態で
放射光を利用でき、１本の光り取り出しラインで済み、
切換えも弁体の開閉で簡単にできるとともに、放射光取
出しに伴う金属膜の加熱を冷却できるようにしている。
【００１３】また、この発明の放射光取出し装置によれ
ば、光取り出しラインに開閉可能かつ真空封止可能なゲ
ートバルブを設け、このゲートバルブの弁体に貫通孔を
あけて硬Ｘ線を透過し得る金属膜を取付けるようにして
おり、ゲートバルブを操作することにより硬Ｘ線の場合
には、バルブを閉じて真空封止状態で金属膜を介して透
過する放射光を利用でき、軟Ｘ線の場合には、バルブを
開けて金属膜のないチャンバの状態で放射光を利用でき
るようになり、１本の光り取り出しラインで済み、切換
えもゲートバルブの開閉で簡単にできるようにしてい
る。
ば、光取り出しラインに開閉可能かつ真空封止可能なゲ
ートバルブを設け、このゲートバルブの弁体に貫通孔を
あけて硬Ｘ線を透過し得る金属膜を取付けるようにして
おり、ゲートバルブを操作することにより硬Ｘ線の場合
には、バルブを閉じて真空封止状態で金属膜を介して透
過する放射光を利用でき、軟Ｘ線の場合には、バルブを
開けて金属膜のないチャンバの状態で放射光を利用でき
るようになり、１本の光り取り出しラインで済み、切換
えもゲートバルブの開閉で簡単にできるようにしてい
る。
【００１４】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面に基づき詳
細に説明する。図１および図２はこの発明の放射光取出
し弁の一実施例にかかり、図１は放射光取出し弁の断面
図及び正面図、図２は放射光取出し弁の部分斜視図であ
る。
細に説明する。図１および図２はこの発明の放射光取出
し弁の一実施例にかかり、図１は放射光取出し弁の断面
図及び正面図、図２は放射光取出し弁の部分斜視図であ
る。
【００１５】この放射光取出し弁４０は、波長が短い硬
Ｘ線領域の放射光から波長が長い軟Ｘ線領域の放射光ま
での広範囲の放射光を１本の光取り出しライン２６（図
４参照）で取り出すために設置されて切り替えて使用さ
れるものである。
Ｘ線領域の放射光から波長が長い軟Ｘ線領域の放射光ま
での広範囲の放射光を１本の光取り出しライン２６（図
４参照）で取り出すために設置されて切り替えて使用さ
れるものである。
【００１６】この放射光取出し弁４０は、光取り出しラ
イン２６の先端部に設けられるゲートバルブ４１で構成
される。
イン２６の先端部に設けられるゲートバルブ４１で構成
される。
【００１７】この放射光取出し弁４０であるゲートバル
ブ４１の弁室４２が真空チャンバーとして真空封止がで
きるように作られ、弁室４２の両側に弁座４３が形成し
てあり、ゲートバルブ４１の弁体４４を閉じて弁座４３
の両側に密着させることで上流側と下流側との真空封止
ができるようにしてある。
ブ４１の弁室４２が真空チャンバーとして真空封止がで
きるように作られ、弁室４２の両側に弁座４３が形成し
てあり、ゲートバルブ４１の弁体４４を閉じて弁座４３
の両側に密着させることで上流側と下流側との真空封止
ができるようにしてある。
【００１８】このゲートバルブ４１の弁体４４には、放
射光取り出しライン２６の上流側と下流側とを貫通させ
る貫通孔４５が形成され、弁体４４を閉じた状態でも放
射光の光路が形成できるようにしてある。そして、この
弁体４４の下流側には、貫通孔４５より大きい径の凹部
４６が形成してあり、この凹部４６に波長の短い硬Ｘ線
領域の放射光を透過させることができるとともに、真空
封止ができるベリリウム等の金属膜４７が取付け枠４８
を介してボルト４９等で取付けてある。
射光取り出しライン２６の上流側と下流側とを貫通させ
る貫通孔４５が形成され、弁体４４を閉じた状態でも放
射光の光路が形成できるようにしてある。そして、この
弁体４４の下流側には、貫通孔４５より大きい径の凹部
４６が形成してあり、この凹部４６に波長の短い硬Ｘ線
領域の放射光を透過させることができるとともに、真空
封止ができるベリリウム等の金属膜４７が取付け枠４８
を介してボルト４９等で取付けてある。
【００１９】また、この弁体４４に取付けた金属膜４７
を冷却する必要があるため、金属膜４７の周囲を囲むよ
うに冷却管５０が配置され、冷却管５０の両端部が弁体
４４の上部に導き出され、弁体４４の開閉に対応できる
ように伸縮管５１を介して密閉状態の弁室４２の外側に
固定された冷却水入口５２および出口５３に接続してあ
る。
を冷却する必要があるため、金属膜４７の周囲を囲むよ
うに冷却管５０が配置され、冷却管５０の両端部が弁体
４４の上部に導き出され、弁体４４の開閉に対応できる
ように伸縮管５１を介して密閉状態の弁室４２の外側に
固定された冷却水入口５２および出口５３に接続してあ
る。
【００２０】さらに、弁体４４と一体の弁棒５４を介し
て弁体４４を開閉するため開閉機構５５が弁室４２の上
部に取付けてあり、遠隔操作によって弁体４４の開閉が
できるようにしてある。このようにしてこの発明の放射
光取出し弁４０が構成される。
て弁体４４を開閉するため開閉機構５５が弁室４２の上
部に取付けてあり、遠隔操作によって弁体４４の開閉が
できるようにしてある。このようにしてこの発明の放射
光取出し弁４０が構成される。
【００２１】次に、この発明の放射光取出し装置６０
は、図３にその一実施例を示すように、上記構成の放射
光取出し弁４０のゲートバルブ４１の弁室４２の両端部
のフランジ５６を介して上流側に放射光取り出しライン
２６が接続されるとともに、この放射光取出し弁４０の
下流側に利用する放射光の波長によって波長の短い硬Ｘ
線を利用する場合には、大気状態で使用する実験装置６
１などが接続され、波長の長い軟Ｘ線を利用する場合に
は、真空状態で使用する実験装置６２などが接続されて
構成される。
は、図３にその一実施例を示すように、上記構成の放射
光取出し弁４０のゲートバルブ４１の弁室４２の両端部
のフランジ５６を介して上流側に放射光取り出しライン
２６が接続されるとともに、この放射光取出し弁４０の
下流側に利用する放射光の波長によって波長の短い硬Ｘ
線を利用する場合には、大気状態で使用する実験装置６
１などが接続され、波長の長い軟Ｘ線を利用する場合に
は、真空状態で使用する実験装置６２などが接続されて
構成される。
【００２２】なお、この放射光取出し装置６０では、放
射光取出し弁４０のゲートバルブ４１より上流側の光取
り出しライン２６には、金属膜４７の破損などによる空
気の流入や真空状態で使用する実験装置６１の破損など
による空気の流入による放射光装置への影響を極力少な
くするため、衝撃波遅延管や高速遮断弁あるいは通常の
ゲートバルブが必要に応じて設置してある。
射光取出し弁４０のゲートバルブ４１より上流側の光取
り出しライン２６には、金属膜４７の破損などによる空
気の流入や真空状態で使用する実験装置６１の破損など
による空気の流入による放射光装置への影響を極力少な
くするため、衝撃波遅延管や高速遮断弁あるいは通常の
ゲートバルブが必要に応じて設置してある。
【００２３】このような放射光取出し弁４０およびこの
放射光取出し弁４０を備えた放射光取出し装置６０によ
れば、放射光のうち波長が短い硬Ｘ線領域の放射光を用
いる場合には、波長が短くベリリウムの金属薄膜で形成
した金属膜４７を放射光が透過することができ、しかも
不要な光を除去することもできるので、放射光取出し弁
４０のゲートバルブ４１の弁体４４を閉じた状態として
使用する。
放射光取出し弁４０を備えた放射光取出し装置６０によ
れば、放射光のうち波長が短い硬Ｘ線領域の放射光を用
いる場合には、波長が短くベリリウムの金属薄膜で形成
した金属膜４７を放射光が透過することができ、しかも
不要な光を除去することもできるので、放射光取出し弁
４０のゲートバルブ４１の弁体４４を閉じた状態として
使用する。
【００２４】この放射光取出し弁４０のゲートバルブ４
１の弁体４４を閉じた状態では、弁体４４で放射光取り
出しライン２６の上流側を真空遮断した状態にでき、し
かも弁体４４に形成した貫通孔４５を塞ぐベリリウムの
金属膜４７を透過させて放射光を取り出すことができ
る。
１の弁体４４を閉じた状態では、弁体４４で放射光取り
出しライン２６の上流側を真空遮断した状態にでき、し
かも弁体４４に形成した貫通孔４５を塞ぐベリリウムの
金属膜４７を透過させて放射光を取り出すことができ
る。
【００２５】一方、放射光のうち波長が長い軟Ｘ線領域
の放射光を用いる場合には、波長が長くベリリウムの金
属薄膜で形成した金属膜４７で必要な放射光が遮られて
透過することができなくなる。
の放射光を用いる場合には、波長が長くベリリウムの金
属薄膜で形成した金属膜４７で必要な放射光が遮られて
透過することができなくなる。
【００２６】そこで、光取り出しライン２６に設置した
放射光取出し弁４０のゲートバルブ４１の弁体４４を開
いた状態として使用する。
放射光取出し弁４０のゲートバルブ４１の弁体４４を開
いた状態として使用する。
【００２７】この放射光取出し弁４０のゲートバルブ４
１の弁体４４を開いた状態では、弁体４４が弁室４２の
上方に引き上げられた状態となり、ゲートバルブ４１の
上流側と下流側とが直接接続され、通常の真空チャンバ
と同一の状態として真空状態の実験装置６１などで放射
光を取り出して利用することができる。
１の弁体４４を開いた状態では、弁体４４が弁室４２の
上方に引き上げられた状態となり、ゲートバルブ４１の
上流側と下流側とが直接接続され、通常の真空チャンバ
と同一の状態として真空状態の実験装置６１などで放射
光を取り出して利用することができる。
【００２８】したがって、この放射光取出し弁４０およ
びこの放射光取出し弁４０を備えた放射光取出し装置６
０によれば、放射光装置から取り出される波長の長い軟
Ｘ線から短い硬Ｘ線にいたる広範囲の放射光を１本の光
取り出しライン２６で利用することができるとともに、
波長に応じて放射光取出し弁４０のゲートバルブ４１を
操作するだけで良く、簡単に切り換えることができる。
びこの放射光取出し弁４０を備えた放射光取出し装置６
０によれば、放射光装置から取り出される波長の長い軟
Ｘ線から短い硬Ｘ線にいたる広範囲の放射光を１本の光
取り出しライン２６で利用することができるとともに、
波長に応じて放射光取出し弁４０のゲートバルブ４１を
操作するだけで良く、簡単に切り換えることができる。
【００２９】
【発明の効果】以上、一実施例とともに具体的に説明し
たように、この発明の放射光取出し弁によれば、ゲート
バルブの弁室を真空チャンバーで構成して弁体に貫通孔
をあけて硬Ｘ線を透過し得る金属膜を取付け、この金属
膜の周囲の弁体に冷却管を配置して冷却できるようにし
たので、ゲートバルブと同様の弁体の操作により硬Ｘ線
の場合には、バルブを閉じて真空封止状態で金属膜を介
して透過する放射光を利用でき、軟Ｘ線の場合には、バ
ルブを開けて金属膜のない単なる真空チャンバーの状態
で放射光を利用でき、１本の光り取り出しラインで広範
囲の放射光の利用ができ、切換えも弁体の開閉で簡単に
できるとともに、放射光取出しに伴う金属膜の加熱を冷
却管への冷却液の供給排出により冷却することができ、
金属膜の信頼性を向上できる。
たように、この発明の放射光取出し弁によれば、ゲート
バルブの弁室を真空チャンバーで構成して弁体に貫通孔
をあけて硬Ｘ線を透過し得る金属膜を取付け、この金属
膜の周囲の弁体に冷却管を配置して冷却できるようにし
たので、ゲートバルブと同様の弁体の操作により硬Ｘ線
の場合には、バルブを閉じて真空封止状態で金属膜を介
して透過する放射光を利用でき、軟Ｘ線の場合には、バ
ルブを開けて金属膜のない単なる真空チャンバーの状態
で放射光を利用でき、１本の光り取り出しラインで広範
囲の放射光の利用ができ、切換えも弁体の開閉で簡単に
できるとともに、放射光取出しに伴う金属膜の加熱を冷
却管への冷却液の供給排出により冷却することができ、
金属膜の信頼性を向上できる。
【００３０】また、この発明の放射光取出し装置によれ
ば、光取り出しラインに開閉可能かつ真空封止可能なゲ
ートバルブを設け、このゲートバルブの弁体に貫通孔を
あけて硬Ｘ線を透過し得る金属膜を取付けるようにした
ので、ゲートバルブを操作することにより硬Ｘ線の場合
には、バルブを閉じて真空封止状態で金属膜を介して透
過する放射光を利用でき、軟Ｘ線の場合には、バルブを
開けて金属膜のない単なる真空チャンバの状態で放射光
を利用できるようになり、１本の光取り出しラインで広
範囲の放射光を利用することができるとともに、切り換
えもバルブの開閉で簡単に行うことができる。
ば、光取り出しラインに開閉可能かつ真空封止可能なゲ
ートバルブを設け、このゲートバルブの弁体に貫通孔を
あけて硬Ｘ線を透過し得る金属膜を取付けるようにした
ので、ゲートバルブを操作することにより硬Ｘ線の場合
には、バルブを閉じて真空封止状態で金属膜を介して透
過する放射光を利用でき、軟Ｘ線の場合には、バルブを
開けて金属膜のない単なる真空チャンバの状態で放射光
を利用できるようになり、１本の光取り出しラインで広
範囲の放射光を利用することができるとともに、切り換
えもバルブの開閉で簡単に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の放射光取出し弁の一実施例にかかる
断面図及び正面図である。
断面図及び正面図である。
【図２】この発明の放射光取出し弁の一実施例にかかる
部分斜視図である。
部分斜視図である。
【図３】この発明の放射光取出し装置の一実施例にかか
る放射光取出し弁を閉じた状態と開いた状態の断面図で
ある。
る放射光取出し弁を閉じた状態と開いた状態の断面図で
ある。
【図４】この発明が適用される放射光装置の一例の概要
を示す平面図である。
を示す平面図である。
２６ 光取り出しライン ２９ ＳＯＲ光 ３２ 金属膜窓 ４０ 放射光取出し弁 ４１ ゲートバルブ ４２ 弁室 ４３ 弁座 ４４ 弁体 ４５ 貫通孔 ４６ 凹部 ４７ 金属膜 ４８ 取付枠 ４９ ボルト ５０ 冷却管 ５１ 伸縮管 ５２ 冷却水入口 ５３ 冷却水出口 ５４ 弁棒 ５５ 開閉機構 ５６ フランジ ６０ 放射光取出し装置 ６１ 大気状態の実験装置 ６２ 真空状態の実験装置
Claims (2)
- 【請求項１】 真空チャンバーを構成するゲートバルブ
の弁室と、この弁室内の弁座に挿脱されて真空チェンバ
ーを遮断し得る弁体と、この弁体に形成された貫通孔に
設けられて硬Ｘ線を透過し得る金属膜と、前記弁体の前
記金属膜の周囲に設けられて当該金属膜を冷却する冷却
管とからなることを特徴とする放射光取出し弁。 - 【請求項２】 蓄積リングから出射される放射光を取り
出す放射光取出し装置において、放射光取り出しライン
に軟Ｘ線取出時に開放し得る開閉可能かつ真空封止可能
なゲートバルブを設け、このゲートバルブの弁体に貫通
孔を形成し、この貫通孔に真空封止可能かつ硬Ｘ線を透
過し得る金属膜を取付けたことを特徴とする放射光取出
し装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26197294A JPH08101298A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 放射光取出し弁および放射光取出し装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26197294A JPH08101298A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 放射光取出し弁および放射光取出し装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08101298A true JPH08101298A (ja) | 1996-04-16 |
Family
ID=17369225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26197294A Pending JPH08101298A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 放射光取出し弁および放射光取出し装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08101298A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003017300A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-17 | Neis Co Ltd | ゲートバルブ |
| JP2017167030A (ja) * | 2016-03-17 | 2017-09-21 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | Ｘ線分析装置 |
-
1994
- 1994-09-30 JP JP26197294A patent/JPH08101298A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003017300A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-17 | Neis Co Ltd | ゲートバルブ |
| JP2017167030A (ja) * | 2016-03-17 | 2017-09-21 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | Ｘ線分析装置 |
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