JPH08123018A

JPH08123018A - 感光性フィルム

Info

Publication number: JPH08123018A
Application number: JP25524294A
Authority: JP
Inventors: Jinko Kimura; 仁子木村; Taku Kawaguchi; 卓川口; Kazutaka Masaoka; 和隆正岡
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Resonac Corp
Priority date: 1994-10-20
Filing date: 1994-10-20
Publication date: 1996-05-17
Anticipated expiration: 2020-01-26
Also published as: JP3614896B2

Abstract

(57)【要約】【目的】作業性、解像度、密着性に優れた感光性フィ
ルムを提供する。【構成】実質的に透明である支持フィルム（ａ）、感
光性樹脂層（ｂ）、保護フィルム（ｃ）を有する感光性
フィルムにおいて、前記支持フィルム（ａ）の厚みが１
２〜１８μｍで、ヘーズが０．１〜１．５％であり、前
記（ｂ）の感光性樹脂層の膜厚が１０〜２０μｍで、３
６５nmにおける吸光度が０．７〜１．５である感光性フ
ィルム。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、感光性フィルム、詳し
くは、高解像度を得ることのできる感光性フィルムに関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来、プリント配線板製造や、金属精密
加工の分野で、微細な回路を形成するには感光性樹脂積
層体（感光性フィルム）が用いられてきた。即ち、基材
に感光性フィルムをラミネートし、ネガフィルム（パタ
ーンマスク）を通じて露光後現像し、場合によってめっ
きを行い、その後エッチング、レジストはく離等を行う
方法である。

【０００３】感光性フィルムは、通常、光透過性の支持
フィルム、感光性樹脂層、保護フィルムの３層から成
り、使用方法としては、まず保護フィルムをはく離した
後、感光性樹脂層が基材に直接触れるよう圧着（ラミネ
ート）し、光透過性フィルム上にパターニングされたネ
ガフィルムを密着し、活性光線（紫外線を用いることが
多い）を照射（露光）し、次いで有機溶剤又はアルカリ
水溶液を噴霧し不要部分を除去することでレジストパタ
ーンを形成（現像）し、その後塩化第二鉛水溶液等を用
いてエッチングする方法が一般的である。特に、環境問
題などの面から、現像液としてはアルカリ水溶液を用い
るものが求められている。

【０００４】近年、電子機器の小型、軽量化が推進され
ており、プリント配線板も回路の微細化が求められてお
り、レジストパターンも細線化され、これに対して感光
性フィルムの高解像度化が求められている。

【０００５】これらの要求に対して、高解像度化を達成
するめたの様々な試みがなされている。例えば、感光性
樹脂層を薄膜化する方法等である。しかし、感光性樹脂
層を薄膜化すると、基材に感光性フィルムをラミネート
する際、支持フィルムの剛直性により傷に対する追従性
の低下、エアーボイドの巻き込み等による欠け、断線が
発生するなどの問題があり、通常、１０μｍ以上が必要
とされる。また、感光性樹脂層を薄膜化する場合、吸光
度の低下により露光時の基材面からの光乱反射により解
像度が低下する。

【０００６】また、別の方法として、露光前に支持フィ
ルムをはく離し、感光性樹脂層上に直接ネガフィルムを
密着させる方法がある。通常、感光性樹脂層は、基材に
密着するようある程度粘着性を保持しており、この方法
を直接適用すると、ネガフィルムと感光性樹脂層が密着
してしまい、ネガフィルムをはがしにくく、作業性が低
下したり、ネガフィルムを感光性樹脂が汚染したり、空
気阻害のため感度が低下したりする問題があった。

【０００７】そこで、この方法を改良する試みとして、
特開昭６１−３１８５５号公報、特開平１−２２１７３
５号公報、特開平２−２３０１４９号公報等に示され
る、感光性樹脂層を２層以上とし、ネガフィルムと直接
接触する層を非粘着性層とすることが行われている。し
かし、この方法は感光性樹脂層を多層化するため塗工に
手間がかかるうえ、感度低下に対しては効果のないもの
であった。

【０００８】また別の方法として、感光性樹脂層上に、
中間層を設けこれらの欠点を解決しようとする試みが、
特公昭５６−４０８２４号公報、特開昭５５−５０１０
７２号公報、特公昭５４−１２２１５号公報、特開昭４
７−４６９号公報、特開昭５９−９７１３８号公報、特
開昭５９−２１６１４１号公報、特開昭６３−１９７９
４２号公報等に示されている。しかし、これらはいずれ
も支持フィルムと感光性樹脂層との間に中間層を設けな
ければならず、塗工が２度手間になり、また薄い中間層
については取扱いが困難であった。

【０００９】更に、別の試みとして支持フィルムを薄膜
化する方法がある。この場合、感光性樹脂層も薄膜化し
ているので、感光性フィルムを基材にラミネートするに
は腰がないため、しわが発生し易い。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従
来の技術の問題を解決し、作業性に優れ、かつ解像度の
向上した感光性フィルムを提供するものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、実質的に透明
である支持フィルム（ａ）、感光性樹脂層（ｂ）、保護
フィルム（ｃ）を有する感光性フィルムにおいて、前記
支持フィルム（ａ）の厚みが１２〜１８μｍで、ヘーズ
が０．１〜１．５％であり、前記（ｂ）の感光性樹脂層
の膜厚が１０〜２０μｍで、３６５nmにおける吸光度が
０．７〜１．５である感光性フィルムに関する。

【００１２】支持フィルム（ａ）としては、例えば、帝
人社製ＧＳ−１６（１６μｍ）、東洋紡社製ＪＰ−０５
（１４μｍ）等のポリエチレンテレフタレートフィルム
などが挙げられる。支持フィルム（ａ）の厚みは、１２
〜１８μｍとされ、１２μｍ未満の場合、機械的強度が
小さいため、ラミネート時のシワ、支持フィルムはく離
時の破れが発生し、一方、１８μｍを超える場合、解像
度が低下する。また、支持フィルム（ａ）のヘーズは
０．１〜１．５％とされ、０．１％未満の場合、入手が
困難であり、１．５％を超える場合、解像度が低下す
る。ヘーズは、市販のヘーズ計で測定できる。

【００１３】感光性樹脂層（ｂ）の厚みは１０〜２０μ
ｍとされる。１０μｍ未満の場合、追従性が低下し、欠
け、断線が発生する。２０μｍを超える場合、解像度が
低下する。また、感光性樹脂層（ｂ）の吸光度は、０．
７〜１．５とされ、好ましくは０．８〜１．２とされ
る。０．７未満の場合、露光時に基材表面からの光乱反
射により、解像度が低下する。１．５を超える場合、露
光、現像工程において感光性樹脂層低部の硬化度が低い
ため、密着性が低下する。

【００１４】感光性樹脂層（ｂ）は公知のものを用いる
ことができ、通常、バインダーポリマー、重合可能なビ
ニル化合物及び光重合開始剤を必須成分として含む。バ
インダーポリマーとしては、（メタ）アクリル酸のアル
キルエステル〔（メタ）アクリル酸とはメタクリル酸及
びアクリル酸を意味する。以下同じ〕の共重合体や、こ
れらと共重合し得るビニルモノマーとの共重合体が挙げ
られる。これらの共重合体は単独で又は２種類以上を組
み合わせて使用される。

【００１５】（メタ）アクリル酸のアルキルエステルと
しては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、
（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル
酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキ
シルエステル等が挙げられる。また、（メタ）アクリル
酸アルキルエステルと共重合しうるビニルモノマーとし
ては、例えば、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフ
リルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチ
ルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチル
エステル、メタクリル酸グリシジルエステル、２，２，
２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，
２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレ
ートアクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、スチ
レン、ビニルトルエン（メタ）アクリル酸等が挙げられ
る。

【００１６】感光性樹脂層（ｂ）をアルカリ現像型とす
る場合は、通常、（メタ）アクリル酸と上記のアルキル
エステル、ビニルモノマーを共重合させたバインダーポ
リマーを用いれば良い。感光性樹脂層（ｂ）は、０．４
〜０．７重量％の炭酸ナトリウム水溶液を現像液とする
ものであることが好ましい。０．４重量％未満の場合、
現像液の温度、疲労度（フィルム処理量）の影響をうけ
やすく、実際の製造での管理が困難となる傾向がある。
０．７重量％を超える場合、感光性樹脂層が薄いため、
最少現像時間が短く、実際の製造で使用する場合現像過
多となり密着性が低下する傾向がある。

【００１７】光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフ
ェノン、Ｎ−Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジアミノ
ベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ−テトラメ
チル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキ
シ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、２−エチル
アントラキノン、フェナントレンキノン等の芳香族ケト
ン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエー
テル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエー
テル、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾ
イン、ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体、
２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミ
ダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５
−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２
−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミ
ダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，
５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキ
シフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量
体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニ
ルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキシフェ
ニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−
（ｐ−メチルメルカプトフエニル）−４，５−ジフェニ
ルイミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイ
ミダゾール二量体、９−フェニルアクリジン、１，７−
ビス（９，９′−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジ
ン誘導体などが挙げられる。これらは、単独で又は２種
類以上を組み合わせて使用される。

【００１８】光重合可能なビニル化合物としては、例え
ば、ウレタンアクリレートビスコート＃８３１（大阪有
機化学工業社製商品名）、ポリエーテル型ウレタンアク
リレートＢＴＧ−Ａ（共栄社油脂化学工業社製商品
名）、ポリエステル型ウレタンアクリレートＤ−２００
Ａ（共栄社油脂化学工業社製商品名）、ウレタンアクリ
レートフォトマー６００８（サンノプコ社製商品名）、
ウレタンジアリレートケムリンク９５０３（サートマ社
製商品名）等のウレタン（メタ）アクリレートやトリメ
チロールプロパンエトキシトリアクリレート（ＳＲ−４
５４、サートマ社製商品名）、トリメチロールプロパン
プロポキシトリアクリレート（Ｒ−９２４、日本化薬社
製商品名）、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリ
レート（エチレン基の数が２〜１４のもの）、トリメチ
ロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロー
ルプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロー
ルメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロール
メタンテトラ（メタ）アクリレート、ポリプロピレング
リコールジ（メタ）アクリレート（プロピレン基の数が
２〜１４のもの）、ジペンタエリスリトールペンタ（メ
タ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メ
タ）アクリレート等の多価アルコールにα、β−不飽和
カルボン酸を反応させて得られる化合物、ビスフェノー
ルＡジオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフ
ェノールＡトリオキシエチレンジ（メタ）アクリレー
ト、ビスフェノールＡデカオキシエチレンジ（メタ）ア
クリレート等のビスフェノールＡジオキシエチレンジ
（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリグ
リシジルエーテルトリアクリルレート、ビスフェノール
Ａジグリシジルエーテルアクリレート等のグリシジル基
含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を付加して得ら
れる化合物、無水フタル酸等の多価カルボン酸とβ−ヒ
ドロキシエチル（メタ）アクリレート等の水酸基及びエ
チレン性不飽和基を有する物質とのエステル化物、（メ
タ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エ
チルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、
（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル等の
（メタ）アクリル酸のアルキルエステルなどが挙げられ
る。

【００１９】また、感光性樹脂層（ｂ）には、必要に応
じて可塑剤、染料、顔料、イメージング剤、充填剤、密
着性付与剤、安定剤などを配合として使用できる。

【００２０】保護フィルム（ｃ）は、一般に、ポリエス
テルフィルム、ポリオレフィンフィルム等が用いられる
が、価格、柔軟性、強度、硬度等の面から、ポリエチレ
ンフィルムが好ましい。また、その厚みは、１０〜４０
μｍであることが好ましい。１０μｍ未満では、取扱い
性が劣る傾向があり、４０μｍを超えると、コストアッ
プになる傾向がある。

【００２１】本発明の感光性フィルムは、通常、（１）
保護フィルムをはがしながら、基材上に感光性樹脂層が
密着するよう熱、圧力等をかけながらラミネートし、
（２）支持フィルムの上にネガフィルムを載置し、ネガ
フィルムを介して露光し、（３）支持フィルムをはがし
た後、現像により画像（レジストパターン）を形成する
方法で用いられる。

【００２２】（１）のラミネート工程は、一般にホット
ロールを呼ばれる加熱可能なロール又はヒートシューと
呼ばれる加熱用ジャケットとラミネートロールと呼ばれ
るロールにより、感光性樹脂層を加熱し軟化しながら行
う。

【００２３】（２）の露光工程は、一般に専用の露光機
があり、接触又は非接触型のものを用いて行う。ランプ
としては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライド
ランプ、キセノンランプ灯等の紫外線を有効に放射する
ものを用いることができる。

【００２４】（３）の現像方法は、ディップ法、スプレ
ー法等が挙げられ、高解像度化には高圧スプレー法が最
適である。

【００２５】画像形成後の処理は、エッチング、めっき
などの工程が挙げられるが、これらは必要に応じ周知の
方法で行えば良い。

【００２６】

【実施例】次に、本発明を実施例により詳しく説明する
が、本発明はこれらにより制限されるものではない。実施例１〜２及び比較例１〜５表１及び表２の材料を配合し、溶液を得た。

【００２７】

【表１】

【００２８】

【表２】

【００２９】次いで、この感光性樹脂組成物の溶液を表
１に示す各種のポリエチレンテレフタレートフィルム
（支持フィルム(ａ)）上に均一に塗布し、１００℃の熱
風対流式乾燥機で約１０分間乾燥して感光性樹脂層
（ｂ）を形成した後、３０μｍ厚のポリエチレンフィル
ムを保護フィルム（ｃ）として積層し感光性フィルムを
得た。感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は、１５μｍであっ
た。

【００３０】〈ヘーズの測定〉ヘーズは、日本電色工業
製ヘーズ計ＮＤＨ−１００１ＤＰ（ＪＩＳＫ７１０５
対応）を用いて測定した。〈吸光度の測定〉保護フィルムであるポリエチレンをは
く離し、日立製作所社製分光光度計２２８Ａを用い、３
６５nmの吸光度を測定した。

【００３１】〈ラミネート性の評価〉基材厚み０．２５
mmの銅合金（ヤマハ社製、商品名オーリン１９４）上
に、前記感光性樹脂層を１２０℃に加熱し、ポリエチレ
ンフィルムをはく離しながらラミネートした。この時の
ラミネート性（シワ、気泡の巻きこみ等）を評価した。

【００３２】次いで、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルム上に、ネガフィルム（パターンマスク）を載置し、
３kW高圧水銀灯（オーク製作所社製、ＨＭＷ−５９０、
平行光タイプ）で任意の露光量で露光を行った。この
際、光感度を評価できるように、ネガフィルムに光透過
量が段階的に少なくなる領域（光学密度０．０５を１段
とし、１段ごとに光学密度が０．１５ずつ増加するステ
ップタブレット）を設けた。また、ライン／スペースが
最少１０μｍ／１０μｍであり、ライン及びスペースが
共に５μｍ毎に大きくなるくし形パターンを持つ解像度
評価用のネガフィルム、及びライン／スペースが最少３
０／４００μｍであり、ライン幅が５μｍ毎に大きくな
るくし形パターンを持つ密着性評価用のネガフィルムを
設けた。

【００３３】次いで、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルムを除去し、２８℃で０．５重量％炭酸ナトリウム水
溶液を３０秒間スプレーすることにより、未露光部を除
去した。この時のポリエチレンテレフタレートフィルム
の除去性（破れ）を評価した。さらに、銅張り積層板上
に形成された光硬化膜のステップタブレットの段数を測
定することにより、感光性樹脂層の光感度を評価した。
光感度は、ステップタブレットの段数で示され、このス
テップタブレットの段数が高いほど、光感度が高いこと
を示す。また、解像度は、５μｍ毎のくし形パターンの
解像性（μｍ）で表わされ、この解像度の数値が小さい
程解像度が高いことを示す。密着性は、現像後にはく離
せずに残ったライン幅（μｍ）で表わされ、この密着性
の数値が小さい程密着性が高いことを示す。以上の評価
結果を表３及び表４に示す。

【００３４】

【表３】

【００３５】

【表４】

【００３６】

【発明の効果】本発明の感光性フィルムは、作業性、解
像度、密着性等に優れたものである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｊ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】実質的に透明である支持フィルム
（ａ）、感光性樹脂層（ｂ）、保護フィルム（ｃ）を有
する感光性フィルムにおいて、前記支持フィルム（ａ）
の厚みが１２〜１８μｍで、ヘーズが０．１〜１．５％
であり、前記（ｂ）の感光性樹脂層の膜厚が１０〜２０
μｍで、３６５nmにおける吸光度が０．７〜１．５であ
る感光性フィルム。
【請求項２】感光性樹脂層（ｂ）が０．４〜０．７重
量％の炭酸ナトリウム水溶液を現像液とするものである
請求項１記載の感光性フィルム。