JPH08134645A - プラスチックフイルム用真空処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空処理装置内で所定の処理を施す装置にお
いて、とくに巻出し側および／または巻取側でのフイル
ムのしわ、ずれや蛇行の発生を抑え、良好な処理品が得
られるプラスチックフイルム用真空処理装置を提供す
る。 【構成】 プラスチックフイルム８を真空容器６１内で
処理する装置の巻出し側および／または巻取側に設けら
れる、製品ロール２１、３１に近接した対向ローラー２
２、３２を、ローラー長手方向中央部の外径が両端部の
外径に比べて小さく、かつ、その外径の変化曲線がロー
ラー長手方向に２次以上の高次の曲線で近似されたロー
ラーから構成するとともに、対向ローラー２２、３２と
製品ロール２１、３１間にかけ渡されるプラスチックフ
イルム８が該対向ローラー２２、３２に実質的に接触を
開始する位置Ａにおける、該対向ローラー２２、３２の
長手方向外面形状線を、製品ロール２１、３１に対し実
質的に平行にしたプラスチックフイルム用真空処理装
置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空容器内でプラスチ
ックフイルムに蒸着等の処理を施す装置に関する。さら
に詳しくは、プラスチックフイルムにしわ、蛇行、ずれ
などを生じさせずに良好に巻出し、良好に処理し、処理
後に良好に巻き取ることが可能なプラスチックフイルム
用真空処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】プラスチックフイルムの中でもとりわけ
機械的特性、熱的特性、電気的特性などにおいて機能性
の高いプラスチックであるポリエチレンテレフタレー
ト、ポリエチレン２，６ナフタレート、ポリプロピレ
ン、ポリスチレン、ポリフェニレンサルファイド、アラ
ミドなどをベースにしたフイルムは、磁気テープ用、コ
ンデンサ用、熱転写リボン用、孔版印刷用途などに広く
使われている。さらにこれらの用途では、フイルム厚み
の極薄化技術の進展に伴って、数μｍないしサブミクロ
ンの厚みのプラスチックフイルムが生産され、利用され
ている。

【０００３】特に蒸着やスパッタ等の技術を用いて、磁
気記録密度の高密度化や、コンデンサ素子の薄膜電極を
形成するために、真空処理装置が使用されている。これ
らの装置で処理される製品ロールは、製造段階では常圧
（大気圧）で巻取られることもあって、真空処理装置内
で処理するときにプラスチックフイルム巻層間に巻き込
まれていた空気が問題になることがある。その代表的な
例は、製品ロールを巻き出す時に、巻き込まれた空気が
膨張してきてプラスチックフイルムにしわが発生した
り、フイルムが蛇行したり、ずれたりすることである。

【０００４】このような現象は、製品ロールの製造段階
で、空気の巻き込み量を少なくする方法、たとえば巻取
張力や面圧を上げて空気を排除しながら巻き取るとか、
製品ロールを巻き取る段階で加工と同じような真空装置
内で巻き取るとか、または使用前に真空容器内に放置し
てできるだけ巻き込み空気を抜いてやることで緩和され
るが、現状では巻取条件の採り得る範囲が狭い、設備が
大がかりになる、生産性が落ちるなどの問題があり、十
分に満足できるまでには至っていない。

【０００５】一方、真空容器内で蒸着やスパッタの処理
をしながらプラスチックフイルムを巻き取る時の問題と
して、常圧で巻き取る時と反対の理由で巻き欠点が出る
ことが知られている。すなわち、処理容器内に実質的に
空気な無いために、巻き取った製品の外観が悪くなると
いう問題が発生することがある。これは、プラスチック
フイルムが装置内で搬送されるときに、搬送用のローラ
ーとの摩擦が大きくなり、しわが発生するとか、巻き取
られたプラスチックフイルムの巻層間に空気層が介在し
ないためにしわが入りやすくなるためと考えられてい
る。特に４μｍ以下の薄いプラスチックフイルムを処理
して巻き取る場合にこの現象が顕著に出るようになる。

【０００６】また、真空容器内で蒸着等の処理を行う装
置においては、一般に真空容器内に冷却ドラムを設置
し、その上でプラスチックフイルムを搬送しながら、該
プラスチックフイルム表面に蒸着等を施すようにしてい
ることが多い。つまり、蒸着金属等がプラスチックフイ
ルムに付着する時、プラスチックフイルムには熱が加わ
るが、蒸着等と同時にプラスチックフイルムを裏面側
（冷却ドラムへの接触面側）から冷却するようにしてい
る。

【０００７】このような装置においては、プラスチック
フイルムの冷却ドラムへの密着をできるだけ良くしてプ
ラスチックフイルムにしわが入らないようにしている
が、冷却ドラムへの密着むらがあると、蒸着金属等が付
着したときの熱によってプラスチックフイルムが微小に
伸び縮みし、それによってしわ、いわゆる「熱しわ」が
発生することがある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本願発明者らはかかる
問題点に鑑み、プラスチックフイルムを真空容器内で蒸
着等の処理を施す装置において、とくに、プラスチック
フイルムの巻出し及び巻取におけるプラスチックフイル
ム搬送中のずれや蛇行及びしわの発生を抑え、良好な真
空処理製品が得られる装置を鋭意研究した結果本発明に
至った。

【０００９】すなわち本発明の目的は、真空処理装置内
で所定の処理を施す装置において、とくに巻出し側およ
び／または巻取側に設けられる対向ローラー部の構造に
改良を加えることにより、フイルムのしわ、ずれや蛇行
の発生を抑え、良好な処理品が得られるプラスチックフ
イルム用真空処理装置を提供することにある。

【００１０】また、本発明のもう一つの目的は、上記巻
出し側および／または巻取側における対向ローラー部の
構造の改良が、真空容器内の冷却ドラムに対する対向ロ
ーラーに対しても有効であることに着目し、冷却ドラム
へのプラスチックフイルムの密着性を向上して、熱しわ
の発生を極力抑制できるようにすることにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この目的に沿う本発明の
プラスチックフイルム用真空処理装置は、プラスチック
フイルムを真空容器内で処理する装置の巻出し側および
／または巻取側に設けられる、製品ロールに近接した対
向ローラーを、ローラー長手方向中央部の外径が両端部
の外径に比べて小さく、かつ、その外径の変化曲線がロ
ーラー長手方向に２次以上の高次の曲線で近似されたロ
ーラーから構成するとともに、前記対向ローラーと前記
製品ロール間にかけ渡されるプラスチックフイルムが該
対向ローラーに実質的に接触を開始する位置における、
該対向ローラーの長手方向外面形状線を、製品ロールに
対し実質的に平行にしたことを特徴とするものからな
る。

【００１２】また、本発明に係るプラスチックフイルム
用真空処理装置は、プラスチックフイルムを冷却ドラム
を有する真空容器内で処理する装置の該冷却ドラムに近
接させて設けられる対向ローラーを、ローラー長手方向
中央部の外径が両端部の外径に比べて小さく、かつ、そ
の外径の変化曲線がローラー長手方向に２次以上の高次
の曲線で近似されたローラーから構成するとともに、前
記対向ローラーと前記冷却ドラム間にかけ渡されるプラ
スチックフイルムが該対向ローラーに実質的に接触を開
始する位置における、該対向ローラーの長手方向外面形
状線を、冷却ドラムに対し実質的に平行にしたことを特
徴とするものからなる。

【００１３】真空処理装置とは、真空容器内で、蒸着や
スパッタの処理、あるいはその他の処理を施す装置をい
う。また、真空容器内の真空度（減圧度）としては特に
限定されず、常圧（大気圧）から高度あるいは低度に減
圧したもの全てを含む。

【００１４】本発明装置においては、対向ローラーは製
品ロール又は冷却ドラムに接圧されていてもよく、製品
ロール又は冷却ドラムとの間に実質的に一定の間隔があ
けられていてもよい。後者の場合で、かつ、製品ロール
に対して対向ローラーが設けられる場合には、プラスチ
ックフイルムの対向ローラーへの接触開始位置は、巻出
しまたは巻取製品ロールの巻径の変化に応じて変化する
が、前記「プラスチックフイルムが対向ローラーに実質
的に接触を開始する位置」としては、この変化するプラ
スチックフイルムの対向ローラーへの接触開始位置の平
均位置に設定すればよい。

【００１５】また、上記対向ローラーの外径の変化曲
線、つまり、対向ローラーの外径の変化の度合として
は、たとえば、対向ローラーのプラスチックフイルムの
エッジ部が通過する部分の外径が、ローラー長手方向中
央部における最小外径に対し０．０５〜３％大きい径に
設定されていることが好ましい。

【００１６】対向ローラーの表面粗さとしては、０．１
ｓ〜３ｓの範囲にあることが好ましく、また、対向ロー
ラーへのプラスチックフイルムの巻付角としては、９０
度以上であることが好ましい。さらに、対向ローラーの
表面材質としては、特に限定されず、適当な金属又はそ
のメッキ、ゴム、セラミック等の中から適当に選ぶこと
ができる。

【００１７】

【実施例】以下に、本発明の望ましい実施例を、図面を
参照して説明する。図１は、本発明の一実施例に係るプ
ラスチックフイルム用真空処理装置を示しており、本発
明をプラスチックフイルム用真空蒸着機に適用した場合
を示している。図において、６１は真空容器を示してお
り、真空容器６１内は、適当な排気装置（図示略）によ
って実質的に真空状態（高度に減圧された状態）に保た
れる。真空容器６１には覗き窓６２、６３が設けられて
いる。プラスチックフイルム８に蒸着処理を施すための
蒸発装置５２は、例えば、るつぼ５３にアルミニウムな
どの蒸着用金属Ｍを入れ高温に加熱して蒸発させ、被処
理物、つまりプラスチックフイルム８の表面に付着させ
る装置である。冷却ドラム５１は、被処理物を冷却しな
がら処理するための装置である。ここで、巻出し製品ロ
ール２１は、蒸着処理されるプラスチックフイルム８の
ロール状巻状物で、巻取製品ロール３１は、処理された
後のロール状巻状物であり、それぞれ巻芯２３、３３を
用いて巻き取られている。これらは、それぞれの速度及
び巻出し、巻取張力を制御する駆動装置及びそのコント
ロール装置（いずれも図示略）を用いて巻出し、あるい
は巻き取られている。

【００１８】これら製品ロール２１、３１に対し、対向
ローラー２２、３２がそれぞれ近接させて設けられてい
る。搬送ローラー５４、５５、５６、５７は金属ロール
またはゴムロールであり、適宜図５に示したエキスパン
ダロール４１や図６に示した複数の分割されたローラー
によるしわ取りロール４２を用いて、搬送中のプラスチ
ックフイルム８のしわを取り除くことができる。また、
冷却ドラム５１に近接させて設けられたローラー５５、
５６を、本発明に係る対向ローラーに構成することが可
能であり、本実施例の真空処理装置においては、対向ロ
ーラー２２、３２と対向ローラー５５、５６の両方と
も、本発明に係る、所定の２次以上の高次の外形変化曲
線を有する対向ローラーに構成されている。

【００１９】またマージンという長手方向に蒸着されな
い部分を形成するためのマスキング装置５８が、蒸発装
置５２の前に設置されている。マスキング装置５８は、
細幅のテープをプラスチックフイルム８に密着させる装
置、または特殊なオイルをプラスチックフイルム８上に
塗布する装置よりなる。

【００２０】図２は、巻取または巻出し部における製品
ロール２１、３１と対向ローラー２２、３２との位置関
係を示した部分拡大図である。図３は、同部分につい
て、部分的に断面表示した平面図である。巻出し製品ロ
ール２１または巻取製品ロール３１に対向した本発明に
係る対向ローラー２２、３２は、各製品ロール２１、３
１と接触させて、または一定の距離（間隔）をおいて設
置されている。接触させる場合には、適当な面圧がかか
るように加圧装置５によって製品ロール２１、３１に押
し付ける。加圧装置５には、空気圧、油圧、その他の押
圧方法を用いることができる。また、製品ロール２１、
３１の巻径によってその押圧力を変え、面圧を変えても
よい。

【００２１】一方、一定の距離をおいて巻き出しまたは
巻き取る場合には、製品ロール２１、３１の巻径を検出
または演算によって算出し、製品ロール側または対向ロ
ーラー側を退避させるとよい。

【００２２】図４は、本発明に係る、ローラー長手方向
中央部を細径にした対向ローラー２２、３２を示してお
り、長手方向中央を起点にして２次以上の高次の曲線で
近似した外径の変化曲線３を有するローラーに構成さ
れ、図４はそのフリー状態の断面図である。ここでこの
ローラー２２、３２の外径は、ローラー長手方向中央を
細径（最小径）にして、プラスチックフイルムのエッジ
通過部を０．０００５〜０．０３、つまり０．０５％〜
３％大きくしている。０．０００５より小さいと本発明
の効果が出にくく、０．０３より大きいとプラスチック
フイルムの幅方向での速度差がつき過ぎるためにすり傷
や静電気が発生して好ましくない。また、その外径の変
化曲線は、２次以上の高次の曲線で近似した曲線とする
のが好ましく、処理するプラスチックフイルムの幅及び
厚みにもよるが、経験によれば、薄くて狭幅ほど高次の
曲線（面）とするのが好ましく、例えば２μｍの厚みで
３５０ｍｍ幅程度であれば４次の曲線（面）、４μｍの
厚みで５５０ｍｍ幅程度であれば３次、１２μｍの厚み
で１０００ｍｍ幅程度であれば２次の曲線が好ましい
が、これに限定せず、試行錯誤してこれらの曲線を決め
てよい。

【００２３】また、対向ローラー２２、３２の表面形成
材料４の材質は、とくに限定されず、金属またはゴムま
たはセラミック等のいずれでもよい。製品ロール２１、
３１と接して使用される場合には、弾力性のあるゴムを
表面に被覆したロールが良い。その場合、ゴム硬度とし
ては、３５°ショアーから９０°ショアーがよいが、こ
れに限定しない。金属またはセラミックの場合には、円
筒芯を作る段階でローラー外径を高次の曲線３に近似し
て切削するとよい。またゴムの場合は、ゴムを加硫成形
後のローラー外径を高次の曲線３に近似して切削すると
よい。

【００２４】いずれの場合にも、その表面粗さは０．１
ｓから３ｓが好ましい。これは真空中でのプラスチック
フイルム８との摩擦を考えた時に０．１ｓより細かい粗
さになると真空中での摩擦が上がってむしろしわが入り
やすくなるので好ましくないことによるし、３ｓ以上に
粗くすると本発明のようなローラー外周表面に速度差を
与えてしわを取る装置においてはフイルム表面にすり傷
を発生させ易くなるので好ましくない。

【００２５】また、対向ローラー２２、３２は、図３に
示すように、ローラーの円筒芯６を軸７及び軸受９、
９′で支承し、ローラー軸７に押し／引きの力を与えて
軸７および／円筒芯６をたわませる装置１１、及びその
力を受ける支承部１０、１０′によってたわみを与え、
該ローラーの周上の一点Ａ、つまり製品ロール２１、３
１と対向ローラー２２、３２間にかけ渡されるプラスチ
ックフイルム８が対向ローラー２２、３２に実質的に接
触を開始する位置Ａ（図２）における、対向ローラー２
２、３２の長手方向外面形状線が製品ロール２１、３１
に対して平行になるように押し／引きの力で円筒芯６の
たわみ量が調整されるようになっている。押し／引きの
力はネジ、バネ、油圧、空気圧などにより発生させるこ
とができる。

【００２６】この円筒芯６のたわみによって上記の如く
対向ローラー２２、３２の外面形状線を製品ロール２
１、３１に対して平行に調整できるので、フレキシブル
な円筒芯とすることが重要であり、鉄、アルミ、ガラス
繊維強化プラスチック、炭素繊維強化プラスチックなど
の剛性の高い素材を用いることが好ましい。またこれら
の材料を複合して用いてもよい。

【００２７】またここで、ローラー軸７に押し／引きの
力を加えて円筒芯６をたわませ、高次の曲線３で近似さ
れた外径変化曲線を有するローラー２２、３２の外周面
を、位置Ａにおいて製品ロール２１、３１に対し平行に
するために加える力は、計算によって求めても、試行錯
誤を繰り返しながら求めてもよい。

【００２８】上記の位置Ａは、製品ロール２１、３１と
対向ローラー２２、３２が接している場合は接している
位置に定まるので問題ないが、一定の距離をおいている
場合には、巻出しあるいは巻取製品ロール２１、３１の
径が変わると、プラスチックフイルム８が接触を開始す
る位置がずれて行くので、平均的な位置がよい。平均的
な位置とは、変化する位置の最大と最小の中間的な位置
である。

【００２９】また、プラスチックフイルム８が対向ロー
ラー２２、３２に巻き付く時のプラスチックフイルム８
自身の剛性でしわ伸ばし効果が出るので、ローラー径及
びその巻付角θ（図２）が重要になる。ローラー径につ
いてはより細径にすることが好ましいが、プラスチック
フイルム８の幅（ローラー面長）によってローラー製作
上の制約を受けるので、必ずしも細径とする条件を満た
せないが、ローラーの製作が許す限り細径とすることが
好ましい。例えば厚さ４μｍ以下のフイルムであれば、
８０ｍｍ以下の外径とするのが好ましいが、これに限定
しない。一方、巻付角θは、９０度以上とすることが好
ましい。より好ましくは１３５度以上である。９０度以
下では変化する製品ロール径によっては、上記のしわ伸
ばし効果が小さくなり好ましくない。

【００３０】ここで本発明の対向ローラー２２、３２の
機能について考えると、先ず巻出しにあっては、製品ロ
ール２１に巻き込まれた空気が真空中で膨張してくるこ
とでプラスチックフイルム８の蛇行、ずれが発生しやす
くなるので、これを抑えることにある。ここで対向ロー
ラー２２の位置Ａにおける外面形状線が製品ロール２１
に対して平行であるため、製品ロール２１上からのフイ
ルムの巻出しが平行になされる。また、製品ロール２１
からの巻出し開始位置Ｂ（図２）を一定にし、加えてプ
ラスチックフイルム８のエッジ通過側の外径を大きくし
たために、ローラー２２上でプラスチックフイルム８は
長手方向に引き出されつつ、ローラー２２の変化する外
径によって左右両外側へ引っ張られるので、丁度該ロー
ラーの中央を中心とした位置で安定する。すなわち、多
少プラスチックフイルム８の巻出しが左右に振れていて
いも、次の対向ローラー２２がフイルム８を中央に持っ
て来てくれるので、後の工程ではずれや蛇行は問題なく
なる。

【００３１】また巻取側においては、巻取時のしわ巻き
込みが問題であるが、このしわは主に巻取製品のエッジ
部分に発生することが多く、また静電気の帯電などが同
時に発生することもある。これは前述した通り、常圧で
は空気が介在して多少なりともフイルム間のすべりを助
けていたものが、真空下では空気の介在が無くなるた
め、フイルム間のすべりが悪くなってしわが入りやすく
なることと、蒸着によるプラスチックフイルムの伸び縮
みの差によるものと考えられる。すなわち、高温の金属
が蒸発して付着したためにプラスチックフイルム８に微
小な寸法差が生じ、これが寸法的な伸びや縮みとして残
ったまま巻き取られるためと考えられる。

【００３２】対向ローラー３２は、巻取製品ロール３１
に入る前に蒸着によってできた微小な寸法変化によるし
わが発生したとしても、変化する外径によってフイルム
８を両エッジ側へ引き伸ばし、それによってしわを伸ば
す。対向ローラー３２上の位置Ａにおける外面形状線が
巻取ロールの位置Ｂに対して平行になっていることで、
しわの無い状態で巻き取ることができる。

【００３３】この対向ローラー３２は巻取製品ロール３
１と一定の距離、好ましくは数ｍｍ、さらに好ましくは
２〜５ｍｍ程度離れていると効果があるが、最も効果的
には、製品ロール３１に接して面圧を与えながら巻き取
るのがよい。こうすることによって、対向ローラー３２
上で伸ばされた微小な寸法変化が元に戻ることなくその
ままの状態で製品ロール３１として巻き取ることができ
るので非常に効果的である。

【００３４】ここで本発明に係る装置を従来の装置と比
較すると、従来は巻取の直前にしわ取りローラーを置く
ことはできなかった。これは、しわ取りローラーが基本
的には図５、図６のような形状であるために、製品ロー
ルとお互いの接線の位置が平行にならないために巻取り
ロールに供給される直前のフイルムに幅方向に寸法差が
生じ、均一にフイルムを巻き取ることができなくなっ
て、巻姿が悪化する。

【００３５】そこで本発明では、エッジ側の速度を速め
てしわをとりながら、同時にプラスチックフイルムのセ
ンタリングを行い、製品ロールの中央部には長手方向へ
の余分な張力を発生させずに、製品ロールに均一にプラ
スチックフイルムを給送して巻き取る方法を鋭意研究し
た結果、両端部を太径にして拡幅作用を働かせ、製品ロ
ールと対向ローラー上の位置Ａにおける外面形状線を平
行にすることで、これらの課題が解決でき、良好な巻姿
を得るものである。

【００３６】一方、冷却ドラム５１に近接させて設けら
れたローラー５５、５６を、本発明に係る、所定の２次
以上の高次の外形変化曲線を有する対向ローラーに構成
し、上記巻取または巻出し側に適用したと同様の構成を
採ることにより、対向ローラー５５、５６の長手方向外
面形状線を冷却ドラム５１に対して実質的に平行にし、
所定の外径の変化に伴う前述の拡幅作用を働かせて、プ
ラスチックフイルムのしわ、蛇行、ずれを防止でき、か
つ、プラスチックフイルムを冷却ドラム５１に良好に密
着させることができ、蒸着時のいわゆる「熱しわ」の発
生を抑制できる。

【００３７】以下、より具体的な実施例を用いて説明す
るが、本発明における評価は次の方法によった。 （１）巻姿欠点 巻出し、巻取製品ロール及び搬送ローラー部でプラスチ
ックフイルムを観察し、巻ずれ、しわ、蛇行を表１に示
す基準により判定する。

【００３８】

【表１】

【００３９】（２）マージン振れ ４．５ｍｍ幅に蒸着して、０．２５ｍｍ幅のマージンを
取り、このマージンの幅方向の変動を真空容器の覗き窓
から観察し、０．１ｍｍ未満の振れを「○」、０．１ｍ
ｍ以上０．２ｍｍ未満の振れを「△」、０．２ｍｍ以上
の振れを「×」とした。

【００４０】実施例１〜４、比較例１〜８ ローラーの円筒芯の材質として炭素繊維強化プラスチッ
クを用いた。このローラー円筒芯を本発明に沿って表面
加工し、その上にクロムメッキしたもの（実施例１、
２）、表面にセラミックを溶射したもの（実施例３）、
および表面にクロロプレンゴムを巻き付けた後本発明に
沿って表面加工したもの（実施例４）を用いた。ゴム硬
度は６５°ショアーであった。ローラー周上の外面形状
線を製品ロールに平行する装置として図３に示した装置
を用いた。ローラーの仕様を表２に示す。対向ローラー
と製品ロールとの間をあける時の距離は３ｍｍとした。

【００４１】プラスチックフイルムとして、二軸延伸後
熱処理したポリエチレンテレフタレートフイルムを用
い、４μｍの厚みで６５０ｍｍ幅（実施例１）、３μｍ
の厚みで５００ｍｍ幅（実施例２）、２μｍ（実施例
３）と１．５μｍ（実施例４）の厚みのものはいずれも
３１５ｍｍ幅のフイルムを用いた。蒸着した長さはそれ
ぞれ３６０００ｍ、３００００ｍ、２４０００ｍ、１５
０００ｍとし、真空度１０^-4Ｔｏｒｒ（１０^-2Ｐａ）で
アルミ蒸着し、コンデンサ用蒸着フイルムを得てそれぞ
れ比較例と共に結果を表３に示した。

【００４２】

【表２】

【００４３】

【表３】

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のプラスチ
ックフイルム用真空処理装置によれば、真空容器内での
巻取または巻出し部に特定の対向ローラー構造を適用す
ることにより、薄物のプラスチックフイルムを蛇行、ず
れなく巻出して、蒸着等の処理後のプラスチックフイル
ムをしわなどの巻き込み無く巻き取ることができ、しか
も、マージン振れ等が少ない良好な品質の処理製品を得
ることができる。

【００４５】また、この特定の対向ローラー構造を冷却
ドラム部に対して適用することにより、いわゆる「熱し
わ」等の不都合の発生を抑制して、蒸着等の処理をより
適切に施すとともに、処理製品の一層の品質向上をはか
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るプラスチックフイルム
用真空処理装置の概略構成図である。

【図２】図１の装置の巻出し、巻取部の部分拡大構成図
である。

【図３】図２の装置の部分断面概略平面図である。

【図４】図１の装置の対向ローラーのロール環部分の断
面図である。

【図５】一般的なエキスパンダロールの正面図である。

【図６】一般的な分割構成ロールの正面図である。

【符号の説明】

３ 対向ローラーの外径の変化曲線 ４ ローラー表面形成材料 ５ 加圧装置 ６ 円筒芯 ７ ローラー軸 ８ プラスチックフイルム ９、９′ 軸受 １０、１０′ 支承部 １１ 軸をたわませる装置 ２１ 巻出し製品ロール ２２ 巻出し側の対向ローラー ２３ 巻芯 ３１ 巻取製品ロール ３２ 巻取側の対向ローラー ３３ 巻芯 ５１ 冷却ドラム ５２ 蒸発装置 ５３ るつぼ ５４、５７ 搬送ローラー ５５、５６ 冷却ドラムに近接した搬送ローラー（対向
ローラー） ５８ マスキング装置 ６１ 真空容器 ６２、６３ 覗き窓 Ａ プラスチックフイルムの対向ローラーへの接触開始
位置 θ 巻付角

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プラスチックフイルムを真空容器内で処
   理する装置の巻出し側および／または巻取側に設けられ
   る、製品ロールに近接した対向ローラーを、ローラー長
   手方向中央部の外径が両端部の外径に比べて小さく、か
   つ、その外径の変化曲線がローラー長手方向に２次以上
   の高次の曲線で近似されたローラーから構成するととも
   に、前記対向ローラーと前記製品ロール間にかけ渡され
   るプラスチックフイルムが該対向ローラーに実質的に接
   触を開始する位置における、該対向ローラーの長手方向
   外面形状線を、製品ロールに対し実質的に平行にしたこ
   とを特徴とする、プラスチックフイルム用真空処理装
   置。
2. 【請求項２】 プラスチックフイルムを冷却ドラムを有
   する真空容器内で処理する装置の該冷却ドラムに近接さ
   せて設けられる対向ローラーを、ローラー長手方向中央
   部の外径が両端部の外径に比べて小さく、かつ、その外
   径の変化曲線がローラー長手方向に２次以上の高次の曲
   線で近似されたローラーから構成するとともに、前記対
   向ローラーと前記冷却ドラム間にかけ渡されるプラスチ
   ックフイルムが該対向ローラーに実質的に接触を開始す
   る位置における、該対向ローラーの長手方向外面形状線
   を、冷却ドラムに対し実質的に平行にしたことを特徴と
   する、プラスチックフイルム用真空処理装置。
3. 【請求項３】 前記対向ローラーが製品ロール又は冷却
   ドラムに接圧されている、請求項１又は２のプラスチッ
   クフイルム用真空処理装置。
4. 【請求項４】 前記対向ローラーと製品ロール又は冷却
   ドラムとの間に実質的に一定の間隔があけられている、
   請求項１又は２のプラスチックフイルム用真空処理装
   置。
5. 【請求項５】 前記プラスチックフイルムが巻出しまた
   は巻取製品ロールに近接させて設けられる対向ローラー
   に実質的に接触を開始する位置が、巻出しまたは巻取製
   品ロールの巻径の変化に応じて変化するプラスチックフ
   イルムの対向ローラーへの接触開始位置の平均位置に設
   定されている、請求項４のプラスチックフイルム用真空
   処理装置。
6. 【請求項６】 前記対向ローラーのプラスチックフイル
   ムのエッジ部が通過する部分の外径が、前記ローラー長
   手方向中央部における最小外径に対し０．０５〜３％大
   きい、請求項１ないし５のいずれかに記載のプラスチッ
   クフイルム用真空処理装置。
7. 【請求項７】 前記対向ローラーの表面粗さが０．１ｓ
   〜３ｓである、請求項１ないし６のいずれかに記載のプ
   ラスチックフイルム用真空処理装置。
8. 【請求項８】 前記対向ローラーへのプラスチックフイ
   ルムの巻付角が９０度以上である、請求項１ないし７の
   いずれかに記載のプラスチックフイルム用真空処理装
   置。
9. 【請求項９】 前記対向ローラーの表面が、金属、ゴ
   ム、セラミックのいずれかからなる、請求項１ないし８
   のいずれかに記載のプラスチックフイルム用真空処理装
   置。