JPH081471U - 流体圧駆動回転型アクチュエータ - Google Patents
流体圧駆動回転型アクチュエータInfo
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- JPH081471U JPH081471U JP1266295U JP1266295U JPH081471U JP H081471 U JPH081471 U JP H081471U JP 1266295 U JP1266295 U JP 1266295U JP 1266295 U JP1266295 U JP 1266295U JP H081471 U JPH081471 U JP H081471U
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- Actuator (AREA)
- Mounting, Exchange, And Manufacturing Of Dies (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ピストン部材の運動を回転運動に変換するネ
ジ機構とピストン部材のか拘束する機構とで大型化し、
構造が複雑化する。 【解決手段】 エアシリンダ80のシリンダ孔82の内
壁部に環状係止部85を形成し、ロッド部86aとその
両端のピストン部86b,86cとを有するピストン部
材86を適用し、ロッド部86aの外周側且つ環状係止
部85の両側に1対の作動室81a,81bを形成し、
エアシリンダ80内にボールネジ機構90を組み込ん
だ。
ジ機構とピストン部材のか拘束する機構とで大型化し、
構造が複雑化する。 【解決手段】 エアシリンダ80のシリンダ孔82の内
壁部に環状係止部85を形成し、ロッド部86aとその
両端のピストン部86b,86cとを有するピストン部
材86を適用し、ロッド部86aの外周側且つ環状係止
部85の両側に1対の作動室81a,81bを形成し、
エアシリンダ80内にボールネジ機構90を組み込ん
だ。
Description
【0001】
本考案は、流体圧シリンダのピストン部材を直線運動させて出力軸を回転駆動 する流体圧駆動回転型アクチュエータに関し、特にボールネジ機構を流体圧シリ ンダ内に組み込み、軸方向に小型化し構造を簡単化したものに関する。
【0002】
従来、流体圧シリンダのピストン部材を直線運動させて出力軸を回転駆動する ように構成した種々の流体圧駆動回転型アクチュエータが実用化されているが、 この種の回転型アクチュエータは、一般に、ピストン部材の直線運動を出力軸の 回転駆動に変換する駆動力変換機構を有する。そして、前記駆動力変換機構とし ては、ピストン部材と一体的に移動する雌ネジ部材又はネジ軸とそれに螺合され たネジ軸又は雌ネジ部材とからなるネジ機構、及びピストン部材の回転を拘束す る回転拘束機構が採用され、前記ネジ機構としては、ボールネジナットとボール ネジ軸とからなる低摩擦のボールネジ機構が適用されることが多い。
【0003】 ここで、雌ネジ部材とネジ軸間やボールネジナットとボールネジ軸間には微小 の隙間があるため流体圧を封止できないことから、通常の場合、前記ネジ機構は 流体圧シリンダの外部に設けられる。 例えば、実公昭61−16902号公報の第8図に示す流体圧駆動回転型アク チュエータでは、流体圧シリンダのピストン部材のロッド部の先端側部分にネジ 軸を一体形成し、シリンダ本体の外部に配設され且つ出力軸に連結された雌ネジ 部材にネジ軸を螺合挿通させてある。そして、シリンダ孔に形成した突条をピス トン部材の溝に係合させてピストン部材を回転拘束している。
【0004】 一方、前記公報の第7図に示す流体圧駆動回転型アクチュエータでは、流体圧 シリンダのシリンダ孔が大径孔とこれに連なる小径孔とで構成され、このシリン ダ孔に大径部と小径部とを有するピストン部材が摺動自在に装着され、ピストン 部材の大径部の軸心側部分に雌ネジ部材が固定され、ピストン部材の軸心部を挿 通した出力軸には、雌ネジ部材に螺合するネジ軸が形成されるとともに、ピスト ン部材の小径部の軸心部には、ネジ軸の進入を許す逃し孔が形成され、この逃し 孔の先端の壁部の軸孔に出力軸をシール部材を介して挿通させ、また、シリンダ 孔の小径孔の壁部に形成したキー溝に、ピストン部材の小径部に固定したキーを 係合させてピストン部材の回転を拘束している。
【0005】
前記公報の第8図に示す流体圧駆動回転型アクチュエータでは、ネジ機構を流 体圧シリンダの外部に設けるので、アクチュエータが軸方向に大型化し、構造が 複雑化するしてしまう。また、回転拘束機構では、シリンダ孔に形成した突条を ピストン部材の溝に係合させてピストン部材を回転拘束するので、ピストン部材 の溝と突条間を完全にシールできず、流体圧がリークし出力低下が生じる。
【0006】 前記公報の第7図に示す流体圧駆動回転型アクチュエータでは、流体圧シリン ダの内部にネジ機構を配設できるものの、ピストン部材と出力軸間をシールする シール機構と回転拘束機構を設ける必要上、シリンダ本体とピストン部材とが軸 方向に大型化し、アクチュエータが軸方向に大型化し、構造が著しく複雑化する 。本考案の目的は、流体圧駆動回転型アクチュエータを軸方向に小型化すること 、構造を簡単化すること、ピストン部材の回転を拘束する回転拘束機構を簡単化 すること、等である。
【0007】
請求項1の流体圧駆動回転型アクチュエータは、流体圧シリンダのピストン部 材を直線運動させて出力軸を回転駆動するように構成した流体圧駆動回転型アク チュエータにおいて、前記流体圧シリンダは、シリンダ本体と、このシリンダ本 体のシリンダ孔の内壁部の軸方向途中部において軸心側へ突出した環状係止部と 、環状係止部に流体密に摺動自在に挿通されたロッド部とこのロッド部の両端部 に形成された1対のピストン部を有するピストン部材と、ロッド部の外周側且つ 環状係止部の両側に形成された1対の環状の流体圧作動室とを備え、且つピスト ン部材を所定ストローク往復動可能に構成され、前記ピストン部材がシリンダ本 体に対して回転しないように拘束する回転拘束手段を設け、前記ピストン部材の 軸心側部分の収容部に装着して固定されたボールネジナットとボールネジナット に螺合しその一端部が出力軸に連結されたボールネジシャフトとを含むボールネ ジ機構を設けたものである。
【0008】 前記1対の環状の流体圧作動室の一方に流体圧を供給し、他方から流体圧を排 出すると、ピストン部材が一方の流体圧作動室が拡大する方向へ所定ストローク 移動駆動される。ピストン部材は回転拘束手段によりシリンダ本体に対して回転 拘束されているので、ピストン部材が移動駆動されると、ボールネジ機構のボー ルネジナットがピストン部材と一体的に移動駆動されてボールネジナットにより ボールネジシャフトが例えば正転方向へ回転駆動され、ボールネジシャフトの一 端部に連結された出力軸が正転方向へ回転駆動される。
【0009】 他方の流体圧作動室に流体圧を供給し、一方の流体圧作動室から流体圧を排出 すると、前記とは反対方向へピストン部材が所定ストローク移動駆動され、前記 と同様にして、ボールネジシャフトが逆転方向へ回転駆動され、出力軸が逆転方 向へ回転駆動される。 ここで、シリンダ孔の内壁部に環状係止部を形成し、特殊な構造のピストン部 材を適用して、シリンダ孔内のうちのロッド部の外周側且つ環状係止部の両側に 1対の環状の流体圧作動室を形成したので、ピストン部材の軸心側部分にボール ネジナットを装着し、そのボールネジナットにボールネジシャフトを挿通螺合さ せても、ボールネジ機構に流体圧が作用することはなく流体圧がリークすること はない。
【0010】 それ故、ボールネジ機構を流体圧シリンダ内に組み込んで、アクチュエータを 軸方向に小型化することができ、アクチュエータの構造が複雑化することもない 。しかも、ピストン部材のうちの流体圧が作用しない部分に、簡単な構造の回転 拘束手段を設けることも可能になる。
【0011】 請求項2の流体圧駆動回転型アクチュエータは、請求項1の考案において、前 記回転拘束手段は、ピストン部材のうちの軸心から偏心した部位に軸方向向きに 貫通状に形成された透設孔と、この透設孔に摺動摺動自在に挿通され両端部がシ リンダ本体に支持された回転拘束用ロッド部材とを備えたものである。 それ故、ピストン部材を回転させるトルクが作用したとき、回転拘束用ロッド 部材で回転拘束されることになる。前記1対の流体圧作動室が、ピストン部材の 外周側部分にあるため、前記透設孔をピストン部材のうちの流体圧が作用しない 部位に形成できるから、回転拘束手段を介して流体圧がリークすることはない。 その他請求項1と同様の作用が得られる。
【0012】
以下、本考案の実施の形態について図面を参照して説明する。 本実施形態は、プレス機械に金型を固定するためのクランプ装置を移動駆動す るクランプ移動駆動装置に設けたエア駆動回転型アクチュエータに、本考案を適 用した場合の一例である。
【0013】 先ず、プレス機械1について説明すると、図1に示すように立形のプレス機械 1の基台2には、金型3の固定型3aを取付けるための固定盤4が設けられ、プ レス機械1のスライド5の下端には、金型3の可動型3bを取付けるための可動 盤6が設けられ、固定盤4と可動盤6の盤側には夫々左右方向向きにT溝7が形 成され、固定盤4には固定型3aをクランプする4組のクランプ装置8が設けら れ、可動盤6には可動型3bをクランプする4組のクランプ装置8が設けられ、 各クランプ装置8はT溝7に係合した脚部を介してT溝7に沿って左右方向に移 動可能に設けられている。固定盤4と可動盤6の左右の側壁部には、各クランプ 装置8を実線で示した退避位置と2点鎖線で示したクランプ位置とに移動駆動す るための各2組のクランプ移動駆動装置10が夫々設けられている。
【0014】 次に、クランプ移動駆動装置10について説明する。但し、可動盤6の右側側 壁部に設けられたクランプ移動駆動装置10の1つを例にして図2〜図6を参照 しながら説明する。クランプ移動駆動装置10は、可動盤6の右方に配設された 上下に細長いハウジング20と、このハウジング20内からT溝7内に導入され 下端部が対応するクランプ装置8に連結された押引チェーン50と、ハウジング 20の下部に配設され押引チェーン50に係合されたスプロケット60と、この スプロケット60を回転駆動するエア駆動回転型アクチュエータ70などで構成 されている。
【0015】 前記ハウジング20は、開口部20aを有する断面C型の部材でスライド5側 に開口部20aを向けて配設され、図2、図3に示すようにその側部下端に固着 されたブロック部材23がボルト25で可動盤6の右側壁部に固定されるととも にその前壁部20bと後壁部20cの上端部がスライド5に固着の前後のブラケ ット部材21にボルト22で固定されている。尚、ブロック部材23には、外部 の油圧供給装置から油圧が供給される油圧供給ポート23aと、T溝7と同形状 でT溝7に連通するガイド溝23bが設けられている。
【0016】 ここで、前記クランプ装置8について説明すると、図3に示すように、クラン プ装置8は、本体部材31と、本体部材31に前後方向向きに装着された枢支軸 32を介して本体部材31に回動自在に枢着されたクランプレバー33と、本体 部材31に設けられクランプレバー33を駆動する油圧シリンダ34とで構成さ れ、本体部材31の脚部31aが可動盤6のT溝7に左右方向に移動自在に係合 している。本体部材31には、ブロック部材23の油圧供給ポート23aに一端 側が接続され押引チェーン50に沿って配設された可撓性の油圧ホース35が接 続され、油圧シリンダ34に油圧が供給されるようになっている。
【0017】 前記押引チェーン50は、クランプ装置8をクランプ位置と退避位置とに亙っ て押引駆動するための有端状のチェーンで、クランプ装置8が退避位置に位置し ているときには、図3に実線で示したように押引チェーン50の左側部分はハウ ジング20の開口部20a側から上方に延びてハウジング20の上端部で逆U字 状に屈曲し、その右側部分はハウジング20の右壁部20dに沿って下方に延び ハウジング20の下端部でスプロケット60に係合するとともに枢支ブロック部 材61のガイド溝61aでガイドされて左方に屈曲してブロック部材23に形成 されたガイド溝23bであってT溝7に連なるガイド溝23bに導入されている 。尚、クランプ装置8の本体部材31と押引チェーン50の下端部とは連結部材 54を介して連結されている。
【0018】 図4に示すように、押引チェーン50は、チェーン51の連結ピン51aを介 して複数の座屈防止用のU字型断面のリンクプレート52を当接状に連結して構 成され、各連結ピン51aの両端部には、T溝7に転動可能な遊輪53が装着さ れている。尚、油圧ホース35は、リンクプレート52内のトンネル状の導設路 を挿通して配設されている。
【0019】 前記スプロケット60は、図4、図5に示すように押引チェーン50の前後の 遊輪53に係合する前後1対のスプロケット部60aを有し、ハウジング20の 下部に固定された枢支ブロック部材61の前壁部61bと後壁部61c間の収容 部に配設され、スプロケット60は前後方向向きの水平な支軸66で枢支され、 支軸66の前端は軸受部材62と軸受64で支持され、支軸66の後端は軸受6 5で支持されている。
【0020】 次に、上記エア駆動回転型アクチュエータ70について説明する。 このエア駆動回転型アクチュエータ70は、図4、図5に示すように、ハウジ ング20の下端部の後壁部20c側に支軸66に対応して設けられ、このアクチ ュエータ70は、特殊な構造の複動式のエアシリンダ80と、エアシリンダ80 のピストン部材86の回転を拘束する回転拘束機構87と、エアシリンダ80の 内部に設けられてピストン部材86の直線運動を出力軸の回転運動に変換するボ ールネジ機構90等を有する。
【0021】 エアシリンダ80は、図5に示すようにケーシング81の左端を枢支ブロック 部材61の後壁部61cに当接して配設され、シリンダ孔82の後端を閉塞する 蓋部材83をケーシング81に締結する複数のボルト84で後壁部61cに固定 されている。尚、枢支ブロック部材61の後壁部61cとケーシング81と蓋部 材83とがシリンダ本体に相当する。 前記ケーシング81のシリンダ孔82の内周壁部の前後方向の途中部には軸心 側へ突出した環状係止部85が形成され、シリンダ孔82には次のような構成の ピストン部材86が設けられている。
【0022】 ピストン部材86は、環状係止部85の挿通孔85aに気密状に内嵌挿通する ロッド部86aと、ロッド部86aの前端に設けられ環状係止部85で区画され たシリンダ孔82の前部に気密摺動自在に内嵌するピストン部86bと、ロッド 部86aの後端に設けられ環状係止部85で区画されたシリンダ孔82の後部に 気密摺動自在に内嵌するピストン部86cとを備えている。
【0023】 前記ピストン部86bと環状係止部85の間には、ロッド部86aの外周側に 位置する環状の往動作動室81aが形成され、ピストン部86cと環状係止部8 5の間には、ロッド部86aの外周側に位置する環状の復動作動室81bが形成 されている。図4に示すように、往動作動室81aと復動作動室81bには夫々 加圧エア供給ポート88・89から加圧エアを供給・排出可能になっており、加 圧エア供給ポート88から往動作動室81aに加圧エアを供給し且つ復動作動室 81bから加圧エアを排出すると、ピストン部材86は図5に2点鎖線で示した 退避位置から実線で示した進出位置に所定ストローク駆動され、加圧エア供給ポ ート89から復動作動室81bに加圧エアを供給し且つ往動作動室81aから加 圧エアを排出すると、ピストン部材86は進出位置から退避位置に駆動される。
【0024】 前記ピストン部材86をシリンダ本体に対して回転拘束する回転拘束機構87 は、ピストン部材86の軸心から偏心した部位に軸方向向きに形成された透設孔 87aと、この透設孔87aに摺動自在に挿通されて前後両端部が後壁部61c と蓋部材83とで支持された回転拘束用ロッド部材87bとで構成されている。
【0025】 前記ボールネジ機構90は、ボールネジナット91とボールネジシャフト92 からなり、ボールネジナット91はピストン部材86の軸心側部分に形成された 収容部86dに装着されるとともにキー93でピストン部材86に固定され、ボ ールネジシャフト92はボールネジナット91に螺合するとともにピストン部材 86に形成された挿通孔86eを挿通して前後方向向きに配設され、ボールネジ シャフト92の前端部は支軸66の後端部に一体的に固着されている。ピストン 部材86を進出位置の方へ駆動すると、ボールネジシャフト92及び支軸66が 図3で時計回りに回動駆動されて、クランプ装置8が金型3の方へ移動駆動され 、またピストン部材86を退避位置の方へ駆動すると、クランプ装置8は上記と 反対方向へ移動駆動される。尚、支軸66が出力軸に相当する。
【0026】 一方、クランプ装置8の進出位置(クランプ位置)を微調節する為の調整機構 67について説明すると、図6に示すようにスプロケット60の前端面近傍位置 で支軸66に横断的な係合凹部66aが形成され、スプロケット60の前端面に は円周6等分位置にボルト穴60cが形成されている。アクチュエータ70のピ ストン部材86を進出位置に保持した状態において支軸66に対してスプロケッ ト60を相対回動させてクランプ装置8の位置を微調節しつつ設定し、その状態 で図6に図示のように係合凹部66aにストッパ部材68を係合させ適合する1 対のボルト穴60cにボルト69を締結することによりストッパ部材68を固定 するように構成してある。
【0027】 以上説明したクランプ移動駆動装置10及びエア駆動回転型アクチュエータ7 0の作用について説明する。 先ず、クランプ装置8を退避位置からクランプ位置に移動させる場合には、加 圧エア供給ポート88から往動作動室81aに所定のエア圧の加圧エアを供給し てピストン部材86をボールネジナット91とともに退避位置から進出位置側に 駆動する。このとき、ボールネジ機構90によりボールネジシャフト92と支軸 66が回転駆動され、調整機構67を介してスプロケット60が時計回りに回転 駆動される。
【0028】 そして、スプロケット60に係合した押引チェーン50はハウジング20内を 下降駆動され、図3に2点鎖線で示したようにクランプ装置8を可動盤3b側の クランプ位置に押駆動する。ピストン部材86が進出位置に達したときには、ク ランプ装置8はクランプ位置まで駆動され往動作動室81aへの加圧エアの供給 は停止される。
【0029】 一方、クランプ装置8をクランプ位置から退避位置に移動させる場合には、加 圧エア供給ポート89から復動作動室81bに所定のエア圧の加圧エアを供給す ると、上記と逆にピストン部材86は進出位置から退避位置側に駆動され、ボー ルネジ機構90と調整機構67を介してスプロケット60は反時計方向回りに回 転駆動される。このとき、押引チェーン50は、クランプ装置8をクランプ位置 から退避位置側に引駆動しつつハウジング20内に格納していく。ピストン部材 86が退避位置に達したときには、クランプ装置8は退避位置まで駆動され復動 作動室81bへの加圧エアの供給は停止される。
【0030】 ここで、シリンダ孔82の内壁部に環状係止部85を形成し、特殊な構造のピ ストン部材86を適用して、シリンダ孔82内のうちのロッド部86aの外周側 且つ環状係止部85の両側に1対の環状の作動室81a、81bを形成したので 、ピストン部材86の軸心側部分にボールネジナット91を装着し、そのボール ネジナット91にボールネジシャフト92を挿通螺合させても、ボールネジ機構 90にエア圧が作用することはなく加圧エアがリークすることはない。 それ故、ボールネジ機構90をエアシリンダ80内に組み込んで、アクチュエ ータ70を軸方向に小型化することができ、アクチュエータ70の構造が複雑化 することもない。しかも、ピストン部材86のうちのエア圧が作用しない部分に 、簡単な構造の回転拘束機構87を設けることができた。
【0031】 前記回転拘束機構87は、ピストン部材86のうちの軸心から偏心した部位に 軸方向向きに貫通状に形成された透設孔87aと、この透設孔87aに摺動摺動 自在に挿通され両端部がシリンダ本体に支持された回転拘束用ロッド部材87b とで構成されているので、ピストン部材86に回転トルクが作用しても、回転拘 束用ロッド部材87bで回転拘束されることになる。前記1対の作動室81a、 81bが、ピストン部材86の外周側部分にあるため、透設孔87aをピストン 部材86のうちのエア圧が作用しない部位に形成できるから、回転拘束機構87 を介して流体圧がリークすることはない。尚、前記アクチュエータ70において 、前記エアシリンダ80の代わりに、そのエアシリンダ80とほぼ同様の構造の 油圧シリンダを適用してもよい。
【0032】
請求項1の流体圧駆動回転型アクチュエータにおいては、流体圧シリンダと、 回転拘束手段と、ボールネジ機構とを設け、流体圧シリンダにおいて、シリンダ 孔の内壁部に環状係止部を形成し、特殊な構造のピストン部材を適用して、シリ ンダ孔内のうちのロッド部の外周側且つ環状係止部の両側に1対の環状の流体圧 作動室を形成したので、ピストン部材の軸心側部分にボールネジナットを装着し 、そのボールネジナットにボールネジシャフトを挿通螺合させても、ボールネジ 機構に流体圧が作用することはなく流体圧がリークすることはない。
【0033】 それ故、ボールネジ機構を流体圧シリンダ内に組み込んで、アクチュエータを 軸方向に小型化することができ、アクチュエータの構造が複雑化することもない 。しかも、ピストン部材のうちの流体圧が作用しない部分に、簡単な構造の回転 拘束手段を設けることも可能になる。
【0034】 請求項2の流体圧駆動回転型アクチュエータにおいては、請求項1と同様の効 果を奏するが、前記回転拘束手段は、ピストン部材のうちの軸心から偏心した部 位に軸方向向きに貫通状に形成された透設孔と、この透設孔に摺動摺動自在に挿 通され両端部がシリンダ本体に支持された回転拘束用ロッド部材とを備えている ため、ピストン部材を回転させるトルクが作用したとき、回転拘束用ロッド部材 で回転拘束されることになる。前記1対の流体圧作動室が、ピストン部材の外周 側部分にあるため、前記透設孔をピストン部材のうちの流体圧が作用しない部位 に形成できるから、回転拘束手段を介して流体圧がリークすることはない。
【図1】本考案の実施形態に係るプレス機械の正面図で
ある。
ある。
【図2】図1のII−II線断面図である。
【図3】図2のIII −III 線断面図である。
【図4】図2のIV−IV線断面図である。
【図5】エア駆動回転型アクチュエータ等の縦断側面図
である。
である。
【図6】調整機構の正面図である。
70 エア駆動回転型アクチュエータ 80 エアシリンダ 81 ケーシング 61c 後壁部 83 蓋部材 66 支軸(出力軸) 81a 往動作動室 81b 復動作動室 82 シリンダ孔 85 環状係止部 86 ピストン部材 86a ロッド部 86b、86c ピストン部 87 回転拘束機構 87a 透設孔 87b 回転拘束用ロッド部材 90 ボールネジ機構 91 ボールネジナット 92 ボールネジシャフト
Claims (2)
- 【請求項1】 流体圧シリンダのピストン部材を直線運
動させて出力軸を回転駆動するように構成した流体圧駆
動回転型アクチュエータにおいて、 前記流体圧シリンダは、シリンダ本体と、このシリンダ
本体のシリンダ孔の内壁部の軸方向途中部において軸心
側へ突出した環状係止部と、環状係止部に流体密に摺動
自在に挿通されたロッド部とこのロッド部の両端部に形
成された1対のピストン部を有するピストン部材と、ロ
ッド部の外周側且つ環状係止部の両側に形成された1対
の環状の流体圧作動室とを備え、且つピストン部材を所
定ストローク往復動可能に構成され、 前記ピストン部材がシリンダ本体に対して回転しないよ
うに拘束する回転拘束手段を設け、 前記ピストン部材の軸心側部分の収容部に装着して固定
されたボールネジナットとボールネジナットに螺合しそ
の一端部が出力軸に連結されたボールネジシャフトとを
含むボールネジ機構を設けた、 ことを特徴とする流体圧駆動回転型アクチュエータ。 - 【請求項2】 前記回転拘束手段は、ピストン部材のう
ちの軸心から偏心した部位に軸方向向きに貫通状に形成
された透設孔と、この透設孔に摺動摺動自在に挿通され
た両端部がシリンダ本体に支持された回転拘束用ロッド
部材とを備えたことを特徴とする請求項1に記載の流体
圧駆動回転型アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1995012662U JP2563378Y2 (ja) | 1995-11-06 | 1995-11-06 | 流体圧駆動回転型アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1995012662U JP2563378Y2 (ja) | 1995-11-06 | 1995-11-06 | 流体圧駆動回転型アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH081471U true JPH081471U (ja) | 1996-10-11 |
| JP2563378Y2 JP2563378Y2 (ja) | 1998-02-18 |
Family
ID=11811583
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1995012662U Expired - Lifetime JP2563378Y2 (ja) | 1995-11-06 | 1995-11-06 | 流体圧駆動回転型アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2563378Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5929906A (ja) * | 1982-08-12 | 1984-02-17 | Onoda Cement Co Ltd | キルンバ−ナ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49114394U (ja) * | 1973-02-01 | 1974-09-30 | ||
| JPS61189304A (ja) * | 1985-02-13 | 1986-08-23 | Yoshio Miyagi | ロ−タリ−アクチユエ−タ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2507440Y2 (ja) | 1990-03-24 | 1996-08-14 | 相生精機株式会社 | クランプ駆動装置 |
-
1995
- 1995-11-06 JP JP1995012662U patent/JP2563378Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49114394U (ja) * | 1973-02-01 | 1974-09-30 | ||
| JPS61189304A (ja) * | 1985-02-13 | 1986-08-23 | Yoshio Miyagi | ロ−タリ−アクチユエ−タ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5929906A (ja) * | 1982-08-12 | 1984-02-17 | Onoda Cement Co Ltd | キルンバ−ナ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2563378Y2 (ja) | 1998-02-18 |
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