JPH0818330B2 - スライシング装置 - Google Patents
スライシング装置Info
- Publication number
- JPH0818330B2 JPH0818330B2 JP1185057A JP18505789A JPH0818330B2 JP H0818330 B2 JPH0818330 B2 JP H0818330B2 JP 1185057 A JP1185057 A JP 1185057A JP 18505789 A JP18505789 A JP 18505789A JP H0818330 B2 JPH0818330 B2 JP H0818330B2
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- JP
- Japan
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- cutting
- blade
- cutting tool
- work
- displacement
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- 238000005452 bending Methods 0.000 description 5
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
- B23D59/001—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade
- B23D59/002—Measuring or control devices, e.g. for automatic control of work feed pressure on band saw blade for the position of the saw blade
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、シリコンインゴット等のワークを薄く切断
してシリコンウエハ等を切出すスライシング装置の改良
に関するものである。
してシリコンウエハ等を切出すスライシング装置の改良
に関するものである。
従来、例えば特開昭61−47644号公報に示されるよう
に、円形状の内周刃を有する切断工具を回転駆動させつ
つ、この切断工具もしくはワークを切断工具の軸と直角
方向に切込み送り移動させることにより、ワークを薄く
切断するスライシング装置が知られている。このスライ
シング装置は、上記内周刃が設けられたブレードが切断
時に撓み変形を生じ易く、これによってワークの切断位
置がずれ、切断面の真直度が悪くなるという問題点が指
摘されている。このため上記従来装置では、ブレードに
撓みが生じた場合、その板面に空気流もしくは磁界を作
用させることにより、ブレードの撓みを修正するように
している。
に、円形状の内周刃を有する切断工具を回転駆動させつ
つ、この切断工具もしくはワークを切断工具の軸と直角
方向に切込み送り移動させることにより、ワークを薄く
切断するスライシング装置が知られている。このスライ
シング装置は、上記内周刃が設けられたブレードが切断
時に撓み変形を生じ易く、これによってワークの切断位
置がずれ、切断面の真直度が悪くなるという問題点が指
摘されている。このため上記従来装置では、ブレードに
撓みが生じた場合、その板面に空気流もしくは磁界を作
用させることにより、ブレードの撓みを修正するように
している。
上記従来装置では、空気流もしくは磁界がブレードの
板面に局部的に作用するため、ブレードが波状に変形し
易く、ブレード全体の撓みを均一に修正して切断位置を
一定位置に保持させることが困難であり、切断面の真直
度の向上効果が不充分であるとともに、切断工具の寿命
が短くなるという問題がある。
板面に局部的に作用するため、ブレードが波状に変形し
易く、ブレード全体の撓みを均一に修正して切断位置を
一定位置に保持させることが困難であり、切断面の真直
度の向上効果が不充分であるとともに、切断工具の寿命
が短くなるという問題がある。
また、実開昭62−70904号公報に示されるように、内
周刃が設けられたブレードに撓み変形が生じた場合に、
切断工具の切込み速度を低下させ、ブレード自体が有す
る復元力によって切断位置のずれを修正することが行な
われている。この構成によれば、ブレードの撓み変形を
均一に修正することができるという利点を有する反面、
上記復元力によって切断位置のずれが修正されるまでに
時間を要するために応答性が悪く、しかも装置の生産性
の関係上、切込み速度をあまり遅くすることができない
ため、上記切断位置のずれを修正する効果に限界がある
という問題があった。
周刃が設けられたブレードに撓み変形が生じた場合に、
切断工具の切込み速度を低下させ、ブレード自体が有す
る復元力によって切断位置のずれを修正することが行な
われている。この構成によれば、ブレードの撓み変形を
均一に修正することができるという利点を有する反面、
上記復元力によって切断位置のずれが修正されるまでに
時間を要するために応答性が悪く、しかも装置の生産性
の関係上、切込み速度をあまり遅くすることができない
ため、上記切断位置のずれを修正する効果に限界がある
という問題があった。
本発明は、上記問題点を解決するためになされたもの
であり、迅速かつ効果的にワークの切断位置のずれを修
正し、切断面の真直度を向上させることができるスライ
シング装置を提供するものである。
であり、迅速かつ効果的にワークの切断位置のずれを修
正し、切断面の真直度を向上させることができるスライ
シング装置を提供するものである。
本発明は、円形状の内周刃が設けられたブレードを有
する切断工具と、この切断工具を回転させる回転駆動手
段と、この切断工具もしくはワークを切断工具の軸と直
角方向に送り移動させる切込み送り手段とを備えたスラ
イシング装置において、上記切断工具をその軸方向に移
動させる移動手段と、ワークの切断時における上記ブレ
ードの軸方向の変位量を検出する検出手段と、この検出
手段によって検出された上記ブレードの変位量に応じ、
上記切込み送り手段に切込み速度を低下させる制御信号
を出力するとともに、上記切断工具を上記ブレードの変
位の向きと逆の向きに移動させて切断位置の変位を修正
する修正信号を上記移動手段に出力する制御手段とを設
けたものである。
する切断工具と、この切断工具を回転させる回転駆動手
段と、この切断工具もしくはワークを切断工具の軸と直
角方向に送り移動させる切込み送り手段とを備えたスラ
イシング装置において、上記切断工具をその軸方向に移
動させる移動手段と、ワークの切断時における上記ブレ
ードの軸方向の変位量を検出する検出手段と、この検出
手段によって検出された上記ブレードの変位量に応じ、
上記切込み送り手段に切込み速度を低下させる制御信号
を出力するとともに、上記切断工具を上記ブレードの変
位の向きと逆の向きに移動させて切断位置の変位を修正
する修正信号を上記移動手段に出力する制御手段とを設
けたものである。
また本発明は、円形状の内周刃が設けられたブレード
を有する切断工具と、この切断工具を回転させる回転駆
動手段と、この切断工具もしくはワークを切断工具の軸
と直角方向に送り移動させる切込み送り手段とを備えた
スライシング装置において、上記ワークをその軸方向に
移動させる移動手段と、ワークの切断時における上記ブ
レードの軸方向の変位量を検出する検出手段と、この検
出手段によって検出された上記ブレードの変位量に応
じ、上記切込み送り手段に切込み速度を低下させる制御
信号を出力するとともに、上記ワークを上記ブレードの
変位の向きと同じ向きに移動させて切断位置の変位を修
正する修正信号を上記移動手段に出力する制御手段とを
設けたものである。
を有する切断工具と、この切断工具を回転させる回転駆
動手段と、この切断工具もしくはワークを切断工具の軸
と直角方向に送り移動させる切込み送り手段とを備えた
スライシング装置において、上記ワークをその軸方向に
移動させる移動手段と、ワークの切断時における上記ブ
レードの軸方向の変位量を検出する検出手段と、この検
出手段によって検出された上記ブレードの変位量に応
じ、上記切込み送り手段に切込み速度を低下させる制御
信号を出力するとともに、上記ワークを上記ブレードの
変位の向きと同じ向きに移動させて切断位置の変位を修
正する修正信号を上記移動手段に出力する制御手段とを
設けたものである。
上記構成の本発明によれば、ワークの切断時にブレー
ドに撓み変形が生じ始めたことが検出された時点で、制
御手段から切込み送り手段に出力される制御信号に応じ
て切断工具の切込み速度が低下し、ブレードの変形が修
正され易い状態となる。さらに、この状態で制御手段か
ら移動手段に出力される制御信号に応じ、切断位置の変
位量に対応する距離だけ、切断工具がブレードの変位の
向きと逆の向きに移動する（もしくはワークがブレード
の変位の向きと同じ向きに移動する）ことにより、切断
工具によるワーク切断位置のずれが修正されることにな
る。
ドに撓み変形が生じ始めたことが検出された時点で、制
御手段から切込み送り手段に出力される制御信号に応じ
て切断工具の切込み速度が低下し、ブレードの変形が修
正され易い状態となる。さらに、この状態で制御手段か
ら移動手段に出力される制御信号に応じ、切断位置の変
位量に対応する距離だけ、切断工具がブレードの変位の
向きと逆の向きに移動する（もしくはワークがブレード
の変位の向きと同じ向きに移動する）ことにより、切断
工具によるワーク切断位置のずれが修正されることにな
る。
第１図は、本発明に係るスライシング装置の実施例を
示している。このスライシング装置は、基台１上に設置
されたガイドレール２と、このガイドレール２に沿って
スライド自体に支持されたスライドテーブル３と、この
スライドテーブル３に対向して上記基台１上に設置され
た主軸台４とを備えている。
示している。このスライシング装置は、基台１上に設置
されたガイドレール２と、このガイドレール２に沿って
スライド自体に支持されたスライドテーブル３と、この
スライドテーブル３に対向して上記基台１上に設置され
た主軸台４とを備えている。
この主軸台４には、先端部に切断工具５が取付けられ
た主軸６が回転自在に支持されるとともに、ベルト伝動
機構７によって主軸６を回転駆動する駆動モータ８が取
付けられている。上記切断工具５は、主軸６の先端部に
固着されたテンションディスク９と、このテンションデ
ィスク９に周縁部が固着されたドーナツ板状の薄板から
なるブレード10と、このブレード10の内周部に固着され
たダイヤモンド粒子等からなる内周刃11とにより構成さ
れている。主軸台４は、その軸方向と平行な方向に延び
るガイドレール24に沿ってスライド自在に支持されてお
り、駆動モータ26およびボールねじ25からなる検出手段
27によって主軸台４全体が上記スライド方向に駆動され
るようになっている。
た主軸６が回転自在に支持されるとともに、ベルト伝動
機構７によって主軸６を回転駆動する駆動モータ８が取
付けられている。上記切断工具５は、主軸６の先端部に
固着されたテンションディスク９と、このテンションデ
ィスク９に周縁部が固着されたドーナツ板状の薄板から
なるブレード10と、このブレード10の内周部に固着され
たダイヤモンド粒子等からなる内周刃11とにより構成さ
れている。主軸台４は、その軸方向と平行な方向に延び
るガイドレール24に沿ってスライド自在に支持されてお
り、駆動モータ26およびボールねじ25からなる検出手段
27によって主軸台４全体が上記スライド方向に駆動され
るようになっている。
上記スライドテーブル３は、ボールねじ12と、このボ
ールねじ12を回転駆動する駆動モータ13とを有する切込
み送り手段14により、上記ガイドレール２に沿って主軸
６と直角方向に切込み送り移動されるように構成されて
いる。また、スライドテーブル３上には、シリコンイン
ゴット等からなるワーク15を保持する保持部材16が載置
され、この保持部材16は、ボールねじ17と、このボール
ねじ17を回転駆動する駆動モータ18とを有する割出し送
り手段19により、上記主軸６の軸方向にスライド駆動さ
れることにより、ワーク15の先端部を切断工具５のブレ
ード10内に所定量搬入するように構成されている。
ールねじ12を回転駆動する駆動モータ13とを有する切込
み送り手段14により、上記ガイドレール２に沿って主軸
６と直角方向に切込み送り移動されるように構成されて
いる。また、スライドテーブル３上には、シリコンイン
ゴット等からなるワーク15を保持する保持部材16が載置
され、この保持部材16は、ボールねじ17と、このボール
ねじ17を回転駆動する駆動モータ18とを有する割出し送
り手段19により、上記主軸６の軸方向にスライド駆動さ
れることにより、ワーク15の先端部を切断工具５のブレ
ード10内に所定量搬入するように構成されている。
上記ブレード10の近傍には、第２図に示すように、ワ
ーク15の切断時にブレード10の撓み変形を検出する磁気
センサ等からなる非接触型のセンサ20が設けられてい
る。そして、このセンサ20の検出値は切断位置の変位量
を読出す読出手段21に入力され、この読出手段21におい
て、ブレード10が撓み変形することにより生じたワーク
切断位置の変位量が読出される。つまり上記センサ20
と、読出手段21とにより、ワーク15の切断時に発生する
切断位置の変位量を検出する検出手段22が構成されてい
る。また、上記検出手段22により求められた切断位置の
変位量は制御手段23に入力され、この変位量に応じて制
御手段23から上記切込み送り手段14の作動速度を低下さ
せる制御信号が駆動モータ13に出力されるとともに、切
断工具５を切断位置の変位の向きと逆向きに移動させる
制御信号が移動手段27に出力されるようになっている。
ーク15の切断時にブレード10の撓み変形を検出する磁気
センサ等からなる非接触型のセンサ20が設けられてい
る。そして、このセンサ20の検出値は切断位置の変位量
を読出す読出手段21に入力され、この読出手段21におい
て、ブレード10が撓み変形することにより生じたワーク
切断位置の変位量が読出される。つまり上記センサ20
と、読出手段21とにより、ワーク15の切断時に発生する
切断位置の変位量を検出する検出手段22が構成されてい
る。また、上記検出手段22により求められた切断位置の
変位量は制御手段23に入力され、この変位量に応じて制
御手段23から上記切込み送り手段14の作動速度を低下さ
せる制御信号が駆動モータ13に出力されるとともに、切
断工具５を切断位置の変位の向きと逆向きに移動させる
制御信号が移動手段27に出力されるようになっている。
上記構成のスライシング装置の作用について以下に説
明する。まず、スライドテーブル２の保持部材16にワー
ク15を保持させた状態で、回転駆動部の駆動モータ８を
作動させて主軸６および切断工具５を基準回転数で回転
させるとともに、割出し送り手段19によりワーク15の先
端部を切断工具５のブレード10内に搬入する。次に、切
込み送り手段14の駆動モータ13を作動させてワーク15を
主軸６と直角方向に送り移動させることにより、ワーク
15を切断工具５の内周刃11に接触させて切断する。
明する。まず、スライドテーブル２の保持部材16にワー
ク15を保持させた状態で、回転駆動部の駆動モータ８を
作動させて主軸６および切断工具５を基準回転数で回転
させるとともに、割出し送り手段19によりワーク15の先
端部を切断工具５のブレード10内に搬入する。次に、切
込み送り手段14の駆動モータ13を作動させてワーク15を
主軸６と直角方向に送り移動させることにより、ワーク
15を切断工具５の内周刃11に接触させて切断する。
上記ワーク15の切断時に、ワーク15と内周刃11との間
に作用する切断抵抗等に起因してブレード10が撓み、切
断工具５によるワーク15の切断位置がその軸方向に変位
すると、その変位量が検出手段22によって検出される。
そして、この変位が検出された時点で、上記制御手段22
から切込み送り手段14の駆動モータ13にワーク15の送り
移動速度を低下させる制御信号が出力される。この結
果、ワーク15の切込み速度が低下して切断抵抗が減少す
るため、ブレード10がこれ以上大きく撓むことが抑制さ
れることになる。
に作用する切断抵抗等に起因してブレード10が撓み、切
断工具５によるワーク15の切断位置がその軸方向に変位
すると、その変位量が検出手段22によって検出される。
そして、この変位が検出された時点で、上記制御手段22
から切込み送り手段14の駆動モータ13にワーク15の送り
移動速度を低下させる制御信号が出力される。この結
果、ワーク15の切込み速度が低下して切断抵抗が減少す
るため、ブレード10がこれ以上大きく撓むことが抑制さ
れることになる。
さらに、上記ブレード10に撓みを生じたことが確認さ
れた時点で、その撓みの大きさおよび方向に応じて制御
手段23から移動手段27に制御信号が出力され、内周刃11
を強制的に元の位置に復帰させるように、切断位置の変
位量に対応する距離だけ切断工具５の全体がその軸方向
に移送される。
れた時点で、その撓みの大きさおよび方向に応じて制御
手段23から移動手段27に制御信号が出力され、内周刃11
を強制的に元の位置に復帰させるように、切断位置の変
位量に対応する距離だけ切断工具５の全体がその軸方向
に移送される。
このように上記検出手段22によってワーク15の切断時
に切断位置の変位量を検出し、この変位量に応じてワー
ク15の切込み速度を低下させるとともに、上記変位量に
対応する距離だけその変位の向きと逆の向きに切断工具
５を移動させるように構成したため、切断工具５の切断
抵抗を減少させてこれ以上大きくブレード10が撓むのを
防止した状態で、切断位置の変位を迅速かつ効果的に修
正することができる。
に切断位置の変位量を検出し、この変位量に応じてワー
ク15の切込み速度を低下させるとともに、上記変位量に
対応する距離だけその変位の向きと逆の向きに切断工具
５を移動させるように構成したため、切断工具５の切断
抵抗を減少させてこれ以上大きくブレード10が撓むのを
防止した状態で、切断位置の変位を迅速かつ効果的に修
正することができる。
すなわち、ワーク15の切込み送り移動速度を減少させ
ると、ワーク15の切断抵抗が小さくなるため、テンショ
ンディスク９からブレード10に付与される張力に応じて
ブレード10が元の形状に復元し易くなる。したがって、
この状態で主軸台４を動かしてブレード10をその変位の
向きと逆の向きに強制移動させることにより、切断位置
のずれを早期に修正することができる。
ると、ワーク15の切断抵抗が小さくなるため、テンショ
ンディスク９からブレード10に付与される張力に応じて
ブレード10が元の形状に復元し易くなる。したがって、
この状態で主軸台４を動かしてブレード10をその変位の
向きと逆の向きに強制移動させることにより、切断位置
のずれを早期に修正することができる。
なお、上記実施例では、切込み送り手段14によってワ
ーク15を主軸６の軸と直角方向に送り移動させることに
より、ワーク15の切込みを行なうようしているが、主軸
台４を主軸６と直角方向に移動させることにより、ワー
ク15の切込みを行なう切込み送り手段を設けた構造とし
てもよい。
ーク15を主軸６の軸と直角方向に送り移動させることに
より、ワーク15の切込みを行なうようしているが、主軸
台４を主軸６と直角方向に移動させることにより、ワー
ク15の切込みを行なう切込み送り手段を設けた構造とし
てもよい。
また、上記切断工具５を移動させる代りにワーク15
を、切断位置の変位の向きと同じ向きにその変位量に対
応する距離だけ移動させることにより、基準位置から変
位した切断位置を強制的に元の位置に復帰させるように
構成してもよい。
を、切断位置の変位の向きと同じ向きにその変位量に対
応する距離だけ移動させることにより、基準位置から変
位した切断位置を強制的に元の位置に復帰させるように
構成してもよい。
以上説明したように、本発明は、円形状の内周刃が設
けられた切断工具によりワークを切断する際に、切断工
具のブレードが撓み変形してワークの切断位置が変位し
たことが検出手段によって検出された場合に、ワークも
しくは切断工具を送り移動させる切込み送り手段の切込
み速度を低下させて切断抵抗を小さくするとともに、上
記ワークもしくは切断工具を、上記変位量に相当する距
離だけ軸方向に移動させて切断位置のずれを修正するよ
うに構成したため、スライシング装置の生産性を低下さ
せることなく、簡単な構成で迅速かつ効果的にワークの
切断面の真直度を向上させることができる。
けられた切断工具によりワークを切断する際に、切断工
具のブレードが撓み変形してワークの切断位置が変位し
たことが検出手段によって検出された場合に、ワークも
しくは切断工具を送り移動させる切込み送り手段の切込
み速度を低下させて切断抵抗を小さくするとともに、上
記ワークもしくは切断工具を、上記変位量に相当する距
離だけ軸方向に移動させて切断位置のずれを修正するよ
うに構成したため、スライシング装置の生産性を低下さ
せることなく、簡単な構成で迅速かつ効果的にワークの
切断面の真直度を向上させることができる。
第１図は本発明の実施例を示す全体概略図、第２図は制
御部の構成を示すブロック図である。 ５……切断工具、６……主軸、10……ブレード、11……
内周刃、14……切込み送り手段、22……検出手段、23…
…制御手段、27……移動手段。
御部の構成を示すブロック図である。 ５……切断工具、６……主軸、10……ブレード、11……
内周刃、14……切込み送り手段、22……検出手段、23…
…制御手段、27……移動手段。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−134212（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−133634（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−122811（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−70904（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】円形状の内周刃が設けられたブレードを有
する切断工具と、この切断工具を回転させる回転駆動手
段と、この切断工具もしくはワークを切断工具の軸と直
角方向に送り移動させる切込み送り手段とを備えたスラ
イシング装置において、上記切断工具をその軸方向に移
動させる移動手段と、ワークの切断時における上記ブレ
ードの軸方向の変位量を検出する検出手段と、この検出
手段によって検出された上記ブレードの変位量に応じ、
上記切込み送り手段に切込み速度を低下させる制御信号
を出力するとともに、上記切断工具を上記ブレードの変
位の向きと逆の向きに移動させて切断位置の変位を修正
する修正信号を上記移動手段に出力する制御手段とを設
けたことを特徴とするスライシング装置。 - 【請求項２】円形状の内周刃が設けられたブレードを有
する切断工具と、この切断工具を回転させる回転駆動手
段と、この切断工具もしくはワークを切断工具の軸と直
角方向に送り移動させる切込み送り手段とを備えたスラ
イシング装置において、上記ワークをその軸方向に移動
させる移動手段と、ワークの切断時における上記ブレー
ドの軸方向の変位量を検出する検出手段と、この検出手
段によって検出された上記ブレードの変位量に応じ、上
記切込み送り手段に切込み速度を低下させる制御信号を
出力するとともに、上記ワークを上記ブレードの変位の
向きと同じ向きに移動させて切断位置の変位を修正する
修正信号を上記移動手段に出力する制御手段とを設けた
ことを特徴とするスライシング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1185057A JPH0818330B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | スライシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1185057A JPH0818330B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | スライシング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0349906A JPH0349906A (ja) | 1991-03-04 |
| JPH0818330B2 true JPH0818330B2 (ja) | 1996-02-28 |
Family
ID=16164053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1185057A Expired - Fee Related JPH0818330B2 (ja) | 1989-07-17 | 1989-07-17 | スライシング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0818330B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4707537B2 (ja) * | 2005-11-02 | 2011-06-22 | 株式会社ジャストコーポレーション | Ｃｄ等のレンタル及び販売用の陳列具 |
| CN101827561B (zh) | 2007-09-18 | 2012-06-27 | 史塞克创伤有限责任公司 | 植入物的角度稳定固接 |
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-
1989
- 1989-07-17 JP JP1185057A patent/JPH0818330B2/ja not_active Expired - Fee Related
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