JPH08187461A

JPH08187461A - 屈折率分布型マイクロレンズの製造方法

Info

Publication number: JPH08187461A
Application number: JP227195A
Authority: JP
Inventors: Hiroaki Kinoshita; 博章木下
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1995-01-10
Filing date: 1995-01-10
Publication date: 1996-07-23

Abstract

(57)【要約】【目的】多孔質体中の金属分布の形状を精密に制御
し、屈折率、屈折率差、分散特性等の光学特性において
再現性・信頼性の高い屈折率分布を有するマイクロレン
ズを容易に得る。【構成】多孔質体６を焼結することにより、屈折率変
化の部位が表面から１ｍｍ以下である屈折率分布層を持
つマイクロレンズを製造する方法において、多孔質体６
を有機溶剤・水・酸・アルカリから選ばれた少なくとも
１種を含む溶液または該溶液に金属成分を溶解した溶液
に、屈折率分布を付与すべき面を接触させる。この際、
モータ３によりステージ５を回転させ、ステージ５上の
多孔質体６に、前記溶液を屈折率分布層の半分以下の厚
さ塗布する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複写機，液晶プロジェ
クタ，通信機器，固体撮像素子などの装置に使用される
微小光学系の屈折率分布型マイクロレンズの製造方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、微小光学という新しい光学領域が
盛んに研究され、多くの利用が検討されているが、微小
光学の領域で使用されるレンズは特にマイクロレンズと
呼ばれ、その必要性が高まっている。

【０００３】このようなマイクロレンズを作製するに
は、古来より行われてきた研磨加工では加工できる大き
さやコストに限度があるため、全く新しいレンズの製造
方法が提案されている。その一つとして、ゾルゲル法に
よるマイクロレンズの製造方法の検討がなされている。
ゾルゲル法は、低温プロセスで、ゾルの化学組成を調整
することが可能なことから、種々の光学特性を持った多
成分系ガラスが合成できるため、多様な特性（屈折率、
アッベ数、色など）を持ったマイクロレンズが得られる
と期待されている。

【０００４】一般的に、ゾルゲル法によるマイクロレン
ズの製造方法としては、平板の多孔質体上にレジストで
分布付与すべきスポット以外の場所にマスクを施したの
ち、金属塩を含む分布付与溶液に浸漬して分布を付与
し、その後マスクを溶解させて平板上に屈折率分布を持
つマイクロレンズアレイを得る方法が行われている。

【０００５】また、特開平２−８８４３３号公報には、
レンズパターンを有する母体にゾルを接触させながらゲ
ル化させ、得られたウェットゲルを乾燥させてドライゲ
ルとした後にマスキングし、レンズの中央部からドーパ
ントを拡散させて屈折率を高くする（あるいは低くす
る）か、またはレンズの端部からドーパントを拡散させ
て屈折率を高くする（あるいは低くする）工程を経るこ
とによりマイクロレンズを得る方法が開示されている。

【０００６】一方、屈折率分布型光学素子の中心部と外
周部との屈折率差を大きくする方法が、特開被４−２６
０６０８号公報に開示されている。この方法では、シリ
コンアルコキシドと屈折率を高める成分の金属アルコキ
シドとを含むゾルから得たウェットゲルより金属成分を
溶出する工程を複数回行い、１回目の濃度分布付与工程
は、浸漬する溶液がゲル中心部まで達して、金属成分が
溶解し、且つその溶解した成分がゲル外へ拡散し得る適
当な時間を分布付与時間とする。一旦この金属濃度分布
を固定した後、２回目以降の濃度分布付与工程は、ゲル
の中心部の金属成分濃度を保持するように、浸漬する溶
液がゲルの中心部にまでは到達しない時間をその拡散速
度から概算し、新たな分布付与溶液に浸漬するという方
法である。

【０００７】また、特願平５−３１９１４５号には、多
孔質体を分布付与溶液に断続的に接触させることによ
り、見かけの分布付与時間を操作し易い時間になるよう
にし、微小な屈折率分布型光学素子の屈折率分布を精密
にコントロールする方法が提案されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】現在、微小光学系にお
いて、高性能な光学素子の１つとして、小型で通常の光
学系と同様に各種の収差を補正したマイクロレンズが必
要となっている。その一例として、図２の（Ａ）直径が
０．１ｍｍ（つまり、深度が０．０５ｍｍ）の屈折率分
布部分を持つマイクロレンズアレイ、（Ｂ）直径が０．
１ｍｍ（つまり、高さが０．０５ｍｍ）の屈折率分布部
位をガラス平面上に持つマイクロレンズアレイや、
（Ｃ）直径が０．１ｍｍ（つまり半径が０．０５ｍｍ）
のロッド状微小径レンズが挙げられる。このような光学
素子を作製する際には、光学素子の形状はもちろんのこ
と、小型化にともないマイクロレンズの母体となる多孔
質体における屈折率分布の精密な制御が必要不可欠であ
る。

【０００９】マスクを行う従来の方法や特開平２−８８
４３３号公報、特開平４−２６０６０８号公報記載の方
法により微小なマイクロレンズを作製しようとしても、
多孔質体中の金属イオン種の拡散が速いため、分布付与
時間が非常に短い時間となり、溶液の温度、溶液の濃
度、分布付与時間等の製造条件の僅かなバラつきが、多
孔質体中の金属種の組成の分布形状をバラつかせ、焼成
された屈折率分布をもつマイクロレンズの屈折率、屈折
率差、分散特性等の光学特性において再現性・信頼性に
劣るという欠点を有していた。

【００１０】また、特願平５−３１９１４５号記載の方
法により、図２に示すようなマイクロレンズを作製しよ
うとしても、多孔質体が非常に小さいためにゲル表面に
はゲルの表面積に対して相対的に多量の分布付与溶液が
付着してしまい、所望の屈折率分布を持つガラス体を精
度良く作製することができなかった。

【００１１】本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので、多孔質体を得る直径１ｍｍ以下、特に直
径０．５ｍｍ以下の屈折率分布の部位を持つマイクロレ
ンズの製造方法において、多孔質体中に金属分布の形状
を精密に制御し、屈折率、屈折率差、分散特性等の光学
特性において再現性・信頼性の高い屈折率分布を有する
マイクロレンズを容易に製造する方法を提供することを
目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に係る発明は、多孔質体を焼結することに
より、屈折率変化の部位が表面から１ｍｍ以下である屈
折率分布層を持つマイクロレンズを製造する方法におい
て、多孔質体を有機溶剤・水・酸・アルカリから選ばれ
た少なくとも１種を含む溶液または該溶液に金属成分を
溶解した溶液に、屈折率分布を付与すべき面を接触さ
せ、前記溶液を前記屈折率分布層の半分以下の厚さ塗布
する工程を有することとした。

【００１３】請求項２に係る発明は、多孔質体を焼結す
ることにより、屈折率変化の部位が表面から１ｍｍ以下
である屈折率分布部位を持つマイクロレンズを製造する
方法において、前記多孔質体が略円柱状の形状をしてお
り、前記溶液と、前記略円柱状多孔質体の湾曲側面とを
接触させ、前記溶液を前記略円柱状多孔質体の湾曲側面
に半径以下の厚さ塗布して径方向に屈折率分布を付与す
る工程を有することとした。

【００１４】請求項３に係る発明は、多孔質体を焼結す
ることにより、屈折率変化の部位が表面から１ｍｍ以下
である屈折率分布部位を持つマイクロレンズを製造する
方法において、前記多孔質体が平板であり、一部に略円
状の穴を設けたレジストを多孔質体の表面に作製した
後、前記溶液と多孔質体の略円状の穴とを接触させ、前
記略円状の穴を中心に略半球状の屈折率分布部位を作製
する工程において、前記溶液を前記略円状の穴に前記半
球状の屈折率分布部位の半径以下の厚さ塗布する工程を
有することとした。

【００１５】

【作用】多孔質体であるゲルを、分布付与を行う溶液に
浸漬し、多孔質体中の金属成分を溶解して金属濃度分布
を形成する。一般的に、この溶液には有機溶剤・水・酸
・アルカリなどの溶液もしくはその混合溶液、またはそ
れらの溶液と金属成分（特に金属塩など）を溶解した溶
液で、多孔質体の金属種を溶解させるような溶解度を持
つ溶液が用いられる。一方、多孔質体に付与した金属濃
度分布を保持するために、金属種を沈殿させるような溶
解度を持つ溶液が用いられる。

【００１６】以下に、従来の方法における欠点をその作
用面から明らかにし、その後に本発明について、前記欠
点を解決するための作用について説明する。

【００１７】従来の方法では、多孔質体であるゲルを完
全に浸漬して、分布付与溶液が多孔質体中心部まで達す
る時間まで液相を交換する。ここで、ゲルの径が非常に
小さい場合には、分布付与溶液が過剰量ゲルに付着し、
分布付与が進みすぎるため、所望の屈折率分布が得られ
なかったのである。また、分布固定工程においても、過
剰の分布固定溶液が多孔質体に形成した金属濃度分布成
分の一部を溶解し、糞付形状を乱してしまうため、所望
の屈折率分布が得られなかった。つまり、ゲルの径が非
常に小さい場合は、分布付与溶液や分布固定溶液の溶液
量が、屈折率分布型光学素子の金属種の分布形状、ひい
ては屈折率や屈折率差、分散特性などの光学特性を制御
する重要なパラメーターとなる。したがって、分布付与
溶液量や分布固定溶液量を適量多孔質体に接触させるよ
うに制御することができれば、微小レンズでの屈折率分
布型光学素子の金属種の分布形状を精密に制御すること
が可能となる。

【００１８】本発明は、以上のことに鑑みてなされたも
のである。本発明者は、鋭意研究の結果、図２（Ａ），
（Ｂ）に示したような微小径のマイクロレンズアレイの
場合には、図３（Ａ）に示した断面図のように所望の分
布深さが分布付与溶液の液量に大きな関係を持つことを
見出した。図３（Ａ）において、１で示す部粉が屈折率
分布部位であり、（Ｂ）においては、盛り上がった突起
部分が屈折率分布部位である。また、図２（Ｃ）に示し
たような円柱レンズの場合には、図３（Ｂ）に示した断
面図のように径方向の深さが分布付与溶液の液量に大き
な関係を持つことを見出した。図３（Ｂ）において、２
で示す部粉が屈折率分布部位である。

【００１９】すなわち、分布付与溶液を多孔質体の所望
の屈折率分布相の半分以下の厚さ塗布することにより、
微小レンズでの屈折率分布型光学素子の金属種の分布形
状を精密に制御することが可能となることを見出した。
これは、微小レンズの製造工程においては、分布付与溶
液の量と多孔質体に分布を付与すべき深度との関係が、
体積よりも分布付与を行う表面積のみにより決定できる
ということを意味する。

【００２０】分布付与工程においては、塗布した分布付
与溶液が拡散することにより分布を付与することができ
るが、表面相から新たな過剰量の分布付与溶液が供給さ
れないので、多孔質体上に導く塗布された液層のみの拡
散となり、分布付与スピードが低下するので、極微小径
においても細かな分布制御が可能となるのである。

【００２１】分布付与後は、分布付与溶液を自然に蒸発
させるか大量の分布固定溶液に多孔質体を浸漬して分布
付与溶液を洗い流してもよいが、多孔質体表面に金属成
分の塩や有機物、酸などが残留してしまったり、多孔質
体に形成した分布形状が崩れることがあるので、分布付
与溶液を取り除くことが好ましい。この方法としては、
分布付与と同じように適量の分布固定溶液を多孔質体に
塗布したり、多孔質体に気体を吹きつけて分布付与溶液
を吹き飛ばしたり、これらを組み合わせた方法を用いて
もよい。

【００２２】以上、本発明を分布付与工程に用いた場合
について説明したが、分布固定工程に用いた場合にも、
以下に述べるように効果的である。先に述べたように、
多孔質体中の金属濃度を固定するための分布固定溶液に
は、金属種の溶解度の低い溶液を用いる。しかし、前記
微小光学系レンズを従来法により作製しようといると、
多孔質体が接触する分布固定溶液の量が非常に多いた
め、多くの金属塩が溶解または再拡散してしまい、分布
付与工程で形成した金属濃度分布を崩れさせていた。こ
れに対し、本発明を用いると、多孔質体に接触する分布
固定溶液が少ないため、金属種が溶解したり、再拡散す
ることなく金属成分分布を固定することができるので、
多孔質体の金属成分分布を崩さず目的の分布形状を得る
ことが可能となる。

【００２３】分布付与溶液や分布固定溶液を多孔質体に
塗布する工程には、いわゆるスピンコーティング法が適
している。図１は、スピンコーティング装置を示すもの
で、モータ３には、歯車機構４を介して水平面内で軸回
りに回転する円板状のステージ５が接続されている。ス
テージ５上には、多孔質体６が載置される。また、その
多孔質体６の上方には、分布付与溶液や分布固定溶液の
溶液落下口７が配設されている。

【００２４】例えば、図２（Ａ）に示すような多孔質体
のマイクロレンズアレイに分布付与を行う際に、図１の
ような装置を用いて多孔質体６を高速で回転させてお
き、溶液落下口７から適量の溶液を多孔質体６の中心に
落下させる。すると、溶液は剪断力により多孔質体６の
外周部に向かって均一に広がる。多孔質体６が平面やな
だらかな凹凸を持つ場合など、多くの場合において溶液
を一点で落下させて均一に広がらせることが可能である
が、多孔質体６の凹凸が大きい場合は、溶液を数点で落
下させてもよい。

【００２５】溶液の塗布方法については、スピンコーテ
ィング法がどんな場合にも適用できるため最適である。
これは、図１にしたような装置において、多孔質体６を
乗せるステージ５の回転速度を変化させることにより、
どのような粘度を持つ溶液であっても均一な厚さに塗布
することが可能だからである。また、この他の塗布方法
として溶液をハケで塗る方法や、多孔質体を一瞬溶液に
くぐらせるいわゆるディップコーティング法等を用いて
もよい。

【００２６】多孔質体としては、シリコンアルコキシド
等を加水分解したゾルをゲル化して得られる、いわゆる
ゲルや、ＣＶＤ法やＶＡＤ法により作製されるスート、
分相法等により作製される多孔質ガラスを用いる。塗布
する溶液の厚さは、多孔質体に存在する気孔の量や形状
（細孔容積、比表面積、細孔径）により、適宜変化させ
る必要があるが、一般的にゾルゲル法などで作製される
０．３〜１．８ｇ／ｃｍ³程度の密度を持った多孔質体
であればよい。

【００２７】酸およびその金属塩、アルカリには、酢
酸、乳酸、クエン酸、リンゴ酸、マレイン酸、しゅう酸
等の有機酸塩や、塩酸、硝酸、亜硝酸等の無機酸および
その塩、水酸化物、アンモニウム等のアルカリおよびそ
の塩基を用いることができる。

【００２８】分布付与溶液として使用する上記金属塩、
酸、有機溶剤、アルカリ、水から選ばれた少なくとも一
種の成分を含む溶液を適宜変化させることにより、多孔
質体中の金属種の濃度分布形状を変化させることができ
る。例えば、多孔質体にあらかじめ分布付与をすべき金
属成分を含有させておき、酸、水、有機溶剤、アルカリ
などを含む金属成分を溶出させる溶液に接触させて多孔
質体より金属成分を溶出させることにより、多孔質体に
分布を付与することができる。

【００２９】また、複数の金属に濃度分布を付与したい
場合には、第１の金属種を多孔質体中に含有させ、第１
の金属成分を溶解させる成分と第２の金属成分とを混合
した分布付与溶液中に接触させることにより、第１と第
２の金属成分に分布を付与することができる。

【００３０】分布付与溶液の量は、分布付与すべき金属
種の拡散速度を考慮して、溶液の組成や濃度、液温、接
触時間、多孔質体の組成や細孔径、多孔質体の直径、分
布付与溶液にかける時間等のパラメーターを適宜変化さ
せる必要があるが、これらのパラメーターを制御するこ
とにより、多孔質体中の分布形状を高精度に制御するこ
とが可能となる。

【００３１】これらの操作により得られた多孔質体を分
布固定、乾燥、焼成することにより、屈折率、屈折率
差、分散特性等の光学特性において再現性・信頼性の高
い屈折率分布を有したマイクロレンズを容易に製造する
ことができる。

【００３２】また、本発明は、レンズが平板状に一定間
隔で並んだ平板マイクロレンズや、円柱、角柱、楕円柱
などのロッド状または球状または楕円状や、導波路など
に適用することができる。また、多孔質体表面からの金
属種の拡散距離が短い場合について特に有効である。す
なわち、ロッド状等においては、極めて小さい場合につ
いて有効である。また、平板マイクロレンズにおいても
特に有効である。多孔質体中に含まれる金属種の拡散速
度が大きな場合について特に有効である。

【００３３】

【実施例】

［実施例１］図４に本実施例の全体の工程の概念図を示
す。４１．８ｇのＳｉ（ＯＣＨ₃） ₄に７０ｍｌのエタ
ノールを加え、９．６ｍｌの２規定塩酸を加えて加水分
解し、この溶液に１ｍｏｌ／ｌの酢酸鉛水溶液を８０ｍ
ｌと１７規定酢酸３２ｍｌを加えてゾルを調製した。こ
のゾルを一辺が１ｃｍ、厚さが５ｍｍの正方形ガラス基
板８にコーティングしゲル化させた。ゲル９層の厚さは
２ｍｍであった。ゲル９り表面に直径０．００５ｍｍの
円形パターン１０を２５個形成したマスク部材１１によ
りマスキングを施し、マトリックス状の円形状露出部分
を形成した。

【００３４】図１に示した装置により、分布付与を行っ
た。すなわち、ステージ５の上に前記マスキングを施し
た基板１０をのせ、モータ３によりこのステージ５を５
０ｒｐｍの速度で回転させ、分布付与溶液落下口７より
マスク部材１１上に１ｍｏｌ／ｌ酢酸カリウムのＨ
₂Ｏ：メタノール＝５：５（ｖｏｌ比）の分布付与溶液
１２を０．５ｍｌ、厚さが０．２ｍｍになるように落下
させ、Ｋ⁺とＰｂ²⁺の交換を行い、マスクされていない
部分に分布を付与した。その後、マスク部材１１を除去
し、乾燥・焼成を行うことにより、ゲル９層に半径が
０．０５ｍｍの屈折率分布部位１４ができ、所望のパラ
ボリックな屈折率分布形状を有するマイクロレンズアレ
イが得られた。

【００３５】［比較例１］実施例１と同様にして作製し
た多孔質基板を２０ｍｌの分布付与溶液に浸漬後、２０
ｍｌのアセトンで２回処理した。その後、実施例１と同
様にして乾燥・焼結を行ったが、分布形状が崩れ、所望
の屈折率分布形状を有するマイクロレンズアレイを得る
ことができなかった。

【００３６】［実施例２］実施例１と同様にして作製し
たゾルを、有機フォトレジストによりマスクを形成した
ガラス基板にコーティングした。これは有機フォトレジ
ストの撥水効果を利用し半球面状のパターンを形成する
ものである。このゾルをゲル化させた後、マスクを除去
することによって直径０．５ｍｍの凸形状のゲルレンズ
パターンを形成した。このゲルレンズ板を逆さ向き、つ
まり凸形状部分を下方向にして、実施例１と同様の分布
付与溶液の液面に凸形状の中心から直径０．１ｍｍ程度
接触させ、分布付与後、分布固定処理を行い、得られた
基板を熱処理することによって、マトリクス状の凸形状
であり、かつレンズパターンの各面頂部により屈折率の
分布が形成された集光素子を得た。

【００３７】［実施例３］四塩化けい素、塩化鉛を原料
にしてＶＡＤ法により直径１ｍｍのＳｉＯ₂−ＰｂＯの
スートを２０本作製した。塩化カリウムを水とエタノー
ルの混合溶液に溶解した溶液を調製しておき、図５のよ
うな装置を用いてスートを１００ｒｐｍのスピードで回
転させ、ハケによりそれぞれのスートの表面０．５ｍｍ
に触れるようにこの溶液を塗布した。なお、ハケは柔ら
かな毛素材を用いたため、スートとの回転方向にしなっ
ており、実際には０．５ｍｍよりも少ない面積しか触れ
ていないと考えられた。この後、スートにファンで強風
を送り、上記溶液を除去した後、乾燥させた。これらの
スートを５７０℃まで焼成することにより、ガラス体の
中心で屈折率が高く、端部で低いいわゆる凸分布を持つ
ガラス体を得ることができた。これらのロッドの屈折率
分布を分析したところ、すべて同じ屈折率分布を持つ直
径０．３ｍｍのガラスであることがわかった。

【００３８】［実施例４］基板ガラスとして、組成比率
（ｍｏｌ％）が６３ＳｉＯ₂−１０Ｎａ₂Ｏ−５ＺｎＯ
−２ＺｒＯ₂−２０Ｂ₂Ｏ₃からなる多孔質ガラスを用
いた。この基板上にフォトリソ工程を用いて、直径０．
０２ｍｍの所定のパターンを形成し、マスクを施した。

【００３９】図１に示した装置により、分布付与を行っ
た。すなわち、ステージの上にこの基板をのせ、モータ
ーによりこのステージを２００ｒｐｍの速度で回転さ
せ、分布付与溶液落下口７より基板上に１ｍｏｌ／ｌ硝
酸タリウムの硝酸水溶液を０．０１ｍｌ落下させ、１０
分間Ｋ⁺とＴｌ⁺の交換を行い、ファンにより基板を乾
燥させた後、再び基板上に１ｍｏｌ／ｌ硝酸タリウムの
硝酸水溶液を０．５ｍｌ厚さにして０．２ｍｍ落下さ
せ、１０分間分布付与を行った。その後、アセトンで
０．７ｍｌで２回処理し、分布を固定した。

【００４０】マスクを除去し、乾燥・焼成を行うことに
より、所望の直径０．６ｍｍの屈折率分布形状を有する
０．６ｃｍ角のマイクロレンズが得られた。このマイク
ロレンズを固体撮像素子の集光素子として利用したとこ
ろ、小型高感度化が実現した。

【００４１】

【発明の効果】以上のように、本発明を用いることによ
り、多孔質体中の金属分布の形状を精密に制御し、屈折
率、屈折率差、分散特性等の光学特性において再現性・
信頼性の高いマイクロレンズを容易に製造することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明における分布付与工程において、スピン
コート法によりマイクロレンズアレイに分布付与を行う
装置を示す概略構成図である。

【図２】本発明を適用するマイクロレンズアレイおよび
マイクロレンズの一例の概略図である。

【図３】本発明を適用するマイクロレンズアレイおよび
マイクロレンズの一例の概略断面図である。

【図４】実施例１の作製工程を示す概念図である。

【図５】実施例３に用いた装置の概略構成図である。

【符号の説明】

１，２，１４屈折率分布部位６多孔質体７溶液落下口８基板９ゲル１１マスク部材１２分布付与溶液１３分布固定溶液１７スート１８ハケ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】多孔質体を焼結することにより、屈折率
変化の部位が表面から１ｍｍ以下である屈折率分布層を
持つマイクロレンズを製造する方法において、多孔質体
を有機溶剤・水・酸・アルカリから選ばれた少なくとも
１種を含む溶液または該溶液に金属成分を溶解した溶液
に、屈折率分布を付与すべき面を接触させ、前記溶液を
前記屈折率分布層の半分以下の厚さ塗布する工程を有す
ることを特徴とする屈折率分布型マイクロレンズの製造
方法。
【請求項２】多孔質体を焼結することにより、屈折率
変化の部位が表面から１ｍｍ以下である屈折率分布部位
を持つマイクロレンズを製造する方法において、前記多
孔質体が略円柱状の形状をしており、前記溶液と、前記
略円柱状多孔質体の湾曲側面とを接触させ、前記溶液を
前記略円柱状多孔質体の湾曲側面に半径以下の厚さ塗布
して径方向に屈折率分布を付与する工程を有することを
特徴とする屈折率分布型マイクロレンズの製造方法。
【請求項３】多孔質体を焼結することにより、屈折率
変化の部位が表面から１ｍｍ以下である屈折率分布部位
を持つマイクロレンズを製造する方法において、前記多
孔質体が平板であり、一部に略円状の穴を設けたレジス
トを多孔質体の表面に作製した後、前記溶液と多孔質体
の略円状の穴とを接触させ、前記略円状の穴を中心に略
半球状の屈折率分布部位を作製する工程において、前記
溶液を前記略円状の穴に前記半球状の屈折率分布部位の
半径以下の厚さ塗布する工程を有することを特徴とする
屈折率分布型マイクロレンズの製造方法。