JPH08187669A - 小型デバイス用ハンドリング装置 - Google Patents
小型デバイス用ハンドリング装置Info
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- JPH08187669A JPH08187669A JP1749395A JP1749395A JPH08187669A JP H08187669 A JPH08187669 A JP H08187669A JP 1749395 A JP1749395 A JP 1749395A JP 1749395 A JP1749395 A JP 1749395A JP H08187669 A JPH08187669 A JP H08187669A
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- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 小型デバイスをソケットに挿入するとき発生
する挿入エラーを防止した小型デバイス用ハンドリング
装置を提供する。 【構成】 シリンダ10のピストンに取付台20を固定
して設け、取付台20はフローテング型のパット・ブロ
ック30が装着できる構成で、パット・ブロック30が
左右に動く自由度を持たせるため固定しない、パット・
ブロック留め金50で取り付けた、パット・ブロック3
0には位置決め穴71を設け、ソケット60に設けた位
置決めピン70と嵌合できる構成で設け、パット・ブロ
ック30の位置決め穴71とソケット60の位置決めピ
ン70を嵌合させソケット60にに接近してバキューム
・パット40より小型デバイス100を正確に落し込む
ことを特徴とする。
する挿入エラーを防止した小型デバイス用ハンドリング
装置を提供する。 【構成】 シリンダ10のピストンに取付台20を固定
して設け、取付台20はフローテング型のパット・ブロ
ック30が装着できる構成で、パット・ブロック30が
左右に動く自由度を持たせるため固定しない、パット・
ブロック留め金50で取り付けた、パット・ブロック3
0には位置決め穴71を設け、ソケット60に設けた位
置決めピン70と嵌合できる構成で設け、パット・ブロ
ック30の位置決め穴71とソケット60の位置決めピ
ン70を嵌合させソケット60にに接近してバキューム
・パット40より小型デバイス100を正確に落し込む
ことを特徴とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、小型デバイスをソケッ
トに挿入するとき発生する挿入エラーを防止した小型デ
バイス用ハンドリング装置に関する。
トに挿入するとき発生する挿入エラーを防止した小型デ
バイス用ハンドリング装置に関する。
【0002】
【従来の技術】小型デバイスの試験を行う際当該デバイ
スを自動挿入機でハンドリングを行ってデバイス試験用
ソケットに落とし込んだがデバイス試験用ソケットは小
型デバイスの外形にたいして寸法的な余裕がないので、
デバイス試験用ソケットに正確に小型デバイスを落とし
込まなけばならないということがあった。小型デバイス
がソケットよりはみ出すと、自動挿入機は、はみ出しを
検知して停止する、はみ出した小型デバイスは手で除い
た。
スを自動挿入機でハンドリングを行ってデバイス試験用
ソケットに落とし込んだがデバイス試験用ソケットは小
型デバイスの外形にたいして寸法的な余裕がないので、
デバイス試験用ソケットに正確に小型デバイスを落とし
込まなけばならないということがあった。小型デバイス
がソケットよりはみ出すと、自動挿入機は、はみ出しを
検知して停止する、はみ出した小型デバイスは手で除い
た。
【0003】従来技術による小型デバイス用ハンドリン
グ装置を図4と図5で説明する図4は小型デバイス用ハ
ンドリング装置の側面図で、図5はソケットの平面を示
す。図4を説明する。小型デバイス用ハンドリング装置
は吸着固定型と呼ばれ、小型デバイス100を吸着して
目的のソケット61までハンドリングを行う、位置決め
はハンドリングの際行われ、取付台24で位置決めを行
なった。位置決めのための左右の運動は自動挿入機の固
定台が行い、上下運動は固定台に取り付けたシリンダ1
1のピストンで行なった。取付台24はピストンに取り
付けられ、取付台24にバキューム・パット41は固定
された。バキューウム・パット41と接続しているバキ
ューウム・ホース91は真空ポンプと接続している。
グ装置を図4と図5で説明する図4は小型デバイス用ハ
ンドリング装置の側面図で、図5はソケットの平面を示
す。図4を説明する。小型デバイス用ハンドリング装置
は吸着固定型と呼ばれ、小型デバイス100を吸着して
目的のソケット61までハンドリングを行う、位置決め
はハンドリングの際行われ、取付台24で位置決めを行
なった。位置決めのための左右の運動は自動挿入機の固
定台が行い、上下運動は固定台に取り付けたシリンダ1
1のピストンで行なった。取付台24はピストンに取り
付けられ、取付台24にバキューム・パット41は固定
された。バキューウム・パット41と接続しているバキ
ューウム・ホース91は真空ポンプと接続している。
【0004】図5はソケットの平面図である。図5を説
明する。小型デバイス100とソケット61の寸法の余
裕は例えば、小型デバイス100の外形は5×7(m
m)でソケット61の寸法は5.1×7.1(mm)で
あるため、ソケット61に小型デバイス100を落し込
むのに0.1mmの余裕しかなかった。小型デバイス1
00を落し込むため高精度な落とし込みの位置を要求さ
れた。
明する。小型デバイス100とソケット61の寸法の余
裕は例えば、小型デバイス100の外形は5×7(m
m)でソケット61の寸法は5.1×7.1(mm)で
あるため、ソケット61に小型デバイス100を落し込
むのに0.1mmの余裕しかなかった。小型デバイス1
00を落し込むため高精度な落とし込みの位置を要求さ
れた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】シリンダは自動挿入機
の固定台に固定され、固定台の左右の運動によって、シ
リンダは同じ運動を行うため、余裕のないソケットでは
微小なバックラッシュも許されないという問題があっ
た。固定台の微小なバックラッシュを皆無にすることは
困難である。0.1mmの余裕では小型デバイスを正確
にソケットに落し込むことが問題になった。
の固定台に固定され、固定台の左右の運動によって、シ
リンダは同じ運動を行うため、余裕のないソケットでは
微小なバックラッシュも許されないという問題があっ
た。固定台の微小なバックラッシュを皆無にすることは
困難である。0.1mmの余裕では小型デバイスを正確
にソケットに落し込むことが問題になった。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の小型デバイス用ハンドリング装置のソケッ
トに落し込む際の位置決めを正確に行う手段を設け、シ
リンダの取付台にパット・ブロックを設け、パット・ブ
ロックをフロ−テング型にする手段を設け、それはパッ
ト・ブロックがソケットの位置誘導の手段によってパッ
ト・ブロックが左右に動いて、小型デバイスを落し込む
前にソケットとパット・ブロックが嵌合する手段を設け
た。
に、本発明の小型デバイス用ハンドリング装置のソケッ
トに落し込む際の位置決めを正確に行う手段を設け、シ
リンダの取付台にパット・ブロックを設け、パット・ブ
ロックをフロ−テング型にする手段を設け、それはパッ
ト・ブロックがソケットの位置誘導の手段によってパッ
ト・ブロックが左右に動いて、小型デバイスを落し込む
前にソケットとパット・ブロックが嵌合する手段を設け
た。
【0007】
【実施例】図1(A)と(B)と(C)について説明す
る。図1(A)はシリンダ10の全体の斜視図で、
(B)はソケット60の斜視図で、(C)はパット・ブ
ロック30とソケット60の嵌合部分の断面図を示す。
図1(A)を説明する。シリンダ10のピストンに取付
台20を固定して、取付台20はフローテング型のパッ
ト・ブロック30が装着できる構成で、パット・ブロッ
ク30が左右に動く自由度を持たせるため固定しないで
パット・ブロック留め金50で取り付けた、パット・ブ
ロック30には位置決め穴71を設け、ソケット60の
位置決めピン70と嵌合できる構成である。パット・ブ
ロック30に固定されたバキューム・パット40はバキ
ューム・ポホース90と接続して設け、それは真空ポン
プと接続している。バキューム・パット40で小型デバ
イス100を吸着してソケット60に落下させるという
構成である。
る。図1(A)はシリンダ10の全体の斜視図で、
(B)はソケット60の斜視図で、(C)はパット・ブ
ロック30とソケット60の嵌合部分の断面図を示す。
図1(A)を説明する。シリンダ10のピストンに取付
台20を固定して、取付台20はフローテング型のパッ
ト・ブロック30が装着できる構成で、パット・ブロッ
ク30が左右に動く自由度を持たせるため固定しないで
パット・ブロック留め金50で取り付けた、パット・ブ
ロック30には位置決め穴71を設け、ソケット60の
位置決めピン70と嵌合できる構成である。パット・ブ
ロック30に固定されたバキューム・パット40はバキ
ューム・ポホース90と接続して設け、それは真空ポン
プと接続している。バキューム・パット40で小型デバ
イス100を吸着してソケット60に落下させるという
構成である。
【0008】図1(B)を説明する。ソケット60に位
置決めピン70を設け、小型デバイス100をソケット
60に正確に落下させるためパット・ブロック30に設
けた位置決め穴71とソケット60の位置決めピン70
を嵌合させ、ソケット60に接近してバキューム・パッ
ト40より小型デバイス100を正確に落し込む。
置決めピン70を設け、小型デバイス100をソケット
60に正確に落下させるためパット・ブロック30に設
けた位置決め穴71とソケット60の位置決めピン70
を嵌合させ、ソケット60に接近してバキューム・パッ
ト40より小型デバイス100を正確に落し込む。
【0009】図1(C)はパット・ブロック30とソケ
ット60の嵌合部分の断面図を示す。図1(C)を説明
する。ソケット60の位置決めピン70がパット・ブロ
ック30の位置決め穴71に嵌合する構造で、位置決め
穴71にはソケット60に向かった広がり形状を持ち、
シリンダ10の左右のぶれや少しのバックラッシュを補
完する構成である。パット・ブロック30とソケット6
0が位置決めピン70と位置決め穴71によって嵌合さ
れ、パット・ブロック30がソケット60に接近すると
バキューム・パット40に吸引した小型デバイス100
をソケット60に落し込む。
ット60の嵌合部分の断面図を示す。図1(C)を説明
する。ソケット60の位置決めピン70がパット・ブロ
ック30の位置決め穴71に嵌合する構造で、位置決め
穴71にはソケット60に向かった広がり形状を持ち、
シリンダ10の左右のぶれや少しのバックラッシュを補
完する構成である。パット・ブロック30とソケット6
0が位置決めピン70と位置決め穴71によって嵌合さ
れ、パット・ブロック30がソケット60に接近すると
バキューム・パット40に吸引した小型デバイス100
をソケット60に落し込む。
【0010】図2はパット・ブロック30と取付台20
の一部を切り欠いだ平面図を示す。図2を説明する。フ
ローテング型のパット・ブロック30を取付台20に装
着できる構成で、それはパット・ブロック・フローテイ
ング・バネ21によって取付台20内部とパット・ブロ
ック30をフローテイングするように左右から抑え取り
付けられている、パット・ブロック・フローテイング・
バネ21はパット・ブロック30の左右の運動を助ける
作用をする。パット・ブロック30はパット・ブロック
留めピン50のよって取付台20に自由がきくように留
められ、位置決め穴31を左右対象に設けて、中央にバ
キューム・パット40を設けた。
の一部を切り欠いだ平面図を示す。図2を説明する。フ
ローテング型のパット・ブロック30を取付台20に装
着できる構成で、それはパット・ブロック・フローテイ
ング・バネ21によって取付台20内部とパット・ブロ
ック30をフローテイングするように左右から抑え取り
付けられている、パット・ブロック・フローテイング・
バネ21はパット・ブロック30の左右の運動を助ける
作用をする。パット・ブロック30はパット・ブロック
留めピン50のよって取付台20に自由がきくように留
められ、位置決め穴31を左右対象に設けて、中央にバ
キューム・パット40を設けた。
【0011】図3(A)(B)は変形実施例を示す。図
3(A)は多数個取りパット・ブロック30で、(B)
はパット・ブロック33と取付台22の一部を切り欠い
だ断面図を示す。図3(A)を説明する。パット・ブロ
ック30を取付台22に多数個並べた量産型である。
3(A)は多数個取りパット・ブロック30で、(B)
はパット・ブロック33と取付台22の一部を切り欠い
だ断面図を示す。図3(A)を説明する。パット・ブロ
ック30を取付台22に多数個並べた量産型である。
【0012】図3(B)を説明する。フローテング型の
パット・ブロック30は取付台23に装着される。それ
は取付台23の内部でパット・ブロック30をフローテ
ングして保持するためにパット・ブロック・フローテイ
ング・バネ22によって上下から抑えられた。パット・
ブロック30はパット・ブロック・留めピン50で取付
台23に留められた。パット・ブロック30はバキュー
ム・パット40を固定してバキューム・パット40はバ
キューム・ホース90と接続している。
パット・ブロック30は取付台23に装着される。それ
は取付台23の内部でパット・ブロック30をフローテ
ングして保持するためにパット・ブロック・フローテイ
ング・バネ22によって上下から抑えられた。パット・
ブロック30はパット・ブロック・留めピン50で取付
台23に留められた。パット・ブロック30はバキュー
ム・パット40を固定してバキューム・パット40はバ
キューム・ホース90と接続している。
【0013】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。
【0014】左右に移動する自動挿入機の固定台のバッ
クラッシュをフローテイング型のパット・ブロックが左
右に動いて補正する。
クラッシュをフローテイング型のパット・ブロックが左
右に動いて補正する。
【0015】ソケットに設けたパット・ブロックと嵌合
するための位置決めピンは、パット・ブロックの位置決
め穴によって、高精度な位置決めが可能になった。
するための位置決めピンは、パット・ブロックの位置決
め穴によって、高精度な位置決めが可能になった。
【0016】小型デバイスがはみ出すと、自動挿入機
は、はみ出しを検知して停止した、はみ出した小型デバ
イスを手で除く作業が、位置決め嵌合構造によって無く
なったので作業性の効率化、試験装置の信頼性を高める
ことができた。
は、はみ出しを検知して停止した、はみ出した小型デバ
イスを手で除く作業が、位置決め嵌合構造によって無く
なったので作業性の効率化、試験装置の信頼性を高める
ことができた。
【図1】(A)本発明の一実施例のシリンダ全体の斜視
図である。 (B)本発明の一実施例のソケットのの斜視図である。 (C)本発明の一実施例のパット・ブロックとソケット
の嵌合部分の断面図を示す。
図である。 (B)本発明の一実施例のソケットのの斜視図である。 (C)本発明の一実施例のパット・ブロックとソケット
の嵌合部分の断面図を示す。
【図2】本発明の一実施例のパット・ブロックと取付台
の一部を切り欠いだ平面図である。
の一部を切り欠いだ平面図である。
【図3】(A)本発明の変形実施例の多数個取りパット
・ブロックの平面図である。 (B)本発明の変形実施例のパット・ブロックと取付台
の一部を切り欠いだ断面図を示す。
・ブロックの平面図である。 (B)本発明の変形実施例のパット・ブロックと取付台
の一部を切り欠いだ断面図を示す。
【図4】従来技術の実施例のパット・ブロックと取付台
の側面図である。
の側面図である。
【図5】従来技術の実施例のソケットの平面図を示す。
10、11 シリンダ 20、23、24 取付台 21、22 パット・ブロック・フローテイング
・バネ 30 パット・ブロック 40、41 バキューム・パット 50 パット・ブロック・留めピン 60、61 ソケット 70 位置決めピン 71 位置決め穴 80 小型デバイス挿入部 90、91 バキューム・ホース 100 小型デバイス
・バネ 30 パット・ブロック 40、41 バキューム・パット 50 パット・ブロック・留めピン 60、61 ソケット 70 位置決めピン 71 位置決め穴 80 小型デバイス挿入部 90、91 バキューム・ホース 100 小型デバイス
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/68 N
Claims (3)
- 【請求項1】 シリンダ(10)を有して小型デバイス
(100)をソケットに挿入するハンドリング装置にお
いて、 シリンダ(10)ピストンに取付台(20)を固定して
設け、 取付台(20)にフローテング型のパット・ブロック
(30)を装着できる構成で設け、 取付台(20)の内部にパット・ブロック・フローテイ
ング・バネ(21)を設けパット・ブロック(30)を
左右から抑える、パット・ブロック(30)を左右に動
く自由度を持たせるため取付台(20)に固定しないで
パット・ブロック留め金(50)で取り付けて設け、 パット・ブロック(30)には位置決め穴(71)とバ
キューム・パット(40)を設け、 小型デバイス(100)を挿入するソケット(60)を
設け、 位置決め穴(71)と嵌合できる構成でソケット(6
0)に位置決めピン(70)を設け、 以上の構成を具備していることを特徴とした小型デバイ
ス用ハンドリング装置。 - 【請求項2】 請求項1記載構成手段に加えて、 パット・ブロック(30)が多数個接続できる構成の取
付台(22)を設け、 以上の構成を具備していることを特徴とした小型デバイ
ス用ハンドリング装置。 - 【請求項3】 請求項1記載構成手段に加えて、 取付台(23)の内部にパット・ブロック・フローテイ
ング・バネ(22)を設けパット・ブロック(30)を
上下から抑える構成で取付台(23)を設け、 以上の構成を具備していることを特徴とした小型デバイ
ス用ハンドリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1749395A JPH08187669A (ja) | 1995-01-09 | 1995-01-09 | 小型デバイス用ハンドリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1749395A JPH08187669A (ja) | 1995-01-09 | 1995-01-09 | 小型デバイス用ハンドリング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08187669A true JPH08187669A (ja) | 1996-07-23 |
Family
ID=11945536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1749395A Withdrawn JPH08187669A (ja) | 1995-01-09 | 1995-01-09 | 小型デバイス用ハンドリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08187669A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101334424B (zh) | 2007-06-25 | 2011-05-25 | 鸿劲科技股份有限公司 | 具多组下压头的压接机构 |
| CN104772722A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-07-15 | 苏州市博奥塑胶电子有限公司 | 一种新型下模具 |
| CN106976027A (zh) * | 2017-03-21 | 2017-07-25 | 平湖智铂自动化设备有限公司 | 一种箱包生产用升降式定位装置 |
| CN108313465A (zh) * | 2017-12-18 | 2018-07-24 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 一种异形构件可调节限位及固定方法 |
| CN110509203A (zh) * | 2019-08-20 | 2019-11-29 | 东风设备制造有限公司 | 一种用于工件定位的带气密检测的集成式插销装置 |
-
1995
- 1995-01-09 JP JP1749395A patent/JPH08187669A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101334424B (zh) | 2007-06-25 | 2011-05-25 | 鸿劲科技股份有限公司 | 具多组下压头的压接机构 |
| CN104772722A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-07-15 | 苏州市博奥塑胶电子有限公司 | 一种新型下模具 |
| CN106976027A (zh) * | 2017-03-21 | 2017-07-25 | 平湖智铂自动化设备有限公司 | 一种箱包生产用升降式定位装置 |
| CN108313465A (zh) * | 2017-12-18 | 2018-07-24 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 一种异形构件可调节限位及固定方法 |
| CN110509203A (zh) * | 2019-08-20 | 2019-11-29 | 东风设备制造有限公司 | 一种用于工件定位的带气密检测的集成式插销装置 |
| CN110509203B (zh) * | 2019-08-20 | 2021-07-06 | 东风设备制造有限公司 | 一种用于工件定位的带气密检测的集成式插销装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020402 |