JPH08194943A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 １回の走行で多層の磁性層が得られ、簡単な
構造を有しかつ小型の磁気記録媒体製造装置を提供する
こと。 【構成】 本装置は、真空容器と、その内の走行装置
と、蒸発源と、蒸発源の内の磁性材料に電子ビームを照
射する電子ビーム発生装置とを含む磁気記録媒体の製造
装置において、前記製造装置は、最大入射角を規定する
第１の遮蔽板と、最小入射角を規定する第２の遮蔽板
と、第１及び第２の遮蔽板間に配設される少なくとも１
つの防着板を含むことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁性材料の蒸気を蒸着
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体を製造する
装置に関し、特に多層の磁性層を形成することができる
ものに関する。

【０００２】

【従来の技術】蒸着型磁気記録媒体の製造装置の一例と
して、真空容器と、この真空容器内に配設され一連の被
蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に配設
され磁性材料を収容する蒸発源と、この蒸発源の磁性材
料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置と
を含むものがある。そして、蒸発源の磁性材料に電子ビ
ームを照射しこれにより磁性材料は電子ビームの照射を
受けて溶融し、蒸発を続け、その蒸気を被蒸着材に蒸着
していた。

【０００３】上記従来の製造装置においては、１回の走
行で単層の磁性層が形成される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の製造装置を
用いて、多層の磁性層を得ようとする場合、磁性層の積
層数だけ走行・蒸着を繰り返さなければならない。これ
は時間がかかりまた面倒である。

【０００５】１回の走行で多層の磁性層を得られるよう
にした磁気記録媒体の製造装置が提案されている。この
製造装置は、真空容器内に、所望する積層分の冷却キャ
ン（走行装置）と蒸発源を配設している。そのために、
装置が大型化しまた複雑になるなどの問題がある。

【０００６】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、１回の走行
で多層の磁性層が得られ、簡単な構造を有しかつ小型の
磁気記録媒体製造装置を提供しようとするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体の
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料を収容する蒸発源と、該蒸発源の磁性
材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置
とを含む磁気記録媒体の製造装置において、前記製造装
置は、最大入射角を規定する第１の遮蔽板と、最小入射
角を規定する第２の遮蔽板と、第１及び第２の遮蔽板間
に配設される少なくとも１つの防着板を含むことを特徴
とする。

【０００８】遮蔽板は、被蒸着材に対する磁性材料蒸気
の入射角（θ）を規定する（図２）。入射角が小さくな
るほど、柱状に成長した結晶粒（コラム）の成長方向は
被蒸着材に対して垂直に近くなる。この入射角は磁気特
性、特に保磁力に関係し、入射角を大きくすると、蒸着
膜の保磁力は大きくなる。遮蔽板の位置を変えることに
より、入射角の大きさを変えることができる。

【０００９】本製造装置において、第１の遮蔽板は最大
入射角を規定する。また、第２の遮蔽板は最小入射角を
規定する。これら第１及び第２の遮蔽板間に、少なくと
も１つの防着板が配設される。

【００１０】防着板は、所望する積層の数に応じて、増
減が可能である。例えば、２層の磁性層を望むときは、
防着板は１つ、３層のときは２つ必要となる。

【００１１】防着板の幅、位置などを変えることによ
り、各層のコラム形状、膜厚などを制御することができ
る。このため、磁気記録に適した磁気記録媒体の製造が
可能である。

【００１２】（作用）１つの防着板を配設した本装置に
おいて、被蒸着材が走行し、第１の遮蔽板と防着板間を
被蒸着材が通過する間に、被蒸着材上に第１の磁性層が
形成される。更に、防着板と第２の遮蔽板間を被蒸着材
が通過する間に、前記第１の磁性層上に第２の磁性層が
形成される。第２の磁性層のコラム状態は、第１の磁性
層のそれに比べ、被蒸着材に対しより垂直になってい
る。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明
する。

【００１４】図１は、本発明による磁気記録媒体の製造
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、蒸発源、すなわちルツボ３と、そして電子ビー
ム発生装置４とを含んでいる。真空容器１は、その排出
口３９が図示しない真空ポンプに接続され、この真空容
器内に一連の被蒸着材、すなわち合成樹脂製テープ５を
走行させる走行装置２が配設されている。走行装置２
は、送りロール６と、巻取りロール７と、そして冷却キ
ャン８からなっている。

【００１５】ルツボ３は、冷却キャン８の下方に配設さ
れている。このルツボ３は、ＭｇＯより構成され１７０
０℃〜２０００℃の高温に耐えられるようになってい
る。またこのルツボ３は、その内に磁性金属１０を収容
している。

【００１６】本装置は、図２に要部拡大図で示すよう
に、第１の遮蔽板１３と、第２の遮蔽板１４と、これら
遮蔽板間の防着板１５を含んでいる。第１の遮蔽板１３
は、テープ５の走行方向に関し、一番上流側に配設さ
れ、最大入射角θ1を規定している。ここで入射角と
は、テープ５の法線と蒸気流１６とでなす角度をいう。
また、第２の遮蔽板１４は、一番下流側に配設され、最
小入射角θ2を規定している。防着板１５は、これら第
１の遮蔽板１３と第２の遮蔽板１４間に配設されてい
る。防着板１５と第１の遮蔽板１３間に、第１の磁性層
（下層）を成膜するための第１蒸着領域１７が形成さ
れ、また防着板１５と第２の遮蔽板１４間に、第１の磁
性層の上に第２の磁性層（上層）を成膜するための第２
蒸着領域１８が形成されている。

【００１７】冷却キャン８と第２の遮蔽板１４間に酸素
ガス供給管１９が配設されている。この酸素ガス供給管
１９は、磁性層の上に酸化層を形成するべく、その先端
が第２蒸着領域１８の終端近傍に位置している。

【００１８】このように構成された本発明装置におい
て、電子銃１２により電子ビームを磁性金属１０に向け
照射した場合、磁性金属１０は電子ビームの照射を受け
て溶融し、蒸発を続ける。送りロール６より送り出され
て第１蒸着領域１７内に入ったテープ５は、磁性金属蒸
気の蒸着を受けながら冷却キャン上を円周方向に回転
し、その間に第１の磁性層がテープ上に形成され、その
後再び第２蒸着領域１８内に入ったテープ５は、第１の
磁性層の上にコラム状態がより垂直の第２の磁性層が形
成される。第２蒸着領域１８の終端において、酸素ガス
供給管１９より酸素が供給され、この酸素ガスは磁性層
の蒸着粒子と結合して磁性層の上に保護層として酸化層
を形成する。酸化層が形成されたテープ５は、巻取りロ
ール７により巻取られる。

【００１９】（実施例）図２に示す装置を用いて、ＰＥ
Ｔ（ポリエチレンテレフタレート）フイルム上に磁性層
を形成した。その成膜の出力測定の結果を表１に示す。
比較のために、従来の単層のものを基準０ｄＢとして表
示してある。

【００２０】

【表１】

【００２１】表２は、２層の磁性層厚みを本装置により
形成した場合と、従来の方法である２回走行により形成
した場合とで比較して示す。

【００２２】

【表２】

【００２３】表１より、本装置により形成される多層の
（本例では２層）磁性層は、従来の単層構造のものに比
べ、出力特性に優れていることがわかる。

【００２４】また表２より、走行速度を同じにしても、
成膜の厚さに関し、従来の２回走行とほとんどかわらな
い厚さを得ることができることがわかる。

【００２５】図３は、４層構造の磁性層を得るための防
着板の配置例を示す。この場合、テープ５と防着板１
５′との距離Ｄが、酸素ガス供給管１９を離れるに従っ
て、Ｄ1＞Ｄ2＞Ｄ3のようになっている。これにより、
各磁性層へ酸素ガスの円滑な供給が果たせる。酸素ガス
導入量は、下層にいくに従って減少する。

【００２６】図４を参照して、防着板２１と被蒸着材２
０間の距離Ｄ、防着板２１の傾きθ、長さｌ、及び位置
を調整することにより、例えば図５に示すように、磁性
層厚、酸化層厚、コラム形状などを磁気記録に適するよ
うに成膜することができる。

【００２７】図５において、酸化表層２２の厚さは１０
オングストローム、磁性層（上層）２３の厚さは６００
オングストローム、酸化層２４の厚さは２０オングスト
ローム、磁性層（中層）２５の厚さは６００オングスト
ローム、酸化層２６の厚さは酸化層２４より厚く５０オ
ングストローム、そして磁性層（下層）２７の厚さは１
０００オングストロームである。

【００２８】

【発明の効果】本発明の製造装置によれば、１回の走行
で多層の磁性層を形成することができる。従って、本発
明の装置によれば、磁性層の積層数だけ走行・蒸着を繰
り返さすといった時間のかかるかつ面倒な作業を廃止す
ることができる。

【００２９】また、本発明の装置は、構造が簡単であ
り、単一の走行装置及び蒸発源を有するものであるか
ら、装置の大型化・複雑化を招くこともない。

【００３０】本発明の製造装置によれば、下層は傾斜の
緩やかなコラム状磁性層が形成され、上層は垂直に近い
コラム状磁性層が形成されるから、磁気記録に適したか
つ高出力の磁気記録媒体が得られる。

【００３１】本装置によれば、蒸着領域を任意に分ける
ことができる。本装置では、下層ほど酸素導入量が少な
く、材料の持つ高飽和磁束密度（Ｂｓ）を保てるため
に、低域の記録・再生に有利である。反対に、上層ほど
酸素導入量が多く、高保磁力（Ｈｃ）化、硬質化できる
ため、コラム構造とともに高域記録・再生および高耐久
化が図れるため、磁気記録・再生に適した磁気記録媒体
を製作することができる。

【００３２】更に、被蒸着材と防着板との距離を変える
ことにより、層間の酸化層厚をコントロールできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による磁気記録媒体の製造装置の構成
図。

【図２】同製造装置の要部拡大図。

【図３】４層構造の磁性層を得るための防着板の配置例
を示す概略図。

【図４】防着板と被蒸着材間の距離、位置関係などを示
す図。

【図５】３層構造の磁性層を有する被蒸着材の断面図。

【符号の説明】

１ 真空容器 ２ 走行装置 ３ ルツボ ４ 電子ビーム発生装置 ５ テープ（被蒸着材） ８ 冷却キャン １０ 磁性金属 １３ 第１の遮蔽板 １４ 第２の遮蔽板 １５ 防着板 １６ 蒸気流 １７ 第１蒸着領域 １８ 第２蒸着領域 １９ 酸素ガス供給管

フロントページの続き (72)発明者 水野谷 博英 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606番地 花 王株式会社情報科学研究所内 (72)発明者 松尾 祐三 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606番地 花 王株式会社情報科学研究所内 (72)発明者 若林 繁美 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606番地 花 王株式会社情報科学研究所内 (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606番地 花 王株式会社情報科学研究所内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空容器と、該真空容器内に配設され一
   連の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方
   に配設され磁性材料を収容する蒸発源と、該蒸発源の磁
   性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装
   置とを含む磁気記録媒体の製造装置において、 前記製造装置は、最大入射角を規定する第１の遮蔽板
   と、最小入射角を規定する第２の遮蔽板と、第１及び第
   ２の遮蔽板間に配設される少なくとも１つの防着板を含
   むことを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。