JPH08329463A

JPH08329463A - 磁気記録媒体の製造装置

Info

Publication number: JPH08329463A
Application number: JP13486295A
Authority: JP
Inventors: Junko Ishikawa; 准子石川; Noriyuki Kitaori; 典之北折; Osamu Yoshida; 修吉田; Hirohide Mizunoya; 博英水野谷; Katsumi Sasaki; 克己佐々木; Yuzo Matsuo; 祐三松尾; Akira Shiga; 章志賀
Original assignee: Kao Corp
Current assignee: Kao Corp
Priority date: 1995-06-01
Filing date: 1995-06-01
Publication date: 1996-12-13

Abstract

(57)【要約】【目的】１回の走行で多層の磁性層が得られ、簡単な
構造を有しかつ小型の磁気記録媒体製造装置を提供する
こと。【構成】本装置は、真空容器と、キャンロールを含み
前記真空容器内に配設され一連の被蒸着材を走行させる
走行装置と、被蒸着材の下方に配設され磁性材料を収容
するルツボと、該ルツボの磁性材料に電子ビームを照射
するための電子ビーム発生装置とを含む磁気記録媒体の
製造装置において、前記製造装置は、磁性材料の蒸気を
発生するように構成され前記キャンロールに沿ってかつ
ルツボに対し離間して配設された少なくとも１つの加熱
板手段を具備することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁性材料の蒸気を蒸着
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体を製造する
装置に関し、特に多層の磁性層を形成することができる
ものに関する。

【０００２】

【従来の技術及び解決すべき課題】蒸着型磁気記録媒体
の製造装置の一例として、真空容器と、該真空容器内に
配設され一連の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸
着材の下方に配設され磁性材料を収容するルツボと、該
ルツボの磁性材料に電子ビームを照射するための電子ビ
ーム発生装置とを含むものがある。そして、ルツボの磁
性材料に電子ビームを照射しこれにより磁性材料は電子
ビームの照射を受けて溶融し、蒸発を続け、その蒸気を
被蒸着材に蒸着していた。

【０００３】上記従来の製造装置においては、１回の走
行で単層の磁性層が形成される。

【０００４】上記従来の製造装置を用いて、多層の磁性
層を得ようとする場合、磁性層の積層数だけ走行・蒸着
を繰り返さなければならない。これは時間がかかりまた
面倒である。

【０００５】１回の走行で多層の磁性層を得られるよう
にした磁気記録媒体の製造装置が提案されている。この
製造装置は、真空容器内に、所望する積層分のキャンロ
ール（走行装置）とルツボを配設している。

【０００６】そのために、装置が大型化しまた複雑にな
るなどの問題がある。

【０００７】マスク（遮蔽板）により１つの蒸発領域を
２つに分断して１回の走行で２層の磁性層を得られるよ
うにした磁気記録媒体の製造方法が知られている（特開
平３−３１１８号公報）。

【０００８】上記方法によれば、２層間で同一形状のコ
ラム（柱状に成長した結晶粒）を得ることが困難であ
る。

【０００９】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的とするところは、１回の走行
で多層の磁性層が得られ、簡単な構造を有しかつ小型の
磁気記録媒体製造装置を提供しようとするものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体の
製造装置は、真空容器と、キャンロールを含み前記真空
容器内に配設され一連の被蒸着材を走行させる走行装置
と、被蒸着材の下方に配設され磁性材料を収容するルツ
ボと、該ルツボの磁性材料に電子ビームを照射するため
の電子ビーム発生装置とを含む磁気記録媒体の製造装置
において、前記製造装置は、磁性材料の蒸気を発生する
ように構成され前記キャンロールに沿ってかつルツボに
対し離間して配設された少なくとも１つの加熱板手段を
具備することを特徴とする。

【００１１】そして、加熱板手段は、加熱板手段におけ
る蒸気流の入射角とルツボにおける蒸気流の入射角とが
等しくなるように配設されることが好ましい。

【００１２】また、加熱板手段とルツボ間に磁性材料搬
送手段を配設することができる。

【００１３】本製造装置は、少なくとも１つの加熱板手
段を具備する。この加熱板手段は、磁性材料の蒸気を発
生するように構成され、キャンロールに沿ってかつルツ
ボに対し離間して、配設される。

【００１４】ルツボに対する加熱板手段の離間の程度、
加熱板手段の傾き、あるいは遮蔽板の配置などを変える
ことにより、積層される磁性層間でコラムの形状、層厚
などを任意に変えることができる。このため、磁気記録
に適した磁気記録媒体の製造が可能である。

【００１５】また、ルツボと入射角が等しくなるよう
に、すなわち同一形状のコラムが得られるようにするた
めに、例えばルツボをキャンロールに沿って９０度回転
させた位置に加熱板手段を配設することができる。

【００１６】なお、入射角とは、被蒸着材の法線と蒸気
流とでなす角度をいう。

【００１７】加熱板手段は、所望する積層の数に応じ
て、増減が可能である。例えば、２層の磁性層を望むと
きは、加熱板手段は１つ、３層のときは２つ必要とな
る。

【００１８】入射角は、その値が小さくなるほど、コラ
ムの成長方向は被蒸着材に対して垂直に近くなる。この
入射角は磁気特性、特に保磁力に関係し、入射角を大き
くすると、蒸着膜の保磁力は大きくなる。加熱板手段の
配置、その傾きなどを変えることにより、入射角の大き
さを変えることができる。

【００１９】（作用）１つの加熱板手段を配設した本装
置において、被蒸着材が走行し、ルツボによる第１の蒸
発領域内を被蒸着材が通過する間に、被蒸着材上に第１
の磁性層（下層）が形成される。更に、加熱板手段によ
る第２の蒸発領域内を被蒸着材が通過する間に、前記第
１の磁性層上に第２の磁性層（上層）が形成される。

【００２０】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明
する。

【００２１】図１は、本発明による磁気記録媒体の製造
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、ルツボ３と、そして電子ビーム発生装置４とを
含んでいる。真空容器１は、その排出口３９が図示しな
い真空ポンプに接続され、この真空容器内に一連の被蒸
着材、すなわち合成樹脂製テープ５を走行させる走行装
置２が配設されている。走行装置２は、送りロール６
と、巻取りロール７と、そしてキャンロール８からなっ
ている。

【００２２】ルツボ３は、キャンロール８の下方に配設
されている。このルツボ３は、ＭｇＯより構成され１７
００℃〜２０００℃の高温に耐えられるようになってい
る。またこのルツボ３は、その内に磁性金属１０を収容
している。

【００２３】ルツボ上方の所定位置に配設される遮蔽板
２１は最大入射角を、遮蔽板２２は最小入射角をそれぞ
れ規定している。

【００２４】本装置は、図２に要部拡大図で示すよう
に、加熱板手段９を具備している。

【００２５】この加熱板手段９は、板状のセラミックヒ
ータ１１と、固形の磁性金属を供給するためにこのセラ
ミックヒータ１１を貫通してセラミックヒータ表面に開
口する供給管１２と、この供給管１２の開口及びその近
傍に電子ビーム（ＥＢ）を照射するように配設された電
子ビーム発生装置（図示せず）からなっている。

【００２６】セラミックヒータ１１は、キャンロール８
に沿って、かつルツボ３に対し所定の距離を置いて、配
設されている。またこのセラミックヒータ１１は、キャ
ンロール８に対し所定の傾きを有している。

【００２７】セラミックヒータ側方の所定位置に配設さ
れる遮蔽板１９は最大入射角を、遮蔽板２０は最小入射
角をそれぞれ規定している。

【００２８】セラミックヒータ１１とルツボ３間に磁性
材料搬送手段、すなわちベルトコンベヤ１３が配設され
ている。このベルトコンベヤ１３の一端はセラミックヒ
ータ１１の下方に位置し、他端はルツボ３壁部の上方に
位置している。ベルトコンベヤ１３は、循環冷却水によ
り冷却されており、滴状の落下磁性金属１４を受止める
キャリア１５を備えている。

【００２９】供給管１２を通りその開口に至った磁性金
属は、電子ビーム発生装置より電子ビームの照射を受け
て溶融し、蒸発を続ける。溶融した磁性金属の一部は、
セラミックヒータ１１を伝わって流れ、滴状に落下して
ベルトコンベヤのキャリア１５により受止められる。ベ
ルトコンベヤ上の磁性金属は、冷却されて固化し、ベル
トコンベヤよりルツボ３内に静かに供給される。

【００３０】このように構成された本発明装置におい
て、電子銃１６により電子ビームを磁性金属１０に向け
照射した場合、磁性金属１０は電子ビームの照射を受け
て溶融し、蒸発を続ける。送りロール６より送り出され
てルツボ３の蒸発領域１７内に入ったテープ５は、磁性
金属蒸気の蒸着を受けながらキャンロール８上を円周方
向に回転し、その間に第１の磁性層がテープ上に形成さ
れ、その後再び加熱板手段９の蒸発領域１８内に入った
テープ５は、第１の磁性層の上に第２の磁性層が形成さ
れる。その後、テープ５は巻取りロール７により巻取ら
れる。

【００３１】

【発明の効果】本発明の製造装置によれば、１回の走行
で多層の磁性層を形成することができる。従って、本発
明の装置によれば、磁性層の積層数だけ走行・蒸着を繰
り返さすといった時間のかかるかつ面倒な作業を廃止す
ることができる。

【００３２】また、本発明の装置は、構造が簡単であ
り、単一の走行装置及びルツボを有するものであるか
ら、装置の大型化・複雑化を招くこともない。また、本
加熱板手段は、キャンロールに沿ってかつルツボに対し
離間して配設されるものであるから、真空容器内のスペ
ースを有効に利用できる。

【００３３】本発明の製造装置によれば、例えば下層は
傾斜の緩やかなコラム状磁性層とし、上層は垂直に近い
コラム状磁性層とすることができるから、磁気記録に適
したかつ高出力の磁気記録媒体が得られる。

【００３４】また本発明の製造装置によれば、積層され
る全ての層を同じ形状のコラム状磁性層とすることもで
きる。

【００３５】加熱板手段とルツボ間に磁性材料搬送手段
を配設することにより、ルツボ内に磁性材料を連続的に
供給することができ、その結果長尺の磁気記録媒体が一
連の作業で効率良く得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による磁気記録媒体の製造装置の構成
図。

【図２】同製造装置の要部拡大図。

【符号の説明】

１真空容器２走行装置３ルツボ４電子ビーム発生装置５テープ（被蒸着材）８キャンロール９加熱板手段１０磁性金属１１セラミックヒータ１２供給管１３ベルトコンベヤ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者水野谷博英栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会社研究所内 (72)発明者佐々木克己栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会社研究所内 (72)発明者松尾祐三栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会社研究所内 (72)発明者志賀章栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会社研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空容器と、キャンロールを含み前記真
空容器内に配設され一連の被蒸着材を走行させる走行装
置と、被蒸着材の下方に配設され磁性材料を収容するル
ツボと、該ルツボの磁性材料に電子ビームを照射するた
めの電子ビーム発生装置とを含む磁気記録媒体の製造装
置において、前記製造装置は、磁性材料の蒸気を発生するように構成
され前記キャンロールに沿ってかつルツボに対し離間し
て配設された少なくとも１つの加熱板手段を具備するこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
【請求項２】加熱板手段は、加熱板手段における蒸気
流の入射角とルツボにおける蒸気流の入射角とが等しく
なるように配設される請求項１記載の磁気記録媒体の製
造装置。
【請求項３】加熱板手段とルツボ間に磁性材料搬送手
段が配設される請求項１又は２記載の磁気記録媒体の製
造装置。