JPH0820016A - ワイヤーソー装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ワイヤーリールの交換作業等の作業性を向上さ
せると共に、ワイヤーソー装置本体をコンパクト化でき
るワイヤーソー装置を提供する。 【構成】ワイヤーリール１６を連結する為のワイヤーリ
ール駆動部３２は、車輪３０、３０…を有する取付台２
８に設置されている。これにより、ワイヤーリール１６
は移動可能になるので、ワイヤーリール１６を交換する
際は、ワイヤーリール１６をワイヤーソー装置１０外に
搬出して交換作業を行うことができる。一方、ワイヤー
ソー装置１０にはホイスト４３が組み込まれており、ワ
イヤーリール１６を交換する際は、ホイスト４３を用い
てワイヤーリール１６の交換作業をすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はワイヤーソー装置に係
り、特に半導体インゴット、セラミック、ガラス等の被
加工物を走行するワイヤーで多数の薄板状のウェーハに
切断するワイヤーソー装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等の被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断する切断
装置の一つにワイヤーソー装置がある。このワイヤーソ
ー装置は、ワイヤーが複数の溝付きローラ間に巻掛けら
れてワイヤー列が形成されると共に、ワイヤーの一方端
は一方のワイヤーリールに巻回され、他方端は他方のワ
イヤーリールに巻回される。そして、ワイヤーが一方の
ワイヤーリールと他方のワイヤーリールとの間を高速で
往復走行する際に、前記ワイヤー列に被加工物を押し当
てると共に、ワイヤー列に砥粒を含む加工液を供給し、
砥粒のラッピング作用により被加工物を多数の薄板状の
ウェーハに切断するものである。

【０００３】そして、従来のワイヤーソー装置は、ワイ
ヤーの供給又は巻取りを行うワイヤーリールを連結して
回転させるワイヤーリール駆動部がワイヤーソー装置本
体内に固定されていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ワイヤ
ーリール駆動部がワイヤーソー装置本体内に固定されて
いると、ワイヤーリールの交換作業やワイヤーリール駆
動部のメンテナンス作業をワイヤーソー装置本体内で行
わなければならず、作業性が悪いばかりでなく、ワイヤ
ーリールが重量物である為その作業が容易でないという
問題があった。

【０００５】また、これらの作業を考慮した広いスペー
スをワイヤーソー装置本体内に設けようとすると、ワイ
ヤーソー装置本体が大型化するという問題があった。本
発明は、このような事情を鑑みてなされたもので、ワイ
ヤーリールの交換作業等の作業性及び作業効率を向上さ
せると共に、ワイヤーソー装置本体をコンパクト化する
ことのできるワイヤーソー装置を提供することを目的と
する。

【０００６】

【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、走行するワイヤーに被加工物を押し当てると
共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給し、前記
被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤー
ソーであって、前記ワイヤーの供給又は巻取りを行うワ
イヤーリールを回転動力側のワイヤーリール駆動部に連
結して前記ワイヤーリールを回転させるワイヤーソー装
置において、前記ワイヤーリール駆動部が取り付けられ
ると共に、該ワイヤーリール駆動部を前記ワイヤーソー
装置本体内のワイヤーリール駆動部配置位置から前記ワ
イヤーソー装置本体外に搬出する移動可能な取付台と、
前記ワイヤーソー装置本体に組み込まれ、前記ワイヤー
リール駆動部の搬出位置上方に移動可能な吊上装置と、
を備えていることを特徴とする。

【０００７】

【作用】本発明によれば、例えばワイヤーリールを交換
する場合、まず、取付台を移動させて、交換すべきワイ
ヤーリールが連結されているワイヤーリール駆動部をワ
イヤーソー装置本体外に移動させる。一方、ワイヤーソ
ー装置本体に組み込まれた吊上装置を搬出されたワイヤ
ーリール駆動部上方に移動して、その吊上装置を用いな
がらワイヤーリールをワイヤーリール駆動部から取り外
すと共に、新しいワイヤーリールをワイヤーリール駆動
部に取り付ける。

【０００８】そして、ワイヤーリールの交換が終了した
ら、再び取付台を移動させて、新しいワイヤーリールが
連結されているワイヤーリール取付部をワイヤーソー装
置本体内に搬入して固定する。

【０００９】

【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤー
ソー装置の好ましい実施例について詳説する。図１は本
発明のワイヤーソー装置の説明図であり、ワイヤーリー
ルをワイヤーソー装置本体から搬出した状態を示してい
る。また、図２、図３、図４はそれぞれ本発明のワイヤ
ーソー装置の正面図、側面図、平面図である。 まず、
ワイヤーソー装置１０を図３及び図４に従って説明す
る。図３、図４に示すように、正面側（図３及び図４右
側）に開口を有するケーシング１２内には、ワイヤーソ
ー装置１０を構成する全ての部材及び装置が収納されて
いる。このケーシング１２内をワイヤー１４は次のよう
に形成された走行路を走行する。すなわち、一方のワイ
ヤーリール１６に巻回されたワイヤー１４は、ワイヤー
案内装置１８、複数のガイドローラ２０、２０、ダンサ
ローラ２２を経由して３本の溝付ローラ２４、２４、２
４に順次巻き掛けられて多数のワイヤー列を形成する。
そして、ワイヤー列を形成したワイヤー１４は、複数の
ガイドローラ２０、２０、ダンサローラ２２、ワイヤー
案内装置１８を経由して他方のワイヤーリール１６に巻
き取られる。このように形成されたワイヤー走行路を走
行するワイヤー１４には、所定の張力が付与されるよう
に、ダンサローラ２２に所定重量の錘２５が吊設されて
いる。

【００１０】そして、ワイヤー１４が一方のワイヤーリ
ール１６と他方のワイヤーリール１６との間を高速で往
復走行する前記ワイヤー列に、ワーク送りテーブル１１
に支持された被加工物１３を押し当てると共に、ワイヤ
ー列に砥粒を含む加工液を供給し、砥粒のラッピング作
用により被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断す
る。

【００１１】次に、本発明のワイヤーソー装置１０の改
良部分について説明する。図２、図３、図４に示すよう
に、ワイヤーリール１６は、回転動力側であるワイヤー
リール駆動部３２に連結されると共に、ワイヤーリール
駆動部３２はＬ字型の取付台２８の壁面部にボルト３
４、３４…で取り付け固定されている。この取付台２８
の下面４隅には、ストッパー（図示しない）付の車輪３
０、３０…が設けられており、取付台２８の移動を可能
にしている。そして、このように構成された装置を以下
ワイヤーリールユニット２６と称する。また、移動可能
な取付台２８は、壁面部の４隅をケーシング１２内の仕
切板３６、３６…にボルト３８、３８…止めすることに
より、ケーシング１２内の所定の位置に固定することが
できるようになっている。また、前記仕切板３６、３６
…は、ケーシング１２内において、ワイヤーリールユニ
ット２６を１つの空間内に収めるように設けられると共
に、吸熱作用のある材質のものを用いることにより、回
転部で発生する熱が切断部へ伝達するのを防止してい
る。また、取付台２８を仕切板３６、３６…にボルト３
８、３８…止めする際は、吸振材４０、４０…を介して
行い、これにより回転部で発生する振動を吸収し、切断
部への振動の伝達を防止している。

【００１２】一方、このワイヤーソー装置１０には、ワ
イヤーリール１６の交換の際に用いるホイスト４３が組
み込まれている。すなわち、ケーシング１２の上面開口
側の一角を支点としてレール４４が揺動自在に支持さ
れ、レール４４上には、フック４１を昇降させるプーリ
ブロック４２がスライダ４５を介してスライド自在に吊
設されている。これにより、ワイヤーリール１６の交換
の際は、このホイスト４３を用いて作業が行える。ま
た、ワイヤーリール１６のフランジ上面には、ホイスト
４３で吊り揚げる為のアイボルト４６、４６が設けられ
ている。

【００１３】次に、上記のように構成されたワイヤーソ
ー装置の作用をワイヤーリールの交換作業を例に取り説
明する。図３に示すように、ワイヤー１４の断線、磨耗
等によりワイヤーリール１６の交換を必要とする場合、
まず、取付台２８を固定しているボルト３８、３８…を
外し、車輪３０、３０…のストッパーを解除する。これ
でワイヤーリールユニット２６は移動可能な状態になる
ので、ワイヤーリールユニット２６をケーシング１２外
の作業しやすい場所に移動し、車輪３０、３０…のスト
ッパーを掛けて固定する。一方、ワイヤーリール１６を
吊り揚げる為のホイスト４３を始動させてケーシング１
２の上部より引き出し、ワイヤーリールユニット２６の
上方に移動させる。そして、ホイスト４３を用いてワイ
ヤーリール１６をワイヤーリール駆動部３２から取り外
す。この時、ワイヤーリール１６をホイスト４３で吊り
上げるには、ワイヤーリール１６のフランジ上面に設け
られたアイボルト４６、４６にワイヤーロープ等を通し
て、このワイヤーロープにホイスト４３のフック４１を
掛けて吊り上げる。そして、ワイヤーリール１６をワイ
ヤーリール駆動部３２から取り外したら、新しいワイヤ
ーリール１６を同様にホイスト４３を用いてワイヤーリ
ール駆動部３２に取り付ける。新しいワイヤーリール１
６の取付後、取付台２８の車輪３０、３０…のストッパ
ーを解除し、ワイヤーリールユニット２６をケーシング
１２内の元の位置に移動させる。そして、取付台２８の
車輪３０、３０…にストッパーを掛け、仕切板３６に吸
振板４０を介してボルト３８、３８…止め固定する。ま
た、ホイスト４３も同様にケーシング１２内に収納して
作業を終了する。

【００１４】上記したように、本発明のワイヤー装置１
０によれば、ワイヤーリールユニット２６がワイヤーソ
ー装置本体１０外に搬出できるので、ワイヤーリール１
６の交換作業やワイヤーリール駆動部３２のメンテナン
ス作業をワイヤーソー装置本体１０外で行うことができ
る。これにより、作業性を向上させることができる。ま
た、ワイヤーソー装置本体１０内に前記作業の為のスペ
ースを設ける必要がないので、ワイヤーソー装置本体１
０をコンパクト化させることができる。

【００１５】また、前記作業を行う際に、ワイヤーソー
装置本体１０に組み込まれたホイスト４３を使用するこ
とができるので、作業の都度ホイスト４３を作業現場に
組み立てる必要がなく、作業の効率化を図ることがき
る。更に、ホイスト４３を使用しない時は、ワイヤーソ
ー装置本体１０内に組み込まれるので邪魔にならない。
また、ワイヤーリールユニット２６にスペアを設けれ
ば、あらかじめ新しいワイヤーリール１６を取り付けた
ワイヤーリールユニット３２を用意することができ、ワ
イヤーリール１６交換時にはワイヤーリールユニット３
２ごと交換するだけでよくなる。これにより、ワイヤー
リール１６の交換時間を大幅に短縮することができる。

【００１６】また、吸熱、吸振作用をワイヤーリールユ
ニット２６に施すことにより、ワイヤーリール駆動部３
２で発生する熱及び振動が切断部へ伝達するのを防止す
ることができるので、被加工物の切断精度を向上するこ
とができる。尚、本実施例では、取付台２８の下面に取
り付けた車輪３０、３０…で移動させるようにしたが、
これに限定されるものではなく、例えば取付台２８にリ
ニアベアリングを設けてレール上をスライドさせてもよ
い。

【００１７】また、ワイヤーリールユニット２６には、
ワイヤー案内装置１８を構成するよにしてもよい。

【００１８】

【発明の効果】本発明のワイヤーソー装置によれば、取
付台を移動させて、ワイヤーリールが連結されているワ
イヤーリール駆動部をワイヤーソー装置本体外に搬出で
きるようにした。これにより、ワイヤーリールの交換作
業やワイヤーリール駆動部のメンテナンス作業をワイヤ
ーソー装置本体外で行うことができるので、作業性を向
上させることができる。また、ワイヤーソー装置本体内
に前記作業の為のスペースを設ける必要がないので、ワ
イヤーソー装置本体をコンパクト化させることができ
る。

【００１９】また、前記作業を行う際に、ワイヤーソー
装置本体に組み込まれた吊上装置を使用することができ
るので、作業の都度、ホイスト等を作業現場に組み立て
る必要がなく、作業の効率化を図ることがきる。しか
も、吊上装置を使用しない時は、ワイヤーソー装置本体
内に組み込まれるので邪魔にならない。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明のワイヤーソー装置の説明図

【図２】図２は、本発明のワイヤーソー装置の正面図

【図３】図３は、本発明のワイヤーソー装置の側面図

【図４】図４は、本発明のワイヤーソー装置の平面図

【符号の説明】

１０…ワイヤーソー １２…ケーシング １４…ワイヤー １６…ワイヤーリール ２６…ワイヤーリールユニット ２８…取付台 ３２…ワイヤーリール駆動部 ４３…ホイスト ４４…レール

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】走行するワイヤーに被加工物を押し当てる
   と共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給し、前
   記被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤ
   ーソーであって、前記ワイヤーの供給又は巻取りを行う
   ワイヤーリールを回転動力側のワイヤーリール駆動部に
   連結して前記ワイヤーリールを回転させるワイヤーソー
   装置において、 前記ワイヤーリール駆動部が取り付けられると共に、該
   ワイヤーリール駆動部を前記ワイヤーソー装置本体内の
   ワイヤーリール駆動部配置位置から前記ワイヤーソー装
   置本体外に搬出する移動可能な取付台と、 前記ワイヤーソー装置本体に組み込まれ、前記ワイヤー
   リール駆動部の搬出位置上方に移動可能な吊上装置と、
   を備えていることを特徴とするワイヤーソー装置。