JPH0825207A - ワイヤーソーのワイヤーリール回り止め構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ワイヤーリールのターンテーブルへの取り付け
作業を簡単に行うことができる。ワイヤーソーのワイヤ
ーソー回り止め構造を提供する。 【構成】ターンテーブル１０のフランジ２０上面に、嵌
め合い用の凸部２０Ａを起点とした等角度で放射状の溝
３４、３４…を形成する。一方、ワイヤーリール２４の
フランジ３０下面には、前記溝３４、３４…に嵌合する
凸部３６、３６…を嵌め合い用の凹部３０Ａを起点とし
て等角度で放射状に形成する。これにより、ワイヤーリ
ール２４をターンテーブル１０に載せた際に、溝３４、
３４…と凸部３６、３６…が噛み合っていなくても、ワ
イヤーリール２４を少しだけ回転方向にずらすだけで、
溝３４、３４…と凸部３６、３６…を噛み合わせること
ができる。これにより、ワイヤーリール２４をターンテ
ーブル１０に簡単に取り付けることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はワイヤーソーのワイヤー
リール回り止め構造に係り、特に円柱状の半導体インゴ
ット、セラミック、ガラス等の被加工物を、走行するワ
イヤーで多数の薄板状のウェーハに切断する、ワイヤー
ソーのワイヤーリール回り止め構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等の被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断する切断
装置の１つにワイヤーソーがある。このワイヤーソー
は、ワイヤーが複数の溝付きローラ間に巻掛けられてワ
イヤー列が形成されるとともに、ワイヤーの一方端は一
方のワイヤーリールに巻回され、他方端は他方のワイヤ
ーリールに巻回される。そして、ワイヤーが一方のワイ
ヤーリールと他方のワイヤーリールとの間を高速で往復
走行する際に、前記ワイヤー列に被加工物を押し当てる
とともに、ワイヤー列に砥粒を含む加工液を供給して砥
粒のラッピング作用により被加工物を多数の薄板状のウ
ェーハに切断するものである。

【０００３】このワイヤーリールは、回転動力であるタ
ーンテーブルに連結することにより回転する。そして、
ワイヤーリールをターンテーブルに連結するには、ワイ
ヤーリールをターンテーブル上に載せ、中心部にボルト
をねじ込んで連結する。しかし、中心部をボルト締めし
ただけでは、ワイヤーリールは回転方向の連結はされな
いので、回転中にワイヤーリールがターンテーブル上を
滑ってしまう問題が生じる。これを阻止する為に、図８
に示すような回り止めを設けている。

【０００４】図８に示すように、この回り止めは、ター
ンテーブル１のワイヤーリール２との合わせ面の外周側
に回り止めピン３を設け、ワイヤーリール２のターンテ
ーブル１との合わせ面の外周側には回り止めピン３に対
応するピン穴４を設ける。そして、ワイヤーリール２を
ターンテーブル１に載せるときに、ターンテーブル１に
設けた回り止めピン３をワイヤーリール２に形成したピ
ン穴４に挿入してワイヤーリール２がターンテーブル１
上で滑り回転するのを阻止している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤーソーのワイヤーリール回り止め構造は、ターン
テーブル１のはめ合い部５とワイヤーリール２のはめ合
い部６との位置を合わせをしながら、なおかつ回り止め
ピン３とピン穴４の位置が合うようにワイヤーリール２
をターンテーブル１に載せなければならなかった。従っ
て、重量物であるワイヤーリール２（通常５０ｋｇｆ〜
１００ｋｇｆ）の位置合わせは容易でなく、しかも、非
常に手間がかかるという欠点があった。

【０００６】本発明は、このような事情を鑑みてなされ
たもので、ワイヤーリールのターンテーブルへの取り付
け作業を簡単に行えるワイヤーソーのワイヤーリール回
り止め構造を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、一方のワイヤーリールと他方のワイヤーリー
ルの間を走行するワイヤーに被加工物を押し当てると共
に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して前記被
加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソ
ーであって、前記ワイヤーリールを回転動力側のターン
テーブルに連結して前記ワイヤーリールを回転させるワ
イヤーソーにおいて、前記ターンテーブルと前記ワイヤ
ーリールのそれぞれの連結部分の一方側には凹部が、他
方側には凸部がそれぞれ回転軸心の回りに等角度で多数
形成されると共に、前記凹部と前記凸部は互いに噛み合
うことを特徴をする。

【０００８】また、前記目的を達成する為に、一方のワ
イヤーリールと他方のワイヤーリールの間を走行するワ
イヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤーに
砥粒を含む加工液を供給して前記被加工物を多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記ワ
イヤーリールを回転動力側のターンテーブルに連結して
前記ワイヤーリールを回転させるワイヤーソーにおい
て、前記ターンテーブルと前記ワイヤーリールの連結部
分の前記ワイヤーリール側に径方向の溝を形成し、前記
ターンテーブル側に付勢手段で突出方向に付勢された出
没自在なピンを設け、前記溝と前記ピンの位置が合った
時に、前記ピンは付勢手段で突出して前記溝と係合する
ようにしたことを特徴とする。

【０００９】

【作用】第１の発明によれば、ワイヤーリールをターン
テーブルに載せて連結する際に、その連結部に互いに噛
み合う凹部と凸部のそれぞれ一方が、回転軸心に対して
等角度で形成されているので、凹部と凸部を簡単に噛み
合わせることができる。すなわち、ワイヤーリールをタ
ーンテーブルに載せた際に、凹部と凸部が噛み合ってい
なくても、ワイヤーリールを少しだけ回転方向にずらす
ことにより、凹部と凸部は簡単に噛み合うことができ
る。そして、この噛み合わせにより、ターンテーブルを
回転させたときのワイヤーリールのターンテーブル上で
の滑り回転を阻止する。

【００１０】また、第２の発明によれば、付勢手段によ
り出没自在なピンがターンテーブルに設けられている
為、ピンと溝を簡単に係合させることができる。すなわ
ち、ワイヤーリールをターンテーブルに載せた際に、ピ
ンが溝に係合していない場合でも、ワイヤーリールをタ
ーンテーブル上で少しだけ回転方向にずらすことにより
簡単にピンと溝を係合させることができる。そして、ピ
ンと溝が係合することにより、ターンテーブルを回転さ
せたときのワイヤーリールのターンテーブル上での滑り
回転を阻止する。また、ピンが溝と係合しているかは、
ターンテーブルから露出したピンの後端部の動きで判断
できる。

【００１１】

【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤー
ソーのワイヤーリール回り止め構造の好ましい実施例に
ついて詳説する。本発明のワイヤーソーのワイヤーリー
ル回り止め構造の第１の実施例を説明する。図１は、ワ
イヤーリールをターンテーブル上に連結した状態の断面
図である。図示しないワイヤーソーの本体フレーム壁に
は、ターンテーブル１０を回転させるモータ１２、回転
軸１４等の回転動力部を内蔵するケーシング１６がボル
ト１８、１８…止めされている。また、ターンテーブル
１０のフランジ２０の上面中央部には円柱状の凸部２０
Ａが形成されると共に、ボルト２２のネジ部２２Ａに螺
合するネジ穴１０Ｂが形成されている。一方、ワイヤー
リール２４は円筒状の胴部２６の両端に、円盤状の上フ
ランジ２８と下フランジ３０がそれぞれ固着されてい
る。そして、下フランジ３０の下面中央部には、ターン
テーブル１０のフランジ２０に設けた凸部２０Ａに嵌合
する凹部３０Ａが形成されるている。また、ワイヤーリ
ール２４の中心部には、ボルト２２が貫通するボルト穴
３２が形成されている。

【００１２】また、図２に示すように、ターンテーブル
１０のフランジ２０の上面に設けた凸部２０Ａに、歯車
状の凸部２０Ｂ、２０Ｂ…を形成し、ワイヤーリール２
４の下フランジ３０の下面に形成された凹部３０Ａに
は、凸部２０Ａに形成された歯車状の凸部２０Ｂ、２０
Ｂ…に嵌合する凹部３０Ｂ、３０Ｂ…を形成する。そし
て、ワイヤーリール２４をターンテーブル１０に載せ連
結する際は、ワイヤーリール２４の下フランジ３０の下
面に形成された凹部３０Ａを、ターンテーブル１０のフ
ランジ２０の上面に形成された凸部２０Ａに嵌合するよ
うに、ワイヤーリール２４をターンテーブル１０に載せ
る。そして、ボルト２２をボルト穴３４に差し込んで、
ネジ部２２Ａをターンテーブル１０のネジ穴１０Ｂに螺
合させて連結する。

【００１３】これにより、本発明のワイヤーソーのワイ
ヤーリール回り止め構造によれば、嵌め合い部３０Ａ、
２０Ａにそれぞれ凹部３０Ｂ、３０Ｂ…と凸部２０Ｂ、
２０Ｂ、…が形成されているので、嵌め合い部３０Ａ、
２０Ａが回り止めの機能も果たす。したがって、従来の
ワイヤーリール回り止め構造のように、嵌め合い部の位
置合わせをしながら、なおかつ回り止めピンの位置あわ
せをする必要がない。また、嵌め合い部３０Ａ、２０Ａ
にそれぞれ形成された凹部３０Ｂ、３０Ｂ…と凸部２０
Ｂ、２０Ｂ…は、中心から等角度で形成されているの
で、ワイヤーリール２４とターンテーブル１０の嵌め合
わせる位置を自由に決められる。これにより、ワイヤー
リール２４のターンテーブル１０への取り付け作業の作
業性を向上することができる。

【００１４】次に図３に従い、本発明のワイヤーソーの
ワイヤーリール回り止め構造の第２の実施例を説明す
る。図３は、ワイヤーリール回り止め構造の第２の実施
例の説明図である。なお、回り止め構造以外の部材は図
１と同じ構成をしているので、ここでは回り止め構造に
関してのみ説明を行い、図１と同じ部材には同符号を付
して説明する。

【００１５】第１の実施例では、ターンテーブル１０と
ワイヤーリール２４のそれぞれの嵌め合い部２０Ａ、３
０Ａに、歯車状の凸部２０Ｂ、２０Ｂ…と、この凸部２
０Ｂ、２０Ｂ…に嵌合する凹部３０Ｂ、３０Ｂ…を形成
することによりワイヤーリール２４のターンテーブル１
０上での回転方向への滑りを阻止した。第２の実施例で
は、ターンテーブル１０とワイヤーリール２４のそれぞ
れの合わせ面に、図３に示すような凹凸を形成する。す
なわち、ターンテーブル１０のフランジ２０上面には、
凸部２０Ａを起点とした等角度で放射状の溝３４、３４
…を形成し、ワイヤーリール２４のフランジ３０下面に
は、溝３４、３４…に嵌合する凸部３６、３６…を凹部
３０Ａを起点として等角度で放射状に形成する。

【００１６】そして、ワイヤーリール２４をターンテー
ブル１０に連結する場合は、まず、ターンテーブル１０
のフランジ２０面上にワイヤーリール２４を載せて、ワ
イヤーリール２４の下フランジ３０の下面に形成された
凹部３０Ａを、ターンテーブル１０のフランジ２０の上
面に形成された凹部２０Ａに嵌合させる。そして、ター
ンテーブル１０を固定しておきながら、ワイヤーリール
２４を回転させ、ワイヤーリール２４の凸部３６、３６
…をターンテーブル１０の溝３４、３４…に嵌合させ
る。そして、ボルト２２をボルト穴３４に差し込んで、
ネジ部２２Ａをターンテーブル１０のネジ穴１０Ｂに螺
合させて連結する。

【００１７】したがって、本発明のワイヤーソーのワイ
ヤーリール回り止め構造によれば、ワイヤーリール２４
をターンテーブル１０に載せるときは、嵌め合い部の位
置合わせだけを行えばよい。また、ワイヤーリール２４
をターンテーブル１０に載せた後の溝３４、３４…と凸
部３６、３６…の噛み合わせも、溝３４、３４…と凸部
３６、３６が等角度で放射状に形成されているので、溝
３４、３４…及び凸部３６、３６…を形成した間隔でワ
イヤーリール２４を回転方向に動かせばよい。これによ
り、従来のワイヤーリール回り止め構造のように、嵌め
合い部の位置合わせをしながら、なおかつ回り止めピン
の位置あわせをする必要がなくなり、ワイヤーリール２
４のターンテーブル１０への取り付け作業の作業性を向
上することができる。

【００１８】次に図４、図５、図６、図７に従って、本
発明のワイヤーソーのワイヤーリール回り止め構造の第
３の実施例を説明する。図４は、本発明のワイヤーソー
のワイヤーリール回り止め構造の第３の実施例の説明図
であり、図５は図４のＡ─Ａ断面図である。また、図６
及び図７は、ワイヤーリール回り止め構造の要部拡大図
である。尚、回り止め構造以外の部材は図１と同じ構成
をしているので、ここでは回り止め構造に関してのみ説
明を行い、図１と同じ部材には同符号を付して説明す
る。

【００１９】図５に示すように、ワイヤーリール２４の
下フランジ３０の下面には、十字型の溝３８が、後述す
るピン４０と係合可能な幅及び深さで形成されている。
一方ターンテーブル１０のフランジ２０の外周側には、
図６及び図７に示すようなピン４０が設置されている。
このピン４０は、軸径の異なる２本の円柱４０Ａ、４０
Ｂから構成され、軸径の大きい方の円柱４０Ａの先端部
は、円錐の先端を切り落とした形状をしている。このピ
ン４０の軸径の小さい方の円柱４０Ｂにスプリング４２
を嵌合し、この状態でターンテーブル１０のフランジ２
０の外周側に設けたピン穴４４に嵌挿する。この時、ピ
ン穴４４の下端部は、スプリング４２の下端面が係合さ
れるようにピン４０の円柱４０Ｂと同径になっている。
また、ピン４０の円柱４０Ｂの下部に座金４６を設ける
ことにより、スプリング４２の反力によりピン４０が外
れるのを防止すると共に、ピン４０が所定高さ以上上が
らないようしている。

【００２０】そして、ワイヤーリール２４をターンテー
ブル１０に連結するには、まず、ワイヤーリール２４の
下フランジ３０の下面に形成された凹部３０Ａが、ター
ンテーブル１０のフランジ２０の上面に形成された凹部
２０Ａに嵌合するようにワイヤーリール２４をターンテ
ーブル１０にのせる。この時、ピン４０はワイヤーリー
ル２４のフランジ３０の下面に押されて、ピン４０の下
端部がターンテーブル１０のフランジ２０の下面より突
出する（図６参照）。そして、ターンテーブル１０を固
定しておきながらワイヤーリール２４を回転させ、ワイ
ヤーリール２４の下フランジ３０下面に形成された十字
型の溝３８を、ピン４０が設けられた位置まで移動させ
る。溝３８がピン４０の位置まで来ると、ピン４０はス
プリング４２の力で突出して溝３８に嵌まる（図７参
照）。ピン４０が溝３８に嵌まれば、ワイヤーリール２
４は回転方向の移動を阻止されるので、ボルト２２をボ
ルト穴３４に差し込んで、ネジ部２２Ａをターンテーブ
ル１０のネジ穴１０Ｂに螺合させて連結する。また、ピ
ン４０が突出して溝３８に嵌まったことは、座金４６が
上がることで確認できる。

【００２１】したがって、本発明のワイヤーソーのワイ
ヤーリール回り止め構造によれば、回り止めピン４０が
付勢手段により出没自在に設けられている為、ワイヤー
リール２４をターンテーブル１０に載せるときは、嵌め
合い部の位置合わせだけをを行えばよい。また、回り止
めのピン４０を溝３８に嵌める時も、ワイヤーリール２
４をターンテーブル１０に載せたまま、ピン４０が溝３
８に嵌まるまで回転させるだけでよい。また、ピン４０
が溝３８に嵌まっているか、いないかの確認をターンテ
ーブル１０下面から突出したピン４０の下端部の上下に
より容易に確認できる。これにより、従来のワイヤーリ
ール回り止め構造のように、嵌め合い部の位置合わせを
しながら、なおかつ回り止めピンの位置あわせをする必
要がないので、ワイヤーリール２４のターンテーブル１
０への取り付け作業の作業性を向上することができる。
また、ワイヤーリール２４は図示しないワイヤーが巻き
回された状態ではフランジ２８、２０が反る傾向にある
が、ピン４０の係合部を十字状の溝３８にしたことで、
ワイヤーリール２４が多少変形してもピン４０を嵌め合
わせることができる。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように、第１の発明ワイヤ
ーソーのワイヤーリール回り止め構造によれば、ワイヤ
ーリールをターンテーブルに載せて連結する際に、その
連結部に互いに噛み合う凹部と凸部のそれぞれ一方が、
回転軸心に対して等角度で多数形成されているので、凹
部と凸部を簡単に噛み合わせることができる。すなわ
ち、ワイヤーリールをターンテーブルに載せた際に、凹
部と凸部が噛み合っていなくても、ワイヤーリールを少
しだけ回転方向にずらすことにより、凹部と凸部は簡単
に噛み合うことができる。したがって、従来のワイヤー
リール回り止め構造のように、嵌め合い部の位置合わせ
をしながら、なおかつ回り止めピンの位置合わせをする
必要がなくなり、ワイヤーリールのターンテーブルへの
取り付け作業を簡単に行うことができる。

【００２３】また、第２の発明のワイヤーソーのワイヤ
ーリール回り止め構造によれば、ワイヤーリールをター
ンテーブルに載せて連結する際に、回り止めのピンを出
没自在に設けている為、ワイヤーリールをターンテーブ
ルに載せた際に、回り止めのピンが溝に係合していなく
ても、ワイヤーリールを少しだけ回転方向にずらすこと
により、簡単にピンと溝を係合させることができる。し
たがって、従来のワイヤーリール回り止め構造のよう
に、嵌め合い部の位置合わせをしながら、なおかつ回り
止めピンの位置合わせをする必要がなくなり、ワイヤー
リールのターンテーブルへの取り付け作業を簡単に行う
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明のワイヤーソーのワイヤーリー
ル回り止め構造の全体の断面図

【図２】図２は、本発明のワイヤーソーのワイヤーリー
ル回り止め構造の第１の実施例を説明する説明図

【図３】図３は、本発明のワイヤーソーのワイヤーリー
ル回り止め構造の第２の実施例を説明する説明図

【図４】図４は、本発明のワイヤーソーのワイヤーリー
ル回り止め構造の第３の実施例を説明する説明図

【図５】図５は、図４におけるＡ─Ａ断面図

【図６】図６は、本発明のワイヤーソーのワイヤーリー
ル回り止め構造の第３の実施例の要部拡大図

【図７】図７は、本発明のワイヤーソーのワイヤーリー
ル回り止め機構の第３の実施例の要部拡大図

【図８】図８は、従来のワイヤーソーのワイヤーリール
回り止め構造を説明する説明図

【符号の説明】

１０…ターンテーブル ２０…ターンテーブルのフランジ ２０Ａ…嵌め合い部（凸） ２０Ｂ、３６…回り止め用凸部 ２２…ボルト ２４…ワイヤーリール ２６…ワイヤーリール胴体 ２８…ワイヤーリール上フランジ ３０…ワイヤーリール下フランジ ３０Ａ…嵌め合い部（凹） ３０Ｂ、３４…回り止め用凹部 ３８…回り止め用十字型溝 ４０…回り止め用ピン ４２…スプリング ４６…座金

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】一方のワイヤーリールと他方のワイヤーリ
   ールの間を走行するワイヤーに被加工物を押し当てると
   共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して前記
   被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤー
   ソーであって、前記ワイヤーリールを回転動力側のター
   ンテーブルに連結して前記ワイヤーリールを回転させる
   ワイヤーソーにおいて、 前記ターンテーブルと前記ワイヤーリールのそれぞれの
   連結部分の一方側には凹部が、他方側には凸部がそれぞ
   れ回転軸心の回りに等角度で多数形成されると共に、前
   記凹部と前記凸部は互いに噛み合うことを特徴をするワ
   イヤーソーのワイヤーリール回り止め構造。
2. 【請求項２】一方のワイヤーリールと他方のワイヤーリ
   ールの間を走行するワイヤーに被加工物を押し当てると
   共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して前記
   被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤー
   ソーであって、前記ワイヤーリールを回転動力側のター
   ンテーブルに連結して前記ワイヤーリールを回転させる
   ワイヤーソーにおいて、 前記ターンテーブルと前記ワイヤーリールの連結部分の
   前記ワイヤーリール側に径方向の溝を形成し、前記ター
   ンテーブル側に付勢手段で突出方向に付勢された出没自
   在なピンを設け、 前記溝と前記ピンの位置が合った時に、前記ピンは付勢
   手段で突出して前記溝と係合するようにしたことを特徴
   とするワイヤーソーのワイヤーリール回り止め構造。
3. 【請求項３】前記ピンの後端部は前記ターンテーブルか
   ら露出していることを特徴とする請求項２のワイヤーソ
   ーのワイヤーリール回り止め構造。