JPH0829965A - ステンシル露光マスク - Google Patents
ステンシル露光マスクInfo
- Publication number
- JPH0829965A JPH0829965A JP16025394A JP16025394A JPH0829965A JP H0829965 A JPH0829965 A JP H0829965A JP 16025394 A JP16025394 A JP 16025394A JP 16025394 A JP16025394 A JP 16025394A JP H0829965 A JPH0829965 A JP H0829965A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tape
- pattern
- mask
- exposure mask
- thin plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Optical Filters (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】透明パターン領域に傷が付いたり、ごみが付着
する問題を解消し、割れ易さを解消して、取り扱い易く
することにある。 【構成】所定マスクパターン形状に切抜パターン部１２
を設けた金属薄板１１の一面に、切抜パターン部１２に
沿ってスペーサ用テープ１３が貼着され、前記金属薄板
１１のスペーサ用テープ１３を貼着した面と相対する面
に、該金属薄板１１を支持する支持体１４が取り付けら
れている。
する問題を解消し、割れ易さを解消して、取り扱い易く
することにある。 【構成】所定マスクパターン形状に切抜パターン部１２
を設けた金属薄板１１の一面に、切抜パターン部１２に
沿ってスペーサ用テープ１３が貼着され、前記金属薄板
１１のスペーサ用テープ１３を貼着した面と相対する面
に、該金属薄板１１を支持する支持体１４が取り付けら
れている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示装置用カラー
フィルタの着色パターン等の微細パターン上に、パター
ン露光により透明オーバーコートを被覆形成するために
使用するパターン露光用のステンシル露光マスクに関す
る。
フィルタの着色パターン等の微細パターン上に、パター
ン露光により透明オーバーコートを被覆形成するために
使用するパターン露光用のステンシル露光マスクに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置用カラーフィルタは、ガラ
ス板等の透明なフィルタ基板上に、赤（レッド）、緑
（グリーン）、青（ブルー）の色光３原色によるカラー
フィルタ用着色パターンと、適宜表示コントラストを得
るためのブラックマトリクスパターンとをパターン形成
した後に、該パターン部分を全面的に被覆保護するため
の透明なオーバーコート膜が形成されている。
ス板等の透明なフィルタ基板上に、赤（レッド）、緑
（グリーン）、青（ブルー）の色光３原色によるカラー
フィルタ用着色パターンと、適宜表示コントラストを得
るためのブラックマトリクスパターンとをパターン形成
した後に、該パターン部分を全面的に被覆保護するため
の透明なオーバーコート膜が形成されている。
【０００３】上記透明オーバーコート膜は、前記着色パ
ターン及びブラックマトリクスパターンが形成されてい
るガラス製のフィルタ基板上に、該パターン上より全面
的に透明な感光性樹脂液を塗布して乾燥させて感光性樹
脂膜を形成した後、該感光性樹脂膜上に、前記パターン
領域全面をカバーする形状の透光パターン部分を備えた
フォトマスクを重ね合わせ、紫外線により全面露光を行
って、前記パターン領域全面をカバーする形状に感光性
樹脂膜を光硬化し、その後、現像処理することによって
前記パターンを被覆する形状にパターン形成していた。
ターン及びブラックマトリクスパターンが形成されてい
るガラス製のフィルタ基板上に、該パターン上より全面
的に透明な感光性樹脂液を塗布して乾燥させて感光性樹
脂膜を形成した後、該感光性樹脂膜上に、前記パターン
領域全面をカバーする形状の透光パターン部分を備えた
フォトマスクを重ね合わせ、紫外線により全面露光を行
って、前記パターン領域全面をカバーする形状に感光性
樹脂膜を光硬化し、その後、現像処理することによって
前記パターンを被覆する形状にパターン形成していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のように透明オー
バーコート膜の従来のパターン形成に使用されるフォト
マスクは、図４（ａ）の斜視図及び図４（ｂ）のＬ−Ｌ
側断面図に示すように、透明なガラス薄板１の表面に、
クロム蒸着膜による所定形状パターンの遮光膜２が形成
されたものであり、特にガラス薄板１の透明パターン領
域に傷３が付いたり、ごみや異物４が付着したりし易
く、また、割れ易いために、取り扱い難く、耐久性等に
課題が残されていた。
バーコート膜の従来のパターン形成に使用されるフォト
マスクは、図４（ａ）の斜視図及び図４（ｂ）のＬ−Ｌ
側断面図に示すように、透明なガラス薄板１の表面に、
クロム蒸着膜による所定形状パターンの遮光膜２が形成
されたものであり、特にガラス薄板１の透明パターン領
域に傷３が付いたり、ごみや異物４が付着したりし易
く、また、割れ易いために、取り扱い難く、耐久性等に
課題が残されていた。
【０００５】本発明は、透明パターン領域に傷が付いた
り、ごみが付着する問題を解消し、割れ易さを解消し
て、取り扱い易くすることにある。
り、ごみが付着する問題を解消し、割れ易さを解消し
て、取り扱い易くすることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、所定マスクパ
ターン形状に切抜パターン部１２を設けた金属薄板１１
の一面に、切抜パターン部１２に沿ってスペーサ用テー
プ１３が貼着されていることを特徴とするステンシル露
光マスクである。
ターン形状に切抜パターン部１２を設けた金属薄板１１
の一面に、切抜パターン部１２に沿ってスペーサ用テー
プ１３が貼着されていることを特徴とするステンシル露
光マスクである。
【０００７】また、本発明は、上記発明において、前記
金属薄板１１のスペーサ用テープ１３を貼着した面と相
対する面に、該金属薄板１１を支持する支持体１４が取
り付けられているステンシル露光マスクである。
金属薄板１１のスペーサ用テープ１３を貼着した面と相
対する面に、該金属薄板１１を支持する支持体１４が取
り付けられているステンシル露光マスクである。
【０００８】
【実施例】本発明のステンシル露光マスクを、図１
（ａ）〜（ｂ）に示す一実施例に従って以下に詳細に説
明する。
（ａ）〜（ｂ）に示す一実施例に従って以下に詳細に説
明する。
【０００９】図１（ａ）はステンシル露光マスクの一実
施例における全体斜視図、図１（ｂ）は、ステンシル露
光マスクの一実施例におけるＬ−Ｌ側断面図であり、金
属薄板１１の領域内に、プレス打ち抜き方式、あるいは
金属パターンエッチング方式により、所定形状の切抜パ
ターン部１２が孔設されている。
施例における全体斜視図、図１（ｂ）は、ステンシル露
光マスクの一実施例におけるＬ−Ｌ側断面図であり、金
属薄板１１の領域内に、プレス打ち抜き方式、あるいは
金属パターンエッチング方式により、所定形状の切抜パ
ターン部１２が孔設されている。
【００１０】上記金属薄板１１は、鋼板、あるいはステ
ンレス鋼板、鉄板、鉄とニッケルとの合金等による金属
製の薄板であり、例えば、サイズは４５０×４５０ｍ
ｍ、厚さは１．０ｍｍ程度であるが、本発明においては
特に限定されない。
ンレス鋼板、鉄板、鉄とニッケルとの合金等による金属
製の薄板であり、例えば、サイズは４５０×４５０ｍ
ｍ、厚さは１．０ｍｍ程度であるが、本発明においては
特に限定されない。
【００１１】上記打抜パターン１２は、紫外線を金属薄
板１１上より全面露光した際に、透光パターン部分とな
るもので、パターンの形状は、図中では二連の矩形状パ
ターンを示しているが、本発明においては、特に限定さ
れるものではない。
板１１上より全面露光した際に、透光パターン部分とな
るもので、パターンの形状は、図中では二連の矩形状パ
ターンを示しているが、本発明においては、特に限定さ
れるものではない。
【００１２】スペーサ用テープ１３は、上記金属薄板１
１の一面（重ね合わせられる感光性樹脂面と対向する
面）に打抜パターン１２に沿って貼着されたものであ
り、合成樹脂製、紙製、あるいは織布製のテープ状基材
の裏面に粘着剤や接着剤をコーティングした感圧性若し
くは感熱性の粘着テープや接着テープである。
１の一面（重ね合わせられる感光性樹脂面と対向する
面）に打抜パターン１２に沿って貼着されたものであ
り、合成樹脂製、紙製、あるいは織布製のテープ状基材
の裏面に粘着剤や接着剤をコーティングした感圧性若し
くは感熱性の粘着テープや接着テープである。
【００１３】上記テープ１３の厚さや幅は、特に限定さ
れないが、例えば、厚さは５０μｍ〜１００μｍ程度が
適当であり、ステンシル露光マスクを、感光性樹脂を塗
布した基板と重ね合わせた際に、露光マスクの金属薄板
１１面の全面が、感光性樹脂に直接接触しない程度の適
度の間隙が形成される程度であればよい。また、例え
は、厚さ５０μｍのテープを２枚重ねにして貼着しても
よいし、重ね貼りした２枚のテープのうち、下側に貼る
テープを上側のテープより狭い幅（例えば３ｍｍ〜５ｍ
ｍ程度）に設定して貼着してもよい。
れないが、例えば、厚さは５０μｍ〜１００μｍ程度が
適当であり、ステンシル露光マスクを、感光性樹脂を塗
布した基板と重ね合わせた際に、露光マスクの金属薄板
１１面の全面が、感光性樹脂に直接接触しない程度の適
度の間隙が形成される程度であればよい。また、例え
は、厚さ５０μｍのテープを２枚重ねにして貼着しても
よいし、重ね貼りした２枚のテープのうち、下側に貼る
テープを上側のテープより狭い幅（例えば３ｍｍ〜５ｍ
ｍ程度）に設定して貼着してもよい。
【００１４】次に、本発明のステンシル露光マスクの他
の実施例は、図２の斜視図に示すように、金属薄板１１
と、切抜パターン部１２と、スペーサテープ１３とによ
る前述したステンシル露光マスク（図１（ａ）〜（ｂ）
参照）を、ガラス板、プラスチック板等の平坦で透明な
支持板、又は切抜パターン１２に対応する領域が切り抜
かれた枠状体等の支持体１４の一面に取り付け支持した
ものである。
の実施例は、図２の斜視図に示すように、金属薄板１１
と、切抜パターン部１２と、スペーサテープ１３とによ
る前述したステンシル露光マスク（図１（ａ）〜（ｂ）
参照）を、ガラス板、プラスチック板等の平坦で透明な
支持板、又は切抜パターン１２に対応する領域が切り抜
かれた枠状体等の支持体１４の一面に取り付け支持した
ものである。
【００１５】ステンシル露光マスクは、金属薄板１１
が、支持体１４に対して、両面接着テープ、両面粘着テ
ープ等によって、貼着支持して取り付けられていてもよ
いし、あるいは、図２に示すように、支持体１４面に、
マスクの金属薄板１１端部を押さえ固定するための金属
製又は樹脂製の取り付け具１５（治具）によって、取り
付け支持されたものでもよい。なお、取り付け具１５に
よって、金属薄板１１端部をその上面より押さえ付けて
取り付ける場合は、金属薄板１１表面より突出する取り
付け具１５の厚さを、テープ１３の厚さにほぼ等しくす
ることがよい。
が、支持体１４に対して、両面接着テープ、両面粘着テ
ープ等によって、貼着支持して取り付けられていてもよ
いし、あるいは、図２に示すように、支持体１４面に、
マスクの金属薄板１１端部を押さえ固定するための金属
製又は樹脂製の取り付け具１５（治具）によって、取り
付け支持されたものでもよい。なお、取り付け具１５に
よって、金属薄板１１端部をその上面より押さえ付けて
取り付ける場合は、金属薄板１１表面より突出する取り
付け具１５の厚さを、テープ１３の厚さにほぼ等しくす
ることがよい。
【００１６】
【作用】本発明のステンシル露光マスクＡは、所定マス
クパターン形状に切抜パターン部１２を設けた金属薄板
１１の一面に、スペーサ用テープ１３を貼着したので、
図３に示すように、該ステンシル露光マスクＡを、ガラ
ス基板等の基板１６に、感光性樹脂を塗布し、乾燥させ
て形成した感光性樹脂膜１７面に、重ね合わせて密着し
てパターン露光を行なう際に、該テープ１３によって、
金属薄板１１と感光性樹脂膜１７との間の重ね合わせ面
に、テープ１３の厚さ分の間隙１８が形成される。
クパターン形状に切抜パターン部１２を設けた金属薄板
１１の一面に、スペーサ用テープ１３を貼着したので、
図３に示すように、該ステンシル露光マスクＡを、ガラ
ス基板等の基板１６に、感光性樹脂を塗布し、乾燥させ
て形成した感光性樹脂膜１７面に、重ね合わせて密着し
てパターン露光を行なう際に、該テープ１３によって、
金属薄板１１と感光性樹脂膜１７との間の重ね合わせ面
に、テープ１３の厚さ分の間隙１８が形成される。
【００１７】そのため、パターン露光後に、前記マスク
Ａを、感光性樹脂膜１６面より剥離除去する際に、前記
間隙１８により剥離が容易にできる。また、前記マスク
Ａを、支持体１４によって支持することにより、薄板状
のマクスＡは、折損したりすることを回避できる。
Ａを、感光性樹脂膜１６面より剥離除去する際に、前記
間隙１８により剥離が容易にできる。また、前記マスク
Ａを、支持体１４によって支持することにより、薄板状
のマクスＡは、折損したりすることを回避できる。
【００１８】
【発明の効果】本発明のステンシル露光マスクは、透光
パターンが切抜パターン部により形成されているので、
透光パターン領域に傷が付いたり、ごみや異物が付着し
たりすることは皆無になり、またスペーサ用テープによ
って、パターン露光後の剥離が短時間で容易にでき、ま
た、支持体によって支持することにより、割れ易さを解
消でき、取り扱いが容易となる等の効果がある。
パターンが切抜パターン部により形成されているので、
透光パターン領域に傷が付いたり、ごみや異物が付着し
たりすることは皆無になり、またスペーサ用テープによ
って、パターン露光後の剥離が短時間で容易にでき、ま
た、支持体によって支持することにより、割れ易さを解
消でき、取り扱いが容易となる等の効果がある。
【図１】（ａ）は本発明のステンシル露光マスクの一実
施例における斜視図、（ｂ）は本発明のステンシル露光
マスクの一実施例におけるＬ−Ｌ側断面図である。
施例における斜視図、（ｂ）は本発明のステンシル露光
マスクの一実施例におけるＬ−Ｌ側断面図である。
【図２】本発明のステンシル露光マスクの他の実施例に
おける斜視図である。
おける斜視図である。
【図３】本発明のステンシル露光マスクを、パターン露
光の際に基板に重ね合わせた状態を示す側断面図であ
る。
光の際に基板に重ね合わせた状態を示す側断面図であ
る。
【図４】（ａ）は従来の透明なガラス基板を用いた露光
マスクの斜視図、（ｂ）は従来の透明なガラス基板を用
いた露光マスクのＬ−Ｌ側断面図である。
マスクの斜視図、（ｂ）は従来の透明なガラス基板を用
いた露光マスクのＬ−Ｌ側断面図である。
１…透明ガラス板 ２…遮光膜 ３…傷 ４…異物 １１…金属薄板 １２…切抜パターン部 １３…スペー
サ用テープ １４…支持体 １５…取り付け金具 １６…ガラス基板
１７…感光性樹脂膜 １８…間隙
サ用テープ １４…支持体 １５…取り付け金具 １６…ガラス基板
１７…感光性樹脂膜 １８…間隙
Claims (2)
- 【請求項１】所定マスクパターン形状に切抜パターン部
１２を設けた金属薄板１１の一面に切抜パターン部１２
に沿ってスペーサ用テープ１３が貼着されていることを
特徴とするステンシル露光マスク。 - 【請求項２】前記金属薄板１１のスペーサ用テープ１３
を貼着した面と相対する面に、該金属薄板１１を支持す
る支持体１４が取り付けられている請求項１記載のステ
ンシル露光マスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16025394A JPH0829965A (ja) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | ステンシル露光マスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16025394A JPH0829965A (ja) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | ステンシル露光マスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0829965A true JPH0829965A (ja) | 1996-02-02 |
Family
ID=15711013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16025394A Pending JPH0829965A (ja) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | ステンシル露光マスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0829965A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104360579A (zh) * | 2014-11-11 | 2015-02-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩模板 |
| KR101495955B1 (ko) * | 2012-02-29 | 2015-02-26 | 삼성전기주식회사 | 인쇄회로기판의 표면처리 방법 |
-
1994
- 1994-07-12 JP JP16025394A patent/JPH0829965A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101495955B1 (ko) * | 2012-02-29 | 2015-02-26 | 삼성전기주식회사 | 인쇄회로기판의 표면처리 방법 |
| CN104360579A (zh) * | 2014-11-11 | 2015-02-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩模板 |
| WO2016074387A1 (zh) * | 2014-11-11 | 2016-05-19 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩模板 |
| US9753365B2 (en) | 2014-11-11 | 2017-09-05 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Mask plate |
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