JPH08102067A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
- Publication number
- JPH08102067A JPH08102067A JP23784394A JP23784394A JPH08102067A JP H08102067 A JPH08102067 A JP H08102067A JP 23784394 A JP23784394 A JP 23784394A JP 23784394 A JP23784394 A JP 23784394A JP H08102067 A JPH08102067 A JP H08102067A
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- Japan
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- crucible
- magnetic material
- plate
- recording medium
- vapor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 長尺の蒸着テープを得ることができかつ磁性
材料を有効に利用することのできる新規な磁気記録媒体
製造装置を提供すること。 【構成】 本装置は、真空容器と、該真空容器内の走行
装置と、磁性材料の充填されたルツボと、該磁性材料に
電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置とを含
む磁気記録媒体の製造装置において、前記ルツボに、磁
性材料からなりルツボの内周面に概ね一致する形状を有
し一端が前記ルツボ内に位置し、他端が前記走行装置を
構成する冷却キャン近傍に延在する板状部材を具備する
ことを特徴とする。
材料を有効に利用することのできる新規な磁気記録媒体
製造装置を提供すること。 【構成】 本装置は、真空容器と、該真空容器内の走行
装置と、磁性材料の充填されたルツボと、該磁性材料に
電子ビームを照射するための電子ビーム発生装置とを含
む磁気記録媒体の製造装置において、前記ルツボに、磁
性材料からなりルツボの内周面に概ね一致する形状を有
し一端が前記ルツボ内に位置し、他端が前記走行装置を
構成する冷却キャン近傍に延在する板状部材を具備する
ことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁性材料の蒸気を蒸着
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体を製造する
装置に関し、特にそのルツボの構成に関するものであ
る。
して磁性層を形成する蒸着型の磁気記録媒体を製造する
装置に関し、特にそのルツボの構成に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の蒸着型磁気記録媒体の製造装置と
して、図６に示すものがある。この製造装置は、真空容
器３０と、この真空容器３０内に配設され一連の被蒸着
材３１を走行させる走行装置３２と、被蒸着材３１の下
方に配設され磁性材料３３を充填したルツボ３５と、こ
のルツボ３５の磁性材料に電子ビームを照射するための
電子ビーム発生装置３６とを含んでいる。そして、ルツ
ボ内の磁性材料に電子ビームを照射しこれにより磁性材
料は電子ビームの照射を受けて溶融し、蒸発を続け、そ
の蒸気を被蒸着材に蒸着していた。
して、図６に示すものがある。この製造装置は、真空容
器３０と、この真空容器３０内に配設され一連の被蒸着
材３１を走行させる走行装置３２と、被蒸着材３１の下
方に配設され磁性材料３３を充填したルツボ３５と、こ
のルツボ３５の磁性材料に電子ビームを照射するための
電子ビーム発生装置３６とを含んでいる。そして、ルツ
ボ内の磁性材料に電子ビームを照射しこれにより磁性材
料は電子ビームの照射を受けて溶融し、蒸発を続け、そ
の蒸気を被蒸着材に蒸着していた。
【０００３】上記製造装置において、高い保磁力を有す
る被蒸着材上の結晶構造、すなわち斜めに成長した柱状
の結晶構造（コラム構造）を得るために、ルツボ３５か
らの蒸気の入射角を規制する防着板３７が使用される。
この防着板３７により、被蒸着材に蒸着する磁性材料の
粒子に方向性を持たせることができる。
る被蒸着材上の結晶構造、すなわち斜めに成長した柱状
の結晶構造（コラム構造）を得るために、ルツボ３５か
らの蒸気の入射角を規制する防着板３７が使用される。
この防着板３７により、被蒸着材に蒸着する磁性材料の
粒子に方向性を持たせることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】磁性材料の蒸発に伴
い、ルツボ内の磁性材料は減少する。そのため、一連の
蒸着作業で得られる蒸着テープ（磁気記録媒体）の長さ
は、ルツボ内の磁性材料の量に応じたものとなり、長尺
の蒸着テープを得ることが困難となる。
い、ルツボ内の磁性材料は減少する。そのため、一連の
蒸着作業で得られる蒸着テープ（磁気記録媒体）の長さ
は、ルツボ内の磁性材料の量に応じたものとなり、長尺
の蒸着テープを得ることが困難となる。
【０００５】また、ルツボ内の磁性材料がなくなる毎に
蒸着テープの製造装置を停止させてルツボ内に新たに磁
性材料を供給しなければならず、甚だ作業効率が悪かっ
た。蒸着テープの製造装置を停止させることなく、自動
的にルツボ内に磁性材料を補充する磁性材料供給装置が
提案されているが、製造装置が複雑となり、またコスト
的に不利となる。
蒸着テープの製造装置を停止させてルツボ内に新たに磁
性材料を供給しなければならず、甚だ作業効率が悪かっ
た。蒸着テープの製造装置を停止させることなく、自動
的にルツボ内に磁性材料を補充する磁性材料供給装置が
提案されているが、製造装置が複雑となり、またコスト
的に不利となる。
【０００６】更に、従来の蒸着テープ製造装置において
は、磁性材料蒸気の大部分（約９０％）は防着板３７に
付着してしまい、被蒸着材に蒸着する磁性材料の量は蒸
発量の僅かな部分を占めるに過ぎなかった。そのため、
蒸発量の大部分は有効に利用されず、従って材料収率が
甚だ悪かった。
は、磁性材料蒸気の大部分（約９０％）は防着板３７に
付着してしまい、被蒸着材に蒸着する磁性材料の量は蒸
発量の僅かな部分を占めるに過ぎなかった。そのため、
蒸発量の大部分は有効に利用されず、従って材料収率が
甚だ悪かった。
【０００７】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、長尺の蒸着テープ
を得ることができ、かつ磁性材料を有効に利用すること
のできる新規な磁気記録媒体製造装置を提供しようとす
るものである。
のであり、その目的とするところは、長尺の蒸着テープ
を得ることができ、かつ磁性材料を有効に利用すること
のできる新規な磁気記録媒体製造装置を提供しようとす
るものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体の
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料の充填されたルツボと、該ルツボの磁
性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装
置とを含む磁気記録媒体の製造装置において、前記ルツ
ボに、磁性材料からなりルツボの内周面に概ね一致する
形状を有し一端が前記ルツボ内に位置し、他端が前記走
行装置を構成する冷却キャン近傍に延在する板状部材を
具備することを特徴とする。
製造装置は、真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料の充填されたルツボと、該ルツボの磁
性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装
置とを含む磁気記録媒体の製造装置において、前記ルツ
ボに、磁性材料からなりルツボの内周面に概ね一致する
形状を有し一端が前記ルツボ内に位置し、他端が前記走
行装置を構成する冷却キャン近傍に延在する板状部材を
具備することを特徴とする。
【０００９】本製造装置において、板状部材は、磁性材
料と、防着板としての機能の２つの用途を併せ備えるも
のである。
料と、防着板としての機能の２つの用途を併せ備えるも
のである。
【００１０】すなわち、板状部材が磁性材料からなり、
その一端がルツボ内に位置する構成を含むことにより、
板状部材のルツボ内に位置する部分が溶けてルツボ内に
磁性材料を供給する。
その一端がルツボ内に位置する構成を含むことにより、
板状部材のルツボ内に位置する部分が溶けてルツボ内に
磁性材料を供給する。
【００１１】また、板状部材が、ルツボの内周面に概ね
一致する湾曲する形状を有し一端が融解槽内に位置し他
端が走行装置を構成する冷却キャン近傍に延在する構成
を含むことにより、ルツボと冷却キャン間に板状部材の
壁が形成され、この壁により磁性材料蒸気の入射角が規
制される。壁の外に行こうとする磁性材料の蒸気は、前
記壁により阻止される。そして、壁に付着した磁性材料
の粒子は、板状部材が融解するときにルツボに戻され、
その後の蒸発に有効に利用される。
一致する湾曲する形状を有し一端が融解槽内に位置し他
端が走行装置を構成する冷却キャン近傍に延在する構成
を含むことにより、ルツボと冷却キャン間に板状部材の
壁が形成され、この壁により磁性材料蒸気の入射角が規
制される。壁の外に行こうとする磁性材料の蒸気は、前
記壁により阻止される。そして、壁に付着した磁性材料
の粒子は、板状部材が融解するときにルツボに戻され、
その後の蒸発に有効に利用される。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明
する。
する。
【００１３】図１は、本発明による磁気記録媒体の製造
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、ルツボ３と、そして電子ビーム発生装置４とを
含んでいる。真空容器１は、その排出口２９が図示しな
い真空ポンプに接続され、この真空容器内に一連の被蒸
着材、すなわち合成樹脂製テープ５を走行させる走行装
置２が配設されている。走行装置２は、送りロール６
と、巻取りロール７と、そして冷却キャン８からなって
いる。ルツボ３は、冷却キャン８下方の所定位置に配設
されている。このルツボ３は、酸化マグネシウム（Ｍｇ
Ｏ）より構成され２０００℃程度までの高温に耐えられ
るようになっている。またルツボ３は、磁性金属１０を
収容している。電子ビーム発生装置４は電子銃１１を備
え、この電子銃１１から電子ビームを発射し、この電子
ビームを磁性金属１０に照射するようになっている。防
着板１２が冷却キャン８の下方に配設され、この防着板
１２は磁性金属１０蒸気のテープ５に対する入射角を規
制している。また、冷却キャン８中央の両側にも防着板
１４が配設され、走行装置２側に磁性金属１０の蒸気が
行かないように遮断している。
装置の構成図である。本装置は、真空容器１と、走行装
置２と、ルツボ３と、そして電子ビーム発生装置４とを
含んでいる。真空容器１は、その排出口２９が図示しな
い真空ポンプに接続され、この真空容器内に一連の被蒸
着材、すなわち合成樹脂製テープ５を走行させる走行装
置２が配設されている。走行装置２は、送りロール６
と、巻取りロール７と、そして冷却キャン８からなって
いる。ルツボ３は、冷却キャン８下方の所定位置に配設
されている。このルツボ３は、酸化マグネシウム（Ｍｇ
Ｏ）より構成され２０００℃程度までの高温に耐えられ
るようになっている。またルツボ３は、磁性金属１０を
収容している。電子ビーム発生装置４は電子銃１１を備
え、この電子銃１１から電子ビームを発射し、この電子
ビームを磁性金属１０に照射するようになっている。防
着板１２が冷却キャン８の下方に配設され、この防着板
１２は磁性金属１０蒸気のテープ５に対する入射角を規
制している。また、冷却キャン８中央の両側にも防着板
１４が配設され、走行装置２側に磁性金属１０の蒸気が
行かないように遮断している。
【００１４】ルツボ３は、板状部材１５を具備してい
る。この板状部材１５は、図２に示すように、磁性材
料、すなわち磁性金属１０より構成され、ルツボの内周
面に概ね一致する湾曲する形状を有している。この板状
部材１５の一端、すなわち下端は、ルツボ３内に位置
し、他端、すなわち上端は冷却キャン８近傍に延在して
いる。
る。この板状部材１５は、図２に示すように、磁性材
料、すなわち磁性金属１０より構成され、ルツボの内周
面に概ね一致する湾曲する形状を有している。この板状
部材１５の一端、すなわち下端は、ルツボ３内に位置
し、他端、すなわち上端は冷却キャン８近傍に延在して
いる。
【００１５】板状部材１５の上端部にセラミック製の防
着板１６が接続されている。この防着板１６は、板状部
材１５と同じ曲率を有し、下端部に二又部１７が形成さ
れ、この二又部１７により板状部材１５を把持してい
る。防着板１６の他端に引張ばね１８の一端が接続さ
れ、この引張ばね１８の他端は、真空容器１内の固定部
１９に固定されている。引張ばね１８は、防着板１６を
支持すると共に、板状部材１５が融解して下に沈むとき
延びて防着板１６の移動を許容するようになっている。
着板１６が接続されている。この防着板１６は、板状部
材１５と同じ曲率を有し、下端部に二又部１７が形成さ
れ、この二又部１７により板状部材１５を把持してい
る。防着板１６の他端に引張ばね１８の一端が接続さ
れ、この引張ばね１８の他端は、真空容器１内の固定部
１９に固定されている。引張ばね１８は、防着板１６を
支持すると共に、板状部材１５が融解して下に沈むとき
延びて防着板１６の移動を許容するようになっている。
【００１６】図４は、ルツボの変形例を示す。このルツ
ボ３′は、その周壁の一部が上方に冷却キャン８の近傍
まで延在している。この延在する部分は、ルツボ３′に
備わる板状部材１５′のための支持部２０を形成してい
る。板状部材１５′は、ルツボ３に備わる板状部材１５
と比較し、長大になっている点で異なるものの、その他
の点では板状部材１５と同様に構成されている。ルツボ
３′を備えることにより、前記防着板１６と前記引張ば
ね１８を不要とすることができる。
ボ３′は、その周壁の一部が上方に冷却キャン８の近傍
まで延在している。この延在する部分は、ルツボ３′に
備わる板状部材１５′のための支持部２０を形成してい
る。板状部材１５′は、ルツボ３に備わる板状部材１５
と比較し、長大になっている点で異なるものの、その他
の点では板状部材１５と同様に構成されている。ルツボ
３′を備えることにより、前記防着板１６と前記引張ば
ね１８を不要とすることができる。
【００１７】このように構成された本装置において、板
状部材１５は、そのルツボ内の部分が融解するとき、ル
ツボ３内に磁性金属１０を供給する。磁性金属１０の蒸
発に伴い、板状部材１５が下に沈むとき防着板１６も下
方に移動するが、この移動は引張ばね１８が延びること
により対応され、これにより防着板１６の移動を許容す
る。
状部材１５は、そのルツボ内の部分が融解するとき、ル
ツボ３内に磁性金属１０を供給する。磁性金属１０の蒸
発に伴い、板状部材１５が下に沈むとき防着板１６も下
方に移動するが、この移動は引張ばね１８が延びること
により対応され、これにより防着板１６の移動を許容す
る。
【００１８】また、板状部材１５は、防着板１６と共
に、ルツボ３から冷却キャン８まで延びる壁を形成して
磁性金属１０蒸気の入射角を規制する。板状部材１５の
壁に付着した磁性金属１０の粒子は、板状部材が融解す
るときにルツボ３に戻され、その後の蒸発に利用され
る。
に、ルツボ３から冷却キャン８まで延びる壁を形成して
磁性金属１０蒸気の入射角を規制する。板状部材１５の
壁に付着した磁性金属１０の粒子は、板状部材が融解す
るときにルツボ３に戻され、その後の蒸発に利用され
る。
【００１９】防着板１６に付着した磁性金属１０の粒子
は、防着板１６がルツボ３に接近したときに、防着板に
電子ビームを照射することにより、ルツボ３内に戻すこ
とができる。
は、防着板１６がルツボ３に接近したときに、防着板に
電子ビームを照射することにより、ルツボ３内に戻すこ
とができる。
【００２０】送りロール６より送り出されて蒸着領域内
に入ったテープ５は、磁性金属蒸気の蒸着を受けながら
冷却キャン上を円周方向に回転し、その間に磁性膜がテ
ープ上に形成され、巻取りロール７により巻取られる。
に入ったテープ５は、磁性金属蒸気の蒸着を受けながら
冷却キャン上を円周方向に回転し、その間に磁性膜がテ
ープ上に形成され、巻取りロール７により巻取られる。
【００２１】
【発明の効果】本発明は、以上述べたように構成されて
いるので、以下に記載されるような効果を奏する。
いるので、以下に記載されるような効果を奏する。
【００２２】板状部材が磁性材料供給手段として機能す
ることにより、長尺の磁気記録媒体が一連の作業で効率
良く得られる。
ることにより、長尺の磁気記録媒体が一連の作業で効率
良く得られる。
【００２３】板状部材が防着板として機能することによ
り、被蒸着材上に高い保磁力を有するコラム構造を得る
ことができる。
り、被蒸着材上に高い保磁力を有するコラム構造を得る
ことができる。
【００２４】また、板状部材が防着板として機能し、か
つ磁性材料供給手段として機能することにより、板状部
材（防着板）に付着した磁性材料の粒子を融解槽内に戻
すことができ、これにより磁性材料の有効利用が達成さ
れ、効率の良い装置が実現できるものである。
つ磁性材料供給手段として機能することにより、板状部
材（防着板）に付着した磁性材料の粒子を融解槽内に戻
すことができ、これにより磁性材料の有効利用が達成さ
れ、効率の良い装置が実現できるものである。
【図１】本発明による磁気記録媒体の製造装置の構成
図。
図。
【図２】本装置に備るルツボの斜視図。
【図３】本装置の部分側面図。
【図４】本装置に備るルツボの別の実施例の斜視図。
【図５】同ルツボに好適の板状部材の斜視図。
【図６】従来の磁気記録媒体の製造装置の構成図。
１ 真空容器 ２ 走行装置 ３ ルツボ ４ 電子ビーム発生装置 ５ テープ（被蒸着材） ８ 冷却キャン １０ 磁性金属 １５ 板状部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若林 繁美 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606番地 花 王株式会社情報科学研究所内 (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606番地 花 王株式会社情報科学研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】真空容器と、該真空容器内に配設され一連
の被蒸着材を走行させる走行装置と、被蒸着材の下方に
配設され磁性材料の充填されたルツボと、該ルツボの磁
性材料に電子ビームを照射するための電子ビーム発生装
置とを含む磁気記録媒体の製造装置において、 前記ルツボに、磁性材料からなりルツボの内周面に概ね
一致する形状を有し一端が前記ルツボ内に位置し、他端
が前記走行装置を構成する冷却キャン近傍に延在する板
状部材を具備することを特徴とする磁気記録媒体の製造
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23784394A JPH08102067A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23784394A JPH08102067A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08102067A true JPH08102067A (ja) | 1996-04-16 |
Family
ID=17021238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23784394A Pending JPH08102067A (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08102067A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009228098A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Fujifilm Corp | ルツボ、真空蒸着方法、および真空蒸着装置 |
-
1994
- 1994-09-30 JP JP23784394A patent/JPH08102067A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009228098A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Fujifilm Corp | ルツボ、真空蒸着方法、および真空蒸着装置 |
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