JPH0834237B2 - ウェ−ハカセットの搬送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、２つの部屋の間でウェーハが収納されたウ
ェーハカセットを受渡すためのウェーハカセットの搬送
装置に関する。

〔従来の技術〕 従来、クリーン度の異なった部屋間において、多数の
ウェーハを受渡す場合には、２つの部屋の間に二重扉で
仕切られた受渡し空間を設け、かつウェーハが収納され
たウェーハカセットをパスボックス（通い箱）内に入れ
て、このパスボックスごと、受渡し空間を介して一方の
部屋から他方の部屋に受渡していた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上記従来のパスボックスによる受渡し
方法においては、パスボックスの移動を人手に頼って行
なっており、その作業性に問題があると共に、パスボッ
クス内に収容できるウェーハカセットの数が限られてい
るため、パスボックスが多数必要となり、パスボックス
の管理が繁雑になると共に、１つのロットのウェーハを
収納した多数のウェーハカセットが複雑のパスボックス
内に分散して収容されるため、ウェーハのロット毎に管
理が行ないにくいという問題がある。また、パスボック
スが終始２つの部屋の間を往復するために、パスボック
スにゴミ、チリ等が付着、蓄積し易く、清浄な部屋を汚
染するおそれがある。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目
的とするところは、２つの部屋の間で、ウェーハを収納
したウェーハカセットを受渡す場合に、円滑にかつ容易
に行なうことができ、かつパスボックスが不要で清浄な
部屋を汚染するのを極力抑制することができる上に、ウ
ェーハのロット管理が簡単に行なえるウェーハカセット
の搬送装置を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明は、２つの部屋を
仕切る隔壁に設けられた開口部に、シャッターを開閉自
在に設けると共に、このシャッターに対向して上記両部
屋に、それぞれ搬出手段及び受取り手段を設ける一方、
上記搬出手段を、搬出方向に直交する方向に移動自在に
並設した複数の搬出コンベアで構成したものである。

〔作 用〕

本発明のウェーハカセットの搬送装置にあっては、搬
出側の部屋に設置した複数の搬出コンベア上に多数のウ
ェーハカセットを載置し、各搬出コンベアをそれらを搬
出方向に直交する方向に移動させて、所定の搬出コンベ
アをシャッターに対向配置し、次いでシャッターを開け
て、該搬出コンベア上のウェーハカセットを受取り手段
側に搬出する。

〔実施例〕

以下、第１図ないし第５図に基づいて本発明の一実施
例を説明する。

第１図中符号１は、２つの部屋A,B間を仕切る隔壁で
あり、この隔壁１には、開口部２が形成されている。そ
して、上記部屋Ａは部屋Ｂよりクリーン度が良好に保持
されており、かつ部屋Ａの方が部屋Ｂより圧力が高く維
持されている。また、上記開口部２には、シャッター３
が上下に開閉自在に設置されており、このシャッター３
を挟んで、部屋Ａ内には、受取りコンベア４が、かつ部
屋Ｂ内には中継コンベア５を介して搬出装置６がそれぞ
れ配置されている。

上記搬出装置６は、架台60の上面両側に敷設された一
対の走行レール61と、これらの走行レール61に平行に架
台60上に設置されたスライドレール62及びボールネジ63
と、このボールネジ63にプーリ及びベルトによって連結
された走行モータ64と、上記各走行レール61上に走行車
輪65を介して移動自在に設けられた走行台車66と、この
走行台車66の下面に設けられ、かつ上記スライドレール
62に摺動自在に嵌合された一対のスライド軸受67と、上
記走行台車66の下面に設けられ、かつ上記ボールネジ63
に螺合されたナット68と、上記走行台車66上に並列に設
置された５台の搬出コンベア69と、これらの搬送コンベ
ア69の基端部に設けられ、かつ各２個ずつのウェーハカ
セット70を位置決めするための凹所71aを形成した位置
決めガイド71とを主体として構成されている。また、上
記各般出コンベア69の先端部には、ウェーハカセット70
を検知する満杯停止光電スイッチ72が、かつ各般出コン
ベア69の基端寄りには、ウェーハカセット70を定ピッチ
で間欠移動させるための定寸停止光電スイッチ73が、そ
れぞれ、各搬送ベルト面を挟んで両側に配置されてい
る。さらに、各搬出コンベア69の基端部には、それぞ
れ、該各搬出コンベア69を操作するための手元操作盤74
が設置されている。なお、上記部屋Ａの隔壁１には、窓
ごしに各搬出コンベア69のうち、搬出作業を行なう搬出
コンベア69を指定する呼出し操作盤７が設けられてい
る。また、符号75は、上述した搬送装置を制御する制御
盤である。

上記のように構成された搬送装置において、ウェーハ
カセット70を部屋Ｂから部屋Ａに搬送する場合には、ま
ず、１台の搬出コンベア69の基端部において、ウェーハ
カセット70を、位置決めガイド71の凹所71aに押し当て
た状態で搬出コンベア69のベルト面に載置する。この場
合、１台の搬出コンベア69当り２つの凹所71aがあるの
で、２個のウェーハカセット70を同時に載置する。

次いで、該搬出コンベア69に付設された手元操作盤74
を操作して、搬送ベルト面上のウェーハカセット70を定
ピッチ隔壁１側に移送する。そして、このウェーハカセ
ット70が定寸停止光電スイッチ73に検知されると、搬出
コンベア69は停止するから、次のウェーハカセット70を
上述した要領で搬送コンベア69の基端側に載置した後、
定ピッチ前進させる。このようにして、搬出コンベア69
上に順次ウェーハカセット70を載置していき、先頭のウ
ェーハカセット70が満杯停止光電スイッチ72によって検
知されると、該搬出コンベア69を停止する。従って、１
台の搬出コンベア69上には、１つのロット分のウェーハ
収納した多数のウェーハカセット70を順番にかつ全数並
べて載置しておくことができる。

こうして、各般出コンベア69上にウェーハカセット70
を、一定間隔をあけた状態で整列させた後に、呼出し操
作盤７によって所定の搬出コンベア69を選択すると、そ
の搬出コンベア69がシャッター３位置に来るように、走
行モータ64が駆動され、ボールネジ63、ナット68を介し
て走行台車66が搬出方向に直交する方向に移動する。こ
の場合、走行台車66の走行車輪65が走行レール61上を転
動し、かつスライド軸受67がスライドレール62に案内支
持されて摺動するから、走行台車66は円滑に架台60上を
走行する。そして、所定の搬出コンベア69がシャッター
３位置に停止すると、シャッター３が開き、各コンベア
69,5,4が駆動されて、所定の搬出コンベア69上のウェー
ハカセット70が受取りコンベア４側に受渡される。さら
に、この受渡し作業が完了するとシャッター３が閉止さ
れる。

なお、本実施例では、各搬出コンベア69を、光電スイ
ッチ73によって定ピッチ間欠移送しているが、これに限
らず、各搬出コンベア69を、タイマーにより一定時間搬
送して停止させるように制御してもよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように、発明によれば、２つの部屋を仕
切る隔壁に設けられた開口部に、シャッターを開閉自在
に設けると共に、このシャッターに対向して上記両部屋
に、それぞれ搬出手段及び受取り手段を設ける一方、上
記搬出手段を、搬出方向に直交する方向に移動自在に並
設した複数の搬出コンベアで構成したものであるから、
ウェーハカセットを載置して複数の搬出コンベアをそれ
らの搬出方向に直交する方向に移動させて、所定の搬出
コンベアをシャッターに対向配置し、次いでシャッター
を開けて、該搬出コンベア上のウェーハカセットを受取
り手段側に搬出することにより、２つの部屋の間で、円
滑にかつ容易にウェーハカセットを受渡すことができ、
パスボックスを使用する必要がなくて、パスボックスに
よる部屋の内部の汚染を防止できると共に、ウェーハの
ロット管理を簡単に行なうことができるという優れた効
果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第５図は本発明の一実施例を示すもので、
第１図は平面図、第２図は正面図、第３図は側面図、第
４図は搬出コンベアの基端部の斜視図、第５図は搬出コ
ンベアの先端部の斜視図である。 １……隔壁、 ２……開口部、 ３……シャッター、 ４……受取りコンベア、 ６……搬出装置、 A,B……部屋、 69……搬出コンベア、 70……ウェーハカセット。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】２つの部屋が隔壁で仕切られ、かつこの隔
   壁に設けた開口部にシャッターが開閉自在に設けられる
   と共に、このシャッターに対向して上記両部屋に、それ
   ぞれウェーハカセットを載置搬送する搬出手段及び受取
   り手段が設けられる一方、上記搬出手段が、複数の搬出
   コンベアをそれらの搬出方向に直交する方向に移動自在
   に並設して構成されたことを特徴とするウェーハカセッ
   トの搬送装置。