JPH085014B2 - 研磨布 - Google Patents
研磨布Info
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- JPH085014B2 JPH085014B2 JP33978392A JP33978392A JPH085014B2 JP H085014 B2 JPH085014 B2 JP H085014B2 JP 33978392 A JP33978392 A JP 33978392A JP 33978392 A JP33978392 A JP 33978392A JP H085014 B2 JPH085014 B2 JP H085014B2
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- Japan
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- polishing
- resin
- polishing cloth
- polysulfone resin
- porous structure
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- Expired - Lifetime
Links
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Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は金属，半導体，ガラス等
の研磨に使用される研磨布の品質改良に関するものであ
る。
の研磨に使用される研磨布の品質改良に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、金属，半導体，ガラス，セラミッ
クス等の表面を超精密に研磨するために、一次研磨及び
二次研磨に不織布にポリウレタン樹脂溶液を含浸し、非
溶媒である水中にて、湿式凝固させることにより、無数
の細孔を含んだ微多孔構造のポリウレタン樹脂で不織布
繊維を結合，固定せしめた研磨布が使用されているが、
これはポリウレタン多孔構造が研磨砥粒を含む研磨液を
保持すると同時に排出される性能があるためである。し
かし多孔構造のポリウレタン樹脂は研磨加工時に加わる
圧力と温度によって変形しやすく砥粒の目づまりによる
研磨性能の低下，研磨傷の発生等、品質，生産性に問題
があった。更に最近、高圧，高速研磨が要求されてきて
おり、この傾向はますます顕著になり、改良が必要とさ
れている。
クス等の表面を超精密に研磨するために、一次研磨及び
二次研磨に不織布にポリウレタン樹脂溶液を含浸し、非
溶媒である水中にて、湿式凝固させることにより、無数
の細孔を含んだ微多孔構造のポリウレタン樹脂で不織布
繊維を結合，固定せしめた研磨布が使用されているが、
これはポリウレタン多孔構造が研磨砥粒を含む研磨液を
保持すると同時に排出される性能があるためである。し
かし多孔構造のポリウレタン樹脂は研磨加工時に加わる
圧力と温度によって変形しやすく砥粒の目づまりによる
研磨性能の低下，研磨傷の発生等、品質，生産性に問題
があった。更に最近、高圧，高速研磨が要求されてきて
おり、この傾向はますます顕著になり、改良が必要とさ
れている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記のように
研磨工程で加わる圧力と熱によって多孔構造が変形する
ことなく、したがって研磨砥粒の目づまりがなく、研磨
傷などの欠点のない高品質の研磨性能と研磨性能の低下
が非常に少ない、生産性の高い研磨布を提供するもので
ある。
研磨工程で加わる圧力と熱によって多孔構造が変形する
ことなく、したがって研磨砥粒の目づまりがなく、研磨
傷などの欠点のない高品質の研磨性能と研磨性能の低下
が非常に少ない、生産性の高い研磨布を提供するもので
ある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、ナイロン，ポリエステル等の合成繊維よりなる不織
布を、溶剤例えばジメチルホルムアミド，ジメチルピロ
リドンに溶解したポリサルホン樹脂溶液に含浸し、つい
で非溶媒である水に浸漬，凝固することにより形成され
る無数の微細気孔を内在する多孔質ポリサルホン樹脂に
て不織布を一体的に結合，固定化して構成している。本
発明に使用されるポリサルホン樹脂は芳香族系ポリサル
ホン樹脂である。
に、ナイロン，ポリエステル等の合成繊維よりなる不織
布を、溶剤例えばジメチルホルムアミド，ジメチルピロ
リドンに溶解したポリサルホン樹脂溶液に含浸し、つい
で非溶媒である水に浸漬，凝固することにより形成され
る無数の微細気孔を内在する多孔質ポリサルホン樹脂に
て不織布を一体的に結合，固定化して構成している。本
発明に使用されるポリサルホン樹脂は芳香族系ポリサル
ホン樹脂である。
【０００５】
【作用】上記のように多孔構造のポリサルホン樹脂で不
織布を結合，固定化した研磨布であるため、ポリサルホ
ン樹脂の特性である非常に高い耐熱性，熱変形温度によ
り、研磨加工工程に於て研磨布に加わる熱と圧力による
樹脂の変形がなく多孔構造が損われることがないため、
砥粒の目づまりが発生せず、研磨性能の低下が全く認め
られなかった。更にポリサルホン樹脂はポリウレタン樹
脂に比べて自己ドレッシング性にすぐれ、殆どドレッシ
ングする必要がなく作業能率を上げることが出来た。さ
らに本発明の特徴であるポリサルホン樹脂は湿式凝固法
にて多孔構造を形成することが出来るため、孔径，空孔
率，孔の形状，強度等の性能を自由に調整することが出
来、研磨布としての性能をコントロールすることが容易
であった。
織布を結合，固定化した研磨布であるため、ポリサルホ
ン樹脂の特性である非常に高い耐熱性，熱変形温度によ
り、研磨加工工程に於て研磨布に加わる熱と圧力による
樹脂の変形がなく多孔構造が損われることがないため、
砥粒の目づまりが発生せず、研磨性能の低下が全く認め
られなかった。更にポリサルホン樹脂はポリウレタン樹
脂に比べて自己ドレッシング性にすぐれ、殆どドレッシ
ングする必要がなく作業能率を上げることが出来た。さ
らに本発明の特徴であるポリサルホン樹脂は湿式凝固法
にて多孔構造を形成することが出来るため、孔径，空孔
率，孔の形状，強度等の性能を自由に調整することが出
来、研磨布としての性能をコントロールすることが容易
であった。
【０００６】
【実施例】以下実施例により本発明を説明する。 〔実施例１〕単繊維織度２．０デニールのポリエステル
短繊維よりなるニードリング不織布（目付２５０ｇ／ｍ
2 ，密度０．２ｇ／ｃｍ3 ，厚さ１．２ｍｍ）をポリエ
ーテルサルホン樹脂（I.C.I.製）をジメチルホルムアミ
ド（ＤＭＦ）に溶解した樹脂溶液（樹脂固型分２２重量
％）に含浸し、樹脂付着量を１２０重量％とした。この
含浸不織布を非溶媒である水中に浸漬し完全に凝固させ
た后、水洗乾燥して多孔質構造のポリサルホン樹脂で不
織布を結合，固定したシートをえた。このシートの表皮
層をスライサーで除去し、厚さ１．２ｍｍ，目付４５０
ｇ／ｍ2 ，密度０．３８ｇ／ｃｍ3 の研磨布を作成し
た。この研磨布を使用し平均粒子経０．０５ミクロンの
コロイダルシリカを含む研磨液を循環させながらシリコ
ンウエハーを研磨した結果、目づまり発生までの時間が
従来のウレタン樹脂によるものに比べ約３倍長い結果が
得られた。
短繊維よりなるニードリング不織布（目付２５０ｇ／ｍ
2 ，密度０．２ｇ／ｃｍ3 ，厚さ１．２ｍｍ）をポリエ
ーテルサルホン樹脂（I.C.I.製）をジメチルホルムアミ
ド（ＤＭＦ）に溶解した樹脂溶液（樹脂固型分２２重量
％）に含浸し、樹脂付着量を１２０重量％とした。この
含浸不織布を非溶媒である水中に浸漬し完全に凝固させ
た后、水洗乾燥して多孔質構造のポリサルホン樹脂で不
織布を結合，固定したシートをえた。このシートの表皮
層をスライサーで除去し、厚さ１．２ｍｍ，目付４５０
ｇ／ｍ2 ，密度０．３８ｇ／ｃｍ3 の研磨布を作成し
た。この研磨布を使用し平均粒子経０．０５ミクロンの
コロイダルシリカを含む研磨液を循環させながらシリコ
ンウエハーを研磨した結果、目づまり発生までの時間が
従来のウレタン樹脂によるものに比べ約３倍長い結果が
得られた。
【０００７】〔実施例２〕単繊維織度３デニールのポリ
エステル短繊維よりなるニードリング不織布（目付４５
０ｇ／ｍ2 ，密度０．１８ｇ／ｃｍ3 ，厚さ２．５ｍ
ｍ）をポリサルホン樹脂（ユーデルサルホン樹脂）をジ
メチルホルムアミドに溶解した樹脂溶液（樹脂固型分２
４重量％）に含浸し、樹脂付着量１１０重量％とした。
この含浸不織布を水中に浸漬し、含浸した樹脂を完全に
凝固した后、水洗，乾燥して多孔構造のポリサルホン樹
脂で固定した不織布シートを得た。このシートをスライ
サーで２分割し、厚さ１．２ｍｍ，目付５００ｇ／
ｍ2 ，密度０．４１ｇ／ｃｍ3 の研磨布を作成した。こ
の研磨布を使用しコロイダルシリカと酸化セリウムを含
む研磨液を循環させながらシリコンウエハーを研磨した
結果、目づまりが従来のウレタン樹脂研磨布に比べ３倍
以上で且つ研磨量が多く、全く研磨傷のない研磨結果が
得られた。
エステル短繊維よりなるニードリング不織布（目付４５
０ｇ／ｍ2 ，密度０．１８ｇ／ｃｍ3 ，厚さ２．５ｍ
ｍ）をポリサルホン樹脂（ユーデルサルホン樹脂）をジ
メチルホルムアミドに溶解した樹脂溶液（樹脂固型分２
４重量％）に含浸し、樹脂付着量１１０重量％とした。
この含浸不織布を水中に浸漬し、含浸した樹脂を完全に
凝固した后、水洗，乾燥して多孔構造のポリサルホン樹
脂で固定した不織布シートを得た。このシートをスライ
サーで２分割し、厚さ１．２ｍｍ，目付５００ｇ／
ｍ2 ，密度０．４１ｇ／ｃｍ3 の研磨布を作成した。こ
の研磨布を使用しコロイダルシリカと酸化セリウムを含
む研磨液を循環させながらシリコンウエハーを研磨した
結果、目づまりが従来のウレタン樹脂研磨布に比べ３倍
以上で且つ研磨量が多く、全く研磨傷のない研磨結果が
得られた。
【０００８】
【発明の効果】本発明は多孔構造のポリサルホン樹脂で
不織布を結合，固定化した研磨布であるため、研磨工程
に於て加わる熱と圧力による樹脂の変形がおこらず、多
孔構造が損なわれることがないため、研磨砥粒の目づま
りが発生せず、研磨傷のない高品質と研磨性能の低下の
ない研磨布を提供できる。
不織布を結合，固定化した研磨布であるため、研磨工程
に於て加わる熱と圧力による樹脂の変形がおこらず、多
孔構造が損なわれることがないため、研磨砥粒の目づま
りが発生せず、研磨傷のない高品質と研磨性能の低下の
ない研磨布を提供できる。
Claims (1)
- 【請求項１】 合成繊維よりなる不織布にポリサルホン
樹脂溶液を含浸し、湿式凝固，乾燥して、不織布を微細
気孔を内在するポリサルホン樹脂多孔体で結合，固定化
することを特徴とする研磨布。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33978392A JPH085014B2 (ja) | 1992-11-25 | 1992-11-25 | 研磨布 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33978392A JPH085014B2 (ja) | 1992-11-25 | 1992-11-25 | 研磨布 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07108464A JPH07108464A (ja) | 1995-04-25 |
| JPH085014B2 true JPH085014B2 (ja) | 1996-01-24 |
Family
ID=18330772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33978392A Expired - Lifetime JPH085014B2 (ja) | 1992-11-25 | 1992-11-25 | 研磨布 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085014B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20190194404A1 (en) * | 2013-03-11 | 2019-06-27 | Aonix Advanced Materials Corp. | Compositions and methods for making thermoplastic composite materials |
| JP6397592B1 (ja) * | 2017-10-02 | 2018-09-26 | 住友化学株式会社 | スパッタリングターゲットの製造方法およびスパッタリングターゲット |
| JP7550693B2 (ja) * | 2021-03-25 | 2024-09-13 | ノリタケ株式会社 | 研磨パッド |
-
1992
- 1992-11-25 JP JP33978392A patent/JPH085014B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07108464A (ja) | 1995-04-25 |
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