JPH08506771A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 関節アーム搬送装置（３）のための同軸回転駆動システムは、バキュームチャンバ（２）内に配されたアセンブリに動きを伝えるのに適用可能であり、バキュームチャンバの外側に配されたスタータ（８，１０）によって生起される磁場によって、バキュームチャンバ（２）内に配されたロータ（７，９）に回転動作が伝えられる。

Description

【発明の詳細な説明】発明の名称 搬送装置技術分野 本発明の装置は、概して素材の搬送装置に関するものである。搬送される素材 としては、シリコン及びガリウムヒ素化合物の如き半導体ウェーハ、高密度イン タコネクタの如き半導体パッケージ基板、マスクあるいはレチクルの如き半導体 製造工程におけるイメージ板、及び有効マトリックスＬＣＤ基板の如き大型表示 パネルが含まれるが、これらに限定されるものではない。背景技術 精巧なシリコンウェーハ等を半導体製造装置内の複数のワークステーション間 で搬送する場合、唯一ハンドリングの問題が存在する。シリコンウェーハは非常 に精巧なものであり、高密度にみがき仕上げられた表面を有している。かかるウ ェーハが突然移動せしめられると、これらは滑る傾向にある。この滑り動作によ り、シリコンウェーハが擦り減ったり、あるいはそれらが衝突した際にそれらの 縁部が損傷したりする。 シリコンウェーハを搬送する従来の技術としては、多数の装置が公表されてい る。例えば、米国特許第3,823,836号には、シリコンウェーハを保持する複数の 棚を備える供 給キャリヤとバキュームチャックを有する回収装置とを含んだ装置が開示されて いる。このバキュームチャックは、それを上昇及び下降せしめる昇降機に取り付 けられている。バキュームチャックに連結された水平方向搬送アームは、シリコ ンウェーハを供給キャリヤから所望のワークステーションに搬送するために利用 される。 米国特許第3,370,595号には、ウェーハをワークステーションとの間で搬送す るための割出し可能なインデックスキャリヤを有したウェーハ搬送ハンドリング 装置が開示されている。ウェーハは、垂直方向に噴出するエアジェットを備える ウェーハ出し入れアームの補助のもと、空気滑走台上をウェーハキャリヤに対し て出し入れされる。ウェーハ出し入れアームは、キャリヤの中にあるウェーハを 空気滑走台（air slide）上へあるいは空気滑走台上からキャリアの中へのウェ ーハの駆動をコントロールし、ワークステーションへあるいはワークステーショ ンからウェーハを移動せしめる。 米国特許第4,062,463号、同第3,874,525号、及び同第4,028,159号には、ウェ ーハのハンドリングのための空気式機械部品あるいは把持装置を備えたウェーハ 搬送装置が開示されている。 米国特許第4,666,366号、及び同第4,909,701号には、関節アームアセンブリを 有するウェーハ搬送ハンドリング装置が開示されており、このアセンブリは複数 の位置間に おいてウェーハのような物体を搬送すべく、カエルの脚の動作の如く伸びたり縮 んだりする。２つの関節アームが連動すべく連結されており、その１つがモータ によって駆動されると、両アームはカエルの脚の如く伸びたり縮んだりする。こ れらアームには、プラットホームが結合されており、その上に搬送さるべき物体 を有している。 米国特許第4,951,601号には、関節アームアセンブリを有したウェーハ搬送ハ ンドリング装置が開示されており、この装置は同軸回転駆動システムを含んでい る。しかしながら、かかる駆動システムにおいては、真空室を汚染しないような 回転シールが必要である。米国特許第4,951,601号において、内側シャフト９８ はドラム111上に取り付けられており、このドラムはベルトにて回転させられる ドライブ115上に取り付けられたケーブル113によって回転せしめられる。ドライ ブ115はバキュームチャンバ（真空室）の孔内で回転する故に、回転シールが必 要であることが理解される。中空の中間シャフト９６がドラム101上に取り付け られており、このドラムはベルトにて回転させられるドライブ100上に取り付け られたケーブル103によって回転せしめられる。 構成要素が真空状態下にあるか否か明確ではないが、いくつかの回転部材がバ キュームチャンバ内の孔の中で回転する必要があり、従って回転シールが必要と なるのは明らかである。本発明の装置は、このような回転シールを必要 としない。本発明の軸受全ては、完全に真空状態下に置かれ、かつ、回転部材の 全ても完全に真空状態下に置かれている。発明の概要 本発明は、関節アーム搬送装置のための同軸回転駆動システムを提供するもの であり、この装置は軸方向及び半径方向の種々の平面内に配分された複数の位置 間において、シリコンウェーハ、カメラレンズ、水晶振動子等の物体を搬送する 際に適用される。かかる駆動システムにおいては、関節アームアセンブリ全体が 半径方向の平面内において回転可能である。従来の装置でなされるような回転動 作は、端部イフェクタ（end effector）が伸びた位置にない状態でなされる。 また、かかる駆動システムによれば、軸方向においてプラットホームアセンブ リを配置することが可能となる。このアセンブリは、バキュームチャンバ内ある いは他のコントロールされた環境下での操作を含んだ種々の環境下での使用に適 用され得るものである。このアセンブリは、これとこの支持部との間に真空シー ルを備えたバキュームチャンバ内での移動のために設けられる。図面の簡単な説明 図１は、本発明に従って構成されかつヘンドリクソン（Hendrickson）に付与 されそしてインスタント出願の譲受人に譲渡された米国特許第5,180,276号に開 示された関節 アーム搬送装置を駆動すべく連結された２重シャフト装置の中央を通る断面図で ある。 図２は、図１に示された中央断面の一部詳細図である。 図３は、図２に示された中央断面の一部詳細図である。 図４は、図１に示された装置の平面図である。 図５は、従来の装置を示す斜視図である。 図６は、イーストマン及びデービスにより1992年１２月２８日付で出願されか つ本出願の譲受人に譲渡された同時係属出願第997,773号に開示された関節アー ム搬送装置を駆動するために図１に示された装置を変更したものの平面ある。 図７は、図６中の線７−７に沿った中央断面図である。 図８は、図１に類似するもので、単一のモータ及び２つのブレーキを採用した 本発明の他の実施例を示す中央断面図である。発明の詳細な説明 図１ないし４に示されるように、取付フランジ１がバキュームチャンバの底壁 ２の開孔領域に取り付けられており、そのバキュームチャンバ内には関節アーム 搬送装置３が支持されている。取付けフランジはそれ自身中央開孔を有しており 、その開孔を通って２つの同軸出力シャフトが延出している。外側のアウターシ ャフトは符号４で示され、内側のインナーシャフトは符号５で示されている。バ キュームチャンバ内に位置するアウターシャフトの先端部におい て、案内軸受（pilot bearing）６が両シャフトを分離せしめて、お互いに両シ ャフトを支持している。２つのシャフトは独立して回転可能となっている。しか しながら、本発明の好適な実施例においては、両シャフトの相対的な移動は、両 シャフトがいっしょに回転する場合と、両シャフトがそれぞれ反対の方向に回転 する場合とに限定される。前者の動作は関節アーム搬送装置を回転せしめ、後者 の動作は関節アーム搬送装置を伸び縮みせしめる。 インナーシャフトはアウターシャフトよりも長く、バキュームチャンバの外側 に位置するインナーシャフトの先端部は対応するアウターシャフトの先端部を越 えて延出しており、その位置における外径はアウターシャフトの外径に対応して 最大となっている。ロータ７がアウターシャフト４の外表面上に支持されており 、これに対応するスタータ８がロータ７の外側にて支持されている。同様に、ロ ータ９がインナーシャフト５の外表面上に支持されており、これに対応するスタ ータ１０がロータ９の外側にて支持されている。各々のスタータは、対応するシ ャフトを回転させる駆動装置の一部をなすものである。後述されるように、各々 のロータは真空状態下に配置され、各々のスタータは真空状態の外側に配置され ている。 各々のロータ・スタータ対７，８及び９，１０はＭＦＭテクノロジー社（ニュ ーヨーク11779，ロンコンコマ，１３番地通り200）によって製造されたＭ＆Ｋシ リーズの如 き在来型のブラシレスＤＣモータの一部を形成するものである。 各々のシャフトヘ回動動作を伝えるのは、周知のサーボ機構技術及びその中の スタータのコイルに適当な信号を適用することによってなされる。 各々のシャフトが回転するときのそれらの変位位置は、適当なコードが付され たコードディスク等との組み合せで適当な検知機構を用いることにより、検出さ れる。例えば、透明ディスク上に設けられた不透明部分からなるコードパターン が、光源と光検出器との間を通過せしめられ得る。このような光学的検知機構に 代えて、磁気式検知機構を採用することができ、その磁気ディスク上の磁化され たコードパターンが磁気的に走査される。その他に変わり得るものとして、ギヤ とスイッチの組み合せからなる機械的なもの、あるいは、各々のシャフトの回転 と共に数種のカチカチという音すなわちコートクリックを生じる音響的なもの、 さらには静電システムが採用され得る。図示されたものは本発明の範囲をそれに 限定するものではないが、光学式検知機構が示されている。 ディスク１１が、クランププレート１２によってアウターシャフト４の外端部 に固定されている。このディスクは不透明なコードパターンを有し、このコード パターンが光放射ダイオードハウジング１３と読み取りヘッド１４との間を通過 し、そこからフィードスルー１５を介して適当な 外部回路に信号が伝達される。この光放射ダイオードハウジング１３、読み取り ヘッド１４、及び信号フィードスルー１５はドライブハウジング１６上に支持さ れており、このドライブハウジング１６は固定されて真空筒状ケーシング１７の 一部を形成している。ロータ７はアウターシャフト４に固定され、又、スタータ ８はスタータクランプ１８によってドライブハウジング１６上に固定されてスタ ータ８がロータ７と協働するように位置付けられている。又、２つの軸受１９， ２０がアウターシャフト４とこれに対応するところの駆動装置が取り付けられる ドライブハウジング１６との間に設けられている。同様に、ディスク３１がクラ ンププレート３２によってインナーシャフトの外端部に取り付けられている。こ のディスクは不透明なコードパターンを有し、このコードパターンが光放射ダイ オードハウジング３３と読み取りヘッド３４との間を通過し、そこから信号フィ ードスルー３５を介して適当な外部回路に信号が伝達される。ロータ９はインナ ーシャフト５に固定され、又、スタータ１０はスタータクランプ３７によってド ライブハウジング３６に固定されてスタータ１０がロータ９と協働するように位 置付けられている。又、２つの軸受３８，３９がインナーシャフトとこれに対応 するところの駆動装置が取り付けられるドライブハウジング３６との間に設けら れている。 ドライブハウジング１６，３６は、特別な形状をなして おり、装置の外気領域から装置内の空気を抜いた領域を分離するバキュームタイ ト（vaccum-tight）ケーシング１７の重要な部分を提供している。 ２つのドライブハウジングは類似した形状をなしており、アダプタ４０によっ てお互いに連結されている。 両シャフトの垂直方向の移動は、ドライブハウジングを垂直方向に移動するこ とによって行われ、これらドライブハウジングは交互に２つの直線スライド４１ 及び２つのリードスクリュー４２に支持されている。回転モータを備えるリード スクリューに代わるものとして、リニアモータ（サーボあるいはステッパ）ある いはボイス−コイル（voice-coil）あるいはソレノイドが挙げられる。垂直方向 に可動なドライブハウジングは、適当なベローズ４３によって取付けフランジか ら分離せしめられており、又、ドライブハウジングの最も離れた外端部は、端部 キャップ４４によって閉塞されている。従って、ベローズ、ドライブハウジング 、及び端部キャップで囲まれる全域が真空化され得、この真空領域内の摩擦動作 は、軸受のそれに制限される。 各々のドライブハウジングは、それぞれのロータとスタータとの間を通過する 部分を有し、そして、ロータとドライブハウジングのこの部分との間には十分な クリアランスが設けられなければならない。 従来の装置が図５に示されている。関節アーム搬送装置の回転動作は、回転プ ラグの回転によって行われる。カエ ルの脚式アームの伸び縮みは、伸縮ドライブシャフトの逆回転によって達成され る。本発明の構造においては、特別な方法によって構成された同軸シャフトを使 用することで要求されるシールの数と種類が減少する。従来の装置においては、 １つのシャフトの単一方向の回転及び２つのシャフトの逆回転によって制御され ることが理解される。本発明の装置においては、上記単一方向の回転は同軸シャ フトがいっしょに回転することで達成され、又、上記逆回転は同軸シャフトが逆 回転することで達成される。この装置において、回転動作は、根本のメカニズム によって制限されることはないが、所望の角度に達するべくいずれかの方向に続 けられる。 ３タイプの動き（垂直方向、回転方向、及び伸び縮み）が同時に行われること で、端部イフェクタをあらゆる所望の軌跡で移動せしめることができる。 一方、いくつかの出願に開示された装置においては、これら３つの動き全ては 必ずしも行われず、又、本発明の範囲には、前述３つの動きの１つのみあるいは ２つのみが行われる場合の装置も含まれるものである。 図１ないし３と共に図４を参照するに、アウターシャフト４は関節アーム搬送 装置の一方のアッパーアーム５１に連結されており、インナーシャフト５は他方 のアッパーアーム５２に連結されている。これは前述の米国特許第5,180,276号 に示されるものと同様である。角度θの動き、す なわち端部イフェクタ５３を回転させるためには、両ロータ７，９が一方向に同 時に回転させられる。これらの動作は、２つのエンコーダからの入力を用いてコ ンピュータにより制御される。 ロータ７，９が一方向に同時に回転すると、シャフト４，５もまたその方向に 回転する。図４を参照するに、シャフト４，５が時計回りに回転すると、アッパ ーアーム５１，５２もまた図４に示される装置の台（端部イフェクタ）と共に時 計回りに回転する。逆に、シャフト４，５が反時計回りに回転すると、図４に示 される装置全体が反時計回りに回転する。一方、アウターシャフト４が時計回り に回転しかつインナーシャフト５が反時計回りに回転すると、アッパーアーム５ １は時計回りに回転しかつアッパーアーム５２は反時計回りに回転する。その結 果、両端部イフェクタ５３は共に図４中の下方に向けて移動する。逆に、アウタ ーシャフト４が反時計回りに回転しかつインナーシャフト５が時計回りに回転す ると、アッパーアーム５１は反時計回りに回転しかつアッパーアーム５２は時計 回りに回転する。その結果、両端部イフェクタ５３は共に図４中の上方に向けて 移動する。 図６及び図７を参照するに、アウターシャフト４にはブロック５４が固定され ており、このブロックには、前述の同時係属出願第997,773号に開示されたよう な関節アーム搬送装置のアッパー従動アーム５６が回動自在に支持され ている。関節アーム搬送装置のアッパー駆動アーム５６はインナーシャフトに固 定されており、それと共に回転するようになっている。この場合においては、角 度θの回転動作を得るために２つのシャフトは同時に回転させられるが、半径方 向の動作を得るためにはアウターシャフト４が固定された状態でインナーシャフ ト５のみが回転せしめられる。 前述の米国特許第4,666,366号及び第4,909,701号に示されるタイプの（図５に 示されるような）関節アーム搬送装置が、２つの同軸シャフトすなわちアームを 角度θ回転させるためのアウターシャフト及び伸び縮み動作を行わせるためのイ ンナーシャフトを用いて形成されるとすれば、１つのモータ（及びエンコーダ） との組み合せで２つのブレーキを用いることによってシャフトを回転させること が可能となる。この２つのブレーキのうち一方はインナーシャフトをアウターシ ャフトに対してロックし、他方はアウターシャフトをケーシングに対してロック するものである。 アウターシャフトがケーシングに対してロックされ、かつ、ショルダアセンブ リがアウターシャフト上に取り付けられていると、このショルダは回転すること ができない。モータによってインナーシャフトが回転させられることにより、図 ５に示されるタイプの関節アーム搬送装置の伸縮モータによって行われるような 伸び縮み動作が生起せしめられる。 逆に、インナーシャフトがアウターシャフトに対してロ ックされると、伸び縮み動作は生じ得ない。それ故、アウターシャフトをケーシ ングに対してロックするブレーキが解除されると、モータによるインナーシャフ トの回転は同時にアウターシャフトが回転するのをもたらし、よって、角度θの 回転動作が行われる。 両ブレーキが各々の動作の終端にてロックされ、そして所望のブレーキが解除 されると、１つのエンコーダは、その信号がブレーキ命令と共にコンピュータの 中に取り込まれた際、各々のパラメータの動作を指示することができる。さらな る精度が要求されるならば、図１に示されるように２つのエンコーダ１１，３１ が使用され得る。 適した設計と磁性材料及び非磁性材料の使用によって、ブレーキシュー及びモ ータロータを含んだ全ての可動部材をシールされた円筒ケースの内側に設けると 共にマグネットコイルをケースの外側に配置することが可能である。これにより 、気体を除く問題が解消され、又、真空内に活動電磁石を有するシステムの性能 を低下させる電気的なフィードスルーを取除くことができる。 この機構により、インスタント出願の譲受人により製造されたロボットの典型 である延出アームアセンブリが動かされると同時に、図６及び７に示されかつ前 述の同時係属出願第997,773号に開示されたタイプの関節アーム搬送装置、この 中では１つのドライブシャフトのみがショルダの位置にて要求され、回転シャフ トの上端にギアを付ける必 要性が解消されているが、この装置の中で使用された関節アームを使用すること で特有の利点が得られることになる。 図８を参照するに、取付けフランジ６１がバキュームチャンバの底壁の開孔領 域に取り付けられており、このバキュームチャンバ内には、関節アーム搬送装置 ６２が支持されている。この関節アーム搬送装置６２は、図４及び５に示される タイプのものである。取付けフランジはそれ自身が中央開孔を有しており、その 開孔を通って２つの同軸出力シャフトが延出している。アウターシャフトは符号 ６３で示され、インナーシャフトは符号６４で示されている。バキュームチャン バ内で出力シャフトの端部の位置において、パイロット軸受６５が両シャフトを 分離し、お互いのシャフトに対して両シャフトを支持している。２つのシャフト は独立して回動可能である。しかしながら、図８に示される装置においては、一 方のシャフトのみがモータによって回動自在に駆動され、他方のシャフトの回転 は２つのブレーキによって左右される。この２つのブレーキの一方は両方のシャ フトを一体的に回転させるものであり、他方のブレーキは他方のシャフトを固定 保持するものである。前者の動きは関節アーム搬送装置を回転せしめ、後者の動 きは関節アーム搬送装置を伸び縮みさせるものである。 インナーシャフトはアウターシャフトよりも長く、バキュームチャンバの外側 に位置するインナシャフトの端部は、対応するアウターシャフトの端部を越えて 延出している。 ブレーキ６６は、アウターシャフト６３の外表面上に支持された磁性材料からな るディスク６７を含み、さらに、このディスク６７は、非磁性材料でかつ耐真空 材料からなるケーシング６９の内部にて滑動可能に支持された磁性材料からなる ディスク６８と協働する。磁気コイル７０が励磁されると、ディスク６７，６８ を磁化せしめ、両ディスクはお互いに押圧し合って、ブレーキとして作用し、ア ウターシャフト６３の回転を防止する。同様に、ブレーキ７１は、アウターシャ フト６３の外表面上に支持された磁性材料からなるディスク７２を含み、さらに 、このディスク７２はインナーシャフト６４上に滑動自在に支持された磁性材料 からなるディスク７３と協働する。磁性コイル７４が励磁されると、ディスク７ ２，７３を磁化せしめ、両ディスクはお互いに押圧し合って、両シャフトをお互 いにロックするブレーキあるいはカップリングとして作用する。図１に示される ロータ９及びスタータ１０の構成と同様に構成されたスタータ７５により、イン ナーシャフト６４が回転せしめられる。詳述すると、ロータ７６はインナーシャ フト６４の外表面上に支持されており、これに対応するスタータ７７はロータ７ ６の外側にて支持されている。スタータ７７はインナーシャフト６４を回転せし める駆動装置の一部をなすものである。ロータ７６は真空状態下に位置し、スタ ータ７７は真空状態外に位置する。 ロータ−スタータ対７６，７７は、ＭＦＭテクノロジー 社（ニューヨーク11779，ロンコンコマ，１３番通り200）によって製造されたＭ ＆Ｋシリーズの如き在来型のブラシレスＤＣモータの一部を形成するものである 。 インナーシャフト６４への回転動作は、周知のサーボ機構技術によって伝えら れ、そこでは、適当な信号がスタータ７７のコイルに適用される。 ディスク７８が、インナーシャフト６４の外端部に取り付けられている。この ディスクは、不透明部分からなるコードパターンを有し、このパターンは適当な エンコーダ７９を通過するものである。（かかるエンコーダは、例えば、光放射 ダイオードハウジングと読み取りヘッドとにより構成され、そこから、信号が信 号フィードスルーを経由して適切な外部回路に伝達される。）シャフト６３，６ ４は、それらの間に位置する軸受６５，８０、及びアウターシャフト６３とケー シング６９との間に位置する軸受８１，８２により支持されている。 ケーシング６９は特別な形状をなし、装置の空気が抜かれた領域を大気領域か ら分離する壁の重要な一部分を成している。 両シャフトの垂直方向の動きは、図１との関連で前述された手法によりケーシ ング６９の垂直方向の動きによって伝えられる。 ケーシング６９は、ロータ７６とスタータ７７との間を通過する部分を有し、 ロータ７６とケーシング６９との間 には十分なクリアランス（間隙）が設けられなければならない。 以上本発明の原理をその実施例と共に述べたが、ここで用いた特有の言葉は包 括的かつ記述的意義において用いたものであって、何んら限定するものではなく 、本発明の範囲は請求の範囲の通りである。

【手続補正書】 【提出日】１９９５年１０月１６日 【補正内容】 請求の範囲 １． 可動アームアセンブリ及び駆動機構を備える搬送装置であって、 前記駆動機構は、チャンバを有したハウジングと、 前記チャンバに対する異なる高さの位置において前記ハウジングに固着された ２つの電磁式スタータと、 少なくとも一部が前記チャンバ内に位置し、お互いに独立して回動可能な２つ の同軸シャフトを有し、前記２つの同軸シャフトのうち第１シャフトは第２シャ フトを通り過ぎて同軸に延出し、前記シャフトの各々が前記電磁式スタータの１ つと並べられた１組の永久磁石を有してなる駆動シャフトアセンブリと、を有す ることを特徴とする搬送装置。 ２． 前記ハウジングは、一方が他方の上端部に連結される２つの駆動ハウジン グを有する、ことを特徴とする請求の範囲第１項記載の搬送装置。 ３． 前記２つの駆動ハウジングは、両者の間のシールを形成するアダプタによ って連結されている、ことを特徴とする請求の範囲第２項記載の搬送装置。 ４． 前記電磁式スタータの一方は、前記２つの駆動ハウジングの一方に直接連 結され、前記電磁式スタータの他方は、前記２つの駆動ハウジングの他方に直接 連結されている、ことを特徴とする請求の範囲第２項記載の搬送装置。 ５． 前記２つの同軸シャフト各々と前記ハウジングとの間に２つ軸受を有する 、ことを特徴とする請求の範囲第１項記載の搬送装置。 ６． 前記ハウジング及び前記駆動シャフトアセンブリを垂直方向において移動 せしめるべく、前記ハウジングの上端部に連結された垂直移動機構を有する、こ とを特徴とする請求の範囲第１項記載の搬送装置。 ７． 前記ハウジングは、前記垂直移動機構を介して取り付けフランジに連結さ れている、ことを特徴とする請求の範囲第６項記載の搬送装置。 ８． 前記取り付けフランジと前記ハウジングとの間に位置する前記駆動シャフトアセンブリを取り囲む伸張可能なシールを有する、ことを特徴とする請求の範 囲第７項記載の搬送装置。 ９． 前記２つの同軸シャフト各々の前記ハウジングに対する角度位置を独立し て検知する検知手段を有する、ことを特徴とする請求の範囲第１項記載の搬送装 置。 10． 前記検知手段は、前記駆動シャフトアセンブリに連結された２つの光学式 ディスクと、前記チャンバ内の離隔した位置において前記ハウジングに固着され た２つのディスク読み取り手段とを有し、前記ディスクの各々は前記同軸シャフ トの各々に固着されている、ことを特徴とする請求の範囲第９項記載の搬送装置 。 11． 前記ハウジングに対する前記第２シャフトの相対的な移動を停止させるた めの第１ブレーキと、前記第２シャフトに対する前記第１シャフトの相対的な移 動を停止させるための第２ブレーキとを有する、ことを特徴とする請求の範囲第 １項記載の搬送装置。 12． 前記第１ブレーキ及び第２ブレーキは、電磁的に駆動される、ことを特徴 とする請求の範囲第１１項記載の搬送装置。 13． 前記第１ブレーキは、前記第２シャフトに連結された強磁性材料からなる 第１ディスクと、前記ハウジングに連結された強磁性材料からなる第２ディスク と、前記第１ディスクと第２ディスクとをお互いに制動すべく接触させるための 磁場を生起せしめる電磁コイルとを有する、ことを特徴とする請求の範囲第１２ 項記載の搬送装置。 14． 可動アームアセンブリ及び駆動機構を備える搬送装置であって、 前記駆動機構は、マウントと、 前記マウントに垂直移動機構を介して移動自在に連結されかつチャンバ領域を 有するハウジングと、 前記チャンバ領域に対する異なる高さの位置において前記ハウジング連結され かつ前記チャンバ領域の外側に位置する２つの電磁式スタータと、 少なくとも一部が前記チャンバ内に位置し、お互いに独立して回動可能な２つの同軸シャフトを有し、前記２つの同軸シャフトのうち第１シャフトは第２シャ フトを通り過ぎて同軸に延出し、前記シャフトの各々が前記電磁式スタータの１ つと並べられた１組の永久磁石を有してなる駆動シャフトアセンブリと、を有す ることを特徴とする搬送装置。 15． 前記ハウジングは、一方が他方の上端部に連結される２つの駆動ハウジン グを有する、ことを特徴とする請求の範囲第１４項記載の搬送装置。 16． 前記２つの駆動ハウジングは、両者の間のシールを形成するアダプタによ って連結されている、ことを特徴とする請求の範囲第１５項記載の搬送装置。 17． 前記電磁式スタータの一方は、前記２つの駆動ハウジングの一方に直接連 結され、前記電磁式スタータの他方は、前記２つの駆動ハウジングの他方に直接 連結されている、ことを特徴とする請求の範囲第１５項記載の搬送装置。 18． 前記２つの同軸シャフト各々と前記ハウジングとの間に２つ軸受を有する 、ことを特徴とする請求の範囲第１４項記載の搬送装置 。19． 前記マウントと前記ハウジングとの間に位置する前記駆動シャフトアセン ブリを取り囲む伸張可能なシールを有する、ことを特徴とする請求の範囲第１４ 項記載の搬送装置。 20． 前記２つの同軸シャフト各々の前記ハウジングに対する角度位置を独立し て検知する検知手段を有する、ことを特徴とする請求の範囲第１４項記載の搬送 装置。 21． 前記検知手段は、前記駆動シャフトアセンブリに連結された２つの光学式 ディスクと、前記チャンバ内の離隔した位置において前記ハウジングに固着され た２つのディスク読み取り手段とを有し、前記ディスクの各々は同軸シャフトの 各々に固着されている、ことを特徴とする請求の範囲第２０項記載の搬送装置。 22． 前記ハウジング対する前記第２シャフトの相対的な移動を停止させるため の第１ブレーキと、前記第２シャフトに対する前記第１シャフトの相対的な移動 を停止させるための第２ブレーキとを有する、ことを特徴とする請求の範囲第１ ４項記載の搬送装置。 23． 前記第１ブレーキ及び第２ブレーキは、電磁的に駆動される、ことを特徴とする請求の範囲第２２項記載の搬送装置。 24． 前記第１ブレーキは、前記第２シャフトに連結された強磁性材料からなる 第１ディスクと、前記ハウジングに連結された強磁性材料からなる第２ディスク と、前記第１ディスクと第２ディスクとをお互いに制動すべく接触させるための 磁場を生起せしめる電磁コイルとを有する、ことを特徴とする請求の範囲第２３ 項記載の搬送装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．開孔及び前記開孔の上に設けられかつ閉塞された管状部材を有し、第１駆動 ハウジング及び第２駆動ハウジングを含む真空封止体と、 軸受を介して前記第１駆動ハウジングの内側表面上に設けられたアウターシャ フトと、 前記アウターシャフトの内側でかつ同軸に配置されて、軸受を介して前記第２ 駆動ハウジングの内側表面上に設けられたインナーシャフトと、 前記アウターシャフト上に設けられた第１ロータと 前記インナーシャフト上に設けられた第２ロータと、 前記第１駆動ハウジン グの外側表面上に設けられた第１スタータと、 前記第２駆動ハウジングの外側表面上に設けられた第２スタータと、 前記インナーシャフトに対して前記アウターシャフトを支持するパイロット軸 受と、 前記各々のロータを回転せしめるべく、前記各々のスタータにより対応する前 記各々のロータに電磁場を生ぜしめる手段と、 を有する装置。 ２．物体を搬送するための装置であって、 支持手段と、 前記支持手段により支持されて第１軸まわりに回動可能な第１アッパアームと 、 前記支持手段により支持されて第２軸まわりに回動可能な第２アッパアームと 、 前記第１アッパアームの回転により前記第２アッパアームを駆動せしめる手段 と、 前記第１及び第２アッパアームに関節にて連結された第１前アーム対と、 前記第１及び第２アッパアームに関節にて連結された第２前アーム対と、を有 し、 前記アッパアームの各々は前記前アームの各々よりも長さが短くなっており、 さらに、 前記第１前アーム対を枢動自在に結合する第１保持手段と、前記第２前アーム 対を枢動自在に結合する第２保持手段と、前記第１前アーム対同士を係合せしめ かつ前記第１保持手段の回転を防止するのに適用される係合手段と、前記第２前 アーム対同士を係合せしめかつ前記第２保持手段の回転を防止するのに適用され る係合手段と、 第１伸長位置と第１収縮位置との間で前記第１保持手段を移動せしめるべく、 120°の角度を越えて180°を含む角度に至る範囲で前記第１アッパアームを回転 駆動せしめ得ると同時に第２収縮位置と第２伸長位置との間で前記第２保持手段 を移動せしめ得る駆動手段と、を有し、 前記駆動手段は、開孔及び前記開孔の上に設けられかつ 閉塞された管状部材を有しかつ第１駆動ハウジング及び第２駆動ハウジングを含 む真空封止体と、軸受を介して前記第１駆動ハウジングの内側表面上に設けられ たアウターシャフトと、前記アウターシャフトの内側でかつ同軸に配置されてさ らに軸受を介して前記第２駆動ハウジングの内側表面上に設けられたインナーシ ャフトと、前記アウターシャフト上に設けられた第１ロータと、前記インナーシ ャフト上に設けられた第２ロータと、前記第１駆動ハウジングの外側表面上に設 けられた第１スタータと、前記第２駆動ハウジングの外側表面上に設けられた第 ２スタータと、前記インナーシャフトに対して前記アウターシャフトを支持する パイロット軸受と、前記各々のロータを回転せしめるべく前記各々のスタータに より対応する前記各々のロータに電磁場を生ぜしめる手段と、を有する、ことを 特徴とする搬送装置。 ３．物体を搬送するための装置であって、 支持手段と、 前記支持手段により支持されて第１軸まわりに回動可能な第１アッパアームと 、 前記支持手段により支持されて第２軸まわりに回動可能な第２アッパアームと 、 第１前アーム及び第２前アームを含み、リンク手段によって前記第１及び第２ アッパアームに関節で連結された一対の前アームと、を有し、 前記リンク手段は、リンクと、前記リンクに回動自在に支持されたアッパシャフ トと、前記リンクに回動自在に支持されたロワシャフトと、一方の向きにおいて 一方のシャフトを回転せしめかつ反対の向きにおいて他方のシャフトを回転せし める手段とからなり、 前記第１アッパアームは、前記アッパシャフトに固着され、 前記第２アッパアームは、前記ロワシャフトに回動自在に設けられ、 前記第１前アームは、前記ロワシャフトに固着され、 前記第２前アームは、前記アッパシャフトに回動自在に設けられ、 前記一対の前アームに枢動自在に結合された保持手段と、 前記保持手段を伸長位置と収縮位置との間で移動せしめるべく、120°の角度 を越えて180゜を含む角度に至る範囲で前記アッパアームの少なくとも１つを回 転駆動せしめ得る駆動手段と、を有し、 前記駆動手段は、開孔及び前記開孔の上に設けられかつ閉塞された管状部材を 有しかつ第１駆動ハウジング及び第２駆動ハウジングを含む真空封止体と、軸受 を介して前記第１駆動ハウジングの内側表面上に設けられたアウターシャフトと 、前記アウターシャフトの内側でかつ同軸に配置されてさらに軸受を介して前記 第２駆動ハウジングの内側表面上に設けられたインナーシャフトと、前記アウタ ーシ ャフト上に設けられた第１ロータと、前記インナーシャフト上に設けられた第２ ロータと、前記第１駆動ハウジングの外側表面上に設けられた第１スタータと、 前記第２駆動ハウジングの外側表面上に設けられた第２スタータと、前記インナ ーシャフトに対して前記アウターシャフトを支持するパイロット軸受と、前記各 々のロータを回転せしめるべく前記各々のスタータにより対応する前記各々のロ ータに電磁場を生ぜしめる手段とを有する、 ことを特徴とする搬送装置。 ４． 真空内に配置された装置に回転動作を伝えるための装置であって、 非磁性材料からなり縦軸を有する真空密閉管状ケーシングと、 前記軸に沿って前記ケーシングの内部に回動自在に設けられかつ磁性材料から なる第１ディスクを有する第１シャフトと、 前記第１シャフトのまわりにおいて前記ケーシングの内部に回動自在に設けら れかつ磁性材料からなる第２ディスクをその外側に有する管状の第２シャフトと 、 前記ケーシングの外側に設けられかつ前記第１ディスクに対して磁場を生起せ しめる第１コイルと、 前記ケーシングの外側に設けられかつ前記第２ディスクに対して磁場を生起せ しめる第２コイルと、を有し、 少なくとも前記第１コイルは、前記第１シャフトを回転 させるべく第１回転界磁パターンを生起するのに適用され、前記第１ディスクは 、前記第１回転界磁パターンによって回転させられるためにパターン内で磁化さ れる、ことを特徴とする装置。 ５． 前記第２コイルは、前記第２シャフトを回転させるべく第２回転界磁パタ ーンを生起するのに適用され、前記第２ディスクは、前記第２回転界磁パターン によって回転させられるためにパターン内で磁化される、ことを特徴とする請求 の範囲第４項記載の装置。 ６． 前記第１シャフトはその上に設けられた磁性材料からなる第３ディスクを 有し、前記第２シャフトは前記第３ディスクに隣接してその上に設けられた磁性 材料からなる第４ディスクを有し、前記ケーシングは前記第２ディスクに隣接し てその内側表面上に設けられた磁性材料からなる第５ディスクを有し、前記第１ コイルは前記第２ディスクと前記第５ディスクとをお互いに押圧せしめて前記第 ２シャフトを前記第１シャフトに連結するブレーキ動作を行わせるための界磁パ ターンを生起せしめるのに適用され、さらに、前記ケーシングの外側に設けられ て、前記第３ディスクと前記第４ディスクをお互いに押圧せしめて前記第２シャ フトを前記ケーシングに連結するブレーキ動作を行わせるための磁場を生起せし めるのに適用される第３コイルを有する、 ことを特徴とする請求の範囲第４項記載の装置。 ７． 前記ケーシング上でその内側に支持された検知機構と、前記第１シャフト に固着されたディスクとを有し、前記ディスクは前記検知機構を作動させるため に適用されるコードパターンを有する、ことを特徴とする請求の範囲第４項記載 の装置。 ８． 前記ケーシング上でその内側に支持された第２検知機構と、前記第２シャ フトに固着された第２ディスクとを有し、前記第２ディスクは前記第２検知機構 を作動させるために適用されるコードパターンを有する、 ことを特徴とする請求の範囲第７項記載の装置。 ９． 前記ケーシング上でその内側に支持された光放射ダイオード及び読み取り ヘッドと、前記第１シャフトに固着されたディスクとを有し、前記ディスクは前 記光放射ダイオードと前記読み取りヘッドとの間を通過せしめられる不透明部分 からなるコードパターンを有する、 ことを特徴とする請求の範囲第７項記載の装置。 10. 前記ケーシング上でその内側に支持された第２光放射ダイオード及び第２ 読み取りヘッドと、前記第２シャフトに固着された第２ディスクとを有し、前記 第２ディスクは前記第２光放射ダイオードと前記第２読み取りヘッドとの間を通 過せしめられる不透明部分からなるコードパターンを有する、 ことを特徴とする請求の範囲第８項記載の装置。 11. 前記電磁場は、前記シャフトの一方又は両方に設け られた１つ又はそれ以上のエンコーダから導かれる、ことを特徴とする請求の範 囲第１項記載の装置。