JPH0855335A

JPH0855335A - 磁気記録媒体の製造方法

Info

Publication number: JPH0855335A
Application number: JP19250194A
Authority: JP
Inventors: Hirohide Mizunoya; 博英水野谷; Noriyuki Kitaori; 典之北折; Osamu Yoshida; 修吉田; Shigemi Wakabayashi; 繁美若林; Akira Shiga; 章志賀
Original assignee: Kao Corp
Current assignee: Kao Corp
Priority date: 1994-08-16
Filing date: 1994-08-16
Publication date: 1996-02-27

Abstract

(57)【要約】【目的】導電性および走行性が向上し、さらには記録
再生を劣化させる悪い反りがない磁気記録媒体を提供す
ることである。【構成】飛来する金属粒子を支持体上に付着・堆積さ
せることにより金属薄膜を設ける磁気記録媒体の製造方
法であって、前記金属粒子の付着・堆積を５×１０^-2〜
９×１０^-2Ｔｏｒｒの真空雰囲気下で行う磁気記録媒体
の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気記録媒体の製造方法
に関するものである。

【０００２】

【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。

【０００３】ところで、現在発売又は開発されている金
属薄膜型の磁気記録媒体は、図２に示される構成のもの
となっている。図２中、３１は厚さが２〜５０μｍのポ
リエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム、３２
は、例えば真空蒸着法を用いて構成された厚さが１５０
０ÅのＣｏ−Ｎｉ（８０％−２０％）合金磁性膜、３３
は潤滑剤の膜、３４はバックコート層である。尚、この
バックコート層３４は、粒径が１０〜１００ｎｍのカー
ボンブラックとバインダ樹脂とを塗料中に分散させ、グ
ラビア法、リバース法又はダイ塗工方式で、乾燥後の厚
さが０．５〜１μｍになるよう塗布することによって構
成されたものである。

【０００４】ここで、バックコート層の役割は次のよう
な点にある。（１）導電性を持たせることにより、帯電防止を図り、
ゴミの付着を防止する。（２）表面性（摩擦係数）を改善して、走行安定性を得
る。（３）表の磁性層と裏とのバランスとを図り、反りの発
生を防止する。このように、金属薄膜型の磁気記録媒体であっても、バ
ックコート層は依然として塗布型となっている。

【０００５】ところで、バックコート層を先に塗布して
から磁性層を真空蒸着すると、真空系においてバックコ
ート層からの脱ガス（バインダの溶剤から発生）が生
じ、真空度が低下し、蒸着が上手くいかず、磁性膜が良
好に形成できず、高性能な磁気記録媒体が得られない。
この為、真空中で磁性膜を形成した後、大気中に取り出
し、バックコート層を塗布している。

【０００６】しかしながら、この方法は、バックコート
層を塗布する工程で、磁性層が汚れたり、ゴミが付着
し、ドロップアウトが増加すると言った問題点がある。
又、カーボンブラックの導電性は良好であるが、バイン
ダ量が多い為、導電性が低下してしまい、帯電防止効果
が低いといった問題点もある。

【０００７】

【発明の開示】前記のような点に鑑みて、バックコート
層を金属薄膜型の磁性層と同様に金属薄膜で構成しよう
とすることが試みられた。しかしながら、真空蒸着法な
どの乾式メッキ手段により構成される金属薄膜は（１）
導電性を持たせることにより、帯電防止を図り、ゴミの
付着を防止する。（３）表の磁性層と裏とのバランスと
を図り、反りの発生を防止する。の特長を奏することが
出来るものの、（２）表面性（摩擦係数）を改善して、
走行安定性を得る。の特長は却って悪くなり、決して満
足できるものではない。

【０００８】例えば、金属薄膜型のバックコート膜の表
面粗さＲａは１〜４ｎｍ、Ｒｚは１０〜５０ｎｍであ
り、摩擦係数が０．５にもなり、走行性が極めて悪いの
である。本発明はかかる点に鑑みてなされたものであ
り、本発明の第１の目的は、導電性および走行性が向上
し、さらには記録再生を劣化させる悪い反りがない磁気
記録媒体を提供することである。

【０００９】本発明の第２の目的は、研磨テープによる
粗面化作業を行わずとも、成膜後の表面が適度な表面粗
さを有し、走行性に優れた磁気記録媒体を低廉なコスト
で得られる技術を提供することである。この本発明の目
的は、飛来する金属粒子を支持体上に付着・堆積させる
ことにより金属薄膜を設ける磁気記録媒体の製造方法で
あって、前記金属粒子の付着・堆積を５×１０^-2〜９×
１０^-2Ｔｏｒｒの真空雰囲気下で行うことを特徴とする
磁気記録媒体の製造方法によって達成される。

【００１０】特に、水の分圧が５０％以上で、５×１０
^-2〜９×１０^-2Ｔｏｒｒの真空雰囲気下で金属粒子の付
着・堆積を行う磁気記録媒体の製造方法によって達成さ
れる。尚、このような製造方法は、図１のような蒸着装
置を用いて行うことが出来る。すなわち、図１の装置に
おいて、真空槽７内の雰囲気を５×１０^-2〜９×１０ ^-2
Ｔｏｒｒ、特に水の分圧が５０％以上で、５×１０^-2〜
９×１０^-2Ｔｏｒｒの真空雰囲気に設定して行えば良
い。従って、真空雰囲気を５×１０^-2〜９×１０ ^-2Ｔｏ
ｒｒ、特に水の分圧が５０％以上で、５×１０^-2〜９×
１０^-2Ｔｏｒｒに制御するのみで良く、従来の装置をそ
のまま使用でき、極めて低廉なコストで実施できる。そ
して、このようにして得られた金属膜の表面粗さは適度
な粗さを有している。すなわち、上記のような条件下で
支持体上に堆積を行わせると、飛来する金属粒子の平均
自由行程が短く、成長する金属粒子が比較的大きくな
り、大きめの金属粒子が付着・堆積するようになること
から、表面粗さが大きくなるのであろうと考えられる。
この為、走行時の摩擦係数は０．２〜０．３程度のもの
となり、走行性に優れたものとなる。従って、耐久性に
富み、かつ、記録・再生特性にも優れた磁気記録媒体が
得られる。

【００１１】本発明で用いられる磁気記録媒体の支持体
としては、例えばＰＥＴ等のポリエステル、ポリアミ
ド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、
ポリプロピレン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系
の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった高分子材料、ガラ
スやセラミック等の無機系材料が用いられる。支持体上
に設けられる金属薄膜（所謂バックコート膜）には、例
えばＡｌ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｎｉ，Ａｇ，Ｆｅ，Ｔｉなどの
金属が用いられる。又、Ｃｕ−Ａｌ−Ｘ（但し、ＸはＭ
ｎ，Ｆｅ，Ｎｉの群の中から選ばれる一つ、若しくは二
つ以上）系合金、Ａｌ−Ｓｉ系合金、Ｔｉ合金等が用い
られる。尚、Ｃｕ−Ａｌ−Ｘ（但し、ＸはＭｎ，Ｆｅ，
Ｎｉの群の中から選ばれる一つ、若しくは二つ以上）系
合金におけるＣｕ含有量は７０〜９０ａｔ％、Ａｌ含有
量は８〜２５ａｔ％、Ｍｎ含有量が０．５〜４ａｔ％
で、Ｆｅ含有量が０．４〜５ａｔ％で、Ｎｉ含有量が
０．４〜４ａｔ％であり、Ｍｎ，Ｆｅ，Ｎｉの総含有量
が１〜６ａｔ％であることが好ましい。又、Ａｌ−Ｓｉ
系合金におけるＡｌ含有量は１５〜７０ａｔ％、Ｓｉ含
有量が１５〜７０ａｔ％であることが好ましい。

【００１２】以下、具体的な実施例を挙げて本発明を説
明する。

【００１３】

【実施例】

〔実施例１〕図１に示される蒸着装置が用いられる。
尚、図１中、１は冷却キャンロール、２ａは供給側ロー
ル、２ｂは巻取側ロール、３は磁気記録媒体の原反、４
は遮蔽板、５はルツボ、６は金属（Ｃｕ−Ａｌ系合
金）、７は真空槽、８は酸化性ガス供給ノズルである。

【００１４】この図１の装置において、真空槽７内を、
一度、１×１０^-6Ｔｏｒｒ程度の真空度に排気した後、
クライオポンプでの排気を停止し、ロータリポンプとメ
カニカルブースタポンプによる排気系によって６×１０
^-2Ｔｏｒｒ（水の分圧が５０％）の真空雰囲気のものと
した。そして、誘導加熱方式の加熱手段でルツボ５内の
金属（Ｃｕ−Ａｌ系合金）６を溶融、蒸発させ、供給側
ロール２ａから冷却キャンロール１に添接されて走行
（速度５ｍ／ｍｉｎ）する磁気記録媒体の原反（ＰＥＴ
フィルム等の支持体に金属薄膜型の磁性膜が形成された
もの）３の裏面（金属薄膜型の磁性膜が形成されていな
い側の面）に対して０．０４〜１μｍ、例えば０．２μ
ｍ厚さ蒸着させ、この後巻取側ロール２ｂに巻き取って
行き、金属薄膜型の磁気記録媒体を製造した。

【００１５】〔実施例２〕実施例１におけるバックコー
ト膜の成膜条件（水の分圧が５０％で、６×１０ ^-2Ｔｏ
ｒｒの真空雰囲気）を、水の分圧が５５％で、７×１０
^-2Ｔｏｒｒの真空雰囲気とした他は同様に行った。〔実施例３〕実施例１におけるバックコート膜の成膜条
件（水の分圧が５０％で、６×１０ ^-2Ｔｏｒｒの真空雰
囲気）を、水の分圧が５５％で、８×１０^-2Ｔｏｒｒの
真空雰囲気とした他は同様に行った。

【００１６】〔実施例４〕実施例１におけるバックコー
ト膜の成膜条件（水の分圧が５０％で、６×１０ ^-2Ｔｏ
ｒｒの真空雰囲気）を、水の分圧が７５％で、５×１０
^-2Ｔｏｒｒの真空雰囲気とした他は同様に行った。〔実施例５〕実施例１におけるバックコート膜の成膜条
件（水の分圧が５０％で、６×１０ ^-2Ｔｏｒｒの真空雰
囲気）を、水の分圧が８５％で、５×１０^-2Ｔｏｒｒの
真空雰囲気とした他は同様に行った。

【００１７】〔実施例６〕実施例１におけるバックコー
ト膜の成膜条件（水の分圧が５０％で、６×１０ ^-2Ｔｏ
ｒｒの真空雰囲気）を、水の分圧が９５％で、５×１０
^-2Ｔｏｒｒの真空雰囲気とした他は同様に行った。〔実施例７〕実施例１におけるバックコート膜の成膜条
件（水の分圧が５０％で、６×１０ ^-2Ｔｏｒｒの真空雰
囲気）を、水の分圧が９５％で、９×１０^-2Ｔｏｒｒの
真空雰囲気とした他は同様に行った。

【００１８】〔比較例１〕実施例１におけるバックコー
ト膜の成膜条件（水の分圧が５０％で、６×１０ ^-2Ｔｏ
ｒｒの真空雰囲気）を、水の分圧が８０％で、５×１０
^-5Ｔｏｒｒの真空雰囲気とした他は同様に行った。〔比較例２〕実施例１におけるバックコート膜の成膜条
件（水の分圧が５０％で、６×１０ ^-2Ｔｏｒｒの真空雰
囲気）を、水の分圧が４０％で、２×１０^-3Ｔｏｒｒの
真空雰囲気とした他は同様に行った。

【００１９】〔特性〕上記各例で得た磁気テープの摩擦
係数を調べたので、その結果を表−１に示す。これによれば、成膜時の真空雰囲気を本発明の如くに設
定しておくことにより、成膜された膜の表面粗さが比較
的大きなものとなり、この結果走行時における摩擦係数
が０．２〜０．３であって、走行特性が良く、記録・再
生特性に優れている。

【００２０】これに対して、比較例１や比較例２の条件
下では、成膜された膜の表面粗さが小さく、この結果走
行時における摩擦係数が０．４以上であって、貼り付き
が起きる等、走行特性が悪く、耐久性が低く、かつ、記
録・再生特性にも劣っている。

【００２１】

【効果】走行性に優れ、耐久性に富む高性能な磁気記録
媒体が低廉なコストで得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】磁気記録媒体の製造装置の概略図

【図２】磁気記録媒体の概略図

【符号の説明】

１冷却キャンロール２ａ供給側ロール２ｂ巻取側ロール３磁気記録媒体の原反５ルツボ６金属７真空槽

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者若林繁美栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株式会社情報科学研究所内 (72)発明者志賀章栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株式会社情報科学研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】飛来する金属粒子を支持体上に付着・堆
積させることにより金属薄膜を設ける磁気記録媒体の製
造方法であって、前記金属粒子の付着・堆積を５×１０
^-2〜９×１０^-2Ｔｏｒｒの真空雰囲気下で行うことを特
徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項２】金属粒子の付着・堆積を水の分圧が５０
％以上で、５×１０ ^-2〜９×１０^-2Ｔｏｒｒの真空雰囲
気下で行うことを特徴とする請求項１の磁気記録媒体の
製造方法。